Text
                    УДК 537. 533
АННОТАЦИЯ
В научной литературе нет книг, охва-
тывающих все вопросы эмиссионной элек-
троники на достаточно современном уровне.
В то же время потребность в такой моно-
графии ощущают многие специалисты,
работающие в области физической и техни-
ческой электроники.
С момента выхода в 1950 г. книги проф.
Л. Н. Добрецова «Электронная и ионная
эмиссия» появились и успешно развиваются
новые направления электроники, которые
нагили свое отражение в новой книге.
Книга предназначена для научных ра-
ботников, аспирантов и инженеров, за-
нятых вопросами электроники в теорети-
ческом’ и в прикладном планах. Она также
может служить учебным пособием для
студентов, изучающих физическую элек-
тронику.
к? 154
--------------------
I	{
Добрецов Леонтий	и Гй/ивтоЛД Ларина Владимировна
Эмиссионная рлектррника i
М.,11966 £/^64''стр. с илл|
Шишкин
Техн, редактор К. Ф. Бру дно	Корректор Е. А. Белицка.ч
Сдано в набор 8/VII 1966 г. Подписано к печати 26/Х 1966 г. Бумага 60Х90'/1с.
Физ. печ. л. 35,25. Условн. печ. л. 35,25. Уч.-изд. л. 34,11. Тираж 7500 экз. ‘Т-12783.
Цена книги 2 р. 39 к. Заказ № 404.
Издательство «Наука»
Главная редакция физико-математической литературы
Москва, В-71, Ленинский проспект, 15
Ленинградская типография № 1 «Печатный Двор» имени А. М. Горького Главпо-
лиграфпрома Комитета по печати при Совете Министров СССР, Гатчинская, 26.
2-3-6
127-66

Предисловие.......................................................... 6 Глава I. Элементы электронной теории твердого тела................... 9 § 1. Состояние системы электронов в твердом теле и квантовая механика ................................................... 9 § 2. Приближение свободных, слабо-связанных и.сильно-свя- занных электронов 17 § 3. Состояние электронов в пространственно-периодическом поле (теорема Блоха).......................... 36 § 4. Модель Кронига—Пенни......................... 39 § 5. Кристаллы с дефектами........................ 46 § 6. Распределение электронов по энергиям в твердом теле (ме- таллы) .................................................... 56 § 7. Распределение электронов по энергиям в твердом теле (полу- проводники и диэлектрики)............................ 64 § 8. Контактная разность потенциалов ....................... 71 Глава II. Объемные заряды и движение заряженных частиц в ва- кууме ........................................................... 76 § 9. Закон «трех вторых»..................................... 76 § 10. Вольт-амперная характеристика плоского диода с учетом максвелловского распределения скоростей термоэлектро- нов ....................................................... 91 §11. Поток заряженных частиц в вакууме...................... 100 Глава III. Обзор различных видов электронной и ионной эмиссии . 109 § 12. Электронная эмиссия.................................... 109 § 13. Эмиссия атомных частиц................................. 114 Глава IV. Термоэлектронная эмиссия................................. 117 § 14. Термодинамический вывод основного уравнения термо- электронной эмиссии 117 § 15. Статистический вывод основного уравнения термоэлек- тронной эмиссии....................................... 125 § 16. Приведенный коэффициент прозрачности диода....... 131 § 17. Измерение термоэлектронных характеристик веществ . . . 135 § 18. Влияние внешнего электрического поля на термоэлектрон- ную эмиссию металлов.................. . ................. 153 1«
§ 19. Влияние электрического поля на термоэлектронную эмис- сию полупроводников ...................................... 160 § 20. Распределение термоэлектронов по скоростям.......... 167 §21. Торированный вольфрам............................... 178 § 22. Теория «пятен»...................................... 189 § 23. Термоэлектронная эмиссия тугоплавких веществ, покры- тых пленками щелочных и щелочноземельных металлов . . 195 § 24. Эффективные термокатоды I (оксидно-бариевый катод) . . 204 §25. Эффективные термокатоды 11. Антиэмиссионные покрытия 218 § 26. Термоэлектронные преобразователи тепловой энергии в электрическую............................................. 223 Глава V. Работа выхода.......................................... 236 § 27. Работа выхода (однородные катоды)................... 236 . § 28. Работа выхода (неоднородные катоды) ................ 248 Глава VI. Фотоэлектронная эмиссия............................... 253 § 29. Фотоэлектронная эмиссия металлов.................... 253 § 30. Селективный фотоэффект.............................. 270 § 31. Квантовомеханическая теория фотовозбуждения электро- нов твердого тела......................................... 275 § 32. Фотоэлектронная эмиссия полупроводников............. 286 § 33. Фотоэлектронная эмиссия’щелочно-галоидных соединений 296 § 34. Эффективные фотокатоды.............................. 306 Глава VII. Вторичная электронная эмиссия........................ 315 § 35. Методы исследования вторичной электронной эмиссии . . 315 § 36. Отражение электронов ............................... 329 § 37. Закономерности истинной вторичной электронной эмиссии 344 § 38. Исследование закономерностей движения электронов в твердых телах методом тонких пленок....................... 360 § 39. Некоторые вопросы теории взаимодействий электронов разных энергий с твердыми телами.......................... 370 § 40. Полуфеноменологпческие теории вторичной электронной эмиссии................................................... 383 § 41. Эффективные эмиттеры вторичных электронов. Антидина- тронные покрытия.......................................... 392 Глава VIII. Автоэлектронная эмиссия............................. 402 § 42. Автоэлектронная эмиссия металлов.................... 402 § 43, Автоэлектронная эмиссия полупроводников............. 417
Глава IX. Электронные эмиссии, вызываемые сильными электри- ческими полями в эмиттере...................................... 431 7 § 44. Эмиссия горячих электронов........................... 431 ' § 45. Электронная эмиссия’ тонких диэлектрических слоев при наличии в них сильного электрического поля................... 437 Глава X. Поверхностная ионизация......................... 452 § 46. Поверхностная ионизация с образованием положительных ионов..................................................... 452 § 47. Влияние электрического поля на поверхностную иониза- цию ...................................................... 474 '/ § 48. Поверхностная ионизация с образованием отрицательных ионов................................................ 484 Глава XI. Взаимодействия ионов с поверхностью твердого тела . . 492 i/ § 49. Методы исследования явлений, происходящих при взаимо- действии ионов с поверхностью тел......................... 492 § 50. Потенциальная ионно-электронная эмиссия............. 496 § 51. Кинетическая ионно-электронная эмиссия.............. 502 J § 52. Ионно-ионная эмиссия................................. 512 § 53. Катодное распыление................................. 521 Литература...................................................... 543 Предметный указатель............................................ 559
В этой книге рассматриваются некоторые вопросы, относя- щиеся к разделу физики, называемому физической электроникой. Определение предмета изучения того или иного раздела науки, отграничение от других смежных разделов встречает значительные трудности, так как одними и теми же явлениями и объектами за- частую занимаются несколько разделов. Такое определение почти всегда будет несколько условным, субъективным и временным. Нам кажется, что в настоящее время физическую электронику можно определить как раздел физики, изучающий свойства элек- тронов и ионов при скоростях много меньших скорости света, движения электронов и ионов в вакууме и в газах и процессы воз- никновения и исчезновения их как в объеме, так и на поверх- ности тел. Оговорка «в вакууме и в газах» отграничивает физи- ческую электронику от физики твердого тела, рассматривающей движения этих частиц в твердых телах, и от физической химии, занимающейся изучением движения ионов в жидкостях; оговорка «при скоростях много меньших скорости света» указывает, что в этом разделе физики не учитываются свойства частиц, прояв- ляющиеся при энергиях порядка собственной энергии тс2. Опре- деленная так физическая электроника распадается на четыре части. Во-первых, часть, изучающая основные свойства ионов и электронов, составлявшая основное содержание физической элек- троники на ранних стадиях ее существования. В настоящее время развитие этого раздела представлено в основном работами по масс- спектрометрпп. Во-вторых, часть, посвященная изучению движе- ния заряженных частиц в вакууме; это — электронная оптика. Третья, большая часть — движение ионов и электронов и про- цессы их возникновения и уничтожения в газах; это — физика газового разряда. Наконец, четвертая часть занимается процес- сами возникновения свободных заряженных частиц на поверх- ностях твердых и жидких тел и процессами, происходящими при попадании ионов и электронов на поверхности этих тел, сопровож- дающимися эмиссией «вторичных» заряженных или нейтральных частиц; эту часть физической электроники мы назвали «эмиссион- ной электроникой». Последняя часть тесно связана с электронной теорией твердого тела; в ряде вопросов трудно провести границу
между проблемами эмиссионной электроники и физики твердого тела. Конечно, и разграничение указанных выше частей фи- зической электроники является несколько условным и не резким. Эта книга и посвящена изложению эмиссионной электроники. В нее включен тот круг вопросов, о котором шла речь в моногра- фии одного из авторов (Л. Н. Добрецов, «Электронная и ионная эмиссия», Гостехиздат, 1952 г.). Однако за пятнадцать лет, прошедших с момента написания указанной монографии, экспериментальный материал по излагае- мым здесь вопросам очень сильно возрос, возникли новые разделы эмиссионной электроники, существенно изменились взгляды как на закономерности, так и на механизмы ряда явлений. Поэтому, хотя настоящий труд и составлен по той же программе, что «Элек- тронная и ионная эмиссия», он не является переработкой или дополнением ее, но представляет собой новую книгу лишь с незна- чительным использованием материала старой. Это дало нам осно- вание дать ей новое название — «эмиссионная электроника». Как и в упомянутой выше монографии, здесь ставилась задача не столько описания экспериментов, сколько изложения основных закономерностей, установленных на опыте, а главное, задача ознакомления читателей с представлениями и идеями современ- ной эмиссионной электроники. Мы старались там, где возможно, отразить эти идеи и представления в ходе их развития. Количество публикаций по вопросам эмиссионной электро- ники очень велико и непрерывно растет год от года. Поэтому собрать материал по всем освещаемым в книге вопросам представ- ляло значительные трудности и авторы, конечно, не претендуют на исчерпывающее знакомство со всей литературой. Не меньшую трудность представила задача отбора из собранного материала того, что следовало включить в книгу. Эти последние трудности были двоякого рода. Во-первых, следовало отграничить рассмат- риваемые вопросы от вопросов, относящихся к смежным разде- лам физики (физика полупроводников, физика газового разряда и др.), и от обширного материала чисто технического и технологи- ческого характера. Во-вторых, пз многочисленных статей различ- ных авторов, посвященных тому пли иному вопросу, возможно было привести лишь немногие. Как правило, мы, при прочих рав- ных условиях, стремились отбирать работы советских исследова- телей. Следует отметить очень широкий фронт работ по физи- ческой электронике, ведущихся в Советском Союзе, в связи с чем советские журналы и книги дали богатые возможности для такого отбора. В Советском Союзе за последние десять лет опубликовано не- сколько монографий п обзоров, посвященных отдельным вопросам
8 ПРЕДИСЛОВИЕ эмиссионной электроники. Ссылки на эти обзоры и монографии даны у заглавий соответствующих глав или параграфов. Как в отборе материалов, так и в освещении рассмотренных вопросов, безусловно, сказались наше понимание этих вопросов, наши личные вкусы, наша работа лишь в отдельных отраслях электроники и в некоторой степени (которую мы стремились сделать малой!) личные контакты с другими лицами, работающими в области физической электроники. Поэтому мы просим извинить нас за субъективизм изложения, неравномерность освещения раз- личных вопросов и неизбежные ошибки. Уже сейчас мы видим значительные недостатки выполненной работы, но, помня, что «лучшее враг хорошего», решаемся предложить книгу читателю в настоящем виде, надеясь на то, что все же она принесет пользу делу. Книга рассчитана на читателей, знакомых, хотя бы в объеме книги [1], с элементами квантовой механики. Она предназна- чается научным работникам, инженерам и аспирантам, работаю- щим в области физической электроники и в базирующихся на ней отраслях техники. В ряде высших учебных заведений под тем или иным названием читаются курсы, в которых излагается физи- ческая электроника; мы думаем, что студенты, изучающие эти дис- циплины, смогут использовать предлагаемую книгу в качестве учебного пособия. В связи с этим в нее включен некоторый обще- известный специалистам по электронике материал. Эмиссионная электроника основывается на электронной теории твердого тела. Поэтому нам казалось необходимым предпослать изложению основного материала вводную главу, в которой рас- смотрены некоторые вопросы теории твердого тела, требующиеся для понимания дальнейшего содержания книги. Кроме того, для рассмотрения эмиссионных явлений в ряде случаев необходимо знакомство с закономерностями движения заряженных частиц в межэлектродном пространстве. Этим объяс- няется включение в книгу второй вводной главы, посвященной краткому описанию указанных выше закономерностей. В заключение авторы выражают благодарность П. Г. Борзяку, Э. Я. Зандберг, Н. И. Ионову, Т. Л. Мацкевич, Н. Н. Петрову, И. Л. Сокольской, Г. В. Спиваку, Н. Л. Яснопольскому и В. Е. Юра- совой, просмотревшим отдельные главы рукописи и сделавшим ряд ценных замечаний. Мы также благодарны научному редак- тору книги Б. Б. Шишкину за очень внимательное редактирова- ние, полезные замечания и доброжелательное отношение к книге. Авторы
ГЛАВА I ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА § 1. Состояние системы электронов в твердом теле и квантовая механика В классической электронной теории твердого тела электрон рассматривался как материальная точка, состояние которой ха- рактеризовалось радиус-вектором rs и импульсом ps, а система электронов в теле рассматривалась как одноатомный газ, подчи- няющийся законам классической больцмановской статистики. Однако такое описание не соответствует реальным свойствам элек- тронов и ионов, так как не учитывает волновую природу микро- частиц. Лучшую характеристику этих свойств дает квантовая ме- ханика. В ней состояние отдельного электрона описывается с по- мощью волновой функции Ч*1 (г, t). Принимается, что электрон как бы «размазан» в пространстве, образуя электронное облако. Плотность р этого электронного облака в некоторой точке г равна квадрату модуля функции Y (г, t): p(r) = 4(r., t). (1.1) Для стационарных состояний электрона полные волновые функции Ч^ имеют вид (G 0 = (И exp [- , (1.2) где амплитудные функции фп и значения энергии электрона Еп определяются из уравнения Шредингера: ~^Aip+^-^(r)]if = O. (1.3) Здесь U (г) — потенциальная функция, характеризующая внеш- нее силовое поле, в котором находится электрон; для каждого конкретного случая она задается. Само по себе уравнение
10 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА |ГЛ. 1 Шредингера отражает лишь волновые свойства частиц. Именно вид функции U (г) позволяет решать задачу об электроне в тех пли иных условиях. Состояние электрона может быть стационарным, если потенциальная функция U (г) не есть функция времени. Твердое тело представляет собой систему из Ni ядер и N электронов. Для кристаллов, построенных из элементов с поряд- ковым номером Z, Ne = ZNt- Состояние такой системы в кван- товой механике также характеризуется полной волновой функ- цией Т: г2, ..., rs, ..., rNe, Rv R>, ..., Rh, Rn., t), (1.4) где rs и Rh — радиус-векторы электронов и ионов соответст- венно. Для стационарных состояний' эта функция имеет вид ЧС = ф„ (щ, г,, ..., г„, ..., rv , Rlt R„, ..., R,, ..., R.,.) x 71 T 71 X 2 ’ ' N q' "7 R ’ 7 A XexP[-^Rni], (1.5) где амплитудная часть функции фп и значение полной энергии си- стемы Еп определяются из уравнения Шредингера для системы частиц: &F \т + Л2 + ‘ + ' + + + (Аг + ^2 + • • + \ + • • + Алг.)|ф + + {Е — U (щ, г2,..., rs,..., rNe, Ru R2,..., Rh,..., Rn.)} ф = 0; (1.6) здесь As и Aft — операторы Лапласа по координатам s-ro электрона и А-го иона, a U — потенциальная функция системы. Она вклю- чает потенциальную функцию электронов и ионов во внешнем поле и потенциальные функции взаимодействия ионов друг с другом Ц~ц, электронов друг с другом Uee и ионов с электро- нами Uie, т. е. U = ивн + Uti + U ее + U ie. (1.7) Для стационарных состояний системы UBa, Uu, Uей и Uip не за- висят от времени. Если бы удалось решить уравнение (1.6), т. е. найти все волновые функции фп и характеристические значения Еп, то эти волновые функции фп для стационарных состояний и соответствующие этим стационарным состояниям значения пол- ной энергии Еп полностью определили, бы структуру решетки, энергетические спектры электронов и ионов, а также другие ха- рактеристики твердого тела. Таким образом, для получения пол- ной информации о стационарных состояниях твердого тела тре- буется найти в каждом конкретном случае потенциальную функ-
§ 1] СОСТОЯНИЕ СИСТЕМЫ ЭЛЕКТРОНОВ В ТВЕРДОМ ТЕЛЕ 11 цию U (1.7) в явном виде и решить для этого вида функции уравне- ние (1.6). Оказывается, что такая задача математически безна- дежно сложна. Во-первых, трудности возникают из-за огромного числа переменных, входящих в уравнение (1.6), во-вторых, из-за невозможности выразить функцию U в явном виде. Эта функция для системы взаимодействующих частиц, в отличие от потенци- альной функции внешнего поля в одноэлектронной задаче, сама зависит от состояния системы и меняется при изменении послед- него. Поэтому для получения хотя бы ине исчерпывающих сведе- ний о состоянии системы электронов и ядер в твердом теле урав- нение (1.6) необходимо упростить. Современная зонная теория твердых тел исходит из упрощаю- щих предположений, касающихся как вида потенциальной функ- ции, так и вида волновой функции. Заметим, что физический смысл каких-либо упрощений состоит либо в исключении из рас- смотрения тех или иных взаимодействий совсем, либо в замене реальных взаимодействий более простыми взаимодействиями. Раз- личные виды взаимодействий в системе учитываются соответствую- щими членами в потенциальной функции U. Естественно, что всякий неучет какого-либо взаимодействия или аппроксимация его более простым приводят к тому, что полученное при таких условиях решение задачи не может полностью описать состояние системы. При этом теория не сможет вовсе объяснить те свойства твердого тела, которые определяются отброшенными типами взаимо- действий, и не объяснит полностью те свойства, для учета которых реальный, более сложный тип взаимодействия был заменен более простым. Конкретизируем теперь приближения, на которых основана зонная теория, и укажем на те ее недостатки, которые происте- кают из этих упрощений. 1. Адиабатическое приближение. В этом приближении вместо решения задачи о системе электронов и ядер рассматривается за- дача о состояниях системы только электронов в заданной решетке из ядер, причем ядра считаются точечными источниками куло- новских сил. Таким образом, влияние решетки на состояние электронов рассматривается как воздействие внешнего заданного поля кулоновских центров, расположенных в заданных точках. Однако обычно в адиабатическом приближении этим упроще- нием не ограничиваются, и решетка из точечных ядер заменяется решеткой из точечных ионов (атомных остатков), имеющих заряд Z'e eZ', где Z' <( Z. Потенциал fe-ro узла такой решетки равен ._ Тогда задача сводится к определению волновой функции лишь Ne — (Z — Z') N; валентных электронов, находящихся в поле ионной решетки.
12 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА [ГЛ. I Обоснование возможности такого упрощения базируется на большом различии в массах электронов и ядер (или ионов), что приводит к существенно большим скоростям движения электро- нов, чем ионов. Поэтому при каждом, даже неравновесном, состоя- нии ионов устанавливается свое, практически равновесное, состоя- ние системы электронов. Таким образом, само по себе движение узлов решетки практически не сказывается на состояниях элек- тронов; последние определяются лишь мгновенными конфигура- циями этих узлов. Подобное рассмотрение состояний электронов в молекулах было использовано еще Франком и Кондоном (прин- цип Франка — Кондона). Исключение задачи о движении ионов решетки, принимаемое в адиабатическом приближении, во-первых, означает, что волно- вая функция ф системы электронов твердого тела оказывается зависящей только от радиус-векторов электронов rs: ф = -ф(г!, г2, ..., rs, ..., rNg). (1.8) Во-вторых, в выражении для потенциальной функции (1.7) выпа- дает член и потенциальная функция взаимодействия системы электронов и ионов принимает вид где Z'e — заряд иона, Rk — заданный радиус-вектор /с-го узла ионной решетки; суммирование по всем Rk дает потенциальную энергию s-ro электрона в поле всех ионов; суммируя еще и по всем s (т. е. !<'.? -С Nе), получим полную энергию всех электронов в поле ионной решетки. Тогда полная потенциальная функция для системы электронов принимает вид s k а уравнение Шредингера SS. (Д, + Д, +... + Д, +... + Д„,) if + + Kh22r»^ + M'|, = 0' <1Л*> 8 k Итак, в адиабатическом приближении из рассмотрения ис- ключается проблема состояния решетки; состояние решетки за- дается. Это приводит к тому, что адиабатическое приближение не может объяснить: а) влияние изменения состояний электронов на равновесное состояние решетки (см. § 5),
§ 11 СОСТОЯНИЕ СИСТЕМЫ ЭЛЕКТРОНОВ В ТВЕРДОМ ТЕЛЕ 1 б) влияние теплового движения решетки на состояние элек- тронов; считается, что это движение сказывается на распределе- нии электронов по возможным состояниям, но не на самих состоя- ниях (см. § 6 и 7). Остановимся несколько подробнее на взаимодействии решетки кристалла с электронами, а именно — на вопросе обмена энергией между тепловыми колебаниями решетки и находящейся в ней системой электронов. Ионная решетка представляет собой систему из частиц, связанных друг с другом силами взаимодействия. В этой системе могут происходить сложные колебания. При этом движения, совершаемые каждой частицей системы, т. е. отдель- ным ионом, не являются простыми гармоническими колеба- ниями. Однако если перейти от переменных, являющихся коорди- натами частиц, к нормальным координатам, то движение системы ионов может быть представлено как совокупность независимых гармонических колебательных движений этих нормальных коор- динат. Это эквивалентно замене колебаний отдельных частиц совокупностью неких упругих волн, распространяющихся в кристалле. В квантовой механике эти волны, так же как электро- магнитные световые волны, квантованы, и энергия некоторой волны с частотой / и волновым вектором к (направление его совпа- дает с направлением распространения волны, а величина равна 1/Х, где X — длина волны) может иметь лишь значения Е = nhf, где h — постоянная Планка, а п — целое число. Величина им- пульса такой волны может быть равна р = , где v — скорость распространения волны. Переход от переменных, являющихся координатами частиц, к нормальным координатам является не чисто формальным математическим преобразованием, а имеет реальный физический смысл. Оказывается, что энергия и импульс, которые может получить или отдать решетка при каких-либо взаимодействиях и, в частности, при взаимодействии с электро- нами, равны энергии и импульсу указанных выше упругих волн, т. е. равны nhf п п^. Поэтому эти элементарные порции энергии и связанные с ними порции импульса можно рассматривать как квазичастицы, называемые фононами, аналогичные световым фо- тонам. Совокупность тепловых колебаний можно рассматривать как газ, состоящий из таких фононов. Фононы, подобно фотонам, есть частицы Бозе, и в любом состоянии может находиться сколько угодно фононов, т. е. энергия волны с данными / и к может быть любая, кратная hf. Каждый кристалл характеризуется своим спектром разрешен- ных частот /. Спектр этот обычно сложный и распадается на ряд ветвей. Колебания решетки, приводящие лишь к появлению
14 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА [ГЛ. I флуктуаций плотности вещества, называются акустическими. Колебания, сопровождающиеся возникновением не только флук- туаций плотности, но и флуктуаций электрического поля, т. е. приводящие к появлению в кристалле переменных электрических полей, называются оптическими. Спектры разрешенных частот акустических и оптичес'ких колебаний образуют акустические и оптические ветви в спектре колебаний кристалла. Акустические колебания могут возбуждаться в любых кристаллах, оптические — лишь в ионных кристаллах. При оптических колебаниях соседние частицы разного сорта движутся в кристалле в противоположных направлениях, при акустических, наоборот, соседние частицы движутся в одном направлении. В случае оптических колебаний Рис. 1. особо различают продольные и поперечные колебания. При воз- буждении продольных колебаний направление, в котором распро- страняются в кристалле колебания, совпадает с направлением колебаний частиц кристалла. При возбуждении поперечных коле- баний направления, в которых движутся частицы, перпендику- лярны к направлению распространения колебаний. Для ионного кристалла картина движения ионов при поперечных акустических, а также поперечных оптических колебаниях схематически изобра- жена на рис. 1, а. Частоты разрешенных оптических колебаний заключены обычно в небольшом интервале и равны примерно 1012—1013stf.Частоты разрешенных акустических колебаний обычно меньше оптических и, в отличие от них, соответствуют более широ- кому интервалу частот. Зависимости частот оптических и акусти- ческих колебаний от волнового вектора (кривые дисперсии) для случая одномерной цепочки, построенной из разноименных ионов двух сортов, показаны на рис. 1,5.
§ 1] СОСТОЯНИЕ СИСТЕМЫ ЭЛЕКТРОНОВ В ТВЕРДОМ ТЕЛЕ 15 При взаимодействии электрона с фононами электрон может «поглотить» либо «испустить» один или несколько фононов. Взаимо- действия электрона с фононами, сопровождающиеся поглощением или испусканием одного фонона, называются однофононными, а нескольких фононов — многофононными. Вероятность много- фононных столкновений обычно значительно меньше однофонон- ных. Наиболее сильно электроны взаимодействуют с оптическими колебаниями (оптическими фононами), причем, так как наиболь- шие электрические поля в кристалле возникают при продоль- ных оптических колебаниях, электроны более сильно взаимодей- ствуют с продольными оптическими фононами. Именно этот меха- низм в основном и ответствен за рассеяние электронов решеткой в полярных кристаллах. В простых атомарных полупроводнико- вых кристаллах, в которых оптические колебания отсутствуют, электроны рассеиваются лишь на' акустических фононах. Энергия фонона hf составляет примерно сотые доли эв. Поэ- тому для электрона, обладающего энергией (отсчитанной от дна зоны проводимости) порядка единиц эв или выше, относительная потеря энергии при взаимодействии с фононом мала. Импульс же электрона при таких столкновениях может, вообще говоря, ме- няться в широких пределах. Ввиду этого взаимодействия элект- ронов с фононами во многих случаях рассматривают как «квази- упругие». 2. Одноэлектронное приближение. Это упрощение касается характера взаимодействий электронов друг с другом. Если бы электроны совсем не взаимодействовали друг с дру- гом, т. е. второе слагаемое справа в (1.10) равнялось нулю, то нетрудно показать, что амплитудная волновая функция системы ф (гц г2,..., rs,...,rN ) представлялась бы произведением одно- электронных волновых функций, всех электронов, т. е. ф (г1; г2, г5, ..., rNe) = ф! (гх) ф2 (г2) ... ф8 (rs) .. ф^ (rNg), (1.12) причем функции ф8 (г8) определялись бы из одноэлектронных уравнений Шредингера: + [ -^S — — rs |'] ^ = °’ (i-13) h а полная энергия системы E равнялась бы сумме Es, т. е. E = E1 + E2^... + EsA-..- + ENe. (1.14) Одноэлектронное приближение состоит в том, что поле, в ко- тором движется данный электрон системы, создаваемое всеми остальными электронами этой же системы, заменяется как бы
16 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА [ГЛ. I внешним по отношению к нему полем, т. е. полем, не зависящим от мгновенного положения электрона. Это внешнее поле является суммой кулоновских полей, создаваемых электронными облаками остальных электронов системы. При этом состояния этих осталь- ных электронов, а следовательно, и создаваемое ими поле, не за- висят от состояния рассматриваемого электрона. В рамках указанного приближения решение уравнения Шре- дингера (1.6) для системы электронов — волновая функция си- стемы может быть представлена в виде произведения одноэлектрон- ных волновых функций, т. е. в виде (1.12), а полная энергия си- стемы электронов равна сумме энергий Es отдельных электро- нов, т. е. описывается выражением (1.14). При этом, как по- казал Хартри, наилучшим приближением для одноэлектронных функций ф5 будут решения одноэлектронных уравнений Шредингера: 7)2 8^ М (r8) + [Es - и (rg)] ф (rs) = 0, (1.15) где (1.16) Значок ' (штрих) у второй суммы в (1.16) обозначает, что сум- мирование производится по всем I, за исключением I = s. В (1.16) первый член соответствует кулоновской потенциальной энергии электрона в поле заданной ионной решетки, а второй член — по- тенциальной энергии электрона в поле других электронов. При вычислении этой энергии в одноэлектронном приближении прини- мается, как упомянуто выше, что электроны взаимодействуют друг с другом лишь по закону Кулона. В таком случае р2 Usi = \ -|-|Ф(гг)№, J rsl где интегрирование производится по всем координатам 1-то элек- трона. В одноэлектронном приближении, очевидно, не учитываются корреляции в движениях электронов и, следовательно, вне ра- мок этого приближения оказываются явления, зависящие от кор- реляционных эффектов, например, возбуждение коллективных колебаний электронного газа в твердых телах — «плазмонов» (см. § 5). Кроме того, вне рамок этого .приближения оказываются процессы, в которых состояния остальных электронов системы нельзя считать независимыми от состояния рассматриваемого электрона, например, процессы ’возбуждения экситонов (см.
§ 2] ПРИБЛИЖЕНИЕ СВОБОДНЫХ И СВЯЗАННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ 17 также § 5). Наконец, так как в одноэлектронном приближении пренебрегается спиновыми взаимодействиями электронов, оно не включает описание магнитных явлений, например, явление ферромагнетизма. § 2. Приближение свободных, слабо-связанных и сильно-связанных электронов Таким образом, задача о состоянии электронов в твердом теле в адиабатическом и одноэлектронном приближении сводится к ре- шению системы дифференциальных уравнений (1.13) — (1.15). Однако и в таком виде эта задача остается достаточно сложной. Действительно, как видно из (1.13) — (1.15), в уравнения для волновой функции .s-ro электрона входят волновые функции всех остальных электронов, которые также неизвестны. Поэтому рассматриваемая задача в настоящее время решается приближен- ными методами: методом последовательных приближений или методом теории возмущений. Метод последовательных приближе- ний, хотя и позволяет достичь любой степени точности, но требует большой математической работы. Он обычно используется для расчетов многоэлектронных атомов, а в теории твердого тела при- меняется редко. Ограничимся поэтому кратким изложением лишь сущности метода теории возмущений. Среди электронов твердого тела есть группы, облака кото- рых фф* по-разному локализованы в объеме кристалла; у неко- торых из них эти облака сосредоточены преимущественно в одних областях кристалла, а у других — в иных областях; (например, вблизи ядер атомов, либо, наоборот, в областях между узлами решетки). Будем называть те области кристалла, где в основном локализована большая часть электронных облаков рассматривае- мых электронов, решающими областями для этих электронов. При рассмотрении состояний электронов некоторой группы мето- дами теории возмущений сначала подбирают потенциальную функцию U^> (г) нулевого приближения, удовлетворяющую сле- дующим двум требованиям. Во-первых, для этой потенциальной функции Z7(0) (г) должны быть известны, хотя бы в принципе, решения уравнения Шредингера, т. е. волновые функции ф„ (г) и собственные значения этого уравнения Е'п- Во-вторых, эта по- тенциальная функция должна быть возможно ближе к точной потенциальной функции U (г) в (1.13) в решающих областях про- странства кристалла для рассматриваемых электронов. Естествен- но, что такой подбор потенциальной функции возможно осущест- вить, если учесть лишь некоторые главные, наиболее сильные взаимодействия рассматриваемой группы электронов в кристалле и игнорировать другие, более слабые взаимодействия. Волновые
18 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА |ГЛ. 1 функции фп’ (г) и дают описание состояний данной группы элек- тронов в нулевом приближении. Для описания состояний этих электронов в следующем, первом приближении (учиты- вающем помимо взаимодействий, учтенных в (г), еще неко- торые, более слабые), представляем потенциальную функцию пер- вого приближения (г) в виде Z7(1) (г) = ?7(0) (г) + 8U (г), где 8U (г) и характеризует эти более слабые взаимодействия. При этом если учитываемые в 8U (г) взаимодействия рассматриваемых электронов действительно для них слабые, по сравнению с учтен- ными в ?7(0) (г), то в решающих для этих электронов областях кристалла будет иметь место неравенство 6 U (г) Z7(1) (г). Но в таком случае и решения ф„’ (г) и собственные значения уравнения Шредингера с потенциальной функцией ?7(1) (г) бу- дут мало отличаться от ф„' (г) и Е'п, т. е. ф^1’ (г) = ф„' (г) +' + 6ф„ (г) и Е'п = Е'п + 8Еп, где 6фп (г) < ф™ (г) и дЕ'“' < Е'п - При выполнении этих неравенств нет необходимости ре- шать само уравнение Шредингера с потенциальной функцией ?7(1) (г), а можно рассматривать 8U (г) как малое возмущение си- J стемы, описываемой функцией ?7(0> (г), и найти 6фп (г) и §Еп, а следовательно, ф,( (г) и Е'п, пользуясь методами теории воз- мущений квантовой механики. Эти методы позволяют решить задачу сравнительно легко и хотя дают не совсем точные решения уравнения Шредингера с U (г) = (г), однако с достаточным для практического использования приближением, а главное, правильно описывают многие качественные результаты (мы лишь ими и будем интересоваться), отражающие свойства электронов в кристалле. Существуют три приближенных рассмотрения состояния си- стемы электронов в твердом теле: 1) приближение свободных электронов; 2) приближение слабо-связанных электронов; 3) .приближение сильно-связанных электронов. Чтобы понять физический смысл этих приближений и уточ- нить понятие решающих областей, рассмотрим схематически характер электрического пол'я в решетке твердого тела. Пред- положим, что имеется цепочка атомов, расположенных на рас- стояний а друг от друга. Тогда, если не учитывать влияния сосе- дей, на очень близких расстояниях г от ядер атомов, меньших радиуса /f-оболочек электронов R т. е. при г существует кулоновское электрическое поле, создаваемое полным зарядом Ze2 ядра Ze, так что потенциальная функция этого поля . На расстояниях Z, бблыпих7?к, но меньших RL — радиуса Т-оболо- чек электронов (для простоты все Д-оболочки, а в дальнейшем и
§ 2] ПРИБЛИЖЕНИЕ СВОБОДНЫХ И СВЯЗАННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ 19 Л/-оболочки, объединены), т. е. нри RK<^r <^RL, поле ядра экранируется полем двух электронов, расположенных на /б-обо- тт (Z—2)е2 . лотках, так что U . На расстояниях г, больших RL, но меньших /?м—радиуса 7И-оболочек электронов (для элементов с Z 3s 19), поле оказывается экранированным полем еще восьми гт (Z —10) е3 „ электронов, т. е. и , и т. д. Следовательно, по мере удаления от ядра зависимость U (г) ослабляется. Это ослабление окажется еще большим, если мы учтем влияние со- седних атомов. При учете а ядрами при г = "2 элект- этого обстоятельства в середине между Рис. 2. рическое поле вообще рав- но нулю, так что U = = ^гаах (рис. 2). Приведенные качест- венные рассуждения не изменятся, если от одно- мерной цепочки атомов перейти к объемной ре- шетке. Таким образом, внутри твердого тела име- ются пространственные области, в которых потен- циал меняется резко, и области, где он меняется слабо. При этом области с сильным электрическим полем примыкают к ядрам, и это поле почти такое же, как и поле в изолированных атомах, из которых построен кристалл (т. е. полем, созда- ваемым соседними атомами, в нулевом приближении можно пренебречь). Области же со слабым потенциальным рельефом сосредоточены в пространстве между ядрами. Оценим, в какой доле объема кристалла поле сильное. Будем считать, что оно сильное внутри сферы с радиусом г — 4-,что соответствует объему 4-л' y 0, '15а3. Поскольку элементарная ячейка кристалла имеет объем а3, то оказывается, что она «заполнена» сильным полем лишь примерно на 15%. Следовательно, и во всем кри- сталле на долю областей с сильным полем приходится 15% всего объема. Таким образом, в значительной части объема кристалла
20 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА [ГЛ. I потенциальный рельеф выражен слабо. Поэтому при выборе потен- циальной функции ?7(0) (г) поля в кристалле целесообразно весь его объем схематически разделить на две части: 1. Области со слабым полем, на которые приходится преоб- ладающая часть объема кристалла и для которых потенциальную функцию можно представить в виде U (г) = ил (г) 4 ЫЦг), (2.1) где /7(0) (г) = const (т. е. считать, что в нулевом приближении в кристалле поле положительных ионов компенсировано полем всех остальных электронов, кроме рассматриваемого данного), 6С7 (г) — пространственно-периодическая функция с периодом, равным постоянной решетки. Она учитывает неполную локальную компенсацию поля ионов электронами, т. е. наличие периодич- ности строения кристалла, причем 8U (г) U(0) (г). 2. Области с сильным полем, сосредоточенные вблизи ядер и занимающие незначительную часть объема кристалла, для ко- торых потенциальные функции U (г) вблизи каждого из узлов, находящихся в точках Rk, близки к потенциальным функциям изолированных атомов Ua (г — Rk), так что U (г) = U'0' (г) 4 8U (г), (2.2) причем при г, близких к Rk, имеем (г) = Ua(r — RJ, 8U(r)<Ua(r-Rk). Таким образом, f/(0) = U а учитывает периодически расположен- ные в пространстве атомные потенциальные ямы, но пренебрегает искажениями доля вблизи данного узла решетки полями сосед- них атомов, a 8U — поправочная функция, учитывающая это влияние соседей. Волновые функции электронов твердого тела, обладающих разными энергиями, как указано выше, по-разному локализо- ваны в объеме кристалла. Так, волновые функции наиболее сильно- связанных электронов, т. е. электронов, обладающих наимень- шими энергиями в кристалле, например, волновые функции /^-электронов, относительно велики лишь вблизи ядер и малы уже на небольших по сравнению с постоянной решетки удалениях от них. Электронные облака этих электронов сосредоточены в основном вблизи ядер. Поэтому для описания таких электронов естественно выбрать потенциальную функцию нулевого приближения U:'o> (г) возможно более близкую к истинной функции именно в этих
§ 2] ПРИБЛИЖЕНИЕ СВОБОДНЫХ И СВЯЗАННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ 21 областях кристалла, не стремясь к близости этих функций в остальной области кристалла, т. е. функцию вида (2.2). Прибли- женное рассмотрение состояния системы электронов, исходящее из потенциальной функции вида (2.2), называется приближением сильно-связанных электронов. Волновые функции валентных электронов существенно отли- чаются от нуля на расстояниях, сравнимых с половиной постоян- ной решетки, так что электронные облака этих электронов более равномерно размазаны по объему кристалла. Поэтому, если учесть, что в подавляющей части объема кристалла потенциальный рельеф выражен слабо, для описания состояния этой группы элек- тронов можно воспользоваться потенциальной функцией (г) вида (2.1). Приближенное рассмотрение состояния системы элек- тронов, в котором в качестве потенциальной функции берется выражение (2.1), называется приближением слабо-связанных электронов. Как в приближении сильно-связанных, так и слабо-связан- ных электронов, как видно из самого вида функций (2.2) и (2.1), задачу о виде волновых функций и спектре энергии можно решать методами теории возмущений. Нулевым приближением для случая сильно-связанных электронов являются волновые функции и зна- чения энергии электронов в изолированных атомах, для случая слабо-связанных электронов — волновые функции и значения энергии «свободных» электронов, ибо в этом случае 6Л0) (г) = = const. Приближение «свободных» электронов имеет смысл не только как нулевое приближение для случая слабо-связанных электро- нов, но может быть использовано и как независимое рассмотре- ние, достаточно хорошо описывающее состояние системы электро- нов проводимости в металлах и, в особенности, в щелочных ме- таллах. Электронные облака электронов проводимости наиболее равномерно размазаны по всему кристаллу, так что роль потен- циального рельефа для них наименьшая. Поэтому с достаточной степенью точности для них можно предположить, что в каждой точке внутри кристалла поле положительных ионов решетки скомпенсировано полем всех остальных электронов, кроме рас- сматриваемого, так что на движущийся в кристалле электрон проводимости электрические силы не действуют, и он движется свободно. Лишь на границах тела поле сил работы выхода создает потенциальные пороги. Таким образом, для электронов проводи- мости кусок металла в этом приближении представляет собой «потенциальный ящик с гладким дном». Рассмотрим теперь кратко сведения об энергетических спектрах электронов в твердом теле, вытекающие из приближений свобод- ных, слабо-связанных и сильно-связанных электронов.
22 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА [ГЛ. I 1. Приближение свободных электронов. Теория металлов, в основу которой положена модель «потен- циального ящика с гладким дном», была развита Зоммерфельдом. Состояние электронов в такой системе достаточно полно рассмат- ривается в курсах атомной физики. Поэтому здесь будут приве- дены только некоторые основные результаты этого рассмотрения. Для неограниченного кристалла полные волновые функции свободных электронов представляются плоскими волнами де- Бройля: ¥ (г, /) = С ехр (г •/>)] exp [- Ept] , (2.3) где р — импульс электронов, Ер — энергия электрона, соответ- ствующая этому импульсу. Длина волны Л равна: К = При этом вектор импульса р может принимать любые значения. Век- тор fc=y(|A:| = принято называть волновым вектором элек- трона. Здесь и далее мы будем пользоваться двумя шкалами отсчета энергий электронов. В одной из них за нуль отсчета энергий W принимается энергия электрона проводимости, покоящегося внут- ри тела. Тогда энергии всех других электронов проводимости W, находящихся внутри тела, положительны, т. е. W 0; в част- ности, энергию электрона, покоящегося вне тела, равную высоте потенциального порога на границе тела, обозначим через Wa. Если силы, действующие на электрон, вне тела равны нулю, то энергия покоящегося вне тела электрона всюду равна Wa. При наличии, например, внешнего электрического поля энергия элек- Рис. 3. «свободных» электронов. В трона вне тела зависит от его поло- жения. В этом случае за величину Wa принято брать энергию элект- рона, покоящегося перед поверх- ностью тела, на таком расстоянии от нее, на котором силами элект- рического изображения (см. § 18), действующими со стороны тела, можно пренебрегать (практически на расстоянии IO 4 — 10 5 см). Эта шкала энергий удобна в теории другой шкале энергий Е за нуль при- нимается энергия электрона, покоящегося вне тела перед его поверхностью. Тогда энергии электррнов Е внутри тела могут быть как больше, так и меньше нуля, т. е. Е < 0. Обозначим наименьшую энергию электрона в зоне проводимости в этой шкале энергий через Ег, причем 'Ei 0. При невысоких тем-
§ 2] ПРИБЛИЖЕНИЕ СВОБОДНЫХ И СВЯЗАННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ 23 иературах практически все электроны тела находятся в состоя- ниях с энергиями Е, меньшими нуля (или W Wo) (рис. 3). Очевидно, что Е = W — Wa и W = Е — Е±. В шкале W энергия «свободного» электрона в металле равна кинетической энергии: w- ^р^^^ + ру + р^ т. е. p~y^2mW. (2.4а) Для ограниченного кристалла волновые свойства электронов приводят к квантованию импульса р и энергии W. В случае куби- ческого кристалла объемом L3 эти условия квантования имеют вид /г. /г h / п к \ Рх 2J Ру ~2р Pz ' 2Ь sy, Sz) = ^(^ + ^ + s0, (2.6) где sx, s и sz — любые целые положительные числа. Как видно из формулы (2.6), запрещенные энергетические интервалы между разрешенными уровнями энергии электронов кратны величине Л2 которая для кристалла макроскопического размера оказы- вается очень малой (например, дляЛ = 1 см она равна 4-10 15эе). Таким образом, энергетический спектр электронов проводимости в ограниченном металлическом кристалле является квазинепре- рьгвным. Для ограниченного кристалла при W Wa функции ф (г) быстро убывают, стремясь к нулю за его пределами. Граничные условия исключают решения вида (2.3), а допускают лишь линей- ные комбинации их со значениями рх, ру, pz и —рх, —р —pz соответственно и с одинаковыми коэффициентами суперпозиции С. Согласно представлениям квантовой механики это значит, что в таком суперпонированном состоянии электрон обладает сум- марными компонентами импульса рж = ру = pz = 0. В связи с этим модель ограниченного кристалла не может быть исполь- зована для решения вопроса об электропроводности металлов. Для включения указанной проблемы в рассмотрение в качестве модели твердого тела используется циклический кристалл, для которого обычные граничные условия заменяются так называемым условием периодичности Кармана — Борна: ф(ж, у, z) = ф (z + CjL, y4-C2L, z + CgL), (2.7)
24 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА [ГЛ. I где Cj, С2 и С3 — любые целые числа. Это условие также приводит к квантованию импульса р и энергии W: h h h n. Рх ~ ~ sx’ Ру sy Pz — p,sz’ (2-8) A2 W sy, sz) = (4 + s* + si), (2.9) но теперь sx, s и sz — любые положительные и отрицательные числа. При этом положительным значениям s соответствуют компоненты импульса одного знака, отрицательным — другого. Величины sx, s и sz можно условно рассматривать как компо- ненты векторного квантового числа s; тогда Рз = 4 s’ (240) = = (2.11) Так как к = р/h, для свободных электронов в циклическом кри- сталле к = s/L. Для макроскопического циклического кристалла, так же как и для ограниченного кристалла, спектр энергий электронов ква- 'зинепрерывный. Из (2.8) следует, что концы векторов-импульсов, соответствую- щие возможным квантовым состояниям, образуют в пространстве импульсов кубическую решетку с постоянной решетки, равной h/L, и с объемом элементарного куба h?IL3. Поэтому число dZ'р возможных квантовых состояний, соответствующих интервалу импульсов dpxdpydpz, равно dZp = dsxdsydsz = L~dpxdpydpz. (2.12) Число dZ'w квантовых состояний, соответствующих интер- валу энергий от W до W + dW, учитывая (2.11), определится как число узлов решетки в пространстве импульсов, лежащих в шаро- вом слое, заключенном между сферами радиуса р = (2mW)7 2 и р dp = (2mW)'/2 у ( dW, объем которого 4л/>2 dp = = 2л (2m)3'/w’'/2 dW, т. е. dZ'w = L3 dW. (2.13) Но в каждом квантовом состоянии с данными sx, s и sz по прин- ципу Паули могут находиться два электрона с противоположно ориентированными спинами. Принято говорить, что квантовое со- стояние (sx, s , s2) имеет статистический вес g, равный двум: g = 2.
2] ПРИБЛИЖЕНИЕ СВОБОДНЫХ И СВЯЗАННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ 25 Поэтому число состояний в интервале импульсов dpxdpydp. с учетом спина равно dZp = j^dPxdPydPz’ (2.12а) и в интервале энергий dW dZ = /3 2л (2^ w> и (}W_ (2.13а) Функция dZw/dW называется функцией распределения плот- ности состояний. Электронная теория металлов, основывающаяся на прибли- жении свободных электронов, удовлетворительно объяснила боль- шое количество явлений, наблюдавшихся для металлов. Она была также достаточной теоретической базой и для эмиссионной элек- троники, изучавшей в период создания этой теории в основном эмиссии металлов. Теория свободных электронов учитывает волновые свойства электронов, но не включает в рассмотрение пространствен- но периодическое строение кристалла. 2. Приближение слабо-связанных элект- \ Z ронов. Как было указано выше, приближение слабо-связанных электронов используется для описания состояния валентных элект- ронов в твердом теле, электронные обла- ка которых можно считать распределен- ными по всему объему кристалла. По- тенциальная функция этого приближения Рис. 4. имеет вид (2.1), из чего следует, что в случае слабо-связанных электронов моделью кристалла является «потенциальный ящик с рифленым дном» (одномерная модель такого кристалла схематически изображена на рис. 4). В соответ- ствии с теорией возмущений квантовой механики, волновые функции ф^’ и энергии Е'^ электронов, находящихся в таком сило- вом поле, можно записать в виде фл1' (г) = ф*’ (г) ф- бф/. (г), (2.14) ^’=^’+6^, (2.15) где фй’ (г) — волновые функции нулевого приближения или, что то же самое, приближения свободных электронов, описывае- мые волнами де-Бройля, а ЕЦ: — энергии электронов в нулевом приближении, выражаемые формулой (2.11). Очевидно, что кон- кретный вид функции бфл, (г) и величины 8Ек зависят от конкрет- ного вида пространственно-периодической функции &U (г).
26 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА [ГЛ. I Однако есть один качественный результат расчетов энергетиче- ского спектра электронов, не зависящий от явного вида функции 8U (г), а следующий лишь из ее пространственной периодичности. Оказывается, что поправочная волновая функция 6ф7г (г) и ве- личина 8Ек существенно зависят от величины волнового вектора к. В общем случае <5ф;; ,(г) и бЕк малы п волновые функции ф7- (г) мало отличаются от плоских волн де-Бройля, а значения энергий Ек близки к энергиям свободных электронов, т. е. к величинам дз h- s2 (или, что то же самое, величинам к2). Однако положе- ние резко меняется, когда кости, перпендикулярной волновой вектор к удовлетворяет усло- вию Вульфа — Брегга или близок к нему (для двумерной модели см. рис. 5): = (2.16) где N — единичный вектор нормали к некоторой системе параллельных плоскостей в кристалле, заполнен- ных атомами; d — межплоскостное расстояние для этой системы плос- костей и п — целое число. Очевидно, что концы волновых векторов к, удовлетворяющих (2.16), для каж- дого п п d лежат в одной плос- к вектору N. Будем обозначать волно- вые векторы к, удовлетворяющие условию Брэгга, через АгБр. При к = &бр или близком к нему волновые функции сильно отличаются от плоских волн де-Бройля с волновым вектором &бр. Волны с к — fcgp не могут распространяться и в цикли- ческом кристалле, а образуют только стоячие волны. Аналогично, и значения энергии Ек для kv,v существенно отличаются от ве- личин При этом расчеты показывают, что при приближе- нии к &Бр со стороны меньших к энергии Е'к отклоняются от Ек в сторону меньших значений, тогда как при приближении со сто- роны больших к — в сторону больших значений. В результате оказывается, что при ЛгБр функция Ек' терпит разрыв. Таким образом, наличие периодичности потенциальной функции кри- сталла привело к тому, что функция Ек' стала разрывной функ- цией на некоторых границах в fc-пространстве. Так как s = kL, то и пространство квантовых чисел s разбилось плоскостями, определяемыми (2.16), на области, называемые зонами Бриллю- эна. В пределах каждой из зон Бриллюэна Е (а) есть квазинепре-
ПРИБЛИЖЕНИЕ СВОБОДНЫХ И СВЯЗАННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ 27. рывная функция s, но на границах зон при .s- = зБр, где зБр = = ABpL, эта функция терпит разрыв, т. е. каждой зоне Бриллю- эна соответствует интервал квазиненрерывных разрешенных зна- чении энергии (разрешенная энергетическая зона), а границам зон Бриллюэна — запрещенные, вообще говоря, энергетические интервалы. Таким образом, квазинепрерывный энергетический спектр свободных электронов распадается на запрещенные и квазинепрерывные разрешенные энергетические зоны слабо- связанных электронов. Рассмотрим сначала некоторые особенности энергетического спектра электронов на примере одномерной модели, для которой зависимость E(s) схематически представлена на рис. 6, а, где h2 тонкой линией изображена зависимость (s) = 2mL2 s2 по (2.11). Можно показать (см., например, § 4), что на границах зон производные (dElds) равны нулю, т. е. (dE/ds)rp — 0. Так как функция Е (з) в пределах зон Бриллюэна является монотонно возрастающей функцией, величины Е (згр) суть максимальные или минимальные значения энергий в этих зонах. В § 4 показано, ЧТО для одномерной модели кристалла граничные значения §
28 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА [ГЛ. I оказываются равными srp = ±n-j, где п — любое целое поло- жительное число, а />’ — число ячеек в основной области кристалла L, т. е. F = у (а — постоянная решетки кристалла). Таким образом, как видно из рис. 6, а, зависимость Е (s) для всех значений s в приближении слабо-связанных электронов уже нельзя представить простой формулой вида (2.11). Однако в не- большом интервале значений s около любого значения s в об- ласти непрерывности Е (s) и, в частности, около srp (например, для s srp или s srp) функцию Е (s) можно разложить в ряд Тейлора и ограничиться в нем тремя первыми членами; тогда, учитывая, что =0, получим \ as jrp Е (s) = Е (srp) + А (^)гр (s - Srp)2. (2.17) Выражение (2.11) при srp = 0 и W = Е — Elt считая Е± = Frp, можно также представить в виде, аналогичном (2.17), т. е. £(s)^E(Srp) +^(8-^)2. (2.17а) В обоих случаях (2.17) и (2.17а) зависимость Е (s) — Е (srp) от (s — srp) параболическая. Различие состоит лишь в том, что в (2.17) вместо массы электрона т фигурирует величина т* = . Можно показать, что изменения состояний к- \ ds2) Гр электронов, если 8 srp, под воздействием внешних сил про- исходят так же, как изменения состояний свободных электронов, обладающих не истинной массой их т, а массой т*. Поэтому эта величина получила название эффективной массы электрона в состояниях вблизи той пли иной границы зоны. Эффективная масса электрона т* может быть как меньше, так и больше массы свободного электрона т. От эффективной массы электронов зависит функция распре- деления плотности состояний. Пусть некоторому интервалу зна- чений s от srp до s' у фиксированного края выбранной зоны некото- рого кристалла соответствует по (2.17) интервал энергий ^Ел, равный Но (s' — srp) равно числу состояний AZ в этом интервале энер- гий, т. е.
§ 21 ПРИБЛИЖЕНИЕ СВОБОДНЫХ И СВЯЗАННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ 29 У другого края рассматриваемой зоны либо у границы другой зоны этого же кристалла тому же числу состояний AZ будет соот- ветствовать интервал энергий Д/Д, равный ' Л2 Отсюда ДД1\ . __ Д£2/дг=соп81 ’ (2.18) т. е. данное число состояний у границы зоны занимает тем мень- ший интервал энергий АЕ, чем больше эффективная масса элек- трона у этой границы. Зависимость импульса электрона от квантового числа s, как это доказывается в квантовой механике, имеет вид Lm dE ? h ds' (2.19) Нетрудно видеть, что выражения (2.8) для свободных электро- нов— это частный случай (2.19), если W (s , s , s ) выражается dE формулой '(2.9). Так как на границах зон для одномерного оооо оооо ООО оооо оооо а) . в) о Q о оооо оооо ООО кристалла равны нулю, то на них равны нулю и р. Зависимость р (s) для одномерного кристалла схематически показана на рис. 6,6. Для двумерной модели кристалла и тем более для реального трехмерного Кристалла характер энергетического спектра элек- тронов усложняется. Наиболее интересное качественное различие
30 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА [ГЛ. I по сравнению с одномерной моделью состоит в следующем. В то время как для одномерного кристалла разрешенные зоны энергий, соответствующие соседним зонам Бриллюэна, всегда разделены запрещенными зонами, для двумерного и трехмерного кристаллов они могут перекрываться, и соответствующие запре- щенные интервалы энергий могут отсутствовать. Поясним это на примере двумерного кристалла, в ко- тором состояние электрона определяется двумя кванто- выми числами, sx и sy; прост- ранство квантовых чисел здесь есть плоскость (sx, sy). Границы зон Бриллюэна в этой плоскости, по (2.16), — прямые линии. Положение этих границ, естественно, зависит от строения кри- сталла. Для простого квад- ратного кристалла (рис. 7, а) границы первых трех зон Бриллюэна изображены на рис. 7, б; для квадратного центрированного кристалла (рис. 7, в) границы первых двух зон Бриллюэна показа- ны на рис. 7,0. Рассмотрим энергетический спектр элект- ронов простого квадратного кристалла. На рис. 8, а бук- вами М и т обозначены точ- ки, которым соответствуют максимумы и минимумы энер- гии в первой и второй зонах. 5=0, минимум соответствует середине этой зоны sx = sy = 0, а максимумы — углам зоны. Во второй зоне, состоящей из четырех треугольников, максимумы соответствуют прямым углам треугольников, а минимумы — точ- кам с sx = 0 или sy = 0, примыкающим к границам первой зоны. На рис. 8, б сплошной кривой изображена зависимость Е (s) в пределах первой и второй зон для s5, = 0, т. е. по линии («а) рис. 8, а, штрих-пунктирной и пунктирной кривыми — два воз- можных случая той же зависимости в пределах первой же зоны для sy — 5ГР(, т. е. по линии (бб) рис, 8, а. Штрих-пунктирная
§ 2] ПРИБЛИЖЕНИЕ СВОБОДНЫХ И СВЯЗАННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ 31 линия относится к случаю, когда максимальная энергия в первой зоне меньше минимальной энергии во второй зоне. В этих усло- виях первая и вторая энергетические зоны разделены запрещен- ным интервалом энергий (зоны не перекрываются), как это и по- казано на рис. 8, б. Пунктирная кривая соответствует случаю, когда максимальная энергия в первой зоне (в углу зоны Брил- люэна) больше, чем минимальная энергия во второй зоне. Энерге- тические зоны перекрываются, а запрещенный промежуток энер- гии отсутствует. Найти зависимость Е (sx, sy) для двумерного кристалла для всех значений sx и sy трудно. Однако если ограничиться значе- ниями sx и sy в узком интервале около sXrp и syip, т. е. вблизи границ энергетических зон, то можно и здесь получить приближен- ное выражение для зависимости Е (sx, s), используя разложение функции Е (sx, s ) в ряд Тейлора: Е (*я, Е (s.rp, Syrp) + (sx - ,Чр) у + I / \idE\ г 1 7 v (д2Е\ I + (s!/ S,J^[dsyls +2^ + у °УГр А ' °лГр . 1 , ч ( Л д2Е \ . + -2(sx ЧрЦ dsxdsy)Sx 3,. 1 ••• А У Хгр угр Здесь аналогично случаю одномерного кристалла /дЕ_ \ _ !дЕ\ ___ 0 / д2Е \ __ 0 \3зх/з \dSyls ' \dsxdsy's. s ’ жгр и Угр х у лгр !'гр д-Е д :'дЕ\ дЕ г так как - = , а -9— для границ зоны Бриллюэна (fS^OSy CfS\С>S-у , 6/ равно нулю. Из симметрии кристалла следует, что _ [д2Е^ wsj/'s s \ ds2 s s ’ Л хгр’ Угр и А-гр Угр поэтому Е (sx, sy) = Е (sXrp, Чр) + +4(®,rf[<s-~s'">)4 <г2°) т. е. и в этом случае имеет место параболическая зависимость Е ОТ (*х - М И - 8угр). Наконец, для трехмерного простого кубического кристалла, где энергия Е зависит от трех квантовых чисел sx, sy, sz, для об- ласти их значений, близких к sXrp, хИгр, sZrp, которым соответствуют
32 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА [ГЛ. I наименьшие п наибольшие энергии в данной зоне Бриллюэна, можно показать, что зависимость Е (sx, sy, sz) также выражается формулой, аналогичной (2.20): Е (sx, s„, s,) = Е (sx , s„ , s, ) + V Ж’ i/> ”2/ \ Жгр> “Угр > 7гр/ 1 А2 + 2М ~ V + ^SV ~S^2 + <st — М2Ь * h? (&E\-1 т, - где т 1огда расчеты, подобные тем, которые вели к формуле (2.13), приведут здесь к выражению AZ = g J (2 j т* j)3/21 Е - Егр ЕЕ, (2.21) где g — статистический вес зоны. Из (2.21) видно, что плотность ционально | Е — Егр l1^ в нижней Вис. 10. состояний возрастает пропор- части зоны и убывает пропор- ционально 1 Егр — Е |V« у верхней границы зоны. За- висимость dZIdE от Е в пре- делах простой неперекрытой зоны схематически изобра- жена на рис. 9. Для слож- ных зон, возникших в ре- зультате перекрытия простых зон, вид зависимости (Е) более сложный. На рис. 10 для примера дано графичес- кое изображение функции распределения плотности со- стояний в зависимости от энергии для зоны проводи- мости вольфрама. Таким образом, наиболее важный результат, получаю- щийся из приближения сла- бо-связанных электронов (по сравнению с приближением свободных электронов), вы- текающий из периодического хода функции U (г), сводится к появлению зонной структуры энергетического спектра электронов. 3. Приближение сильно-связанных электронов. Как было указано выше, приближение сильно-связанных электронов при-
§ 2] ПРИБЛИЖЕНИЕ СВОБОДНЫХ И СВЯЗАННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ 33 менимо при рассмотрении состояний электронов твердого тела с наименьшими энергиями, так как их электронные облака лока- лизованы вблизи ядер. Потенциальная функция этого прибли- жения имеет вид (2.2), где за нулевое приближение взяты потен- циальные функции электрона в изолированных атомах. Волно- вые функции электронов около /г-го узла ф(0) (г), т. е. при г Н) , и значения энергии в нулевом приближении поэтому соот- ветствуют волновым функциям электронов (/• — Rk) и зна- чениям их энергии Еа (п, I) в изолированных атомах: = (2-22) если г близко к Rh, а Я'»1 = Еа (п, I), (2.23) где п и I — значения главного и орбитального квантовых чисел, от которых зависит энергия электрона в атоме. Однако между нулевым приближением сильно-связанных электронов в решетке и состояниями электронов в изолированном атоме есть одно су- щественное различие. В последнем случае мы имеем только одну потенциальную яму, тогда как в случае твердого тела эти ямы периодически повторяются в пространстве, вследствие чего об- лако электронов с энергией Еа (и, I) может быть локализовано около любого узла решетки Rk. Это означает, что в кристалле заданному значению Еа (и, I) соответствует число волновых функ- ций, равное т. е. каждый энергетический уровень Еа (п, I) оказывается многократно вырожденным; степень вырождения равна числу атомов решетки В этом случае общее решение уравнения Шредингера, соответствующее данному значению Еа (п> 0 (или, что то же самое, волновая функция нулевого при- ближения для данного Еа (п, I)), является линейной комбина- цией частных решений (г — Rh): Ni (')= л Афо(г-Ял), (2.24) s=i где Ak — произвольно выбранные коэффициенты. Учтем теперь возмущающий потенциал соседних атомов 6 U (г) И рассмотрим результаты решения задачи в первом приближении. В качестве параметра возмущающего потенциала выберем расстоя- ние между соседними атомами а, которое для кристалла равно Достоянной решетки. Очевидно, что чем меньше параметр а, (тем сильнее возмущение. Физически учет 8U (г) при уменьшении а эквивалентен рассмотрению процесса сближения атомов. Расчеты s 2 Л. И. Добрецов, M. В. Гомоюнова
34 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА [ГЛ. I методом теории возмущений квантовой механики приводит к сле- дующим основным выводам. Во-первых, оказывается, что в первом приближении коэффи- циенты Аь в выражении (2.24) взаимно связаны п не могут прини- мать любые значения (см. § 3). Из них можно составить различные наборы этих коэффициентов, которые соответствуют разным волновым функциям ф11’ (г). Число таких наборов, а следова- тельно, и количество различных волновых функции ф(1\г) равно числу атомов решетки Дб, т. е. каждое квантовое состояние элек- трона в изолированном атоме расщепляется в состояний кри- сталла. Но Лд — F3, гдеР — число ячеек в основной области цик- лического кристалла. Каждое состояние в зоне будет определяться тремя квантовыми числами sx, sy, s,, как и в приближении слабо- связанных электронов. В каждой зоне любое из чисел sx, s и sz может принимать F различных значений в пределах от —F12 до + F/2, т. е. всего F3 комбинаций значений sy и sz (для линей- ного кристалла это показано в § 4). Во-вторых, оказывается, что различным волновым функциям первого приближения ф(1) (г) соответствуют различные попра- вочные значения энергии &Е (п, I), т. е. дискретный энергетиче- ский уровень изолированного атома распадается в кристалле на целую систему уровней. Расстояние между расщепленными уров- нями, однако, мало; оно зависит от энергии связи электрона в атоме (эта зависимость тем меньше, чем сильнее связан электрон) и от величины возмущающего потенциала, возрастая с уменьшением а. Схематически распад дискретного 1’11 с. 11. чать теми же символами, что и уровня изолированного атома на систему подуровней в процессе сближения атомов, т. е. при уменьшении а, по- казан на рис. 11. Таким образом, каждому квантовому состоянию изо- лированного атома с дан- ными значениями главного квантового числа п и орби- тального квантового числа I (Z = О для 5-состоянпй, I = 1 для P-состояний и т. д.) в кристалле можно сопоставить зону квазннепрерывных раз- решенных значений энергии. Эти зоны принято обозна- состоянпя в атомах. Так, из [Л’-состояпий в изолированных атомах в кристалле возникают зоны, обозначаемые как 15-зоны, 25-состояния расщепляются
§ 2] ПРИБЛИЖЕНИЕ СВОБОДНЫХ И СВЯЗАННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ 35 в 25-зоны, 2Р-состояния — в 2Р-зоны, и т. д. Разрешенные зоны разделены интервалами запрещенных значений энергии (запре- щенные зоны), ширина которых для сильно-связанных электронов превосходит ширину разрешенных зон. Каждая разрешенная зона имеет своп статистический вес — g. Нод статистическим весом зоны подразумевают число электронов, которые могут занимать некоторое квантовое состояние в данной зоне. Эти веса для той или иной зоны равны статистическим весам квантовых состоянии в изолированных атомах, из которых возникла рассматриваемая зона. Так, в любом состоянии 5-зоны могут находиться два элек- трона с противоположно ориентированными спинами, т. е. стати- стический вес этих зон gs = 2. P-состояния в атомах трехкратно вырождены по магнитному квантовому числу т (т = 0,±1), так что любому значению п и значению I = 1 (без учета спина) соответствуют уже три различных квантовых состояния с совпа- дающей энергией. В связи с этим и каждое из квантовых состояний P-зоны будет тройным. При учете спина элект- рона статистический вес P-зоны окажется равным шести, т. е. gp = 6. Сопоставлять энергетические уровни электронов в изолиро- ванном атоме соответствующим энергетическим зонам в твердом теле в большинстве случаев можно не только для сильно-связан- ных, но и для слабо-связанных электронов. В этом случае, однако, запрещенные зоны могут оказаться малыми или даже совсем ис- чезнуть из-за перекрытия зон. Но, конечно, для валентных электро- нов или электронов проводимости рассмотрение энергетичес- ких зон в приближении сильно-связанных электронов непри- менимо. Если кристалл состоит из атомов разной природы (например, кристаллы NaCl или CaSO4), в зоны расщепляются дискретные уровни всех сортов атомов, причем число квантовых состояний в зоне, возникшей из уровня данного сорта атомов, равно числу этих атомов, входящих в кристалл. В этом случае, кроме наимено- вания уровня, из которого возникла данная зона, принято указы- вать и атом, которому соответствует этот уровень. Так, в щелочпо- галоидных соединениях типа MX основной заполненной зоной является P-зона галоида (РХ-зона), тогда как зоной проводи- мости — 5-зона металла (5М-зона). Таким образом, зонная структура энергетического спектра электронов получается как из приближения слабо-связанных электронов, так и из приближения сильно-связанных электронов. Поэтому можно считать, что она не является следствием тех упрощений, которые были приняты в этих двух совершенно раз- ных приближенных рассмотрениях, и свойственна всем электро- нам твердого тела. 2*
36 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА. [ГЛ. I § 3. Состояние электронов в пространственно-периодическом поле (теорема Блоха) Для определения волновых функции ф электронов твердого тела в адиабатическом одноэлектронном приближении необходимо, как было указано выше, решить систему уравнений Шредингера (1.13), Однако некоторые выводы, касающиеся общего вида вол- новых функцийф, описывающих состояние электронов в кристалле, можно получить и не решая уравнение Шредингера, а исходя только из свойств пространственной периодичности силового поля в кристалле (т. е. функции U (г)) и модели циклического кристалла. Выводы будут относиться как к волновым функциям приближения слабо-связанных электронов, так и к функциям приближения сильно-связанных электронов. Так как все элементарные ячейки кристалла одинаковы, то и распределение плотности электронных облаков в них одина- ково, следовательно, произведение 'Фи'Фь Должно быть прост- ранственно-периодической функцией с периодом, равным периоду решетки. Отсюда следует, что значения самой функции фд в соот- ветственных точках соседних ячеек могут отличаться лишь фазо- вым множителем с модулем, равным единице, например, Фа(х + а, У, z) = exp [itp] фд (х, у, z), (3.1) т. е. замена х на х ф- а изменяет функцию в exp [zqp] раз. Но тогда фд (х 4- па, у, z) == exp [nz<p] фд (х, у, z). (3.2) Если наложить на функцию фд условие цикличности (2.7), то для кубического кристалла, грани которого имеют длину L и содержат F элементарных ячеек на этой длине, будем иметь фд (х + L, у, Z) = фд [х + Fa, у, г] = = ехр [г'Т'ф]фд(х, у, z) = ^h(x, у, z), следовательно, exp [£F<p] = 1, т. е. = 2л$х или <₽ = Т^ (3.3) где sx — любое целое число. Теперь (3.1) примет вид фд (ж + а, у, z) = exp sj фд (х, у, z), т. е. У, 2) = ехр Г—sJ фд (х + а, у, .4.
§ 3] ЭЛЕКТРОНЫ В ПЕРИОДИЧЕСКОМ ПОЛЕ 37 Умножая обе части на ехр Г—имеем L га лГ ехр [— 3'-J 2) = exp J — sx (г. + a)j фА (х -р а, у, z), (3.4) т. е. функция Фл (ж, у, z) exp | — = фл (х, у, z) ехр [— я»ж] есть периодическая функция координаты х с периодом, равным постоянной решетки а. Аналогичными рассуждениями легко прийти к выводу, что выражение Фй У, z) ехр [— 2Я~ (xsx + ysy + zsjj есть периодическая функция всех координат с периодом, равным постоянной решетки. Поэтому для самой функции ф можно на- писать ф(ж, у, z)=f(x, у, z) ехр [2р (xsx + ysy + zsjj (3.5) или ф (r) == / (г) ехр j 2^- (r, .s) |, (3.5а) где s — вектор с компонентами/^, s , sz); здесь / (х, у, z) — про- странственно-периодична, как сказано выше, с периодом, равным постоянной решетки, a sx, s , sz — любые целые числа. Уравнение (3.5а), дающее общий вид волновой функции элек- трона, находящегося в пространственно-периодическом силовом поле, впервые было получено Блохом и утверждение о виде функ- ции ф (г) по (3.5а) часто называют теоремой Блоха, а функцию, стоящую в правой части уравнения (3.5а), — функцией Блоха. Из (3.5а) следует, что искомая волновая функция ф (г) изобра- жается плоскими волнами де-Бройля, амплитуда которых модули- рована множителем / (г) с пространственным периодом, равным периоду решетки. Функцию / (г) можно представить в виде /(г) = Со + С1Ч>(г), где ср (г) — периодическая функция с периодом решетки, причем 0<ф(г)<:1, Со и Сг — постоянные. Для свободных электро- нов Ct — 0; для слабо-связанных электронов Со /> Сг и для сильно- связанных электронов Со С1. Для одномерной модели функции / (х) условно изображены на рис. 12 (кривая 1 — для свободных электронов, кривая 2 — для слабо-связанных электронов, кри- вая 3 — для сильно-связанных электронов).
38 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА [ГЛ. I Определим длину волны Л для электронных волн, описываемых функцией Блоха. Очевидно, что величина Л равна отрезку в на- правлении вектора ,ч, при пере- мещении па который фазовый множитель функции Блоха из- менится на 2л/, т. е. будет иметь место равенство 1/Л,то, учитывая (3.6), для 12лг л I г<, exp As = exp [2лг], откуда A = f. (3.6) При s —F, Л== я; при s<^F получим А ’> а. Например, если s = 1, то Л = L. Так как величина волнового вектора к электронных волн, описывае- мых функцией Блоха, равна ю волнового вектора к получим , 1 к = j,s, т. е. , 1 , 1 , 1 kx=LS*’ ky=LS^ kz=LS^ Вид функции f (х, у, z) зависит от вида функции U (.г, у, z) и может быть найден из уравнения Шредингера. Подставляя в него вместо ф выражение (3.5), получим для / (х, у, z) уравнение вида Л , . 4л/ ' df . df , df\ , + L' дх + sy ду + szFz'; + + [-8^(£-H)-/22(Sj Ч-^+зф = О. (3.7) Задав определенные значения (sx, s , s2), принципиально возможно найти периодические, с периодом решетки, решения Д, /2, и соответствующие им собственные значения энергии Е2, ..., Еп. Для других значений (s(., s'v, sz) соответствующие решения fn и собственные значения Е„ будут иные. Таким образом, состояние электрона и его энергия для заданного периодического поля опре- деляются, во-первых, значениями трех квантовых чисел (sx, sy, sz) и, во-вторых, числом п, которое выбирает конкретный тип решения
§ 4] МОДЕЛЬ КРОНИГЛ — ПЕННИ 39 Еп для разных набо- из группы решений, соответствующих фиксированным значениям квантовых чисел. При этом оказывается, что для макроскопиче- ского кристалла значения Еп и Еп для разных наборов квантовых чисел (sT, s , sz) и (s(, Sy, s'i) различаются между собой мень- ше, чем значения Еп и Еп,г1, соответствующие фиксирован- ным sx, s и s2, т. е. значения энергий ров (sx, sy, s.) группируются в ква- зинепрерывные разрешенные зоны, раз- деленные интервалами запрещенных зна- чений энергий. Различные разрешенные зоны соответствуют различным фик- сированным значениям п (рис. 13). Таким образом, для электрона, на- ходящегося в периодическом силовом поле, волновые функции являются функциями Блоха (3.5), а энергетичес- кий спектр имеет зонную структуру. ------(Sx,Sy,S^7) -------(0,0,0) § 4. Модель Кронига — Пенни В предыдущих параграфах выска- зан ряд утверждений о свойствах вол- новых функций электронов в кристалле, а также об энергетическом спектре электронов, об их импульсах и т. д. Однако это сделано без достаточного вания, гера (1.13) не вскрыта и не чувствуется. (0,0,0) Рис. 13. математического обосно- так что связь этих утверждений с уравнением Шредин- В настоящем параграфе мы постараемся обосновать эти ут- верждения. Чтобы избежать больших математических трудностей,
40 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА [гЛ. I сделаем это для упрощенной схематизированной одномерной мо- дели кристалла. Пусть потенциальная функция частицы U (х) изображается кривой рис. 14, т. е. представляет собой ряд одинаковых прямо- угольных потенциальных ям шириной а, разделенных одинако- выми потенциальными барьерами шириной Ъ и высотой U* (одно- мерная модель кристаллической решетки твердого тела). Здесь с = а Д- b — постоянная решетки. Пусть энергия элек- трона, находящегося в этом поле, меньше высоты потенциальных барьеров между ямами: E<U*. Для частицы, обладающей одной степенью свободы (ось ж), уравнение Шредингера примет вид 2 + = (4.1) Для области 0 <4 х <4 а решение уравнения (4.1), как известно, имеет вид ф (./’) = а ехр [г'Хж] 4~ (J ехр [— г'Хж], (4.2) где % = ~ у2тЁ, h 1 ’ а для области — Ъ <4 х <4 0 будет иметь вид ф (ж) = у ехр [хх] + 6 ехр [— хх], (4.3) где х = у а а, Р, 7 и. S — постоянные коэффициенты. Решения для следующих барьеров и ям имеют, очевидно, тот же вид, с другими лишь, вообще говоря, коэффициентами а', Р', у' и 6'. Например, для а <4 х <4 с ф (') = № ехР [и (х — с)] + ехР [— х (ж — с)]. При этом, по теореме Блоха, коэффициенты у' и 6' могут отли- чаться от у и б лишь множителями ехр [йр], т. е. для а <4 х <4 с ф(ж) = ехр [z<p] {у ехр [х (ж — с)] 4- б ехр [— х (х — с)]}. (4.4) Для области с 4~ а <4 х <4 2с у" = у ехр [2г<р] и б" — б ехр [2i<p] и т. д.
4] МОДЕЛЬ КРОНИТА — ПЕННИ 41 Для неограниченного кристалла вещественное число ср может иметь любое значение. Условия непрерывности функций (4.2) и (4.3) и их производ- ных на общей границе, т. е. при х = 0, дают а Ц- Р = у + ё, (4-5) А (а—р) z (у —д), (4-6) а для функций (4.2) и (4.4) на их общей границе х = а-. а ехр [Ая] ф- р ехр [— Ая] = = ехр [гср] (у ехр [— иЬ] + б ехр [хб]), (4.7) А (аехр [Ая] — Р ехр [— Ая]) = = х ехр [zcp] (у ехр [— хб] — б ехр [хб]). (4.8) Выполнение этих условий, очевидно, обеспечивает непрерыв- ность ф и dtyldx и на всех других границах. Для того чтобы однородная система уравнений (4.5) — (4.8) имела решения для а, Р, у, б, отличные от нуля, определитель си- стемы должен равняться нулю. Это требование приводит к урав- нению: cos Хя + + :'/£ sin 'ДрЪ: = cos ср. (4.9) Так как и Л, и х выражаются через Е, то, задавая различные зна- чения ср и решая (4.9), можно определить Е (ср). Тогда из выраже- ний для X (£’) п х (£’) можно вычислить Л (ср) и X (ср), а следова- тельно, найти ф (я). Однако решение трансцендентного уравне- ния (4.9) достаточно сложно. Для упрощения решения этого уравнения, следуя Кронигу и Пенни, мы рассмотрим предельный случай этой задачи. А именно, будем уменьшать ширину барьеров, устремив ее к нулю (& -> 0), и в то же время увеличивать их высоту, устремив ее к бесконечности (U* —> оо), причем так, чтобы произведение bU* оставалось огра- ниченным и равным постоянной величине, которую мы обозначим Л2 D „—I , т. е. Величина Р характеризует теперь барьеры между ямами. При таком предельном переходе, очевидно, с —> а, х —>-оо,— -> 0:
42 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА [ГЛ. 1 при этом кЬ -> 0 как Ь1'*, так как иЬ == [2т (U* — £)]* ‘Ь -> 2j (2ml *Ь) ;‘А b'J\ следовательно, ехр [хЬ] 4- ехр [ — хЬ) . схр [хЬ]— ехр [—х&] , поэтому х2 — X2 ехр [х&] — ехр [— х&] х , > (хб)2 1 Р ~2хХ 2 > 2/. 'nF Т Та ' Уравнение (4.9) примет более простой вид: Р + cos ка = cos ф. (4.10) Решения этого трансцендентного уравнения можно найти для любого ф графически. Обозначим F (ка) = + cosX« и построим график этой функции (ее вид приведен на рис. 15). При ка = 0 имеем F (0) = Р + 1; при 0 <к | Ка. | л функция F (Ха) убывает, делаясь равной единице при Ха = ± л. При | Ха | ~^> л функция F (Ха) делается меньше минус единицы, до- стигает минимума, далее вновь растет, принимая при Ха = 2л значение F = + 1, затем на некотором участке делается больше единицы и, достигнув максимума, убывает, достигая в точках | Ха | = 2пл значения F (Ха) = + 1; при | Ха | = (2и + 1) л — значения У (Ха) = — 1. Очевидно, что интервалы Ха, примыкаю- щие к Ха = TVn, для которых I F (Ха) | ^> 1, делаются все уже при возрастании [ Ха |, а области, где \F (Ха) | <( 1, — расширяются.
§ 4] МОДЕЛЬ КРОНИГА — ПЕННИ 43 Для нахождения значения Ла, соответствующего некоторому значению числа ф, строим рядом с графиком/1 (Ла) график правой части уравнения (4.10), т. е. cos ф. Задав некоторое значение ф, находим соответствующее значе- ние cos ф. Проведя на высоте у = cos ф прямую, параллельную оси абсцисс, находим точки пересечения ее с графиком F (Ла); абсциссы этих точек и есть корни уравнения, соответствующие данному ф. При этом очевидно, что в тех областях значений Ла, где | F (ка) j Д> 1, корней уравнения нет. Отсюда следует, что для этих значений Ла уравнение (4.1) не имеет решений, непрерывных при всех х и имеющих непрерывную производную, т. е. состояния с соответствующими значениями Л, а следовательно, с соответствую- щими значениями энергии Л2 Е = ^2- 8л2т невозможны. Таким образом, весь интервал значений Л, а следовательно, и энергии Е, распадается на области (зоны) разрешенных и запре- щенных значении Е и Л. Каждому разрешенному значению Е соответствуют два состояния со значениями Л, отличающимися знаком. С возрастанием | Л | ширина разрешенных зон возрастает за счет уменьшения запрещенных. Ширина зон зависит также и от величины Р, характеризующей барьер между ямами. При Р -> оо разрешенные зоны будут су- жаться, а значения энергии для всех состояний зоны будут стре- миться к дискретным значениям, соответствующим Ла = ил, где п = ±1, ±2, ..., т. е. к значениям Л, соответствующим изоли- рованной потенциальной яме. При Р -> 0, наоборот, запрещенные зоны будут исчезать; при этом Ла —> ф и всем значениям ф соответ- ствуют возможные значения Л, т. е. мы перейдем к зоммерфельдов- скому аналогу одномерной модели. Для достаточно сильно связанных электронов (большие Р), для которых разрешенные области значений Ла тесно примы- кают к значениям ил, т. е. могут быть представлены в виде Ла = пл + б (причем б = ' 1), можно найти Е (ф) в явном виде. В уравнении (4.10) при этом можно положить: cos Ла -> (—I)’1, Ланл, вшЛа->(—1)”б. Это эквивалентно замене отрезка кривой F (Ла) (в пределах раз- решенной зоны значений Ла) прямой линией. Решение уравнения (4.10) тогда можно переписать в виде — б~^[1 —(—1)ПСО8ф] (4.11) и Ла — пл ф- б = ил |1 — ~ [1 — (— 1)” cos ф] j.
44 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА [ГЛ. I Наконец, из соотношения 2? = g^^X2, учитывая малость второго члена в выражении для Ха по сравнению с единицей, получим Еп (Ч5) = 8«2m f1 ~~ Р + 7Г (— 1) ‘ cos ф] пли Еп(Ч) = Л + (— l)n2?„cos<p. (4.12) Для циклического линейного кристалла из условий периодич- ности функций ф (ж) (2.7) следует, что ср может иметь лишь ди- скретные значения, т. е. где s — любое целое число, включая нуль, a F — число «ячеек» на длине кристалла, т. е . F = —. Для изменения cos ср во всем диапазоне от +1 до —1 необходимо ф изменять от нуля до л. Для этого квантовое число s должно измениться от нуля до F/2. Число энергетических уровней в каждой разрешенной зоне будет соответствовать числу значений, которые пробегает кван- товое число s. Однако данному значению s из этого интервала соответствуют два различных решения: одно с X О, другое с X 0, т. е. в каждой зоне всего будет F различных квантовых со- стояний (но F/2 энергетических уровней). Учитывая два возможных знака у квантового числа s и сопостав- ляя в каждой зоне состоянию с положительным X положительное s, а отрицательному X — отрицательное s, мы можем любое состоя- ние характеризовать номером энергетической зоны п и квантовым числом s', меняющимся в пределах Такое квантовое число, изменяющееся в указанных пределах в каждой разрешенной зоне, называется приведенным квантовым числом. (Заметим, что в нечетных зонах энергия, как нетрудно видеть из графического решения уравнения (4.10), возрастает с увеличением приведенного квантового числа, а в четных — убы- вает.) Можно, однако, оставить пределы изменения $ от —оо до -фсо, но сопоставлять состояния, соответствующие нижней энер- гетической зоне, примыкающей к Ха = ±л, квантовым числам от —F/2 до + F!2\ для следующей энергетической зоны, примыка- F ющей к Ха = 2л,— квантовым числам в пределах 2 <С | <^F и т. д. В этом случае каждому квантовому числу соответствует одно опре-
§ 4] МОДЕЛЬ КРОНИГА — ПЕННИ 45 деленное состояние из всей совокупности их (а не только в пределах одной зоны). Такие квантовые числа называются свободными квантовыми числами. При Р -> 0 эти свободные квантовые числа, очевидно, переходят в квантовые числа, характеризующие со- стояние свободных электронов в зоммерфельдовской теории. При Р —> со зоны сжимаются в дискретные энергетические уровни изолированной ямы, причем всем значениям квантового числа х в каждой зоне соответствует один и тот же уровень энергии. Зависимость энергии Е и импульса р от квантового числа у в модели Кронига — Пенни уже не будет такой простой, как для свободных электронов. На рис. 6, а схематически изображена зависимость энергии Е от свободного квантового числа s, на рис. 6, в — эта же зависимость, но от приведенного квантового числа s'. Выясним зависимость импульса р от s в модели Кронига — Пенни для состояний, соответствующих границам зон. Так как то, по (2.19), __ Lh . dk Р ds и, следовательно, задача сводится к выяснению зависимости X от s. Из графического решения уравнения (4.10) вытекает, что dA R л -р- может быть вычислено следующим способом: dF (А«) ______ d cos ф d't.a d\a dF Ска) . dtp 2л . ds dAa ’ dAa L ’ dk откуда dk 2л sin ф ds L dF (Aa)’ dAa „ dF (Aa) , л У границы каждой зоны sin m = 0, но —~(J, значит, 1 = 0, \ds тр а тогда \ CIS . rp
46 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА [ГЛ. I и, следовательно, ргр = 0. Заметим, что это же следует из выражения (4.12). Заменим 2л „ dE в нем ф через s и найдем производную -7Г = — (~1) Ptl р sin F s- При 2?-s = пл (границы зон), поэтому имеем Лр ”» L “ °- § 5. Кристаллы с дефектами Зонная теория твердого тела позволяет объяснить различие в электрических свойствах металлов и диэлектриков. Если в кри- сталле данного твердого тела имеется такое количество электро- нов, что в верхней энергетической зоне не все квантовые состояния окажутся ими занятыми, тело будет обладать свойствами металла. Хотя каждый электрон тела и обладает некоторым импульсом, однако в отсутствие электрического поля каждому электрону с определенным значением импульса в кристалле будет соответ- ствовать электрон с противоположным значением его, а вся сово- купность электронов будет обладать импульсом, равным нулю (рис. 16, а). Электрическое поле, в котором сила, действующая на электрон, направлена по положительной оси х, в кристалле вызовет изменение состояний электронов, заставляя их перехо- дить в состояния с большими значениями квантового числа sx. Поэтому число электронов с импульсами в направлении силы воз- растет, а с противоположно направленными — уменьшится, совокупность их будет обладать преимущественным импульсом
§ 5] КРИСТАЛЛЫ С ДЕФЕКТАМИ 47 в направлении электрической силы, и в теле потечет электрический ток (рис. 16, б). Взаимодействие электронов с тепловыми колебаниями ионов решетки твердого тела ограничивает такое «переселение» их в со- стояния с импульсами, направленными в одну сторону, и приво- дит к установлению при каждом значении электрического поля внутри кристалла своего стационарного распределения электронов по состояниям. Мы, однако, не будем здесь рассматривать подробно этот вопрос. Если число электронов в незаряженном твердом теле таково, что они занимают все состояния некоторого числа зон, не оставляя в этих зонах незанятых квантовых состояний, и если от верхнего уровня последней заполненной зоны до нижнего энергетического уровня следующей лежащей выше зоны имеется достаточно ши- рокий запрещенный энергетический интервал, то такое тело будет диэлектриком. Действительно, так как все состояния зоны за- няты электронами (рис. 16, в), то запрет Паули не позволит элек- трическому полю создать асимметрию в распределении электронов по импульсам, т. е. вызвать ток. Если для некоторого твердого тела электрический интервал \Еа между верхними уровнями заполненной зоны (ее называют основной или валентной зоной) и нижними уровнями лежащей выше зоны (ее называют зоной проводимости) небольшой, то при достаточно высокой температуре тепловое движение ионов решетки кристалла может возбудить часть электронов основной зоны и перевести их в состояния, соответствующие зоне проводи- мости. При этих условиях внешнее электрическое поле может создать асимметрию в распределении электронов по состояниям с импульсами, направленными по полю и против него, как для электронов основной зоны, так и зоны проводимости. Тело сде- лается способным проводить электрический ток. Чем выше тем- пература тела, тем большее число электронов будет возбуждено и тем больше будет его электропроводность. Тела, электропровод- ность которых обусловлена тепловым возбуждением электронов из основной зоны в состояния зоны проводимости, называются собственными полупроводниками. Если запрещенный интервал энергий между основной зоной и зоной проводимости велик (АТТд )> кТ), то число электронов, возбуждаемых тепловым движением в зону проводимости, будет ничтожно мало, и тело будет диэлектриком. Конечно, нет резкой качественной границы, отличающей диэлектрики и собственные полупроводники. Идеальный диэлектрик есть лишь предельный случай собственного полупроводника с \ЕЛ -> со. В большинстве случаев, однако, полупроводниковые свойства кристалла связаны не с малостью запрещенного энергетического
48 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА. [ГЛ. I интервала между основной зоной и зоной проводимости, а с нару- шением строгой периодичности строения кристаллической решетки твердого тела. Остановимся на тех видоизменениях зонных энергетических схем веществ, которые связаны с локальными отклонениями хода потенциала в пространстве кристалла от строго периодического. Совершенная пространственная периодичность потенциального рельефа имеет место только в идеальном кристалле. Так как такая структура решетки соответствует минимуму ее полной энергии, она может быть равновесной только при Т = 0 и притом лишь в кристаллах стехиометрического состава. При Т )> 0 часть ионов за счет теплового движения перейдет в междоузлия, по- явятся пустые узлы и междоузельные ионы: строгая периодич- ность расположения узлов решетки нарушится. Равновесная сте- пень беспорядка зависит от температуры кристалла, увеличи- ваясь с ее повышением. Равновесная концентрация дефектов в строении решетки при каждой температуре соответствует мини- муму свободной энергии решетки при этой температуре. Концен- трацию дефектов можно на некоторое время сделать выше её рав- новесного значения при данной температуре Т кристалла, если его нагреть до более высоких температур, а затем быстро охладить и, тем самым «заморозить» дефекты, существовавшие при этих более высоких температурах. Создать избыточные дефекты можно и другими путями, например, деформируя кристалл, бомбарди- руя его ионами и т.д. К появлению дефектов в кристалле при- водит также нарушение его стехиометрического состава, а также замена атомов или ионов вещества кристалла атомами или ионамц чужеродных веществ. Известны три основных типа локальных дефектов: 1) дефекты по Френкелю — междоузельные ионы; 2) дефекты по Шоттки — пустые узлы; 3) замещенные узлы (чужеродные атомы). Так как при образовании дефектов в области их расположения в решетке, вообще говоря, появляются избыточные положительные или отрицательные заряды, дефекты можно также разделить на два класса в зависимости от знака их заряда: 1) электроположи- тельные дефекты; 2) электроотрицательные дефекты. К дефектам 1-го класса относятся: а) замещенные ионы с зарядом Z, находящиеся в узлах ре- шетки вместо ионов основного вещества с зарядом Zo, если Z Zo; б) междоузельные ионы в атомной решетке, если они положительно заряжены; в) междоузельные ионы металлов в ионных кристал- лах; г) пустые металлоидные узлы в ионных кристаллах. К дефектам 2-го класса относятся: а) замещенные ионы при Z Zo; б) пустые узлы в атомных решетках; в) междоузельные ионы металлоида в ионных кристаллах; г) пустые узлы в ионных
§ 5] КРИСТАЛЛЫ С ДЕФЕКТАМИ 49 кристаллах, в которых должны были бы находиться положитель- ные ионы металла. В дальнейшем мы будем в основном рассматривать ионные кристаллы, а именно — щелочно-галоидные соли и окислы ще- лочноземельных металлов (соединения типа МХ). В соединениях указанного типа зоной проводимости является зона, возникающая из уровней валентных электронов металла, т. е. 5М-зона, а основ- ной зоной — либо /’X-зона галоида (в щелочно-галоидных кри- сталлах), либо /’M-зона металла (в окислах щелочноземельных металлов). Рассмотрим стационарные состояния электронов в кристалле с дефектами. Решения уравнения Шредингера для такой системы распадаются на решения двух типов. Во-первых, это будут реше- ния, соответствующие обычным зонным состояниям, описывае- мым функцией ф (г), отличной от нуля во всем объеме кристалла, и которым в циклических кристаллах соответствуют импульсы, вообще говоря, отличные от нуля. Значения энергии для этих состояний образуют зоны, совпадающие с зонами идеальных кристаллов. Число состояний в зонах, образующихся расщепле- нием уровней некоторого сорта атомов, образующих кристалл, равно числу правильно расположенных атомов данного сорта, умноженному на статистический вес этих зон. Во-вторых, будут решения, соответствующие так называемым локальным состояниям, описываемым функциями фл (г), отлич- ными от нуля только вбли- зи дефекта; им соответст- вуют импульсы, равные нулю. Число таких состоя- ний равно количеству де- фектов в кристалле, а значения энергии лежат в области запрещенных для идеального кристалла ин- тервалов энергии. Впро- чем, при большой плот- ности дефектов их энер- гетические уровни могут образовать соответствую- щую примесную зону, в которой импульс электро- нов уже может быть и от- личным от нуля. Энергети- ческие уровни Ел+, соответствующие электроположительным дефек- тами называемые донорными, располагаются ближе к дну зоны проводимости, тогда как энергетические уровни 7?Л-, соответствую-
ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА [ГЛ. I щне электроотрицательным дефектам и называемые акцепторными, находятся ближе к верху основной заполненной зоны (рис. 17). Упомянем еще об одном типе состояний, существующих у ог- раниченных кристаллов, в том числе и у кристаллов, не имеющих дефектов в объеме. Границу кристалла, где кончается простран- ственная периодичность в направлении, перпендикулярном к этой границе (ось а"), можно рассматривать как локализованное по осп х нарушение идеальной периодичности. По аналогии с локальными нарушениями идеальной периодичности, вызываемой дефектами, наличие такого нарушения должно также приводить к появлению дополнительных решений уравнения Шредингера, соответствую- щих неким состояниям, отличным от зонных и от рассмотренных выше локальных состояний. Действительно, как впервые показал И. Е. Тамм, для ограниченной по длине одномерной модели кри- сталла (без дефектов), уравнение Шредингера, помимо зонных решений, соответствующих стоячим волнам, функции ф которых, * вообще говоря, отличны от нуля на протяжении всего ограничен- ного кристалла, имеет еще два дополнительных решения. Волно- вые функции этих решений отличны от нуля лишь вблизи концов кристалла («концевые решения»). «Концевым решениям» соответ- ствуют «концевые состояния» с импульсом, равным нулю. Для трехмерного ограниченного кристалла из уравнения Шредингера вытекает, что, кроме зонных состояний, существуют так называе- мые поверхностные состояния электронов. Для них функции ф также отличны от нуля лишь вблизи границ кристалла. Число различных поверхностных состояний на данной границе равно числу поверхностных атомов на ней. Уровни энергии электронов, находящихся в таких состояниях, могут лежать в области запре- щенных зон энергии. Равной нулю в этих состояниях оказывается компонента импульса, перпендикулярная к поверхности тела; две же другие компоненты не обязательно равны нулям. Это об- стоятельство может обусловить поверхностную проводимость тела, если не все поверхностные состояния заняты электронами. Наличие дефектов в кристаллах приводит к изменению их электрических и оптических свойств. Если в кристалле имеются дефекты только одного сорта, то при Т = 0 донорные уровни заняты электронами, а акцепторные — свободны; основная зона полностью заполнена электронами, а в зоне проводимости элек- тронов нет. При Т J> 0 в кристаллах только с электроположитель- ными дефектами часть электронов с донорных уровней за счет энергии теплового движения решетки будет возбуждена в зону проводимости, и у кристалла появится электронная проводимость. В кристаллах только с электроотрицательными дефектами часть электронов из заполненной зоны также за счет энергии теплового движения решетки возбудится и перейдет на акцепторные уровни;
§ 5] КРИСТАЛЛЫ С ДЕФЕКТАМИ 51 в заполненной зоне появятся свободные, незанятые электронами состояния — дырки, которые обеспечат так называемую дырочную проводимость кристалла. Кристаллы, содержащие, как электроположительные, так и электроотрицательные дефекты (рис. 17) в количестве Ng+ и N при Т I) также, вообще говоря, будут проводящими. При этом их проводимость зависит от различия в количестве де- фектов разных знаков. В таких кристаллах при Т 0 электроны с донорных уровней будут переходить в зону проводимости (пере- ход 7), а электроны заполненной зоны — на акцепторные уровни (переход 2). Но тогда электроны, появившиеся в зоне проводи- мости, могут перейти на свободные уровни в основной зоне и за- полнить дырки (переход S). (Вероятность прямых переходов элек- тронов непосредственно с донорных уровней на акцепторные очень мала.) В результате таких сложных многоэтапных переходов донорные уровни будут освобождаться от электронов, а акцептор- ные — заполняться электронами. Но если N g+ A’g , не все электроны с донорных уровней смогут перейти на акцепторные при заполнении всех акцепторных уровней; (Лтg+ — Ng ) электронов останутся на донорных уровнях, и у кристалла будет электронная проводимость. ПриЛ'б+ Ng — не все акцепторные уровни окажутся занятыми электронами с донорных уровней, и кристалл будет обнаруживать дырочную проводимость. Только при Ng+ = Ng_, т. е. у кристаллов стехиометрического состава, примесной проводимости не будет. Лишь с повышением Т возник- нет собственная проводимость. Однако наличие донорных и акцепторных уровней и в таком кристалле может быть обнаружено но его оптическим свойствам. Щелочно-галоидные кристал- лы, не содержащие дефек- тов, всегда прозрачны для видимого света и не имеют окраски; они поглощают Т свет только в ультрафиоле- g товой части спектра (рис. 18). g При этом первый максимум основного поглощения имеет не фотоэлектрическую при- роду (см. ниже), тогда как следующий за ним второй максимум — фотоэлектрической природы и соответствует пере- ходам электронов из основной воны в зону проводимости: /zvrp для этого поглощения равно В нормальном невозбужденном состоянии кристалла стехио- метрического состава, как указано выше, все донорные уровни
52 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА [ГЛ. I будут свободны. Если облучить такой кристалл фотонами или электронами с энергиями, превосходящими ширину запрещенной зоны, т. е. Д/?з, то это облучение приведет к возбуждению части электронов из основной зоны в зону проводимости (рис. 19, пере- ход 7); из нее электроны Рис. 19. смогут переходить на сво- • бодные донорные уровни (переход 2), а с них, ка- залось бы, на свободные уровни в заполненной зо- не. Однако, оказывается, что вероятность послед- него перехода очень ма- ла. Состояние электрона, находящегося на донорном уровне в таких условиях, является метастабильным. Электрон, захваченный электроположительным де- фектом (в кристаллах окислов и щелочно-гало- идных солей такими де- фектами являются пустые узлы металлоида), называется F-центром. Кристаллы, со- держащие F-центры, обнаруживают оптическое поглощение уже и в некоторой видимой области спектра, т. е. имеют окраску (отсюда обозначение: F-центры, т. е. центры окраски, по-немецки «Farbenzentren»). При таком поглощении света происходит возбуждение электронов F-центров в зону проводи- мости (рис. 19, переход 3) и граничная частота этого поглощения v*p определяется разностью энергетических уровней, соответ- ствующих дну зоны проводимости Е1 и дефекту Ея,т. е. hv*p — ~ Ег — Ел,_ (см. рис. 19). Так как Ег — Ел,г Ех — Е2, то v*p меньше, чем граница поглощения, соответствующая возбуж- дению электронов из основной зоны в зону проводимости, и соот- ветствует видимой части спектра (рис. 18). Кристаллы стехиометрического состава, содержащие F-центры, т. е. те, для которых Ng± = Ng__, постепенно «высвечиваются» и теряют свою окраску, так как электроны F-центров постепенно через зону проводимости возвращаются на вакантные места в основ- ную зону. (Оказывается, что вероятность таких сложных переходов больше вероятности прямого перехода электрона с донорного уровня в основную зону.) Однако можно создать и устойчивую окраску щелочно-галоидных соединений. Такими свойствами об- ладают аддитивно окрашенные кристаллы, т. е. кристаллы, со-
§ 5] КРИСТАЛЛЫ С ДЕФЕКТАМИ 53 держащие избыток атомов щелочного металла или, что то же самое, недостаток атомов галоида, т. е. кристаллы, у которых 7Vg+ ^>Ng . Для получения аддитивно окрашенного щелочно-галоидного кри- сталла достаточно его прогреть в парах соответствующего щелоч- ного металла. В аддитивно окрашенных кристаллах основная зона является полностью заполненной, так что электроны F-центров не могут в нее перейти, поэтому окраска кристалла является устойчивой. Пустой металлоидный узел, захвативший электрон, т. е. /•'-центр, есть нейтральное образование. Схематически его всегда можно рассматривать как отрицательный ион галоида, замещен- ный электроном. Но электрон и электроположительный пустой металлоидный узел являются системой, аналогичной атому водо- рода. Основное различие между этими двумя системами, как это следует из несколько схематического и приближенного рассмот- рения, состоит в том, что атом водорода находится в пустоте, а F-центр — в диэлектрической среде с диэлектрической постоян- ной D. Поэтому потенциальная функция в области кристалла около электроположительного дефекта будет равна e2IDr, а не еЧг, как в атоме водорода. Вследствие этого размеры электронных облаков в F-центре будут в D раз больше, чем в атоме водорода, а энергия, требующаяся для возбуждения электрона из F-центра в зону проводимости, в D2 раз меньше энергии ионизации атома водорода. Большая протяженность электронных облаков F-цент- ров в кристалле по сравнению с электронными облаками в атомах, приводит к следующему явлению: расщепление дискретных уров- ней энергии электрона изолированных F-центров в энергетическую зону происходит при больших расстояниях между соседними F-центрами по сравнению с расщеплением в зоны атомных уровней. Мы рассмотрели лишь один тип центров окраски в щелочно- галоидных соединениях. В действительности помимо этого типа в них могут существовать и центры иной природы [573]. В адиабатическом приближении ионы предполагаются непод- вижными. Благодаря этому, как уже упоминалось в § 1, из рас- смотрения выпадают вопросы, связанные с обратным влиянием распределения плотности электронных облаков в решетке на со- стояние этой решетки. При рассмотрении некоторых вопросов таким влиянием пренебречь нельзя и учет его позволяет объяс- нить некоторые на первый взгляд противоречивые эксперимен- тальные факты. В частности, оказывается, что энергия по- глощенная кристаллом в момент локализации зонного электрона в дефекте, например, при переходе электрона на этот уровень из заполненной зоны, не равна энергии образования F-центра (AFr). Опыт показывает, что AFZ Д> AFr (рис. 20). Дело в том, что при наличии в решетке пустого металлоидного узла вблизи
54 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА [ГЛ. I Рис. 20. © 0 © 0 © 0 О © © © 0 © © © ® © © © © © © О © © © © © © о '© © 0 © © © © © © 0 © © Рис. 21. дефекта появляется избыточный положительный заряд, который локально деформирует решетку: соседние положительные ноны несколько удаляются от дефекта, тогда как отрицательные ионы, наоборот, приближаются к дефекту (рис. 21). При переходе элек- трона из зоны на уровень дефекта проис- ходит изменение пространственного рас- пределения электронного облака этого электрона, которое локализуется вблизи дефекта. Избыточный положительный за- ряд дефекта нейтрализуется отрицатель- ным электронным облаком локализовав- шегося электрона, а деформированная решетка должна вновь перестроиться. Однако процесс релаксации решетки про- текает гораздо медленнее, чем электрон- ный переход (принцип Франка — Кон- дона). Поэтому локализация электрона происходит в деформированной еще решетке и требует затраты энергии Д£; (энергия оптического перехода) большей, чем раз- ность энергий равновесной решетки с пустым металлоидным уз- лом и равновесной же («релаксировавшей»). При термодинами- ческом рассмотрении электронного перехода фигурирует разность указанных выше двух равновесных систем АЕТ, и она будет меньше &Et © на величину, равную разности энергий © деформированной и равновесной ре- шеток вблизи дефекта при наличии в © нем электрона. ® Остановимся несколько подробнее на ‘природе первой полосы собствен- © ного поглощения щелочно-галоидных © кристаллов. С точки зрения зонной тео- рии поглощение 'света идеальным крис- © таллом возможно при энергии кван- тов hv ДДз и должно приводить к •появлению электрона в зоне проводимости и дырки в заполнен- ной зоне, что должно сопровождаться появлением фотопроводи- мости. Во многих случаях, действительно, поглощение света при- водит к появлению фотопроводимости. Однако в случае щелочно- галоидных соединений при оптическом поглощении, соответствую- щем первой полосе, проводимость в кристаллах не наблюдается. В течение довольно длительного периода это явление не подда- валось объяснению. Оно было дано Я. И. Френкелем, который связал поглощение в области первой полосы с появлением в кри- сталле экситонов — неких возбужденных состояний кристалла,
§ Ы КРИСТАЛЛЫ С ДЕФЕКТАМИ . 55 понимание природы которых лежит вне рамок зонной теории. Экситон — это нейтральное образование из связанных друг с другом электрона и дырки; при этом, в отличие от зонных состояний, электрон даже в отсутствие дефектов оказывается ло- кализованным внутри кристалла в поле положительно заряженной дырки, а дырка — в поле отрицательно заряженного электрона. Система электрон — дырка образует нечто вроде атома водорода. Распад экситона с переходом в зонные состояния (электрона — в зону проводимости, а дырки — в основную зону) можно рассмат- ривать как ионизацию экситона, т. е. этот распад требует дополни- тельной затраты энергии. Поэтому энергия, необходимая для образования экситона, меньше ширины запрещенной зоны. Экси- тоны способны двигаться по кристаллу и, следовательно,переносить энергию, затраченную на их образование. Движение экситонов не сопровождается переносом какого-либо заряда и, следова- тельно, не может приводить к появлению электропроводности кристалла. Экситон — образование метастабильное. Если он подой- дет к F-центру, то он может разрушиться (электрон и дырка «анни- гилируют») и передать свою энергию электрону F-центра, возбу- див его в зону проводимости. Разрушение экситонов может проис- ходить и на границе кристалла. Вне рамок зонной теории находится также понятие о плаз- монах. Зонная теория, как было указано в § 1, основана, в част- ности, на одноэлектронном приближении. Упрощение, составляю- щее это приближение, касается характера взаимодействия элек- тронов друг с другом. Считается, что действие, которое оказывают на данный рассматриваемый электрон системы все остальные электроны этой же системы, можно усреднить. В результате многоэлектронная задача о движении электрона в поле других электронов сводится к одноэлектронной задаче движения этого электрона в некотором внешнем по отношению к нему усреднен- ном поле других электронов. Такая замена исключает из рассмот- рения любые корреляции в движениях электронов. Между тем. так как кулоновские силы являются дальнодействующими, и, собственно говоря, каждый из электронов системы взаимодей- ствует одновременно со всеми остальными ее электронами, эти корреляционные эффекты при рассмотрении некоторых вопросов могут быть существенны. Теория, описывающая состояние электронов проводимости в металлах с учетом корреляционных взаимодействий, была раз- вита в 1952—1953 гг. в работах Бома и Пайпса [2]. В качестве модели твердого тела в работах [2] использована система, состоя- щая из однородно распределенного положительного заряда ион- ного остатка, в поле которого находится свободный вырожденный электронный газ. Было показано, что кулоновские взаимодействия
56 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА [ГЛ. I электронов друг с другом условно могут быть заменены двумя видами взаимодействий: 1) парными взаимодействиями электро- нов друг с другом, подчиняющимися экранированному кулонов- скому закону; область их действия порядка 1 А, и 2) дальнодейст- вующими коллективными взаимодействиями электронного газа, приводящими к появлению организованных движений. Эти дви- жения сводятся к колебаниям системы электронов с определенной характеристической частотой v . Они аналогичны колебаниям электронов в ионно-электроннои плазме и называются плазмен- ными колебаниями. Частота плазменных колебаний в простейшем случае определяется соотношением _ 1 / 4лпе2 \ ‘/г VP 2л \ т ) ’ где п — концентрация электронного газа. Энергия плазменных колебаний, называемая плазмоном, равна hvp. Возбуждение плаз- монов, в противоположность обычным одноэлектронным пере- ходам, представляет собой энергетический переход системы элек- тронов, при котором каждый из электронов принимает лишь малую долю энергии возбуждения. Таким образом, учет корре- ляционных взаимодействий приводит к появлению в энергети- ческом спектре системы электронов наряду с уровнями, соответ- ствующими состояниям отдельных электронов, уровня, отвечаю- щего коллективному возбуждению электронов. Величины плазмонов в разных металлах заключены в интер- вале примерно от 3 до 30 эв. Следовательно, плазменные колеба- ния не могут быть возбуждены за счет тепловой энергии решетки. Кроме того, для каждого металла максимальная энергия электро- нов проводимости также всегда меньше kvp. Поэтому для возбуж- дения плазмонов в металлах требуется сообщить энергию элек- тронному газу извне. В частности, в теории показано, что плаз- менные колебания может возбудить быстрых! электрон, вошедший в металл и движущийся в нем. Любые столкновения, испытывае- мые электронами, совершающими коллективные колебания, при- водят к затуханию этих колебаний. Сначала теория плазменных колебаний была развита примени- тельно к металлам. В дальнейшем ее представления были распро- странены на полупроводники и диэлектрики. § 6. Распределение электронов по энергиям в твердом теле (металлы) В предыдущих параграфах был рассмотрен вопрос о возмож- ных состояниях электронов в твердом теле и об их энергетических спектрах. При построении электронной теории твердого тела тре- буется определить, какое число dN электронов в теле находится
§ б] распределение электронов По Энергиям в металлах S7 в квантовых состояниях, соответствующих некоторому интервалу энергий dE, иначе говоря, надо найти закон распределения элек- тронов по энергиям. Функция f (Е) = характеризующая это распределение, определяется, во-первых, функцией распределения плотности состояний dZIdE и, во-вторых, вероятностью w (Е) заполнения квантового состояния с энергией Е электроном: Функция w(E) — зависит от свойств частиц, образующих систему. Системы тождественных частиц согласно квантовой меха- нике подчиняются принципу неразличимости; для частиц со спи- ном, равным £ (фермионы), в частности для электронов, из этого принципа вытекает принцип Паули. При температуре Т ~ 0 равновесным распределением любых частиц является распределение, соответствующее минимуму пол- ной энергии. Для фермионов это условие будет выполнено, если ими будут заняты квантовые состояния, соответствующие самым низким энергетическим уровням; число этих состояний Z, оче- видно, равно N. При Т 2> 0 равновесное состояние соответствует минимуму свободной энергии. Для системы фермионов это условие удовлет- воряется, если вероятность w (Е) равна w = dz ~ ехр|~мг~] + 1 где Ео — так называемый электрохимический потенциал системы (часто его называют также уровнем электрохимического потен- циала или уровнем Ферми). Величина Ео для системы электронов в некотором теле, взятая с обратным знаком, называется также работой выхода этого тела и обозначается через х или е<р, т. е. —Eq ~ X — еФ- Формулу (6.2) принято называть формулой Ферми. Из (6.1), учитывая (6.2), получим г / Г,>\ 1 (1Z .г, г, , " dE [Е-Ео] , . dE' (6’3) exp^^j + 1 Распределение электронов по энергиям, даваемое формулой (6.3), называется распределением Ферми. Для того чтобы написать формулу этого распределения в явном виде, требуется знать электрохимический потенциал системы Ей и закон распределения
58 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА [ГЛ. 1 плотности состояний электронов dZIdE. Электрохимический потен- циал Ео вычисляется из условия нормировки: = 7V, (6-4) где N — полное число электронов системы. Найдем закон распределения электронов по энергиям для металлов в приближении свободных электронов. В этом прибли- жении, как было указано в § 2, удобно пользоваться шкалой энер- гий W, в которой за нуль отсчета принимается энергия электрона, покоящегося внутри тела. Обозначим в этой шкале энергий уро- вень электрохимического потенциала через И\ (очевидно, что ра- бота выхода еср в этой шкале энергий будет равна Wa — Ж4). Подставляя в (6.3) выражение (2.13а), определим число элек- тронов dNw, энергия которых заключена в пределах от Ж до Ж + <7Ж: dNw = i3 4л (2т)’,/2 Ж*/2 dW ехр J+1 (6-5) Аналогично подстановка (2.12а) в (6.3) определяет число электро- нов dNр, концы векторов импульсов которых заключены в интер- валах dpx, dpy, dpz около значений рх, ру, рр. dN.^- 2IZ dpxdpydpz hi ехр ! (6.6) где Ж (рх, ру, р.) дается формулой (2.4). Вычислим, исходя из условия нормировки (6.4), величину Ж,. Практически это нетрудно сделать в двух крайних случаях — невырожденного или сильно вырожденного электронного газа. Газ называется невырожденным, если количество электронов dN, приходящееся на любой энергетический интервал, существен- ный при интегрировании в (6.4), много меньше числа возможных состояний dZ, приходящихся на этот же интервал dW, т. е.: dN^pdZ. (6-7) Газ называется сильно вырожденным,, если хотя бы в некотором интервале значений Ж имеем dN^dZ. (6.8) Из (6.5) очевидно, что если (6.8) выполняется для некоторого значения Ж*, то оно имеет место во всем интервале Ж, меньших Ж*, вплоть до Ж = 0.
§ 6] РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ЭЛЕКТРОНОВ ПО ЭНЕРГИЯМ В МЕТАЛЛАХ 59 1. Невырожденный газ. Неравенство (6.7) выполняется, когда экспоненциальный член в знаменателе (6.5) или (6.6) при всех W намного превосходит единицу. При этом единицей в знаменателе (6.5) или (6.6) можно пренебречь, и распределение Ферми пере- ходит в распределение Максвелла: = ~ ехр | ^ | • ехр| — ^W',!dW. (6.9) Подстановка (6.9) в (6.4) после соответствующих математических преобразований дает схр |~ 8] i (2nm47,)3'2’ (бл°) TV где п = j-j— концентрация электронов. Из (6.10) получаем w. = ~ кТ In . (6.11) Согласно (6.11) W{ почти линейно меняется с температурой. Из (6.10) видно, что первое слагаемое в знаменателе (6.5) будет велико по сравнению с единицей для газа с данными п и m (т. е. этот газ будет невырожден) при достаточно высоких темпе- ратурах. 2. Сильно вырожденный газ. Газ будет сильно вырожден, очевидно, при достаточно низких для данного газа температурах Т. Введем понятие критической температуры вырождения Тс, равной Гс = ф. (6.12) Тогда условие сильного вырождения принимает вид Т<ГС. (6.13) В этом случае подынтегральное выражение (6.4) можно разложить в ряд по (четным) степеням малого параметра 77Тс и, соответ- ственно, определить ИТ в виде степенного ряда от Т!ТС, т. е. / \2 / \ 4 ИТ (П = Ито + а I f } + b ( j + • • Первый член разложения, соответствующий нулевой степени Т!ТС, определяет, очевидно, зна- чение ИТ = Wi0 при Т — 0. Его легко найти, полагая в (6.4) с самого начала Т =.0. При этом оказывается, что dN = dZ при W N ИТ0 и. dN = 0 при W 7> ИТ0, т. е. электроны зани- мают все состояния с энергиями от W = 0 до И'Т0 и нет ни одного электрона с более высокими энергиями. Тогда, учитывая, что dN ~ dZ\v, подставляя в (6.4) выражение для
60 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА [ГЛ. I clZw по (2.13а) и интегрируя от 0 до В7;о, после ряда математи- ческих преобразований определим число электронов N в виде 2 (2mTPi0)3/2 откуда ’° 2т\8л/ (6.14) Если Т У> 0 (но, по-прежнему, Т Тс), то при вычислении (6.4) следует учесть члены, пропорциональные степеням Т!ТС. Можно показать, что во втором приближении будем иметь гч ГГ W 10 где Тс = -к~, т. е. у, Л2 /Зп\г/з с 2тк \8nJ (6.15) (6.16) Из (6.16) следует, что Тс зависит от концентрации частиц, воз- растая при ее увеличении, и от массы частиц, возрастая при ее уменьшении. Обычные атомные и молекулярные газы из-за большой массы частиц даже при больших сжатиях и практически достижимых низких температурах ничтожно вырождены. Так, самый легкий газ из атомных частиц — протонный газ, для которого т = == 1,7 -10 21з, в состоянии сильного сжатия, когда п = 3 -1021 см 3, имеет Тс 1° Для всех остальных газов из атомных частиц температуры вырождения будут еще ниже. Для электронного газа в металле наблюдается существенно иная картина: ввиду громадной плотности его (и 1022 с.и 3) и малой массы электрона (т = 9 -10"28 г) критическая температура вырождения Тс здесь порядка 70 000° К, т. е. при всех доступных опыту температурах электронный газ сильно вырожден. Формула (6.15) определяет температурную зависимость Wt. Подставляя в (6.15) температуру вырождения электронного газа 7’,; «а 70 000° К и, к примеру, Т = 2500° К, получим Wi lVi0 (1—10 3), т. е. для вырожденного газа, в отличие от невырожденного, практически от температуры не зависит: (6.17) На рис. 22 и 23 приведены зависимости w (И7) и (II7) при Т = 0 (сплошные линии) и при Т )> 0 (пунктирные линии).
§ 6] РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ЭЛЕКТРОНОВ 110 ЭНЕРГИЯМ В МЕТАЛЛАХ 61 Отступление кривых, соответствующих Т 0, от кривых для Т ~ 0, наблюдается только в интервале энергий порядка несколь- ких к Г вблизи W 1У;о. Ру Рф В пространстве импульсов состояния электронов, в которых они находятся при Т = 0, соответствуют значениям векторов импульсов, лежащих лишь внутри сфе- ры Ферми с радиусом рф = (2mWi0)'/2 (рис. 24). Заметим, что при учете про- странственно-периодического потенциала в кристалле поверхности равной энер- гии W = const уже не будут в прост- ранстве импульсов сферами. В том числе и поверхность, соответствующая W = Wj0 \ / / Рх (поверхность Ферми), не будет сфери- \ / ческой, а будет иметь более сложную У форму. У -------- Из (6.3) и (6.4) нетрудно показать, что Рг зависимость^ (71) определяется ходом кри- рпс 24. вой распределения плотности состояний в интервале нескольких кТ вблизи границы Ферми (см. е ,, [ dZ\ \ dWi ( dZ\ , ,, § 27). Если >0, то -,^ <0, а при -==4 <0, наоборот, 0; при этом тем больше, чем сильнее ме- няется с W. Так, для закона распределения плот- \dl7/w^w_ ности состояний 1Т1/2 ^^<(0 (см. (6.15)), так как 0, dWi а величина ~~ для вырожденного газа мала потому, что при (к 4
62 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА [ГЛ. I IF, )> кТ величина в интервале нескольких кТ изменяется ‘ - dW г мало (рис. 2.’i). Рассмотрим вопрос о теплоемкости электронного газа. Пол- ная тепловая энергия Q газа определяется соотношением (6.18) т. е. О N- 0 и пои Т --= 0. Ппи где dNw имеет прежнее значение (6.5). Аналогично (6.4) интегри- рование (6.18) легко произвести при Т Тс и при Т <^ТС. В первом случае получится обычное «классическое» значение Qh = ^NkT, i'iQh = 0 при Т =0; теплоемкость газа в этом случае равна Ск = | Nk. Во вто- ром случае, полагая, как и при вычислении (6.14), Т = 0, легко найдем W- у го Qt^0- \wdZw=3 NWi0, (6.19) T 0 (но Т < Тс) можно полу- / т \2 чить с точностью до членов порядка ( уГ) следующее выражение, которое мы, аналогично (6.15), приводим здесь без вывода; 2= |^0[1+5я2(^2 Теплоемкость вырожденного газа равна C-d*-C М (6.19а) (6.20) 2) т и гораздо меньше ее «классического» значения ~2 Л'&, если 1. Зависимость Q от Т иллюстрирует график рис. 26. В отличие от электронного газа, рассматриваемого классиче- ской электронной теорией, для сильно вырожденного газа и тепло- емкость его С, и энергия Q при данной температуре неодинаковы в разных металлах (так как и, а следовательно, по (6.16), и крити- ческие температуры вырождения Тс в разных металлах различны). Поэтому при протекании тока через контакт двух металлов та часть электронного газа, которая перетекает из металла, гдо его
§ 6] РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ЭЛЕКТРОНОВ ПО ЭНЕРГИЯМ В МЕТАЛЛ\х 63 энергия Q* при данной температуре больше, в металл, где энергия при той же 71 меньше, должна отдать избыток энергии решетке вто- рого металла. При обратном направлении тока перетекший элек- тронный газ отнимет энергию от решетки металла. Таким образом при протекании электрического тока через контакт двух металлов энергия в зависимости от направ- ления тока будет либо отниматься от решетки, либо передаваться ре- шетке металла, что вызовет ее охлаждение или нагревание (эф- фект Пельтье), причем этот эффект не связан с существованием ка- кого-либо скачка потенциала на Q границе. (] р 7 Вычислим количество «свобод- pi|(> ных» электронов падаю- щих на квадратный сантиметр плоской поверхности металла из- нутри его за 1 сек, с компонентами импульса по нормали (ось х) к этой поверхности, лежащими в пределах от рх до рх — dpx. Число электронов, находящихся в 1 см3 и обладающих любыми компонентами импульса ри и pz, но имеющих рх, лежащие в пре- делах dpx, будет, как следует из (6.6), равно dnp Выполняя интегрирование и обозначая Wx = р'х- найдем (6-21) Число же электронов, падающих на 1 см2 за 1 сек с этим значе- нием энергии Wx, будет dv = vxdnP —' 'г dn . (622) Рх х 1'х \ т ; 1 ' dvPx kT In р --- ехр [— 'Л (6'23) Формулу (6.23) можно упростить в двух случаях. Во при IV{ — Wx кТ единицей в скобках по сравнению со
64 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА [ГЛ. 1 членом можно пренебречь. Тогда в первом приближении получим d^Px = ^^i~Wx)dWx. (6-24> Формула (6.24) совершенно точна лишь при 7 = 0. Во-вторых, при Wx — W} )> кТ, учитывая малость второго члена в скобках в (6.23) по сравнению с Wx О И7 для 7' )> 0 приподнята единицей и пользуясь приближенной формулой In (1 — а) «« а, справедли- вой для а ) 1, находим dv„ = УХ 4лткТ хр IVX — Wi кТ dWx. (6.25) График зависимости от Их дан на рис. 27. То, что кривая в области над прямой (6.24), следует из рассмотрения последующих членов разложения ln{l+exp[- при ИТ— Wx^kT. § 7. Распределение электронов по энергиям в твердом теле (полупроводники и диэлектрики) Формулы (6.1) — (6.4) предыдущего параграфа справедливы, очевидно, для любого твердого тела. Определим, пользуясь ими, уровень электрохимического потенциала в полупроводниках. Общее выражение для него довольно сложно. Величина Еъ за- висит от природы основной зоны и зоны проводимости (5-зоны, 7-зоны), от плотности дефектов па, от положения уровней нижней границы зоны проводимости Ег, верхней границы основной зоны Е% и локальных уровней Ел, а также и от температуры Т. Рассмотрим величину Ео в некоторых частных случаях для собственного, донорного и акцепторного полупроводников. Собственный полупроводник: «л == 0. При Т — 0 в собствен- ном полупроводнике электроны полностью заполняют все состоя- ния основной зоны, т. е. при Е :Е2 w = 1; в зоне проводимости нет ни одного электрона, т. е. w = 0 при Е Ег\ отсюда, по (6.2), Е2 Ео \ Ev Ограничимся рассмотрением случая, когда Ег — Е2 > кТ.
§ 71 РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ПО ЭНЕРГИЯМ (ПОЛУПРОВОДН. И ДИЭЛЕКТР.) 65 Уровень электрохимического потенциала определяется из условия постоянства числа электронов в нейтральном кристалле, выраженного уравнением (6.4). В случае собственного полупро- водника это условие при любой температуре Т сводится к равен- ству числа электронов N 1р, находящихся в состояниях зоны про- водимости, и числа дырок в основной зоне A'2g, т- е- числа элек- тронов, ушедших из этой зоны. Переходы электронов из одних состояний с энергией Е' в другие, с энергией Е" Е’, тем вероят- нее, чем меньше разность Е” — Е', если принцип Паули не запре- щает такие переходы. Поэтому при Ех — Е2*^> кТ из основной зоны в зону проводимости преимущественно уйдут электроны с энергетических уровней, лежащих вблизи верхней границы запол- ненной зоны. Энергетические уровни, на которые перейдут эти электроны, в зоне проводимости главным образом будут находиться вблизи нижней границы зоны проводимости. Выражения для плотности электронных состояний вблизи границ зон по (2.21) имеют вид dZE = g g (2 | m* С E - ETp l)’A dE, (7.1) где g — статистический вес рассматриваемой зоны, m* — эффектив- ная масса электронов вблизи края зоны. Обозначим число состоя- ний в интервале энергий dE и эффективные массы электронов у верхней границы заполненной зоны и нижней границы зоны проводимости через dZE , dZE и m*, m*, а статистические веса этих зон — через gt и g2 соответственно. Тогда из (7.1) имеем dZEi = L3 (Е — Ej'’ dE, (7.2) dZE, = £3 (Еъ ~ Е)1,г dE. (7.3) Число электронов, находящихся в состояниях некоторого ин- тервала энергий dE вблизи дна зоны проводимости, согласно (6.3) и (7.2) будет равно: (2 J шГ 1)% • (7.4) ехР|.~лГХ] + 1 Если Ег — E2g^ кТ, а Е2 Ео EY и уровень Ео не находится в непосредственной близости от границ зон Ег и Е., (это апосте- риори будет показано результатом вывода выражения Ео для рас- сматриваемого случая), то Ej —• Elt )> кТ и, тем более, Е — E,t к'Г. Тогда в (7.4) можно пренебречь единицей в знаменателе. 3 Л. H. Добрецов. М. В. Гомоюнова
66 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА [ГЛ. I Полное число электронов во всех состояниях зоны проводимости поэтому можно представить в виде А\е = g (2 (т* |)3/г {Е - Ej'< ехр [- dE = И, _ г з„ (2л j т* | кТ) ' | Ей Ev -Egl ехр | Строго говоря, интегрирование следовало вести лишь до верха зоны проводимости, а не до бесконечности. Однако, вследствие быстрого убывания экспоненциального множителя под интегра- лом с ростом Е, такое расширение верхнего предела интегрирова- ния не приводит к ощутимой ошибке. По той же причине невелика погрешность, происходящая от использования формулы (7.1), справедливой лишь вблизи границ зон. Число электронов, ушедших из состояний некоторого интер- вала энергий dE вблизи верхней границы основной зоны, исполь- зуя (6.3), можно представить в виде dNtg = dZ2 — dN.z = = dZ2/1------- I exp Из Eo — T?2 кТ (а тогда тем более для любых Е в основной зоне Ео — Е кТ) следует, что первым членом в знаменателе можно пренебречь по сравнению с единицей. Учитывая это, используя для dZ2 выражение (7.3) и интегрируя по всем состояниям основ- ной зоны, найдем для полного числа электронов 7V2g, ушедших из состояний основной зоны, выражение АЧ. = ^5(21$ (£,--.E/''-«p|4gA]<iB== Приравнивая 2Vle и 7V2g, находим gi (2 I mf |)3/г exp == (2 | m* exp |, откуда получается: + (7.5)
§ 7] РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ПО ЭНЕРГИЯМ (ПОЛУПРОВОДН. И ДИЭЛЕКТР.) 67 В (7.5) второй член справа почти всегда значительно меньше пер- вого, поэтому уровень электрохимического потенциала для соб- ственного полупроводника лежит приблизительно посередине запре- щенной зоны (рис. 28). Отсюда и следует правильность сделанного выше предположения о том, что Ео не находится в непосредствен- ной близости от Ег и Е2. Как было упомянуто в § 5, диэлект- рики можно рассматривать как полупроводники с широкой запре- щенной зоной. Поэтому выраже- ние (7.5) относится также и к ним. Вычислим положение уровня электрохимического потенциала Рис. 28. Рис. 29. и распределение по энергиям электронов, находящихся в зоне проводимости, для донорного (электронного) полупроводника, в котором концентрация дефектов равна пл. Сделаем ряд упрощаю- щих предположений. Во-первых, мы будем полагать пл не завися- щей от температуры. Во-вторых, будем предполагать, что число электронов Nle, перешедших с уровней доноров в зону проводи- мости, мало по сравнению с чи- слом доноров naL3. В-третьих, примем, что переходы в зону проводимости из основной зоны в рассматриваемых условиях от- сутствуют (т. е. Ег — К2 кТ', обозначения см. на рис. 29). При этих предположениях для любого интервала энергий в зоне проводимости число занятых элек- тронами состояний dNle составляет малую часть всех состояний этого интервала dZr, т. е. (7-6) Для числа электронов на уровнях доноров Ел по (6.3) имеем 7УЛ ехр (7-7) 3
68 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕР ДОГО ТЕЛА [ГЛ. I По нашему предположению, число электронов, перешедших в зону проводимости, ;VIP — плБ3 — Д'д значительно меньше n:iL'A. Со- гу?________________________________________________у? т гласно (7.7) это условие будет выполнено, если ехр — °2^ 1 т. е. если Ел <) Ео и притом Ех — Ео )> 7с?’. Тогда (7.7) мает вид прини- -- 0'1 (7-8) (7-9) ' 1 (7.10) expj-^-J). Число электронов в зоне проводимости Nle будет равно F dZ*. 1р 5 г я — т0 £i охр Тт- Подставляя сюда для dZB его выражение (7.3) и на основании (7.6) пренебрегая единицей в знаменателе подынтегрального выраже- ния в (7.9), найдем Nip = L3 £ (2л I иг» | кТ)г/’ exp | - Но Nle 4~ Na = n„L3; это равенство, учитывая (7.8) и (7.10), можно переписать в виде 8±(2п I тГ | А-Т)я/2 exp f- Определяя отсюда Ео, найдем Ео = E1 ~ In-rfL (2л! mt | кТ)’\ 0 2 2 Л3пп' 121 ' El - Е01 = пл exp Ел " Ео кТ (7.И) В (7.11), так же как и в (7.5), второй член справа в большинстве случаев гораздо меньше первого, так что уровень электрохимиче- ского потенциала в донорном полупроводнике лежит приблизи- тельно посередине между дном зоны проводимости и донорными уровнями (рис. 29). Подставляя (7.11) в (7.10) для Nle, получим Nlp = IPg (2л I mt | AT)371 exp [- . (7.12) Отсюда для концентрации электронов проводимости nlg имеем nit. = (2л , mt! kE)3/i Пл'г exp • (7.12а) Электропроводность а электронного полупроводника про- порциональна числу электронов в зоне проводимости. Поэтому
§ 7] РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ПО ЭНЕРГИЯМ (ПОЛУПРОВОДН И ДИЭЛЕКТР.) 69 для полупроводника, для которого выполняются перечисленные выше предположения, эта величина будет возрастать с повыше- нием его температуры по уравнению г ДЕ 1 о = о0ехр| — з~], (7.13) здесь о0 — медленно изменяющаяся с температурой по сравне- нию с экспоненциальным членом величина, а ЛЕЛ = Ех — Ел. Отсюда 1пс?1нс?0—(7.14) т. е. измерив электропроводность как функцию температуры и построив график In о = / {^-1, можно определить энергетический интервал между локальными уровнями Ел и дном зоны проводи- мости Е}. Подставляя (7.11) в (6.3) и отбрасывая из условия -^^<^1 единицу в знаменателе по сравнению с экспоненциальным членом, учитывая (7.10) и (7.1), найдем закон распределения по энергиям электронов в зоне проводимости: = Nle (кТ)~г'г .< '"2 ехр | № — ^i) 2 или, заменяя Е — Ег через W, имеем ^1е = 7У1е(^)-’/2л-1/гехр (7.15) т. е. максвелловское распределение электронов по энергиям W. Напомним, что Nlp в (7.15) не постоянно, но зависит от темпера- туры по (7.12). Итак, ту часть электронов, которая находится в состояниях, соответствующих зоне проводимости, можно рассматривать как газ, подчиняющийся статистике Максвелла — Больцмана, т. е. как классический газ. При этом, однако, следует помнить, во- первых, что истинная масса электрона заменена эффективной массой (влияние наличия периодического потенциала решетки), во-вторых, что выполняется условие Последнее нера- венство имеет место, когда мало число электронов, перешедших в зону проводимости как из основной зоны, так и с уровней де- фектов (т. е. Ео — Ея кТ и пй пл). При невыполнении не- dJVie равенства 1 газ в зоне проводимости будет уже вырож-
70 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА [ГЛ. I денным. В этом случае тело иногда называют не полупроводником, а полуметаллом. При достаточно высокой температуре, когда почти все электроны с локальных уровней перейдут в зону проводимости Основная зона Рис. 30. Рис. 31. (Агл < плЬ3). и начнется переход электронов из основной зоны, уровень электрохимического потенциала Ео будет понижаться, стремясь к значению, определяемому выражением (7.5). На рис. 30 изображены графики изменения уровня электрохимического по- тенциала, в зависимости от темпе- ратуры, у донорного полупровод- ника для трех различных кон- центраций доноров пл (пл = 1017, 1018 и 1019 слГ3) и при условии, что Е± — Ео = 0,2 эе; Ег — Ег = = 1,2 эв; т* = т* и = g2 = 2. Обратим внимание на то, что Ео при Т = const повышается при увеличении концентрации дефэк- тов. Например, для случая, иллюстрируемого рис. 30, при Т = 1000° К Ео повышается на 0,3 эв при возрастании плотности дефектов от 1017 до 1019 см~3. Можно показать, подобно тому как это было сделано в случае донорного полупроводника, что в акцепторном (дырочном) полу- проводнике уровень электрохимического потенциала при не очень высоких температурах лежит примерно посередине между акцец-
§ 8] КОНТАКТНАЯ РАЗНОСТЬ ПОТЕНЦИАЛОВ 71 торными уровнями и верхним краем заполненной зоны (рис. 31). С ростом температуры он повышается и при достаточно высоких температурах, так же как и в донорном полупроводнике, прибли- жается к значению, определяемому формулой (7.5). § 8. Контактная разность потенциалов Рассмотрим состояние системы электронов в двух различных телах, находящихся в электрическом контакте. Пока тела были изолированы друг от друга, электроны каящого из них представ- ляли отдельные системы, а уровни электрохимических по- тенциалов их Е01 и Е02 имели значения, определяемые свой- ствами каждого тела в отдель- ности. Если при этом оба тела были электрически нейтральны (заряды q{ и q2 равны 0), то во всем внешнем пространстве электрическое поле S равня- лось нулю и полная энергия покоящегося вне тел электрона всюду была одинакова (рис. 32, а). На рис. 32, б изображена схема энергетических состоя- ний электронов для двух ме- таллов. Обозначим величины —Е01 и —Ео2 через вфг и еф2. При этом почти все уровни энергии с Е - (еф1 -I- fkT) в первом металле и с Е — (еф2 fkT) во втором (здесь f — небольшое положительное число) заняты электронами, а уровни с Е )>- — (сф! — fkT) в первом ме- талле и с Е — (еф2 — fkT) во втором — не заняты. Таким образом, электроны металла (1) с боль- шей работой выхода ефх находятся на уровнях энергии, кото- рые в металле (2) с меньшей работой выхода еф2 заняты элект- ронами этого металла. В металле же (2) есть и электроны на уровнях энергии, свободных в металле (1). На рис. 33, в дана аналогичная энергетическая диаграмма для двух нейтральных электронных полупроводников (1) и (2) с рабо- тами выхода ефх = — Е01 и еф2 = — Е02. Здесь в полупровод-
72 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА [ГЛ. I нике (I) с большей работой выхода ефх в зоне проводимости есть электроны с энергиями, с которыми они в полупроводнике (2) существовать не могут, а в полупроводнике (2) в зоне проводи- а) ff) Металл -метам ej Металл-лалр/равадшт Рис. 33. мости есть электроны с энер- гиями, с которыми они мо- гут существовать также и в полупроводнике (7); в полу- проводнике (7) эти уровни не заняты электронами. На рис. 32, г дана аналогичная энергетическая диаграмма для случая металл (с рабо- той выхода еф3) и полупро- водник (с работой выхода еф2). Если два рассматривае- мые тела привести в элект- рический контакт, например, соединив их проводником, то электроны тела (2) с мень- шей работой выхода е<р2 бу- дут частично переходить с уровней Е )> — e<p2 на соот- ветствующие свободные уров- ни в тело (7); тело (7) ста- нет заряжаться отрицатель- но, а тело (2)—положитель- но. При этом между поверх- ностями тел возникнет элект- рическое поле S -+ 0 (см. рис. 33, а, где показаны линии сил, действующих на электрон, а не силовые ли- нии!). Энергия покоящегося электрона у поверхности тела (7) будет повышаться по сравнению с энергией элект- рона, покоящегося на беско- нечности, а у поверхности положительно заряженного тела (2) — понижаться. Так как разность энергий электрона, покоя- щегося у поверхности тела, и уровня электрохимического потенциа- ла — еф при этом не будет изменяться, то уровень Z?01 будет также по- вышаться, а уровень Т?02 — понижаться, т. е. эти уровни будут сближаться. Казалось бы, что изменение концентрации электро-
J 8] КОНТАКТНАЯ РАЗНОСТЬ ПОТЕНЦИАЛОВ 73 нов п из-за перераспределения их между телами может сдвигать и уровни Ео относительно уровня электрона, покоящегося у по- верхности вне тела, так как по (6.14) Ео (или И\о) зависят от кон- центрации п электронов в теле. Однако эти сдвиги для макроскопи- ческих тел исчезающе малы. Покажем это на примере шарообраз- ного тела радиусом R. Для того чтобы зарядить его до потенциала V, ему надо сообщить заряд q = RV, т. е. изменить число электро- q RV нов в нем на величину, равную у = —, где е — заряд электрона. Концентрация электронов в теле при этом изменится на Ап = = | л/?3 = Например, для тела с R = 1 см при V = = 1 в (так как работа выхода различных тел меняется в пределах нескольких эв; см. § 17) величина Ап окажется равной 2 НО8 см~3, что составляет ничтожно малую долю от концентрации электро- нов в незаряженных телах (например, в металлах n = 1022 см 3, а в полупроводниках обычно nle Д> 1013 си-3). Переход электронов из тела с меньшей работой выхода сф2 в тело с большей ес^ будет происходить до тех пор, пока уровни электрохимических потенциалов Е01 и Е02 не сравняются, как это изображено на рис. 33, б, е и г. При этом уровни энергии незаня- тые, частично занятые и полностью занятые в одном теле ока- жутся лежащими на той же высоте, что и соответствующие уровни энергии во втором теле. Вероятности w (/:') нахождения электрона - г I' [Е— ЕГ) I , И-1 в некотором состоянии с энергией Е, равные (ехр —1 + 11 , станут одинаковыми в обоих телах, так как для всей системы элек- тронов обоих тел будет один общий уровень электрохимического потенциала Ео. Установится контактное равновесие в этой единой системе электронов обоих тел. Это условие контактного равнове- сия имеет место для контакта любых двух тел. Время установле- ния этого равновесия зависит от электропроводности тел. Для идеальных диэлектриков оно равно бесконечности. При этом между любой точкой над поверхностью одного тела (7) и любой точкой над поверхностью другого тела (2) будет су- (2) ществовать разность потенциалов S (г) dr (здесь S (г) — век- СО тор напряженности электрического поля контактной разности потенциалов в точке г пространства между телами), равная раз- ности их работ выхода и называемая контактной разностью потен- циалов: Уврп : Ф1 — фа- Следовательно, даже в отсутствие внеш- ней разности потенциалов (Кн = 0) в состоянии равновесия между поверхностями двух проводников существует «внутренняя» раз- ность потенциалов Vs = УВрп (если <pj # <р2).
74 ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕОРИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА [ГЛ. 1 В равновесной системе перераспределившиеся электроны соз- дадут заряды противоположных знаков на поверхностях провод- ников (1) и (2), как показано на рис. 33, а. При этом, в соответ- ствии с теоремой Гаусса, поверхностная плотность заряда (rs) некоторого элемента ds поверхности проводника будет связана с напряженностью электрического поля контактной разности по- Рис. 34. тенциалов у этого элемента (rs) соотношением (^) = (rs) (8.1) (если проводники находятся в вакууме), где rs — радиус- вектор точки на поверхности тела. При изменении рас- стояния между телами на- пряженность поля контакт- ной разности потенциалов в пространстве (г) и у по- верхности проводников (rs) будет также меняться, так (2) как интеграл S (г) dr дол- (!) жен оставаться постоянным и равным Г1;рп = цд — ф2. Поэтому по (8.1) и Щ (rs) а, следовательно, и полный за- ряд каждого тела д. = = щ (rs) ds будут при этом 8 изменяться. Следовательно, количество электронов у, перешедшее из одного тела в другое для достижения контактного равновесия, будет зависеть от их вза- имного расположения и от их формы. Если между проводниками от некоторого источника э. д. с. приложена еще и внешняя разность потенциалов VH 0 (рис. 34, «), то полная внутренняя разность потенциалов Гв равна сумме внеш- ней и контактной разности потенциалов; Гв - - К --!- Екрц. (8.2) Напряженность поля (г) в некоторой точке пространства, создаваемая этими проводниками, будет пропорциональна полной внутренней разности потенциалов: например, в плоском конденса- та у J- у 7 УЭ Й Н 1 крп торе с расстоянием d между пластинами & — -j- =--------.
§ 8] КОНТАКТНАЯ РАЗНОСТЬ ПОТЕНЦИАЛОВ 75- Нетрудно заметить, что FH и Н1(рп будут одного знака, если источник FH присоединен плюсом к телу с меньшей, а минусом — к телу с большей работой выхода. При противоположной полярно- сти Пн и FIipn имеют разные знаки. В частности, если j FH | = I FKpn I, то в последнем случае VB = 0, и электрическое поле в простран- стве, окружающем тела, отсутствует. Таким образом, распределе- ния электронов по энергетическим уровням, изображенные на рис. 32, могут оставаться равновесными распределениями даже и при контакте тел, но лишь при наличии внешней разности потен- циалов соответствующей полярности. В общем случае равновесным распределением электронов в двух проводниках, к которым приложена внешняя разность потенциа- лов Fn, будет такое, при котором уровень электрохимического потенциала Е02 в теле, присоединенном к минусу источника FH, расположен на еУн выше, чем уровень Е01 в теле, присоединенном к положительному полюсу источника FH, как это схематически показано на рис. 34, б. Поле контактной разности потенциалов существует не только между поверхностями разных тел с различными работами выхода, но и между частями поверхности одного и того же тела, если эти части обладают неодинаковыми работами выхода. Линии сил, действующих на электроны, начинаются над областями с большими работами выхода — е<ртах, а оканчиваются над областями с мень- шими работами выхода—e<pmin- Поэтому силы поля контактной разности потенциалов, действующие на электроны, направлены к поверхности тела там, где ф = фт;п, и от поверхности там, где ф = фшах- Таким образом, поверхность проводящего тела в состоянии равновесия не представляет собой эквипотенциальной поверхности, если работа выхода неодинакова по всей этой поверхности. Области поверхности тела с той или иной работой выхода на- зывают «пятнами», а всю поверхность — пятнистой. Поле, обус- ловленное контактной разностью потенциалов между пятнами, называют «полем пятен».
ГЛАВА II ОБЪЕМНЫЕ ЗАРЯДЫ И ДВИЖЕНИЕ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ В ВАКУУМЕ § 9. Закон «трех вторых» Рассмотрим закономерности прохождения потоков заряжен- ных частиц (электронов или ионов) между электродами простей- шей двухэлектродной вакуумной системы: эмиттер — коллектор. Состояния заряженных частиц в какой-либо системе опреде- ляются их взаимодействиями. При движении заряженных частиц в вакууме такими взаимодействиями являются, во-первых, ку- лоновские взаимодействия их друг с другом и, во-вторых, взаимо- действия их с внешними электрическими или магнитными полями. Специфические квантовомеханические взаимодействия, например, учитываемые принципом Паули, практически никакой роли не играют из-за малых концентраций частиц в межэлектродном пространстве диода. Волновые свойства частиц здесь также можно не учитывать, так как изменения потенциалов в полях, имеющих место в межэлектродных промежутках на отрезках протяжен- ностью в длину де-бройлевской волны, очень малы. Рассмотрение закономерностей движения заряженных частиц мы проведем на примере термоэлектронов. Однако все получен- ные выводы будут применимы и к анализу движения ионов с те- пловыми начальными скоростями. В последнем случае вследствие значительно большей массы ионов по сравнению с массой электро- нов при тех же полях в межэлектродном пространстве скорость движения ионов значительно меньше, а поэтому объемная плот- ность заряда при равных плотностях электронного и ионного тока значительно больше в случае ионов, чем в случае электронов. Начнем с рассмотрения качественной картины движения электронов. Предположим вначале для простоты, что система состоит из электрически соединенных плоских эмиттера (катода) и коллектора (анода). Направим ось х перпендикулярно к пло- скостям катода и анода, а оси у и z параллельно им и поместим
ЗАКОН «ТРЕХ ВТОРЫХ» 77 § 9] начало координат в плоскости катода. Расстояние между катодом и анодом обозначим через d. Пусть протяженность электродов в направлении осей у и z много больше d. Ясно, что все физические величины для этого случая зависят только от одной переменной ад т. е. рассматривается одномерная задача. Распределение по составляющей гя0 начальной скорости вдоль оси х для.термоэлектронов подчиняется закону Максвелла (см. § 20): = а' ехр [— vx0 dvx0, (9.1) где dv — количество электронов, проходящих через единицу по- верхности катода, с составляющей скорости по оси г, лежащей в интервале от vx0 до vx0 -J- dvx0; а — постоянная, т — масса электрона, к — постоянная Больцмана, Т — абсолютная темпе- ратура. Обозначим часть начальной кинетической энергии, свя- занную с компонентой скорости по оси х, через И д0: l'\o- (9-2) Тогда из (9.1) имеем rfv = aexp[-^plPx0, (9.3) где а — константа, равная а'!т. Из (9.3) легко получить среднее значение величины Жя0 в потоке; Wx0 = кТ. (9.4) Например, при Т = 1000°К 1Тд0 — 0,085 эв, т. е. И\о малы и со- ставляют сотые или десятые доли эв. Это позволит в дальнейшем при приближенной! рассмотрении задачи положить И’г0 = 0. В случае электронов будем отсчитывать потенциалы от потен- циала катода. Тогда наружная разность потенциалов Бн просто будет равна анодному потенциалу F Положим, что внешняя раз- ность потенциалов VH ’ такова, что внутренняя разность потенциалов Ув равна пулю (но ток, протекающий через диод, не равен, вообще говоря, нулю). В этом разделе током с анода мы будем пренебрегать. Объемный заряд индуцирует на катоде и на аноде положительные поверхностные заряды с равными плотно- стями ооК и aoV на которых начинаются силовые линии электриче- ского поля, создаваемого в межэлектродном пространстве движу- щимися электронами. Так как эти силовые линии кончаются на отрицательных зарядах в разных точках объема (рис. 35), густота силовых линий, а следовательно, и абсолютная величина напря- женности электрического поля наибольшими будут у катода
78 ОБЪЕМНЫЕ ЗАРЯДЫ И ДВИЖЕНИЕ ЧАСТИЦ В ВАКУУМЕ [ГЛ. II и анода. При этом с?0 (0) )> 0, тогда как (с/) 0. Так как (х) — непрерывная функция, она проходит через нуль при не- котором значении х ~ хт. Но тогда при х — хт имеется минимум потенциала V (хт) = Vm, а у потенциаль- ной энергии электрона eV (х) — максимум (рис. 36). Таким образом, электроны, движу- щиеся в межэлектродном пространстве, создают потенциальный барьер, который со своей стороны влияет на их движе- ние. Очевидно, что если у эмитируемого электрона eVm, то такой электрон не сможет преодолеть этот барьер. При )> eVm электрон преодолеет задержи- вающее поле и достигнет анода. Таким образом, лишь часть электронов, эмити- достигнет анода. Обозначим плотность этого соответ- прохождению через диод всех термоэлектронов + + Рис. 35. руемых катодом, тока, протекающего через диод, /, а плотность тока, ствующего эмитируемых катодом, через /8 (со- кращенно будем называть / током диода, a js — током насыщения или током эмиссии катода). При Ув = О имеем / js. Отметим, что наличие минимума потенциала в промежутке катод — анод является характерным свойством поля объемного заряда р (х); оно сохраняется и при Ув 0. В случае Vs 0 напряженность & (х) и потенциал Т(ж) электри- ческого поля в межэлектродном пространстве складываются из на пряженности <^р (х) и потенциала Fp(a;) поля объемных зарядов и на- пряженности ~ и потенциа- V ла VB (х) = х поля внутренней разности потенциалов Рис. 36. В —• кв = -- V д + Ткрп; т- (я) = (х) + (.г) - ~в, (9.5) V (•') - Vf (х) + VB (х) V (г) + х. (9.6)
§ 9] ЗАКОН «ТРЕХ ВТОРЫХ» 79 Для каждого значения VB установится свое поле объемных зарядов 7р (х). Если ®9В << 0, то знаки и <ав у катода противоположны, тогда как у анода одинаковы. Поэтому даже в случае поля е?в, ускоряющего электроны от катода к аноду, напряженность ре- зультирующего поля у катода <о (0) может быть отрицательна, равна нулю или положительна. Рассмотрим режимы работы диода во всех этих трех случаях. 1) (0) 0 и, следовательно, учитывая (9.5), (0) — <ов = V = . Так как <^р (х) наибольшая у катода, то во всем межэлек- тродном пространстве <о (х) 0, так что всюду между катодом и анодом на электроны действует только ускоряющее поле. Резуль- тирующая кривая eV (х) максимума не имеет. Схематически вид зависимостей б’р (х), <9В (х) и (ж), а также eVp (х), eVB (х) и eV (х) показан на рис. 37, а и б. Очевидно, что при <о (0) 0 через диод 6') Рис. 37. протекает ток /, равный току насыщения катода. Будем называть этот режим режимом тока насыщения. 2) <о (0) 0. Это означает, что <^р (0) — <^в = VB/d. Так как по мере удаления от катода (х) уменьшается и проходит через нуль, кривая S’ (х) также будет проходить через нуль, а зависи- мость eV (х) — иметь максимум eVm (рис. 38, а и б). В этом случае анода достигнут только те электроны, энергии Wx0 которых достаточны для того, чтобы преодолеть потенциаль- ный барьер; через диод протекает ток /, меньший /s. Такой режим работы (/ /3) будем называть режимом ограничения тока объем- ным зарядом.
80 ОБЪЕМНЫЕ ЗАРЯДЫ И ДВИЖЕНИЕ ЧАСТИЦ В ВАКУУМЕ [ГЛ. 11 3) $ (0) = 0. Это означает, что <8 при всех ж > 0 напряженность поля (0) ==— - V-Jd. Тогда е (х) <Г 0. Кривая eV (х) Рис. 38. имеет максимум лишь при х = 0 (рис. 39, а и б). При этом / = fs. Очевидно, что режим тока насыщения в данном диоде наблюдается при больших Ив, чем режим ограничения тока объемным зарядом. Рис. 39. В последнем режиме очевидно, что чем ниже Ув, тем меньше / по сравнению с Случай ® (0) = 0, соответствующий некото- рому значению VB = Кв, разделяет указанные две области Тв.
5 9] ЗАКОН «ТРЕХ ВТОРЫХ) 81 Хотя при этом / = js, чтобы отличить этот режим от режима, при котором (о"(0) 0, будем его называть переходным. Из приведенных качественных рассуждений вытекает, что вольт-амперная характеристика диода — / (FB) — имеет вид, схе- матически показанный на рис. 40. Если изобразить вольт-амперную характеристику такого же диода, откладывая по оси абсцисс анод- ное напряжение F , то лишь в случае фд = <рк, т. е. Екрп = 0, она совпадает с характеристикой рис. 40. При фд фк характе- ристика сместится на величину Икрп = I фк — ФАI влево, если фд < фк, и сместится вправо на ту же величину, если фд фк (рис. 41). Рис. 40. Отметим, что если пренебречь начальными энергиями электро- нов и положить их равными нулю, режим ограничения тока объем- ным зарядом, в отличие от рассмотренного выше, может иметь Рис. 42. место только при <%’ (0) = 0. Правда, в этом случае остается не- ясным вопрос о механизме запирания части тока насыщения. Очевидно, что вычисление конкретного вида зависимости / (FB) в режиме ограничения тока объемным зарядом и значения FB для данного диода требует количественного рассмотрения электри- ческого поля в нем, создаваемого как объемным зарядом р (г), так и разностью потенциалов FB. Перейдем к решению этой задачи. Выпишем сначала необходимые соотношения в общем виде. Пусть катод и анод имеют произвольную форму. Начало отсчета выберем в некоторой точке О (рис. 42). Тогда исходными соотно- шениями будут следующие.
82 ОБЪЕМНЫЕ ЗАРЯДЫ И ДВИЖЕНИЕ ЧАСТИЦ В ВАКУУМЕ [ГД. ц 1. Уравнение Пуассона, связывающее потенциал электриче- ского поля с плотностью объемных зарядов: Д V (г) = —4лр (г). (9.7) 2. Уравнение, связывающее элементарную плотность тока dj, создаваемую в некоторой точке пространства группой электронов, имеющей в этой точке скорость vi; со скоростью vt и плотностью объемного заряда dp^ создаваемого этой группой электронов: ' dJ (r) = vt (г) dpi (г). (9.8) Очевидно, что Р (г) = $ (/Pi (г) (9-9) И j(r) = \vi(r)dPi(r), (9.10) где интегрирование надо провести по всем группам электронов, проходящих через точку г. 3. Закон сохранения энергии A mvj (г) = —mvfg - eV (г), (9.11) где z’i0 — начальная скорость электрона. В общем виде выражение для электрического поля в диоде не найдено. Задача решена для некоторых частных, наиболее простых и в то же время представляющих наибольший практический ин- терес, случаев. Во-первых, задача решена для электронов нуле- вых начальных энергий в случаях плоской, цилиндрической и сферической. конфигураций электродов и, во-вторых, для элек- тронов с максвелловским распределением скоростей в случае плоских электродов. Прежде всего рассмотрим те упрощения уравнений (9.7) — (9.11), которые следуют из пренебрежения начальными энергиями электронов. Из предположения vi0 = 0 вытекает равенство энер- гий всех электронов, движущихся в точке г и одинаковость на- правлений их движения. Вынося одинаковое для всех электронов значение скоростей vi (г) из-под интеграла в (9.10) и отбрасывая у mvlo в (9.11), получим АВ (г) = — 4лр (г), (9.12) j(r) = р(г)р(г), (9.13) ym«2(r) = —eV (г). (9.14)
5 9] ЗАКОН «ТРЕХ ВТОРЫХ» При этом векторное равенство (9.13) можно привести к скаляр- ному: р(г) = -Д- (9.15) в котором для того, чтобы получить правильный знак р (г), необходимо иметь в виду, что для электронов (или отрицательных ионов) j и v имеют разные знаки, тогда как для положительных ионов — одинаковые знаки. Учитывая (9.15) и (9.14), получим (9-16) --по |_ тп ' ] Тогда, подставляя в (9.12) значение р (г), согласно (9.16), имеем Для удобства решения перейдем в уравнении (9.17) к абсолютным значениям входящих в него величин, которые обозначим так: /' = |/|, е' = |е|, F'(r) = |F(r)|. Тогда в случае е </ 0 имеем 2 =—ё, V = V', AV = AV' и /=—/', и уравнение (9.17) перепишется в виде А V (г) = —. (9.18) -У(Г) /2 [ т ] Аналогичным образом для е /> 0 получим е = е', V = — V, AV = — A V и / = /', и уравнение (9.17) также принимает вид (9.18). Таким образом, для случая нулевых начальных энергий система уравнений (9.12)—(9.14) приводит к уравнению (9.18). Рассмотрим теперь упрощения задачи, вытекающие из плоской конфигурации электродов [3]. Для плоского случая все величины могут зависеть только от одной переменной х. Кроме того, для плоского диода в стационарном состоянии имеем /' (.г) = /' = const. (9.19)
84 ОБЪЕМНЫЕ ЗАРЯДЫ И ДВИЖЕНИЕ ЧАСТИЦ В ВАКУУМЕ [ГЛ. II При указанных условиях уравнение (9.18) принимает вид pZ = _ 4irL (9.20) dx *у(х)1'г [Bl v ' I или (9-21) где B = 4n/'(pV2. Помножив уравнение (9.21) на , получим £ Г1 '££\® I = 119R ( va1/2 I dx I 2 \ dx ; ] dx ) I ’ откуда первый интеграл уравнения (9.21) равен где C — постоянная для случая рП2 = 4В(И),/з + С, (9.22) интегрирования. Определим величину2 С Р'| =0. (9.23) и,л' 1Л'-0 Условие (9.23) при нулевых начальных энергиях электронов со- ответствует значениям Тв Тв. Из (9.22) и (9.23) получаем С = 0. Тогда ^ = 2В‘4(Г)‘У (9 24) Интегрируя уравнение (9.24), получим (V’f‘= |в’/зх + С’, где С — постоянная интегрирования, которая определяется из условия V = 0 при х = 0; отсюда С' = 0. Тогда V'(х) = [9 враг3. (9.25) Подставляя в (9.25) значение В, получим V (х) = [у л/' [ру/2у/зз;4/з (9.26)
§ 0] ЗАКОН «ТРЕХ ВТОРЫХ» 85 и, следовательно, (9'27) <928> Распределения потенциала, напряженности поля и плотности объемных зарядов, определяемых уравнениями (9.2(5) — (9.28), изображены на рис. 43. Подставляя в (9.26) х = d, найдем FB, необходимую для того, чтобы диод мог пропустить ток С другой стороны, раз- решив (9.26) относительно /' и подставив в него также х = d, можно найти ток который может протекать через диод при разности потенциалов FB: - 2 - -ЛР,)7 л(,.и 9л '-2т: d2 ' Таким образом, формула (9.29) определяет «токовую пропуск- ную способность» плоского диода при данном FB. В случае, если ' определенный по (9.29) ток ис’ 1 /' <( /s, диод при выбранном зна- чении /' работает в режиме ограничения тока объемным зарядом. При /' = js FB = FB. Таким образом, формула (9.29) является вольт- амперной характеристикой плоского диода при FB FB в при- ближении нулевых начальных энергий электронов. Подставляя численные значения входящих в (9.29) величин, выражая /' в а-см~2, V’ в вольтах и d — в см, получим /' = 5,4 • 10 8 Ц3/2 В М'^ d2 ’ (9.30) где М — молекулярный вес вещества заряженных частиц, кото- рый для электронов равен 1/1840. Тогда для электронов имеем /'= 2,25 • 10~6— Проанализируем теперь применимость полученных формул к реальным эмиттерам, у которых z’oi 0. Прежде всего
86 объемные заряды и движение частиц в ВАКУУМЕ [ГЛ. II заметим, что формулы выведены для случая = 0. Для реаль- ного эмиттера это условие выполняется только для переходного режима, т. е. при VB — Ув. Далее, из формулы (9.28) следует, что р (0) =с». Этот результат вытекает уже из формулы (9.13) при v (0) = 0. В реальном диоде из-за наличия начальных скоро- стей у термоэлектронов приближенно имеем р (0) = 1/г0, где v0 — средняя начальная скорость термоэлектронов. Так как V (х) и & (х) определяются р (х), то и значения потенциала и напря- женности поля вблизи катода, описываемые формулами (9.26) и (9.27), также отличны от реальных. Поскольку в действитель- ности р (х) у катода меньше ее теоретического значения, опреде- ляемого (9.28), то и значения V (х) и (х) у катода в реальном эмиттере меньше значений, даваемых (9.26) и (9.27). Область ука- занных заметных отклонений простирается от катода на расстоя- ния, где начальные энергии электронов сравнимы с энергиями, полученными в межэлектродном промежутке, т. е. еУ' (х) И''х0 = = кТ. Так как РКж0 составляют сотые или десятые доли эв, то при еУв кТ, что во многих случаях имеет место, рассматриваемая область вблизи катода мала, так что для реальных диодов в боль- шей части межэлектродного пространства найденные по (9.26) — (9.28) значения р' (х), <&' (х) и У' (х) мало отличаются от действи- .тельных. Что касается величины Ув при фиксированном значе- нии тока Д, то в силу сказанного выше она окажется несколько меньше, чем это следует еП по (9.29). Однако при eV'i !> кТ это различие незначительно. Таким образом, формула (9.29) до- статочно хорошо определяет «токовую пропускную способность» реального dV I плоского диода для режима i = dx |ж.о = 0, если еУв )> кТ. Обсудим теперь вопрос о возмож- ности применения полученных формул для реального плоского диода при ра- боте его в режиме ограничения тока объемным зарядом, т. е.,когда'^.^ (рис. 44). Обратим внимание на то, что в этом случае в плоскости х = хт вы- = 0. Следовательно, для области про- Рис. 44. полняется условие странства от хт до d при условии, что еУв кТ, можно ис- пользовать полученные выше формулы. Тогда «токовая пропуск- ная способность'» этой части диода приближенно определяется
§ 9] ЗАКОН «ТРЕХ ВТОРЫХ» 87 уравнением (9.29), в котором, очевидно, следует заменить VB ве- личиной FB -f- Fm, a d — величиной d — жт, т. е. А ( е + F™)3/2 9л ',2m,-' {d — хт)2 (9.31) При V'm Fb и хт d формула (9.31) совпадает с (9.29). Ука- занные неравенства при eFB )> кТ, как будет показано в следую- щем параграфе, обычно выполняются. Таким образом, формула (9.31) (или менее точная формула (9.29)) приближенно является вольт-амперной характеристикой реального плоского диода при eVB )> кТ. Это означает, что при работе реального плоского диода в режиме ограничения тока объемным зарядом при данном FB в межэлектродном пространстве возникает потенциальный барьер, который обеспечивает прохо- ждение через него такой доли тока эмиссии катода /s, которая примерно находится в соответствии с законом (9.29). При eFB, лишь несколько превосходящих кТ или сравнимых с кТ, вольт- амперная характеристика описывается формулами, отличными от полученных выше. Отметим, что при учете начальных скоростей становится ясным механизм, который делит эмитируемый катодом поток электронов на два: поток, проходящий через дно щается на катод. Именно величина начальной скорости электрона опре- деляет, пройдет ли электрон над по- Из формулы (9.29) следует, что для фиксированного значения тока /s величина FB возрастает с увеличением d. Это означает, что крутизна вольт- амперной характеристики для дан- ного js увеличивается при уменьше- нии d (рис. 45). Перейдем к рассмотрению в при- ближении нулевых начальных ско- ростей случая, когда электроды системы представляют собой два бесконечно длинных коаксиальных цилиндра [4]. Радиусы внутреннего и наружного цилиндров равны и г2 соответственно. Пусть внутренний цилиндр является катодом. Из соображений симметрии следует, что в этом случае все величины зависят только от г. Поэтому будем решать задачу в цилиндрических координатах, в которых уравнение Пуассона принимает вид , и поток, который возвра- Рис. 45. тенциальным барьером d2V’ dr2 + 1 dV г dr = 4пр (г) (9.32)
88 ОБЪЕМНЫЕ ЗАРЯДЫ И ДВИЖЕНИЕ ЧАСТИЦ В ВАКУУМЕ [ГЛ. 11 или, используя формулу (9.16), (9.33) dr2 г dr 2е т, . . ‘/г ' ' — V' (/•) I Условие стационарности протекания тока в цилиндрическом Диоде 2лг/(г) = г\ = const, (9.34) где z’j — ток, проходящий через единицу длины диода. Тогда из (9.33) получим Ijr а; dr2 1 г dr 2е , ‘Л к ' г — V (г) | т | Будем искать решение этого уравнения в виде V (г) = Сг\ (9.36) где С и а — постоянные величины. Подстановка (9.36) в (9.35) дает 2“ ' = (9.37) Так как правая часть уравнения (9.37) не зависит от г, то не должна от него зависеть и левая часть, т. е. а = 2/3; но тогда ,, I 9 .. ; 2m1 '« j2/s С = -- I, — 1 [ 4 1 \ е' / J ’ а следовательно, из (9.36) найдем У'(г) = (9-38) Подставляя сюда г = г2 и соответственно V (z’2)=^bi получим (9,39) откуда l'i'= Г*• (9.39а) 1 9 VZmJ r2 ' Полученная формула (9.39 а) дает зависимость ц (Ув) такого же вида, как и формула (9.29) для плоского диода, только с дру- гим численным коэффициентом. Однако между формулами (9.39а) и (9.29) есть и одно существенное различие. Оно состоит в том, что хотя функция (9.39) и является частным решением уравнения
§ 9] ЗАКОН «ТРЕХ ВТОРЫХ 89 (9.32), она не удовлетворяет условию - = О,адает }>0. аг\т = т, а/,|г=г1 Поэтому выражение (9.39) определяет не наименьшее зна- чение Уд, при котором возможен ток т. е. не значение VI', а значение Vi, большее Vi. Вследствие этого полученная зави- симость i{ (У'в) не является вольт-амперной характеристикой цилиндрического диода. Однако найденное выражение (9.38) может быть использовано для получения искомого решения. Пос- леднее было найдено С. А. Богуславским, а также Ленгмюром и Адамсом в 1923 г. [4]. Обозначим через А коэффициент, стоящий в формуле (9.38) перед членом г2/а. Было показано, что решение, удовлетворяющее уравнению Пуассона и условию =0, можно представить в виде Г(г) = вг/з[р (9.40) Функция Р была найдена в виде ряда Р С = Y - IY2 + У3 - зёо У' -У °’00168у6’ где у = In —. График функции В2 I — I приведен на рис. 46. ri ''ri / Из (9.40) находим _ 4 / е’ \ Уз [Щ (г)]3/2 1 9'2"1' (9.41) Тогда, подставляя в (9.41) г = г2, V = Vi и функцию р при — = —- , получим вольт-амперную характеристику для этого ri ri случая: (Кв)3/2 9 \2т ( г (9-42) Из (9.42) прежде всего следует, что зависимость Ц от VB та же, что , dV\ и в предыдущем рассмотрении (при , >0), а именно, I г —п ii (Гв)3'2- Далее из графика Р2 (r/ri), изображенного на рис. 46, следует, что значения Р2 заметно отличны от единицы только при небольших значениях r/z-j (меньших 10). При rh\ 10 значения Р2 отличаются от единицы не более, чем на несколько процентов. Поэтому ход потенциала V (г) в цилиндрическом диоде сущест-
90 ОБЪЕМНЫЕ ЗАРЯДЫ И ДВИЖЕНИЕ ЧАСТИЦ В ВАКУУМЕ [ГЛ. II венно отличается от хода, даваемого формулой (9.38), только вблизи катода при г, близких к г1. Что касается вольт-амперной харак- теристики, то поправочная функция р2 пренебрежимо мало отли- чается от единицы, если r^lr-^ 10. Различия между значениями и, найденными из (9.39а) и (9.42), в этом случае меньше, чем отсту- пления реального тока от вычисленного из (9.42), вызываемые на- личием распределения эмитированных электронов по скоростям, Рис. 46. которое выше не учитывалось при выводе этих формул. Отметим, что из (9.42) вытекает сильная зависимость тока i'i от г2 и слабая зависимость от /у (так как гг находится под знаком логарифма). Было показано, что решение (9.42) справедливо также и тогда, когда катодом является внешний цилиндр, а анодом — внутрен- ний, т. е. когда г/гг<^1. В этом случае для нахождения Р2 (г/гД надо пользоваться левой частью графика |32 (г/гД, соответствую- щей этим значениям г!гг (рис. 46). Таблица функции [J2 как для r/r1'^> 1, так и для r/r±<^ 1 дана, например, в работе [5]. Далее можно показать, что для случая сферических концен- трических электродов зависимость полного тока диода i от 1’и имеет вид А (Гв)3/2 9 \ т I а2 ’ (9.43) где а2 — функция отношения т\/г2 (гх и г2— радиусы катода и анода), графика которой мы не приводим (таблица этой функции дана также в [5]). Таким образом, в диодах с электродами трех различных кон- фигураций — плоских, цилиндрических и сферических — ток, огра- ниченный объемным зарядом, пропорционален Тв/г . Можно до- казать, что зависимость i V3/1 справедлива при любой геомет-
!10] вольт-амперная характеристика плоского диода 91 рии электродов, т. е. в общем случае приближенно вольт-амперная характеристика в области ограничения тока объемным зарядом имеет вид (9.44) где С — постоянная, зависящая от геометрических параметров системы электродов и величины е'/т движущихся в диоде частиц; ее удается вычислить только для указанных выше трех частных случаев. Уравнение (9.44) принято называть «законом трех вторых». § 10. Вольт-амперная характеристика плоского диода с учетом максвелловского распределения скоростей термоэлектронов Полученные в предыдущем параграфе формулы, описывающие прохождение потока электронов в двухэлектродных системах, из-за неучета распределения термоэлектронов по начальным скоростям приближенно применимы только при выполнении следующих условий: 1) eV^kT, 2) Vm<VB 3) Xm<d- (10.1) Поэтому решение с учетом распределения электронов по началь- ным скоростям позволит точно рассчитать зависимость потенциала V (х) и, что особенно важно, его значения в катодной области, где ход V (х) для реального диода, работающего в режиме ограни- чения тока объемным зарядом, качественно иной по сравнению с ходом V (х), получаемым из приближения нулевых начальных скоростей в том же режиме / <( js. Это различие и выявляет меха- низм, который отбирает из полного потока термоэлектронов, соот- ветствующего току насыщения катода /5, поток, соответствующий проходящему через диод току /. С другой стороны, получение точных формул требуется при рассмотрении работы диодов в усло- виях, в которых не выполняются указанные выше неравенства (10.1). Таковы, например, условия работы термоэлектронных пре- образователей тепловой энергии в электрическую (см. § 26). Задачу об электрическом поле в плоском диоде при учете на- чальных скоростей решил В. Р. Бурсиан, а также Ленгмюр [6]. Распределение по энергиям И'ж0 термоэлектронов, эмитируемых катодом, в потоке подчиняется, как указано в § 9, закону Мак- свелла, т. е. ^v = aexp[-^]^Q. (Ю.2)
92 ОБЪЕМНЫЕ ЗАРЯДЫ И ДВИЖЕНИЕ ЧАСТИЦ В ВАКУУМЕ [ГЛ. II Выразим постоянную в (10.2) через ток насыщения катода js. Как известно, dj ~ edv. Тогда для /8 имеем /s = е dv еа \ ехр | — ^°1 dWx0 = еакТ, о о откуда a:=ekT/s' (Ю.З) Получение искомых данных о ходе V (х) требует решения сис- темы четырех уравнений (9.7) — (9.11), которые применительно к плоскому случаю имеют следующий вид: — 4лр(я:), (10.4) р (ж) = $ <7pj (я), (10.5) dji (ж) = vix (x)dPi (z), (10.6) , . Г2И\0 2e V (ж)Т/2 ,.n = -----• (Ю-7) Разделим все межэлектродное пространство на две области: область I — от катода до максимума потенциальной энергии ZZ1 Рис. 47. электрона (Одх' хт), где 0s (ж) 5г0, и область II — от максиму- ма потенциальной энергии до анода (хт --z х (Г), где <о (х) sc 0 (рис. 47, я).
§ 10] ВОЛЬТ-АМПЕРНАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА ПЛОСКОГО ДИОДА 93 На рис. 47, б показана зависимость -- от W\.o по (10.2). Область II. Из формул (10.6) и (10.7), а также соотношения dj = edv, имеем dp; (х) .= е dVi (10.8) откуда, заменяя dvi по формуле Максвелла, получим Фг (X) = I хО тгтт еа ехр-----dWxa (10.9) Для определения полной плотности объемных зарядов в точке х формулу (10.9) следует проинтегрировать по энергии Wx0 в преде- лах тех ее значений, обладая которыми электроны могут попасть в область II. Очевидно, что эти пределы будут eVm sg Wx0 гС оо, т. е. ” еа ехр I— dW ха РпИ= \ -Т-2Г ............ W' Тогда уравнение Пуассона (10.4) принимает такой вид: (10.10) (10.11) Ток, протекающий в этом случае через область II и равный току диода /, пропорционален площади, ограниченной кривой (ИД.О) при ИД,, eVm, (на рис. 47, б указанная площадь заштрихована), т. е. j = е \ dv~ea\> ехр | — dWx0 = еакТ ехр Или, учитывая (10.3), получим / = /sexp[-^]. (10.12) Область I. В этом случае поток электронов целесообразно разделить на три: 1) поток электронов с энергиями Wx0 -х eVm, уходящий на анод и создающий объемную плотность заряда р[ (ж);
94 ОБЪЕМНЫЕ ЗАРЯДЫ И ДВИЖЕНИЕ ЧАСТИЦ В ВАКУУМЕ [ГЛ. II 2) поток электронов с энергиями eV,,,, идущий от ка- тода и создающий объемную плотность заряда pj' (.г); 3) поток электронов с энергиями И\о <1 eVm, отраженный от потенциального барьера и движущийся к катоду. Так как элек- трон, движущийся от катода, и тот же электрон, возвращающийся обратно, в данной точке межэлектродного пространства имеет равные по абсолютной величине скорости, объемная плотность, образованная третьим потоком, в точности равна плотности, со- здаваемой вторым потоком. Таким образом, для области I имеем: Pi (*) = Pi (*) + 2рП*)- (10.13) Очевидно, что pi (х) выражается той же самой формулой, которая была получена для рп (ж). Формула для р'( (х) будет такого же вида, но с другими пределами интегрирования: Pi (х) ехр | - | dWx0 н1}'"' (10.14) Здесь — нижний предел энергий электронов 1Гх0, еще до- ходящих до точки х. Очевидно, что Жх0 = (х). Тогда для об- ласти 1 уравнение Пуассона принимает вид (тт") = — 4лае \dx2 /I (10.15) наряду ход по- Интегро-дифференциальные уравнения (10.11) и (10.15) с соответствующими граничными условиями определяют тенциала V (х) в межэлектродном пространстве. Граничные усло- вия сводятся, во-первых, к тому, чтобы решение для области I без разрыва переходило в решение для области II (в противном случае в межэлектродном пространстве на границе областей I и II существовал бы двойной электрический слой, которого, оче- видно, нет), т. е. Vi (я ) = (хт). Во-вторых, так как при <Z7i х = хт зависимость eV(х) проходит через максимум, то = ж хгп ЙГц = —। = 0. Отметим, что в уравнения (10.11) и (10.15) входят ах 1Х=*!П
•10] вольт-амперная характеристика плоского диода 95 температура катода Т, ток насыщения /8 (ибо а = f (/s)) и вели- чина Vm (последняя согласно (10.12) полностью определяется величинами Т, fs и /). Поэтому решение уравнений совместно с гра- ничными условиями определяет ход V (х) для данных Т, js и /. Что касается величины d, то она определяет только значение Ев, необходимое для реализации этого режима. Задача, как указано выше, была решена в [6]. Из-за сложности этого решения мы по- знакомимся только с конечными результатами. Искомая зависимость V (т) получена в виде универсальной функции, выраженной в безразмерных переменных ц и л = (10.16) Z~C(x-xm), (10.17) где С = 4 ( .7, ' : > (е') Т~^ (/’)Ч (10.18) 1 тт величина имеет размерность длины. Для электронов, если ток j выражен в а • см 2, С = 9,174 - 1067,—S/i (f)lK (10.19) Например, для Т — 1000° К' и js = 1 а-слГ2, С = 5 • 103 слг1, т. е. L = 4; = 2-10 4 см. Функция г] (?) не выражается через какие-либо известные функции и может быть представлена в виде таблицы (приведенной, например, в работе [5]) или в виде графика, показанного на рис. 48 (для кривой 1 масштаб по оси ц слева, для кривой 2 — справа). Для | 1, когда ц 1, эту зависимость приближенно можно выразить в виде следующего быстро сходящегося ряда: g = „*/* ^3/4 д. 1,669п1/4 —0,509 — 0,168п —2/4 + (10.20) Если в ряде (10.20) ограничиться первым его членом и подставить в него значения В и ц, то после несложных преобразований полу- чим V - Vm 2р(х - хту\ (10.21) Положив в формуле (10.21) х = d и V = Ев и решая уравнение относительно найдем ... 2 (^у/ИЕв-Ут)^ ' 9л \2т I (d — хт)2 ’
96 ОБЪЕМНЫЕ ЗАРЯДЫ И ДВИЖЕНИЕ ЧАСТИЦ В ВАКУУМЕ [ГЛ. II т. е. уже известную нам формулу (9.31), полученную без точного учета начальных скоростей. Этого и следовало ожидать, так как неравенства £ 1 и ц 1 равносильны условиям х хт и Vв V„, при которых и можно не учитывать распределения по начальным энергиям. Таким образом, приведенное решение при достаточно больших Vs и для области диода, где И',о eV (х), переходит в решение, справедливое для упрощенной модели диода. В прикатодной же области начальные энергии электронов существенным образом меняют распределение потенциала. При VB Vm эта область может простираться достаточно далеко и даже приве- сти к исчезновению области применимости упрощенного решения. Если взять два члена ряда (10.20), то '= 1 + 2-658Ьг ’•}. (10.22) Изложенная здесь теория исходит из предположения о суще- ствовании минимума потенциала в пространстве между электро-
§ 10] ВОЛЬТ-АМПЕРНАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА ПЛОСКОГО ДИОДА 97 дами. Поэтому ее применимость ограничена как со стороны боль- ших положительных, так и со стороны отрицательных напряжений FB, т. е. Fmin < FE < Fmax. Значение Fmax равно такому напря- протекать ток насыще- Рпс. 49. ток диода / и 4) рас- F(z). жению, при котором через диод начинает ния. Значение Fmin равно отрицательному напряжению, при котором исчезает мини- мум потенциала в межэлектродном прост- ранстве (рис. 49). При FB<^Fmin ток диода, в случае максвелловского распределения термоэлектронов, будет изменяться с FB по закону / exp 1— I Укажем теперь последовательный по- рядок вычислений хода F (ж) с помощью графика ц (?) (или соответствующей таб- лицы) и, кроме того, рассмотрим еще не- которые задачи из тех, которые можно решить, также пользуясь зависимостью п (В). Задача I. Заданными величинами являются: 1) температура катода Г; 2) плотность тока насыщения катода /s; 3) стояние между катодом и анодом d. Требуется определить ход потенциала Ход решения. Из формулы (10.12) вычисляем Fm, зная которое по (10.16) определяем ц на катоде т]к = • Тогда по левой части графика ц (?) находим ? на катоде — ?к. Но по формуле (10.17) ?к = —Схт. Вычислив С по (10.18) или по (10.19), находим хт. Далее задаемся разными значениями^ d. Для каждого определяем соответствующее значение ?4. Зная ?г, по графику т) (?) — по левой и правой его частям — опреде- ляем гр. Зная гр, по формуле (10.16) для выбранных значений xi находим соответствующие значения потенциала F4. В частности, положив х == d, найдем значение потенциала анода FB, необхо- димого для получения выбранного нами тока /. По набору значе- ний (х{, F.J строим искомый график V (х). Задача II. Заданными величинами являются: 1) темпера- тура катода 7; 2) плотность тока насыщения катода /s; 3) расстоя- ние между катодом и анодом d. Требуется найти вольт-амперную характеристику, т. е. зави- симость / (FB). Ход решения. Задаем ряд значений Д (/{ «5 Д). Для каждого выбранного значения Д по формуле (10.12) вычисляем соответствующее ему значение Vmi, зная которое можно по 4 Л. Н. Добрецов, М. В. Гомоюнова
98 ОБЪЕМНЫЕ ЗАРЯДЫ И ДВИЖЕНИЕ ЧАСТИЦ В ВАКУУМЕ [ГЛ. II формуле (10.16) определить T)Ki=^r£1- Тогда для каждого значения т|к. по левой части графика ц (?) находим ? Далее, для каждого ]\ по (10.19) вычисляем соответствующие им значения С{. Тогда из формулы ?к =— С;.тт;, зная ?Ki и Сг, определяем хт1. Положив х = d, по формулам (10.17) для каждого найденного значения хт, вычисляем значения ?... Знание ?.. позволяет по графику т] (?) найти соответствующие каждому фиксированному значению Д значения tj и, следовательно, из формулы (10.16) и VBi. Имея набор величин (Д, Ув{), строим вольт-амперную ха- рактеристику / (Ув); график характеристики / (У ) получается смещением предыдущей характеристики на величину Укрп = [фк — Фд| вправо, если ср Д> срк, и влево, если <рА Д> <рк. Для того чтобы иметь представление о порядке величин хт и Ут, приведем пример результатов вычислений для вольфрамового катода, эмитирующего электроны при температуре Т — 2400° К и при расстоянии от катода до анода d = 0,5 см. Будем иметь: fs = 0,16« • см 2, С = 2680/Л/-, Д - = 0,207 . Выбирая / = Д, ОДД, 0,01Д, 0,001Д, получим следующие дан- ные, приведенные в табл. 1. Таблица 1 3, а>см~г в хт, мм / по (9.30), а c.w~2 / = /5 = 0Д6 654 0 0 0,155 / = 0,016 132 0,48 0,062 0,0145 / = 0,0016 24 0,95 0,224 0,00115 / = 0,00016 2,56 1,43 0,74 0,000037 Для / = ОДД имеем, как видно, хт d и Ут -Д Кв- Это означает, что «закон 3/2» с хорошим приближением дает то же зна- чение Ув. Но, например, при / = 0,001/s имеем хт 0,1 см, Ув = 2,56 в, a Vm = 1,43 в. Очевидно, что в этой области Ув «за- кон 3/2» неприменим. Согласно «закону 3/2» при Ув = 2,5 в через диод должен протекать ток, равный 3,6-10 5 а-саг, тогда как в действительности анодный ток диода будет равен 1,6 • 10“4 а - см 2. Задача III. Заданными величинами являются: 1) темпера- тура катода Т; 2) плотность тока насыщения катода Д; 3) разность потенциалов Ув, равная нулю; 4) протекающий через диод ток /', равный х/2 Д. Требуется найти расстояние d между катодом и анодом.
§ 10] ВОЛЬТ-АМПЕРНАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА ПЛОСКОГО ДИОДА 99 Ход решения. При равенстве нулю разности потен- циалов VB из формулы (10.16) следует, что 'Пц = т1а = ^?- Но согласно выражению (10.12) = In jjf. Поэтому = цд = -- In jjj. Проведем на графике ц (Е) горизонтальную прямую с ординатой, равной найденным значениям и цЛ, и определим — SK или, что то же самое, | £д | ||к |. Но из формулы (10.17) следует, что ||д1 1 | =- С {хА — хк) = Cd. Тогда, вычислив предва- рительно по формуле (10.19) значение С, зная I ?А ! + I ?к найдем d. Приведем численный пример. Так же как и при рассмотрении предыдущей задачи положим, что катод вольфрамовый, темпе- ратура его Т равна 2400° К и плотность тока насыщения /8 = =0,16а-см 2. Тогда т)к = т)д = In 2 = 0,69. Из графика ц (£) получим — Ек = 2,5. Значение С равно 760 см1. Тогда ’ d = = 0,003 см. Задача IV. Заданными величинами являются: 1) темпера- тура эмиттера 71; 2) расстояние эмиттер — коллектор d\ 3) потен- циал коллектора 1В </ 0. Требуется найти плотность тока насыщения эмиттера /8, которой соответствует предельный режим, когда исчезает мини- мум потенциала в межэлектродном пространстве. Ход решения. При предельном режиме цКол = £кол = 0 и Пэм= тл?, ?эм =— Cd = 9,17 -105Т-’/«/‘Ас?. Находя по левой К1 части графика | (ц) соответствующее цэм = — и приравнивая его £эм = — Cd, находим / = откуда fs =/expr]SM. Например, для Т = 1500° К, d = 0,1 см и VB =— 0,1 в имеем т]эм = 0,78, £эм = — 373/ 2; | (ц) =— 1,45, откуда / = 1,5-10 41-см 2 и j = 2,П]= 3,24-10 5а-см 2. Очевидно, у 3/г что/ — Задача V. Заданными, величинами являются: 1) темпера- тура эмиттера 71; 2) ток насыщения /в; 3) отношение проходящего через диод тока / к току насыщения: j/js. Требуется найти потенциал коллектора У1(Ол и расстояние d между электродами, при которых исчезает минимум потенциала в межэлектродном пространстве. Ход решения. Потенциал коллектора, при котором ис- чезает минимум потенциала в межэлектродном пространстве, со- ответствует такому предельному режиму, когда этот минимум ока- 4*
100 ОБЪЕМНЫЕ ЗАРЯДЫ И ДВИЖЕНИЕ ЧАСТИЦ В ВАКУУМЕ [ГЛ. II зывается на поверхности коллектора, т. е. xmin и Kinin 7К0л, а следовательно, по (10.16) и (10.17) |кол =0и Пкол = 0; при этом распределение потенциала во всем промежутке эмиттер — коллектор определяется только левой частью кривой т] (£). Исходя из заданного значения /7/s, по (10.12) вычисляем искомый потен- циал коллектора Икол = —-^-1п4. Согласно (10.12) и (10.16) Цэм = 1п-4-. Определив цэм по левой части графика ц (|), находим £эм- Зная / (по /5 и /7/s), а также Т, вычисляем С; из полученных значений С и |эм определяем d — — В табл. 2 приведены ре- зультаты вычислений величин Fmin и d для Т = 2500° К, трех значений js = 0,1; 0,001 и 0,00001 а-см 2 и четырех значений отношения ]ljs = 0,5; 0,1; 0,05 и 0,01. Таблица 2 is = 0,1, а • см — 2 His d, мм J'min’ в 0,50 0,024 0.15 0,10 0,084 0,50 0,05 0,12 0,65 0,01 0,29 1.0 0,50 0,24 0,15 = 0,001, а смг is = 0,00001, а сл<-2 0,10 0,84 0,50 0,05 1.22 0,65 0,01 2,94 1,0 0,50 2,40 0,15 0,10 [ 0,05 8,40 112,20 0,50 0,65 0,01 29,40 1,0 § 11. Поток заряженных частиц в вакууме Помимо возможности выяснения закономерностей, имеющих место при прохождении термоэлектронами (или термоионами) । И I A S' межэлектродного пространства, важно умение рассчитывать влия- ние объемных зарядов на дви- жение потоков заряженных ча- стиц, входящих в некое меж- электродное пространство с началь- ными энергиями, значительно превышающими /с 77 Здесь будет рассмотрена одна сравнительно простая одномерная задача о вли- янии объемного заряда на движе- ние частиц с заданной начальной скоростью в пространстве, где нет внешнего электрического и маг- нитного полей (дрейфовое прост- ранство). Впервые такую задачу рассмотрел В. Р. Бурсиан [71. Пусть, например, плоский эмиттер К (рис. 50), имеющий уско- ряющий потенциал VK относительно сетки 5, испускает N сек'-слГ2
§ Ш ПОТОК ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ В ВАКУУМЕ Ю1 частиц. Потенциалы сетки 6” и коллектора А, находящегося на рас- стоянии 21 от нее, одинаковы и приняты за нуль. В это простран- ство между 5 и Л поступает, следовательно, N частиц в 1 сек через 1 см2, имеющих скорость v0 ~ ". Если бы не было объемных зарядов, все они двигались бы от 5 до А по инерции равномерно. Однако поток создает в пространстве (SA) объемный заряд с плотностью р (х) и электрическое поле, потенциал кото- рого в некотором сечении х будет V (х). Очевидно, при этом скорость в точке х окажется равной (11.1) Рассмотрим сначала случай, когда все частицы от S доходят ДО А; или тогда р (х) v (ж) = Ne = const р(ж) = ТУе „ 2<? т. v%-------V т Ne 1 4 У®]*' vK J (11.2) по уравнению Пуассона d2V 4n7Ve откуда dx1 ~(2е тг \'/2 Г. V 6r)~l1/s — V „1 1 — \т К / | ук J Введем новые безразмерные переменные: (11.4) В этих переменных уравнение (11.3) можно представить в виде 4^=-4-(i-to)'i/\ (П.5) где через М обозначено: М = 7^1^. (11.6) @ ' V? Наконец, заменяя переменную § через £ = получим = _ J____*___ (11.7) По нашему условию все частицы доходят до коллектора, т. е. скорость их везде положительна: v (ж) g> 0, следовательно, у ра- дикала (1 — св)1/* у надо брать знак плюс.
102 ОБЪЕМНЫЕ ЗАРЯДЫ И ДВИЖЕНИЕ ЧАСТИЦ В ВАКУУМЕ [ГЛ. II Обозначив имеем <Z2co__ rft) tit» ’ тогда откуда i]2 = (1 _ ю)1/2 + с. (11.8) Так как и = 0 при | = 0 = 2, а го 0 между 5 и А, то и (£) имеет при некотором значении £ = £т максимальное значе- ние, т. е. для £ — г] == 0. Если обозначить наибольшее зна- чение го через гот, то из (11.8) следует С = -(1-гот)Ч а тогда (11.8) примет вид 1)2= (1 — и)1/2 —(1 — гот)1/2> т. е. Л = J = [(1 -ro)‘/2-(l-roJ1/2]lz\ (11.9) причем т) 0 в области от £ = 0 до g = и г] <( 0 в области от £ = до | = 2, т. е. радикал в (11.9) в этих частях простран- ства надо брать с разными знаками. Решение можно предстагить в таком виде: к- &_____ Г dto = 4 [(1 - Го)1/2 - (1 - го„)1/2]1/2 [(1 — го)’ s 2 (1 — rom)v-’J (11.10) или, возвращаясь к переменной £, 1т ~ В = = 7^7Г[(1 (1 -®„;)1/2],/з[(1 + 2 - (1 -сот)’/2]. 6М й (11.11) Определим величину ют. Нетрудно показать, что = 1, Т, е. т)(1 = I. Действительна, по предыдущей формуле для х = 0,
§ 11] ПОТОК ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ В ВАКУУМЕ т. е. | = 0, имеем 103 = Ч - (! - «и1/2]1л [1+2(1- ®т)1/2]; для х = 21, т. е. £ = 2, следует, как указано выше, взять знак минус у радикала, т. е. &т - 2 = - [1 ~ (1 - [1 + 2 (1 - от,,.)1" ] или, складывая оба равенства, 2£т —2—0, т. е. = 1 и хт = I. Для £ = 0 и со = 0 поэтому 1 = ~[1 + 2 f1 - т. е. (1 - со,,,)3'" -1 (1 - ыт)'Л - 4 = - 64 М = - М', где ,,, _ 9ле.№ _ Лге _ 1 ЛГ “ Гру+;372- 4)7^ Т 7v0• 4: I - V 7Z \ т J л (11.12) (11.13) Здесь через /0 обозначена величина 1 f 2е \*/2 9л \ т ) -j£~ т. е. ленгмюровская плотность тока между электродами, находя- щимися на расстоянии Z при разности потенциалов между ними, равной VK, a No — ~ — число частиц, проходящих через 1 смг в 1 сек при токе /0. Вводя 7^(1-сот)‘\ можем (11.12) переписать в виде = (11.14) что при заданном М', т. е. заданных I, N и VK, определяет В, а, следовательно, и сот. При этом физический смысл имеет лишь корень, лежащий в пределах от нуля до единицы. Отыскание
104 ОБЪЕМНЫЙ ЗАРЯДЫ И ДВИЖЕНИЕ ЧАСТИЦ В ВАКУУМЕ [ГЛ. 11 корней этого уравнения можно произвести графически, если по- строить график: и пересечь его прямой у = М'. В области 0 В <( 1 кривая у (В) имеет при В ~ г/2 макси- мум, равный 1/2; при В = 1 у ~ 0 и при В ~ 0 у = х/4 (рис. 51). Таким образом, задача имеет решение, соответствующее до- стижению коллектора всеми N частицами, прошедшими сетку. 5 лишь при М’ 1/2, причем для М' — одно решение, а для М' % — два различ- ных решения. На рис. 52 приведены V (х) для М’ = 0,2; 0,5 и для М' = = 0,25, которому соответствуют два решения с ит = 1 исот=0,25. Однако для ЛГ)>0,5 (а так- же для интервала М’ от 2/4 до ]/2) 1 имеются решения, отличные от при некотором £ = то часть , а другая часть дойти лишь до рассмотренного типа. Если ®т — частиц может пройти от S до А хт, повернуть обратно к S и далее вернуться на эмиттер. Пусть М, определяемое по (11.6), соответствует числу частиц N, идущих от эмиттера через сет- ку S, и ML — числу их Л'\, воз- вращающихся на эмиттер после отражения от максимума потен- циала Vm — 7/Дрис. 53). Очевид- но, что в области I, в которой 0 <( £т, объемный заряд скла- дывается из зарядов N и Л\, а в области II, в которой 1-т <( £ <Г 2, лишь из зарядов N — N1. Для области II, очевидно, можно повторить рассуждения, которые привели нас к уравнению Пуассона в виде M — 1 4 (1 —оз)1/з' (11.15)
§11] ПОТОК ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ В ВАКУУМЕ 105 Для области / объемная плотность заряда определится суммой Ne Лг,е плотностей р = прямого и рх = обратного токов, причем V и v — разные по направлению, но по величине одинаковые в одном и том же месте. Поэтому и для области I уравнение Пуассона приведется к виду ^2(о____М Му 1 ,,, < п. Вводя для области I переменную 1 / I п —-Н* !___________ ] N; । । I /Г S | X Рис. 53. С = &(Л/ + MJ)'/% а для области II — переменную мы можем привести оба уравнения к виду, аналогичному (11.7): d2<o ___ 1 1 ~ ~~ 4 (1 —<п)'/2 ’ (11.18) Это уравнение надо интегрировать с граничными условиями: для области Г. to = 0 при = 0 и = Опри to = 1, а для об- ласти II: со = 0 при £ = 2 (М — Му)'^ и ~ = 0 при со = 1, причем в первой области а во второй области А О- Уравнение (11.18), так же как и (11.7), имеет решение вида (11.8). Нетрудно заметить, что С в этом выражении равно нулю, так как сошах, которому соответствует т] = О, равно единице, а тогда (Л С = 4[1-(1-<в)ЗЛ], (11.19) и (II) 2(М~ Му)4'2— £ —-|-[1 — (1со)’71]. (И.20) Остается определить ML и границу областей I и II, т. е. При со = 1 значения Вт из двух написанных выше выражений должны совпадать, т. е. _ £ 1 2 __ е = ± 1 'т з (м + 3 (М — л/,)1-'2 ‘ (11.21)
106 ОБЪЕМНЫЕ ЗАРЯДЫ И ДВИЖЕНИЕ ЧАСТИЦ В ВАКУУМЕ [ГЛ. II Складывая, имеем 2 — А Г_____________।______?____1 з 1.(Л1 + мА'2 (AZ —AZi)I/aJ ИЛИ, вводя М' = М и М[ = 64 Ь4 1 1______________1. = (М + A/J)1/2 + (ЛГ — Mi)1/2 “ ’ т. е. имеет значение м; - 4[1 + (1 + 32М’)1/2] [(1 + 32ЛГ) —2(1 4~32М')1/з — з]'7', vZ J (11.22) которое вещественно при М 1/4- Таким образом, при заданном 7И'* * х/4 выражение (11.22) определяет Mi, тогда (11.21) дает £т, а равенства (11.19) и (11.20) позволяют определить зависимость g (и), т. е. функцию V — V(x). При возрастании М' значение М{, как нетрудно показать кз (11.22), стремится к (М' — х/1в), а по (11-21) £т при этом стремится к нулю. Подставляя значения М' и М{, получим, что ток на кол- лектор е (N — А\) стремится к х/4 /0 и при этом хт приближается к нулю. Таким образом, при возрастании плотности пото- ка частиц 2V, поступающего в дрейфовое пространство, от нуля до плотностей, соответ- ствующих М' ~ х/4, ток на коллектор возрастает пропор- ционально N. При М' = = = /0; хт=1 и Fm = VK, т. е. при этом сквозь дрейфо- вое пространство идет ток, плотность которого равна плотности того тока, который можно было бы получить, по- местив эмиттер в плоскость х = I и приложив разность потенциалов между таким эмиттером и коллектором, равную VK. При увеличении плотности потока частиц 2V сверх этого режима плотность тока на коллек- тор е (N — NJ убывает, стремясь к е (N — NJ = х/4/0. Таким образом, при данной энергии частиц, поступающих в данное дрей- фовое пространство, сквозь него можно «протолкнуть» максималь- ную плотность тока /0, но не больше. Если через сетку в дрей-
§11] ПОТОК ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ В ВАКУУМЕ 107 фовое пространство вводится поток частиц, больший, чем соответ- ствует /0, то проходящий ток, как указано выше, уменьшается. На рис. 54 представлены кривые V(x) для двух значений М': для М' = 0,5, когда М\ — 0,4 и = 0,52, и для М' = 5, когда Ml = 4,8 и = 0,16. Интересно сопоставить распределение потенциала между пло- скими электродами (11.8) с распределениями потенциалов в дрей- фовом пространстве при шт = 1 в случае прохождения всех частиц на коллектор и в случае их частичного возврата. Согласно (9.29) имеем: 1 [Р(Ж)]3^ 1 9л \ mJ х2 9л \ т) I2 * откуда LnJ или, обозначая V'(x) . . х е -ру- = ® и у = получим и = £4/з- (11.23) В дрейфе при j = Ne = const случаю шт ~ 1 соответствует М' = х/4 , т. е. М = 1в/9, и 5“~5“±S^(1 -“>'*' (11-24) или, подставляя значение М, ^т = ±(1-Ю)3/\ (11.25) И ±(1_Щ) = (^^)4/’. (11.26) Следовательно, по обе стороны от распределение потенциала совпадает с предыдущим, только £ заменяется через ± (£ —gm). Иначе говоря, расстояния отсчитываются не от эмиттера, а от плоскости £ = %т, где скорости частиц равны нулю, и потен- циалы отсчитываются от потенциала той же плоскости (последнее VK — эквивалентно тому, что вместо со = V/V к в (11.26) стоит—= . ик ) Наконец, из уравнений (11.19), (11.20) и (11.21) легко полу- чается: для области Г. — ? =----------л (1 - «)3/1, (11 • 27) 3 (М + MJ1/2 ’ k 7 для области II: = <* <Н-28>
108 ОБЪЕМНЫЕ ЗАРЯДЫ И ДВИЖЕНИЕ ЧАСТИЦ В ВАКУУМЕ [ГЛ. II т. е. сравнивая с (11.24), видим, что в обеих областях имеет место распределение потенциала (11.8), соответствующее току (Л’ + Л\)е в области I и току (N — Aje — в области II. Рассмотренный нами вывод распределения потенциала, не учитывающий начальных скоростей эмитированных частиц, яв- ляется, конечно, упрощенным. Здесь, как и при выводе (9.26), без учета начальных скоростей не виден тот механизм, который при потоке частиц, поступающем в дрейфовое пространство, пре- вышающем Л'о, вызывает отражение некоторой части потока об- ратно к эмиттеру. При наличии, например, максвелловского рас- пределения скоростей эмитированных частиц при N No все частицы дойдут до коллектора. При N No в дрейфовом прост- ранстве возникнет потенциальный барьер высотой е (FK + 6F), от которого отразится доля потока, равная (1—ехр —[, состоящая из частиц, обладающих начальными скоростями vx0 \~^ • Чем более N превышает No, тем больше будет зна- чение 6F и соответственно больше будет отраженная часть потока Nv Таким образом, в этом случае при учете начального распре- деления скоростей высота потенциального барьера оказывается не постоянной, но зависящей от N. Однако в случае eVK кТ приближенность нашего рассмотре- ния не сильно скажется на ходе потенциала во всей области дрейфа, кроме области вблизи вершины барьера, а вычисленные по форму- лам (11.21) и (11.22) границы областей I и II и доля отраженных частиц с достаточным приближением совпадает с теми, которые можно было бы получить из точной теории. Все рассмотренные нами задачи относятся к тому случаю, когда между эмиттером и коллектором находятся частицы одного сорта. В случае, когда в этом пространстве присутствуют также частицы, несущие заряды противоположного знака, может иметь место ком пенсация объемных зарядов. Распределение потенциала, а также зависимость тока от потенциала коллектора выражаются при этом формулами, которые отличаются от полученных выше.
ГЛАВА III ОБЗОР РАЗЛИЧНЫХ ВИДОВ ЭЛЕКТРОННОЙ И ИОННОЙ эмиссии § 12. Электронная эмиссия Если вне тела нет силовых полей, то потенциальная энергия U (г) электрона во всем пространстве одинакова и обычно прини- мается равной нулю. При этом и полная энергия покоящегося вне тела электрона также равна нулю. Если электрон вне тела дви- жется, то его полная энергия Еп при этом может быть только положительной. Таким образом, в отсутствие силовых полей вне тела Ег1 0. Внутри тела возможны состояния электронов с энер- гиями Ев как положительными, так и отрицательными, т. е. Es 0 (рис. 55). В основном невозбужденном состоянии системы электронов тела (Т = 0), как указано в § 6 и 7, электроны занимают наиболее низкие энергетические уровни с энергиями Ь'во вплоть до уровня СЕв)тах, равного Ей, причем Ео 0. Но тогда также и /1В0<Д). Электроны, находящиеся в этих состояниях, не могут выходить из тела. Следовательно, эмиссия электронов в пространство, где U (г) = 0, при Т — 0 невозможна. Для того чтобы некоторые из
110 ОБЗОР РАЗЛИЧНЫХ видов эмиссии [ГЛ. III электронов тела могли выходить из него и участвовать в электрон- ной эмиссии в этих условиях, их необходимо предварительно возбудить, т. е. сообщить им тем или иным способом дополнитель- ную энергию АЕ такую, чтобы их энергия в возбужденном состоя- нии Е3, равная Ево ф- Д-Е, стала положительной (рис. 55, пере- ход 1). Этот класс эмиссии мы будем называть эмиссией с предва- рительным возбуждением электронов эмиттера. Существуют раз- ные виды эмиссии с предварительным возбуждением. Эти виды эмиссии различаются по природе источника энергии возбуждения электронов. Энергия возбужденных электронов может в некото- рых случаях черпаться и от нескольких источников (т. е. возбу- ждение электронов может происходить за счет нескольких раз- личных механизмов). Возможна также эмиссия электронов и без предварительного возбуждения. Действительно, если вне тела вблизи его поверхности имеется силовое поле, тянущее электроны от границы тела, то потенциальная энергия электрона в этом поле будет убывать с расстоянием от поверхности. Например, если к поверхности приложено внешнее однородное электрическое поле напряжен- ностью 8, то потенциальная энергия в нем на расстоянии х от границы тела равна U (х) = Uo — esf’x, где Uo — потенциальная энергия электрона при х = 0, т. е. на границе тела. Без ограни- ответствии с представлениями чения общности, ее можно поло- жить = 0, тогда U (х) = — е<ох. Полная энергия, с которой мо- жет теперь существовать элек- , трон в области пространства с х х*, Ея>^ U (х) =— е Sx *, т. е. при наличии силовых по- лей у поверхности тела, энер- гия электрона вне его может быть отрицательной и, в частно- сти, принимать значения Еа == =£во Ей. Хотя эти области, в которых могут двигаться элек- троны с_ЕВ0=_Ён, разделены про- странственно - потенциальным барьером, где U (ж) Д> /1во, в со- квантовой механики возможен пе- реход электрона из тела во внешнее пространство путем туннельного эффекта (рис. 55, переход 2. Подробнее об этом сказано в гл. VIII). Эмиссия электрона при этом не требует предварительного воз- буждения его. Аналогичная ситуация имеет место, если вблизи поверхности тела находится положительный ион, создающий кулоновскую потенциальную яму (рис. 56); в эту яму электроны
§ 12] ЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ Hi тела могут переходить также путем туннельного эффекта. Этот класс эмиссии будем называть эмиссией без предварительного возбуждения. Возможна и комбинированная эмиссия, при которой действуют оба указанных выше механизма. Рассмотрим здесь кратко сначала различные виды эмиссии с предварительным возбуждением. 1. Термоэлектронная эмиссия. Термоэлектронной эмиссией называется испускание электронов раскаленными телами. Источ- ником энергии возбуждения электронов является тепловая энер- гия решетки. При Т 0 часть электронов в результате вза- имодействия с тепловыми колебаниями решетки переходит на более высокие энергетические уровни, в том числе и на такие, где Еъ 0. Электроны с уровней энергии Ев 0 и могут быть эми- тированы телом. Термоэлектронная эмиссия характеризуется вели- чиной плотности тока насыщения /8. Теоретическое рассмотрение приводит к следующему выра- жению для /8: /8=-Л0(1-Я)Гехр[- -fT], (12.1) где Ао — универсальная постоянная для всех эмиттеров, R — средний коэффициент отражения электронов от границы тело — вакуум, еср =— Ео — работа выхода эмиттера (см. гл. IV). 2. Фотоэлектронная эмиссия (фотоэффект). Фотоэлектронной эмиссией называется испускание телом электронов при облуче- нии его поверхности светом. Источником энергии возбуждения электронов тела является энергия электромагнитной волны (энер- гия фотонов). Явление фотоэмиссии характеризуется квантовым выходом У, равным числу электронов, освобожденных в среднем одним фотоном (см. гл. VI). 3. Вторичная электронная эмиссия. Вторичной электронной эмиссией называется испускание телом электронов (так называе- мых вторичных) при облучении его поверхности первичными элек- тронами. Источником энергии возбуждения электронов тела яв- ляется кинетическая энергия движущихся в теле первичных элек- тронов. Возбуждение электронов эмиттера происходит в резуль- тате кулоновских взаимодействий первичного электрона и элек- тронов тела. Явление вторичной электронной эмиссии характе- ризуется коэффициентом о, равным отношению числа вторичных электронов, испускаемых за некоторое время телом, к числу упав- ших на тело за то же время первичных электронов (см. гл. VII). Для некоторых диэлектриков, обладающих пористой струк- турой, при наличии на их поверхности положительных заря- дов (т. е. наличии внутри диэлектрика электрического поля)
112 ОБЗОР РАЗЛИЧНЫХ ВИДОВ ЭМИССИИ [ГЛ. III коэффициенты вторичной электронной эмиссии могут достигать зна- чений, превышающих примерно на порядок величины коэффициен- тов, измеренные в обычных условиях, т. е. для плотных образцов и в отсутствие внутренних электрических полей. Этот вид эмиссии получил название вторичной электронной эмиссии, усиленной полем. Источником энергии возбуждения электронов эмиттера в этом случае наряду с кинетической энергией первичных электро- нов является энергия электрического поля, созданного в эмиттере (см. гл. IX). 4. Кинетическая ионно-электронная эмиссия. Кинетической ионно-электронной эмиссией называется испускание телом элек- тронов при бомбардировке его поверхности ионами в том случае, когда источником энергии возбуждения электронов тела является кинетическая энергия падающих на его поверхность ионов. Явле- ние характеризуется коэффициентом равным отношению тока эмитированных электронов к току падающих ионов (см. § 49 гл. XI). 5. Эмиссия горячих электронов. Эмиссией горячих электронов называется испускание электронов полупроводником при наличии в нем электрического поля. Горячие электроны эмитируются из зоны проводимости. Поэтому необходимым условием возможности появления эмиссии этих электронов является предварительное тепловое возбуждение их из основной зоны или с донорных уров- ней в зону проводимости. Таким образом, при эмиссии горячих электронов фактически реализуются два различных механизма возбуждения электронов: 1) возбуждение их в зону проводимости за счет тепловой энергии решетки; 2) возбуждение электронов в зоне проводимости на уровни энергии, превышающие уровень Е = 0. Этот тип возбуждения возникает за счет работы сил элек- трического поля в полупроводнике; в конечном счете эта энергия берется от внешнего источника напряжения, создающего поле. Наличие электрического поля в полупроводнике вызывает уско- рение находящихся в зоне проводимости электронов. Эти элект- роны взаимодействуют с фононами тела. При таких столкновениях электронов, как указано в § 1, может происходить резкое измене- ние направления их движения и имеет место лишь малая потеря их скорости. В результате средние энергии электронов оказываются выше таковых для ионов; можно сказать, что температура элек- тронного газа оказывается выше температуры кристаллической решетки. Это приводит к появлению эмиссии электронов, которую условно можно было бы назвать «термоэмиссией», однако темпе- ратура, которая ее определяет, будет выше температуры решетки (см. § 43 гл. IX). 6. Экзоэлектронная эмиссия. Экзоэлектронная эмиссия со- стоит в испускании электронов поверхностями тел после воздей-
§ 12] ЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ 113 ствия на эти поверхности механической обработкой, газовым раз- рядом, облучением ультрафиолетовыми или рентгеновскими лу- чами. Эмиссия под действием последних двух причин наблюдалась только у диэлектриков. Токи экзоэлектронной эмиссии очень малы и их можно обнаружить только с помощью счетчиков. Со време- нем эмиссия падает. Этот вид эмиссии изучен слабо и не имеет общепринятого объяснения. Очевидно, что внешнее воздействие создает на поверхности какие-то нарушения равновесного состоя- ния и переводит ее в состояние с большей энергией. Избыток энер- гии при переходе в равновесное состояние за счет какого-то ме- ханизма (а возможно, разных механизмов при различных воздей- ствиях на поверхность) передается электронам тела, которые затем и испускаются. Таким образом, источником энергии возбу- ждения электронов является энергия, запасенная поверхностью тела при предшествующем на нее воздействии (подробнее см. [8]). Рассмотрим теперь кратко эмиссии без предварительного воз- буждения и комбинированные эмиссии. 7. Автоэлектронная эмиссия. Автоэлектронная эмиссия со- стоит в испускании электронов поверхностью тела (металла или полупроводника) при создании у границы тела сильного внешнего электрического поля, ускоряющего электроны от поверхности (®' пов z'-'10® — ID7 в-см-1). При наложении внешнего поля, тя- нущего электроны от поверхности тела, потенциальный порог превращается в потенциальный барьер, тем более узкий, чем силь- нее поле. При этом и невозбужденные электроны тела, как было указано выше, путем туннельного эффекта могут выходить из тела. Автоэмиссия характеризуется величиной плотности тока )а, кото- рая очень сильно зависит от напряженности поля^ у поверхности; так, для металла ]а < >ехр [—СМ], где С — некоторая постоян- ная для данного тела величина (см. гл. VIII). 8. Термоавтоэлектронная эмиссия. Эмиссия невозбужденных электронов путем туннельного эффекта, строго говоря, может происходить только при Т = 0. При Т 0 часть электронов тела возбуждена за счет тепловой энергии решетки и находится на энергетических уровнях с J5B Ео. Но для возбужденных элек- тронов потенциальный барьер оказывается уже и ниже — вероят- ность прохождения через барьер больше, чем у невозбужденных электронов. Это приведет при том же (о5 к росту тока автоэмиссии по сравнению с его значением при Т = 0. Таким образом, при Т 0 эмиссия автоэлектронов определяется и процессами про- хождения электронов сквозь потенциальный барьер, и процессами их теплового возбуждения. Особенно велика роль процессов тепло- вого возбуждения в случае полупроводников, так как проницае- мость потенциального барьера при заметной ширине запрещенной
114 ОБЗОР РАЗЛИЧНЫХ видов эмиссии [гл. ш зоны существенно выше для электронов, находящихся в зоне проводимости, по сравнению с электронами валентной зоны (см. гл. VIII). 9. Фотоавтоэмиссия. В случае некоторых полупроводников предварительное возбуждение электронов валентной зоны в зону проводимости можно осуществить, облучая их поверхности свето- выми квантами соответствующих энергий. Возникающая в таких условиях эмиссия электронов при наложении электрического поля у поверхности полупроводника является комбинированной фото- автоэмиссией (см. § 42 гл. VIII). 10. Потенциальная ионно-электронная эмиссия (потенциаль- ное вырывание). В случае потенциальной ионно-электронной эмис- сии область пространства с U (г) <( 0 создается вблизи поверх- ности тела при помещении около нее положительного иона (рис. 56). Возможные значения энергии электронов в этой кулоновской потенциальной яме могут быть и отрицательны. В отличие от случая с внешним полем, эти отрицательные значения Е{1, Ei2, Ei3,... могут быть дискретны. Можно подобрать, в частности, такое тело и такой ион, чтобы наинизший свободный уровень энергии Еа в ионе лежал ниже занятых уровней в теле. Тогда электрон тела с энергией ЕВ1 путем туннельного эффекта сможет из него перейти в потенциальную яму на уровень Еа <( АВ1 и нейтрализовать ион (переход 7). Но такой переход должен сопро- вождаться выделением избытка энергии, равного разности уров- ней энергии электрона в теле и в ионе ЕВ1 — Еа. Эта энергия может быть либо передана другому электрону тела с начальной энергией ЕВ2 (оже-процесс, переход 2), либо выделена в виде кванта света. Второй процесс обладает меньшей вероятностью. В случае, если энергия возбужденного электрона Е = ЕВ2 + (7?В1 — EiL) окажется большей нуля, он сможет выйти из эмиттера. Таким образом, в акте эмиссии участвуют два электрона тела: один осво- бождает энергию путем туннельного перехода из тела к иону с ней- трализацией последнего, другой получает эту энергию возбужде- ния и выходит из тела, т. е. имеем и процесс туннельного перехода, и процесс возбуждения. § 13. Эмиссия атомных частиц Будем называть ионы, атомы и молекулы атомными частицами. Атомные частицы, так же как и электроны, могут быть эмитиро- ваны твердыми телами при нагревании их или бомбардировке их поверхности атомными частицами, электронами и фотонами. При этом эмитируемыми атомными частицами могут быть молекулы, атомы и ионы вещества мишени или адсорбированных на ее по- верхности веществ, а в случае бомбардировки мишени атомными
§ 13] ЭМИССИЯ АТОМНЫХ ЧАСТИЦ 115 частицами также и сами эти бомбардирующие частицы. Проведем классификацию видов эмиссии атомных частиц. Для этого выделим три основных признака, которыми могут различаться между собой различные виды эмиссии атомных частиц. Для того чтобы атом поверхностного слоя вещества мишени или адсорбированного вещества мог уйти с поверхности, он должен обладать достаточной энергией, за счет которой он может преодо- леть силы, удерживающие этот атом на поверхности. Это означает, что акту испускания атомной частицы должен предшествовать акт передачи ей энергии активации, не меньшей энергии связи частицы с поверхностью. Эту энергию активации частица может получить за счет тепловой энергии тела, либо за счет кинетической энергии бомбардирующей поверхность этого тела частицы, либо за счет энергии облучающих поверхность тела фотонов. Поэтому виды эмиссии атомных частиц, во-первых, можно классифициро- вать по источнику энергии активации: тепловая активация и кинетическая активация. Во-вторых, виды эмиссии можно клас- сифицировать по химической природе эмитируемых частиц. Это могут быть частицы вещества мишени либо частицы вещества, ад- сорбированного на поверхности мишени, либо эмитируемые ча- стицы могут быть той же природы, что и падающие (т. е. отражен- ные падающие частицы). Эмитируемые частицы могут быть в раз- личных зарядовых состояниях, а именно: нейтральные частицы, положительные ионы, отрицательные ионы; зарядовое состояние частицы может быть третьим признаком, по которому можно клас- сифицировать эти виды эмиссии. Таким образом, все мыслимые виды эмиссии атомных частиц можно охарактеризовать тремя указанными признаками. Можно было бы предложить символическую запись различных видов эмиссии атомных частиц: обозначим буквой Т термическую, а буквой К — кинетическую активации, буквами М, А и П — эмитированные частицы материалов мишени, адсорбированного на ее поверхности слоя вещества и первичного ионного пучка, соответственно, а зарядовое состояние этих частиц значками +, — и 0 справа внизу от символа частицы, например, Мо, А+, Ло, П+ и т. д. При ^-активации зарядовое состояние бомбардирую- щей частицы в случае надобности также можно указывать знач- ками у буквы К, например, К+, К_, Ко. Перечислим известные виды эмиссии атомных частиц и приведем их символические обо- значения. 1. ТМ0 — испарение атомов или молекул мишени. 2. ТМ+ и ТМ__ — собственная (положительная или отрицательная) ион- ная эмиссия. 3. ТАй — испарение адатомов (тепловая десорбция). 4. ТЛ+ и ТА — здесь иногда различают два случая: а) термоион- ная эмиссия загрязнений, которая имеет место, когда адатомы
116 ОБЗОР РАЗЛИЧНЫХ видов эмиссии [ГЛ. ш появляются на поверхности мишени за счет диффузии чужеродных атомов изнутри тела, б) поверхностная ионизация имеет место, если адатомы поступают на поверхность извне. 5. КМй — катод- ное распыление мишени; наиболее изученный случай — КЛМО. 6. КМг и КМ_ — выбивание ионов мишени (катодное распы- ление в виде ионов). 7. К+Пп и К По — отражение нейтрализо- вавшихся ионов при ударе о поверхность. 8. KIT и К П — рассеяние ионов. 9. К+П и К П+ — конверсия ионов. На первый взгляд кажется, что здесь пропущены виды эмиссии ТП. Однако если упавшей на мишень частице для ее удаления требуется тепловое возбуждение, это означает, что она потеряла свою кинетическую энергию, т. е. находится на поверхности ми- шени в адсорбированном состоянии. Поэтому процесс испускания этой частицы такой же, как в случае эмиссии вида (3) и (4), т. е. ТА. Таким образом, существует большое разнообразие видов эмис- сии атомных частиц. Их изучение затруднено тем, что во многих случаях одновременно происходит несколько видов эмиссии атом- ных частиц, а также эмиссия электронов. Так, например, при высоких температурах может одновременно с термоэлектронной эмиссией происходить эмиссия атомных частиц с тепловым возбу- ждением всех видов. При ударе быстрых ионов о поверхность ми- шени наряду с кинетическим и потенциальным вырыванием элек- тронов могут протекать и процессы испускания атомных частиц. При этом, если разделение положительно заряженных частиц и отрицательно заряженных без особого труда осуществляется с по- мощью электрического поля (задерживающего частицы одного знака и ускоряющего — другого знака), то разделение различных отрицательно или положительно заряженных частиц значительно сложнее. В этой обзорной главе мы не описываем отдельных видов эмиссии атомных частиц, а ограничиваемся приведенной выше их классификацией.
ГЛАВА IV ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [9] § 14. Термодинамический вывод основного уравнения термоэлектронной эмиссии Термоэлектронная эмиссия, как было уже указано в § 12, есть испускание электронов нагретыми телами. Плотность термоэмис- сионного тока насыщения j (здесь и в дальнейшем индекс «$» у плотности тока насыщения, введенный в § 9, для простоты обо- значений мы будем опускать) для каждого тела есть универсаль- ная функция, параметры которой зависят от природы этого тела, структуры и состояния его поверхности и температуры Т. Урав- нение для / имеет вид (12.1). Так как 1 —R = D, где D — средний коэффициент прозрачности потенциального барьера, при вычислении / по (12.1) можно ис- пользовать и значения D. При рассмотрении явления термоэмиссии и выводе основного уравнения для плотности термоэмиссионного тока (12.1) может быть использовано два подхода к этому явлению. Во-первых, задачу можно решать, исходя из законов термо- динамики и используя глубокую аналогию между явлениями ис- парения атомов и испускания электронов. В обоих случаях, если в нагретом теле сделать полость, то в ней будет находиться равно- весный газ из частиц, испускаемых стенками полости. При этом как насыщенный пар атомов вещества, так и электронный газ, находящиеся в полости, можно охарактеризовать плотностью частиц пара или газа п или их давлением р, которые для данного тела зависят только от его температуры. В обоих случаях равно- весное состояние газа в полости соответствует динамическому равновесию между количеством частиц, эмитируемых единицей поверхности полости, и количеством частиц, уходящих из газа в стенку полости через эту же поверхность. Это означает, что между процессами эмиссии частиц, зависящими от свойств тела, и про- цессами их конденсации, зависящими от свойств равновесного
118 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV газа, существует определенная связь. Поэтому закономерности -эмиссии электронов можно выяснить, исходя из рассмотрения свойств насыщенного электронного газа. Выводы основного урав- нения термоэмиссии, исходящие из вычисления потока электронов, падающих на стенку полости из равновесного электронного газа, находящегося в полости, обычно называются «термодинамиче- скими». Во-вторых, к изучению закономерностей термоэмиссии можно подойти, исходя из рассмотрения свойств электронного газа внутри эмиттера. Теории термоэмиссии, базирующиеся на вычис- лении потока электронов, падающего на границу тело — вакуум изнутри эмиттера, обычно называются «статистическими». Как термодинамические выводы, так и статистические в общем случае не могут быть доведены до конца, исходя из одних только законов термодинамики либо статистики. В первом случае для получения выражения для j в явном виде необходимо привлечение законов квантовой статистики; во-втором случае — уравнение для j в конечном виде можно получить только для одного частного случая — системы свободных электронов. Для перехода к общему случаю требуется термодинамическое рассмотрение. Таким об- разом, и так называемые «термодинамические» и «статистические» теории фактически являются комбинированными. Заметим, что, в отличие от газа из незаряженных частиц, который можно удержать лишь в замкнутом объеме — полости, электронный газ может находиться в равновесном состоянии с внешней поверхностью твердого тела. Действительно, уход от- рицательно заряженных электронов из тела в окружающее про- странство приводит к тому, что тело заряжается положительно. Силы притяжения электронов к положительно заряженному телу и обусловливают наличие равновесной электронной атмосферы. При этом можно показать, что плотность электронного газа вблизи поверхности тела (при не очень малых размерах тела) будет такая же, как и в полости тела.. Обратимся к термодинамическому выводу основного уравнения термоэмиссии. В термодинамических теориях принимается, что насыщенный электронный газ есть идеальный одноатомный газ с максвелловским распределением по скоростям. Некоторое обо- снование этому будет дано ниже. Поток электронов v', падающий на единицу поверхности полости в единицу времени, для идеаль- ного газа равен где п — концентрация равновесного электронного газа, v — средняя арифметическая скорость теплового движения, т — масса
§ 14] ТЕРМОДИНАМИЧЕСКИЙ ВЫВОД УРАВНЕНИЯ 119 электрона. Поток электронов v, уходящий из газа в эмиттер, от- личается от падающего из-за отражения электронов на границе вакуум — эмиттер (рис. 57): v = (T— R)v, (14.2) где R — средний коэффициент отражения электронов. (До послед- них лет в теориях термоэлектронной эмиссии рассматривался лишь один механизм отражения элект- ронов на границе тела — кван- товомеханическое отражение волн де-Бройля на одномерном потен- циальном пороге у поверхности этого тела. В последние годы на- коплен материал, показывающий трудность объяснения наблюдае- мых на опыте закономерностей отражения только этим меха- низмом. Вопрос об упругом от- ражении электронов на це тел будет рассмотрен в В состоянии равновесия ходящему из тела у/е: грани- § 36.) поток v равен потоку электронов, вы- v = — е (14.3) Тогда из (14.3), учитывая (14.1) и (14.2), получим (14.4) Проверим законность предположения об идеальности элек- тронного газа в полости. Электронный газ не вырожден и имеет максвелловское распределение по энергиям при Т Д> Тс. Но Тс, по (6.16), зависит от величины п, которая может быть найдена из (14.4). Для вольфрама при Т = 3000" К j = 15 а-см2; взяв завышенное значение 7? — 0,5, найдем также завышенное значе- ние п = 2-1013 см 3; для оксидного катода при Т = 1000° К, полагая i^AOa-см2 и также R = 0,5, получим п 2,5-1013 см 3. Температура вырождения при этих концентрациях оказывается около 3 • 10 4 °К. Таким образом, при всех практически ин- тересных температурах электронный газ в полости не вырож- ден. Отклонения от идеальности электронного газа могут быть также обусловлены наличием кулоновских сил отталкивания между электронами. Поэтому необходимо, чтобы взаимная
120 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV потенциальная энергия электронов U была много меньше их кине- тической энергии ~ кТ, т. е. U <^~кТ. При Т = 1000° К — кТ-^ Z 2 2 р:;2.1|'г13 эрг, но U = ~ г^е2п!\ где г — среднее расстояние между электронами; при п г--,< 1013сл-3 U № 4 • 10 13 эрг, т. е. при- з мерно на два порядка меньше, чем — кТ. При таком определении U, однако, учитывается взаимная потенциальная энергия только двух электронов (см., например, работу [10]). В действитель- ности каждый электрон взаимодействует со всеми электронами системы, так что приведенная выше оценка недостаточно строго обоснована. Для определения из (14.4) плотности термоэмиссионного тока j необходимо знать плотность электронного газа в полости. Ее можно найти, исходя из законов квантовой статистики. Плотность невырожденного электронного газа согласно (6.10) равна n = (2л ^Л3/2схр[о5], (14.5) где W\ — уровень электрохимического потенциала, отсчитанный от дна потенциального ящика, т. е. от энергетического уровня электрона, находящегося внутри тела с кинетической энергией, равной нулю. Для равновесного невырожденного электронного газа вне эмиттера связь величины п с электрохимическим потен- циалом также будет выражаться формулой (14.5), с той лишь раз- ницей, что энергии электронов надо отсчитывать от энергетиче- ского уровня электрона, покоящегося вне эмиттера: для системы электронов вне эмитте; а введенные в § 2 две шкалы энергий, W и Е, оказываются тождественными. Обозначим уровень электро- химического потенциала этой системы через Еот. Тогда согласно (14.5) для плотности электронного газа в полости получим п = (2л mkT)3/2 exp (^-6) Но электронный газ в полости находится в контактном равно- весии с электронным газом в эмиттере. Поэтому электрохимиче- ские потенциалы обеих этих систем должны быть равны друг другу. Уровень электрохимического потенциала электронного газа в эмиттере, отсчитанный от уровня энергии электрона, покоя- щегося вне эмиттера, ранее был обозначен через Ео. Тогда _Ё”ог — Ео. (14.7)
§ 14] ТЕРМОДИНАМИЧЕСКИЙ ВЫВОД УРАВНЕНИЯ 121 Подставляя (14.7) в (14.6), а (14.6) в (14.4), получим выражение для плотности термо эмиссионного тока: /==^±(1_/?)72 ехр[-§-]; (14.8) обозначим и выразим в (14.8) Ед через работу выхода ф (—Ео = еф). Тогда (14.8) можно переписать в виде /= Ло(1 — Jg/]. (14.9) Универсальную постоянную Ао, равную 120,4 а см 2 • град~2, будем называть термоэмиссионной постоянной Зоммерфельда. Уравнение (14.9), тождественное с (12.1), получено из рассмот- рения равновесной системы эмиттер — газ. Однако эмиссия тела определяется лишь свойствами электронного газа в эмиттере и условиями отражения электронов на границе эмиттера, не зави- сящими от наличия или отсутствия равновесного электронного газа над его поверхностью. Поэтому уравнение (14.9) определяет плотность тока термоэмиссии и для реального термокатода в от- сутствие равновесного электронного газа над его поверхностью. Следует, впрочем, отметить, что это справедливо лишь в том слу- чае, если действительно состояние электронов в теле и их условия выхода из тела при отборе тока термоэмиссии не отличаются сколько-нибудь заметно от таковых при наличии равновесного электронного газа над поверхностью тела (см., например, [И]). В другом термодинамическом выводе основного уравнения термоэмиссии для определения концентрации п в формуле (14.4) используется известное соот- ношение для идеального газа: п = £, (14.10) где р — давление газа в по- лости. Давление р вычисляет- ся из рассмотрения цикла Карно с электронным газом в качестве рабочего вещества (рис. 58). Пусть этот элект- ронный газ, наполняющий ра- бочий объем машины Карно, образуется за счет эмиссш машины Карно. Изотермическое при температуре Т (и в то же электронов из стенок цилиндра
122 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV время изобарическое) испарение v молей электронного газа тре- бует притока тепла от нагревателя в количестве = vl, где I — теплота испарения электронов из металла при температуре Т. Работа, произведенная за один цикл, будет, очевидно, А = vv dp, где v — мольный объем электронного газа при давле- нии р и температуре Т. По теореме Карно А __ v vdp_ vdp_dT Qi ~ ~чГ ~~ “ T ’ ИЛИ in---it (14.11) (уравнение Клаузиуса — Клапейрона). Для идеального газа ВТ v — —, Р ' где В = NАк — универсальная газовая постоянная (обозначае- мая обычно через R; но буква R у нас занята для обозначения коэффициента отражения; NA — постоянная Авогадро). Следо- вательно, уравнение Клаузиуса — Клапейрона можно перепи- сать в виде (14.12) Как известно, из первого начала термодинамики следует ра- венство /г- = Ср-Ср, (14.13) где Ср — мольная теплоемкость газа при постоянном давлении, а Ср — теплоемкость конденсированной фазы. Для идеального электронного газа, очевидно, поэтому т l(T)^l.-Y^BT-^Cp(T)dT, (14.14) где Zo — работа испарения электронов из катода при данной температуре его. Для вычисления интеграла в (14.14) надо сделать определенные предположения о свойствах электронного газа в эмиттере. При этом необходимо использовать положения ста- тистической физики.
§ 14] ТЕРМОДИНАМИЧЕСКИЙ ВЫВОД УРАВНЕНИЯ 123 Если электронный газ в металле, как это предполагалось в классической электронной теории, можно рассматривать как идеальный, то Ср = Cv = ~?-В (так как работой расширения электронного газа при повышении температуры, вследствие малого температурного коэффициента расширения металлов, можно пре- небречь). Тогда: 1(Т) —10 -\-ВГ, (14.15) dP = к d_I (14.16) р В Гг Т > ' ’ р = СТехр[-А]. (14.17) Если же принять, как это следует из теории свободных электро- нов, что Ср «« 0, то 1(Т) = 10 + -ВТ, (14.18) р ~ В Т* + 2 Т • С14 •’) р = С"//2ехр[-^]. (14.20) Подставляя (14.17) в (14.10), а (14.10) в (14.4), получим плот- ность эмиссионного тока в предположениях классической элек- тронной теории: /= 4(1-Я)Т1/2ехр[--^], (14.21) где А — некоторая постоянная. Взяв в качестве исходного соот- ношение (14.20) и подставив его в (14.10), а (14.10) в (14.4), найдем плотность тока j по теории свободных электронов: /= Л'(1-Л)^ехр[-А], (14.22) где А' — также некоторая постоянная. Учитывая, что 10 = ефАд, где Na — число Авогадро, формулы (14.21) и (14.22) можно пере- писать в виде /= А(1-Л)Т1/2ехр[-^-], (14.23) j = А’ (1 - В) Г2ехр|-(14.24) Заметим, что постоянные А и А' в формулах (14.23) и (14.24), (14.21) и (14.22) остаются неопределенными, Можно, однако,
124 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV показать, что из термодинамических соображений следует универ- сальность величины А (или А'). Рассмотрим равновесную изотермическую систему, содер- жащую два различных эмиттера, соединенных проводником (рис. 59, а). Пусть расстояние между эмиттерами таково, что б) Рис. 59. тями эмиттеров Ur и будут равновесные концентрации электронного газа над каж- дым из эмиттеров определя- ются лишь свойствами со- ответствующих эмиттеров. Электронный газ считаем идеальным. В такой системе имеют место три вида равновесия. Во-первых, равновесие элект- ронных газов внутри эмит- теров, приводящее к вырав- ниванию уровней электрохи- мических потенциалов и Ео2 (рис. 59, б). При этом между точками над поверх- ностями первого и второго эмиттеров будет существо- вать внутренняя (контактная) разность потенциалов, так что потенциальные энергии электронов над поверхнос- различаться на величину: U 2 — =е(<р2— Ф1). (14.25) Во-вторых, электронный газ над поверхностями эмиттеров должен находиться в равновесии с электронным газом внутри эмиттеров. Это приводит к двум равенствам: (14.26) у/2 = -^n2v2D2, (14.27) откуда, учитывая, что при Т = const vr = v2, получим Л _ "1Д1 /2 n2Z>2 (14.28) В-третьих, электронный газ над поверхностью одного эмиттера должен быть в равновесии с электронным газом над другим эмит-
§ 15] СТАТИСТИЧЕСКИЙ ВЫВОД УРАВНЕНИЯ ЭМИССИИ 125 тером. По Больцману, это будет иметь место, если ггх и п2 удовлет- воряют следующему условию; Й-'Чт] <1429> или, учитывая (14.25), ехр[^ (Ф2 —Ф1)]- (14.30) Подставляя (14.30) в (14.28), получаем 1 • I еФ11 1 • ГеФг1 т. е. выражение- -1— ехр одинаково для обоих эмиттеров. Но так как никаких предположений о природе эмиттеров в рассмат- риваемой системе не делалось, это выражение будет универсально при данной температуре для любых эмиттеров. Оно может быть разным при различных температурах, но должно быть одина- ковым для любых эмиттеров, т. е. Аехр [g] = ^(r)) откуда /.=Тг(Т)Р4ехр[-§(|. (14.31) Из универсальности функции F (Г) для любых эмиттеров следует универсальность термоэмиссионной постоянной А в формуле (14.23) (или А' в формуле (14.24)). § 15. Статистический вывод основного уравнения термоэлектронной эмиссии Плотность тока термоэлектронной эмиссии можно определить, зная состояние электронного газа внутри эмиттера. Для этого надо вычислить поток электронов, падающий изнутри эмиттера на его границу с вакуумом, и рассмотреть прохождение электро- нов через эту границу. Приведем такой расчет в приближении свободных электронов. Очевидно, что эмиссия электронов в ваку- ум возможна только при Wx — Wa 0. Если перейти от шкалы энергий W к шкале энергий Е, условие возможности эмиссии перепишется в виде Ех 0. Для всех известных до сих пор
126 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV эмиттеров еф =— Ео кТ; тогда тем более Ех — Ео'^> кТ при Ех 0. В § 6 была выведена формула (6.23) для плотности потока свободных электронов, падающих на границу эмиттера изнут- ри его. Для Ех — Ео^> кТ эта формула, переписанная в шкале энергий Е, имеет вид - “<*р| тД (15-0 т. е. распределение электронов по Ех в потоке — максвелловское. Из потока электронов v (Ex)dEx с энергиями Ех в интервале dEx, падающих изнутри эмиттера на 1 см2 его поверхности за 1 сев, из эмиттера выйдет наружу поток электронов D (Ех) v (Ex)dEx, где D (Ех) = 1 — R (Ех) — коэффициент прозрачности для гра- ницы эмиттер — вакуум. В случае отражения электронов на одно- мерном потенциальном барьере коэффициент отражения R, а следовательно, и коэффициент прозрачности D, зависят только от компоненты импульса рх, т. е. лишь от Ех. В общем случае, если коэффициент отражения R зависит от всех трех компонент импульса рх, ру, pz, т. е. R = R {рх, ру, pz), то фигурирующий здесь коэффициент отражения R усреднен по р и pz, т. е. 4“ СО 4-СО J J й (рх, Ру, pz) V (рх, ру, pz) dpy dpz •“ (Рх) 4-00 -}-оо j $ v (Рх, Ру, Pz) dPy dPz Для определения плотности тока термоэмиссии необходимо про- суммировать потоки, падающие на границу эмиттер — вакуум, по всем возможным энергиям электронов: f = D (Ex)v (Ех) dEx. (15.2) о Выполнение интегрирования в (15.2) требует знания функции D (Ех). Если D (Ех) обусловлена только квантовомеханическим отра- жением на одномерном потенциальном пороге на границе эмиттера, то принципиально эта функция может быть вычислена при задан- ной форме этого порога и известном виде функций ф, описываю- щих состояние электронов в металле. Однако даже в этом случае вследствие неизбежных при этом предположений о форме барьера такие вычисления мало ценны. Поэтому в теории Зоммерфельда вероятность выхода D (Ех) заменяется некоторым средним по
§151 СТАТИСТИЧЕСКИЙ ВЫВОД УРАВНЕНИЯ ЭМИССИИ 127 Ех значением. Перепишем (15.2) в виде j -° (Ех) V (Ех) dEx ю / - е V (Ех) dEx. (15.3) )’ v (£л.) dEx о О f D (Ех) V (Ех) dEx Но множитель --—------------- по физическому смыслу и есть )' У (Ех) dEx б среднее значение коэффициента прозрачности, усредненное по распределению электронов по величине Ех, обозначим его D. Тогда j = eD\v(Ex)dEx. (15.4) о Вообще говоря, D зависит от температуры, ибо, например, с ее ростом меняется распределение по Ех электронов в потоке, и усред- нения при вычислении D следует производить по этим разным распределениям. Однако, по-видимому, температурная зависи- мость D (Т) слабая, и в теории Зоммерфельда полагается, что для данного эмиттера D = const. Подставляя (15.1) в (15.4) и выполняя интегрирование, полу- чим . Г Еп I /а г* г, /=— DT ехР|лт] (15-5) или, учитывая, что Ео =— еср, перепишем (15.5) в виде /=40^ехр[-Ц], (15.6) где ( __ Ьятек'1 ~ № — универсальная постоянная, назовем ее зоммерфельдовской постоянной. В реальных твердых телах состояния электронов отличны от принимаемых в теории свободных электронов. Поэтому можно было бы думать, что утверждение об универсальности формулы (15.6) и, в частности, об универсальности Ао является следствием тех упрощающих предположений, которые содержатся в теории свободных электронов Зоммерфельда. В таком случае для
128 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ . IV эмиттеров, к которым теория Зоммерфельда неприменима, утверж- дение об универсальности термоэлектронной постоянной не обяза- тельно, и множитель перед DT2 expj^—может оказаться иным, не равным Ло. Однако это не так. В предыдущем параграфе, исходя из термодинамического рассмотрения, мы показали, что в вы- ражении (14.31) для у перед множителем D ехр | стоит универ- сальная функция F (Г). Поэтому если в природе существует хоть один эмиттер, к которому применима теория Зоммерфельда, то F (Т) == 4072. Но теория Зоммерфельда с достаточной степенью точности описы- вает состояние валентных электронов в некоторых щелочных ме- таллах. Поэтому для любого эмиттера плотность термоэмиссионного тока вы- ражается формулой (15.6). Уравнение (15.6) не описывает в явном виде температурную зависи- мость плотности термоэлектронного тока /’ (7), так как входящая в эту формулу работа выхода эмиттера ip меняется с температурой. Таким обра- зом, для определения зависимости 7 (Т) необходимо задать вид функции <р(Т). Если рассмотреть небольшой ин- тервал температур А 7 около некото- рого значения 70, то функцию <р (7) можно разложить в ряд Тейлора и ограничиться первыми двумя его членами, т.е. использовать линейную аппроксимацию функ- ции ф (7) (рис. 60): ф(7) = ф(7о) + [^)То(7-7о) или Ф(П = ф(7’о) + «(7,-7,о)- (15.7) Подставляя (15.7) в основное уравнение термоэмиссии (15.6), получим /= A^expp^jexpf--^^^]. (15.8) Вводя обозначения А. = А0Пехр[-^], (15.9) ф = ф (70) — а70, (15.10)
§ 15] СТАТИСТИЧЕСКИЙ ВЫВОД УРАВНЕНИЯ ЭМИССИИ 129 уравнение (15.8) можно переписать в виде /=Л1Т2ехр[-^] (15.11) или, выражая ф — в вольтах, подставляя значения е и к и переходя от натуральных логарифмов к десятичным, получим 50401|> / = А1ГЧ0~^, (15.12) где At и ф, в пределах справедливости (15.7), — не зависящие от температуры величины. Если для некоторого катода измерить для ряда значений Г. величины плотностей токов и построить график 1g (j/T2) как функцию ^г-, то, в соответствии с формулой (15.12), которая справедлива, если оправдывается (15.7), должна получиться пря- мая линия (прямая Ричардсона). Тангенс угла наклона этой пря- мой к оси абсцисс будет равен ф, а отсечка оси ординат продолжением прямой Ричардсона равна 1g Аг (рис. 61). Величину ф обычно на- зывают либо приведенной, либо ричардсоновской работой выхода. Величину Л1, как и Ло в (15.6), принято называть термоэлектрон- ной постоянной. Мы в дальней- шем будем ее называть ричард- соновской термоэлектронной по- стоянной. В отличие от Ло, величина Аг не универсальная для всех эмиттеров. Так как а в (15.7) может быть как положитель- ным, так и отрицательным, то ричардсоновская термоэлектронная постоянная для разных тел может быть как больше, так и меньше зоммерфельдовской постоянной. Так как прямая линия для зависимости lg должна получаться только при условии, что ф (71) можно аппроксимиро- вать линейной функцией, то должно быть справедливо и обратное утверждение. Если из экспериментальных данных с достаточной точностью вытекает, что зависимость 1g изображается прямой линией, это означает, что в исследуемом температурном интервале работа выхода с той же точностью зависит от темпера- туры линейно. Линейная зависимость ф (Г) или, что то же самое, Ео (71), согласно (7.5) выполняется для собственного полупроводника. 5 Л. Н. Добрецов, М. В. Гомоюнова
130 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV Для примесного, например, донорного полупроводника при не очень высоких температурах, когда степень ионизации доноров мала и переходы электронов из основной зоны отсутствуют, для зависимости Ео (71) в § 7 было получено выражение (7.11). Под- ставляя (7.11) в (15.5), получим / = ехр Г--₽4Дл221 - (15.13) L «.j J гДе Хер — Ел и л (2пт^'* elt1* ^*2 ~— з~/------* h /s здесь — статистический вес зоны проводимости, a mJ — эф- фективная масса электронов у дна зоны проводимости. Уравнение (15.13) впервые было получено в работе [12]. Аналогичную фор- мулу можно получить и для акцепторного полупроводника, ис- пользуя соответствующее выражение для Ео (Т). Заметим, что формулы (15.5) или (15.13), так же как и в слу- чае термодинамического вывода, получены в предположении, что состояние электронного газа в эмиттере, несмотря на отбор тока термоэмиссии, не отличается от равновесного. Однако на состоянии электронного газа должно сказаться и наличие электрического поля, существующего внутри эмиттера при прохождении через него тока. Влияние этого обстоятельства на термоэлектронную эмиссию рассмотрено впервые С. М. Леви- тиным [13]. Для металлических катодов это влияние ничтожно мало. Однако в случае эффективных полупроводниковых термо- катодов его необходимо учитывать, и этот учет приводит к суще- ственно иным закономерностям для эмиссионной способности катода, чем изложено вьйпе. Рассмотрение особенностей термо- эмиссии полупроводников дано в § 19 и в § 44. Элементарный акт термоэлектронной эмиссии состоит в вы- лете из эмиттера единичного электрона, уносящего заряд е. Эти акты следуют независимо друг от друга. Поэтому вылет электро- нов распределен во времени неравномерно, и за равные интервалы времени т может вылетать из эмиттера различное число электро- нов. Вероятность вылета п электронов Рх (ri) определяется фор- мулой Пуассона: („) = (15.14) где п — среднее число термоэлектронов, вылетающих за про- межутки времени, равные т. Поэтому термоэлектронный ток i не будет строго постоянной величиной, но будет флуктуировать
§ 16] КОЭФФИЦИЕНТ ПРО ЗРАЧНОСТИ ДИОДА 131 во времени около среднего значения i = Временную зависи- мость флуктуирующего тока можно записать в виде интеграла Фурье, т. е. представить в виде сплошного спектра колебаний с частотами f, где О / sgoo. Если термоток пропустить через частотный фильтр, выделяющий интервал частот А/ около неко- торой частоты /, то можно измерить переменную составляющую тока этой частоты, обусловленную флуктуациями. Шоттки пока- зал [14], что квадратичная флуктуация тока Ai2 ~ (i — I)2 в ин- тервале частот А/ не зависит от частоты / и равна Ai2 = 2егА/. (15.15) Этот эффект флуктуаций термоэлектронного тока называют дро- бовым эффектом, и он является одной из причин, обусловли- вающих шумы электронных ламп. Измеряя на опыте Ai2, i и А/, можно измерить величину заряда электрона е. В работе [15] были проведены такие измерения и получено значение е, четыре значащие цифры которого совпали с числом, полученным в опытах Милли- кена. Формулы (15.14) и (15.15) справедливы лишь для тока на- сыщения катода; при ограничении эмиссии объемным зарядом выход отдельных электронов уже нельзя рассматривать как со- вершенно независимые события. Флуктуации термотока при этом уменьшаются (депрессия дробового эффекта). Соотношение (15.5) оправдывается на опыте, если измерения производить на достаточно больших частотах /, примерно при f 100 гц. На меньших частотах флуктуации тока могут быть в десятки раз больше, чем по (15.15). Дело в том, что помимо дробового эффекта имеются еще другие причины изменения тер- мотока со временем, меняющие его более медленно и поэтому про- являющиеся лишь при измерениях в области малых частот. Эти более медленные изменения термотока называют эффектом мер- цания (фликер-эффектом). Мы не будем рассматривать физи- ческие причины, вызывающие фликер-эффект; этот вопрос изло- жен, например, в работе [563]. § 16. Приведенный коэффициент прозрачности диода Полученное в предыдущем параграфе уравнение для j (Г), вообще говоря, не есть еще уравнение для плотности тока, про- текающего через диод, даже при условии отбора тока насыщения катода. Это связано с тем, что при выводе формулы / (71) не учиты- вались процессы отражения термоэлектронов на аноде. Учтем указанный эффект и выведем уравнение для тока в плоском диоде. 5*
132 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV Рассмотрим для простоты диод с достаточно малым межэлек- тродным расстоянием, таким, чтобы можно было пренебречь объемным зарядом электронов. Пусть температура первого элек- трода равна Тг, а второго электрода — Т2, работа выхода первого электрода — фг и второго электрода — ф2, а внешняя разность потенциалов между электрода- ми 1'н такова, что энергетичес- кая диаграмма диода имеет вид, показанный на рис. 62. Очевидно, что в токе через диод будут участвовать только те электроны, для которых пол- ная энергия Ех, связанная с нормальной компонентой им- пульса вне тела, превышает энергию покоящегося электро- на Ет, находящегося в том месте, где потенциальная энер- гия максимальна. Для случая, изображенного на рис. 62, Ех дол- жна быть больше, чем энергия электрона, находящегося у повер- хности первого электрода: Ех 5= Ет. Обозначим средние коэффи- циенты отражения термоэлектронов, имеющих энергии Ех Ет, на поверхностях первого и второго электродов через Rr и R2', коэффициенты прозрачности соответственно будут = 1 — Rx иД = 1 — R2. Будем полагать их для потоков электронов, дви- жущихся снаружи внутрь и изнутри наружу, как это обычно де- лается, равными друг другу. Коэффициенты могут зависеть от величин энергий электронов, связанных с нормальными компонентами импульсов у поверхно- стей тел, т. е. от Ех — Ет = ЕЕХ у первого тела и от АЕХД- е (<р1 — (р2 + ^н) У второго тела. Средние же величины коэф- фициентов могут быть функциями средних значений величин &ЕХ у первого и \ЕХ -}- е (ф1 — ф2 + V’„) у второго электродов при заданном законе распределения по АЕХ. Вводя полную внутрен- нюю разность потенциалов Кв = Ф1 —ф2+Кн = ф1 —ф2 —I ^н1» (16.1) имеем R1=Ri(\Ex}, D2 = D2(KEx + eVB), R2 = R2(&Ex + eVB). Пусть плотность потока электронов с энергиями Ех Ет, падающих изнутри первого электрода на его границу с вакуумом, (16.2)
§ 161 КОЭФФИЦИЕНТ ПРОЗРАЧНОСТИ ДИОДА 133 равна vx (Ту). Из потока vx (Ту) выйдет через поверхность первого электрода и упадет на поверхность второго электрода поток Vi (7\) Dy (ДЕХ). Из него во второй электрод уйдет поток а поток уДТЖЖ) Я2(Щ+еИв) отразится и вернется обратно к первому электроду, ча- стично на нем отразится, отраженная часть потока опять напра- вится ко второму электроду, частично в него уйдет, а частично отразится и так далее. Легко видеть, что поток термоэлектронов, уходящий во второй электрод при втором падении, равен vx (Ту)D (КЁХ)В2 (£ЁХ + eVB)By (\ЕХ) D2 (ЬЁх + eVB), при третьем падении — vy (Ту) Dy (Ж) (Ж + еИв)Л(Ж)1а (Ж + еУЕ), при n-м падении — vx (Ту) Dy (КЁ~Х) [В2 (\ГХ + eVs) Ву(ГЕх)]^ D, (ЬЕХ + еУв). Очевидно, плотность полного потока электронов, уходящего во второй электрод v12 (Ту), равна пределу суммы всех потоков электронов, ушедших через 1 см2 во второй электрод при п->оо: v12 (Ту) = Vy (Ту) Dy (\ЕХ) D2 (\Ех + eFB) X X {1 + Ry (Afi’J в2 (ЬЕХ + eVB) 4- [7?х (AKJ В2 (ЛЕХ + еИв)]2 + + ... + [*! (&ЕХ) В2 (ЬЕХ + е Ив)]п-1 + ...} = Ру (&EJ Д2 (\Ех + еУв) (16.3) = vx (Ту) В этом расчете принималось, что коэффициенты By (&ЕХ) и Т?2 (АЕХ 4- eVB) при первом, втором и т. д. падениях потока термо- электронов одинаковы. Это верно лишь в том случае, если распре- деление термоэлектронов по энергиям не изменяется при отраже- нии. Это возможно, если коэффициенты отражения В и прозрач- ности D не зависят от энергии. Для энергий до Л ,5 эв в частном случае монокристаллов тантала это будет показано в § 20. Рассуждения, аналогичные проведенным выше, можно проде- лать и для электронов, эмитируемых вторым электродом, и под- считать плотность потока термоэлектронов v21, уходящего из вто- рого электрода в первый. Она окажется равной v31(r2) = v2(T2) Ру(АЕх)Р2(АЕх + еУъ) 1-В^Е^^ + еУ^ -=^(T2)D.2i(VB), (16.4)
134 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV Очевидно, что в формулах (16.3) и (16.4) коэффициенты />г, (FB) и D21 (7в) определяют доли потоков термоэлектронов, уходящих из первого электрода во второй и из второго в первый, из полных потоков электронов, падающих изнутри первого и второго элек- тродов на их границы с вакуумом. Из сравнения формул (16.3) и (16.4) следует, что 6Vb} i-R^E^R^E^eV^ (16.5) Будем называть эту величину приведенным или комбинирован- ным коэффициентом прозрачности диода. Как видно из (16.5), комбинированный коэффициент опреде- ляется коэффициентами прозрачности обоих электродов диода и может зависеть от внутренней, а следовательно, и от внешней разности потенциалов Гн. Выражение для комбинированного коэффициента прозрач- ности получено для плоского диода, в котором все электроны, отраженные от одного электрода, попадают на другой. Аналогич- ная картина движения электронов реализуется в цилиндрическом и сферическом диодах при условии, что радиусы электродов су- щественно превосходят межэлектродное расстояние. Поэтому и для таких диодов доля потока электронов, уходящая от одного электрода к другому, также определяется полученным выше ком- бинированным коэффициентом прозрачности. Положение меняется, если радиус первого электрода мал по сравнению с радиусом второго электрода. В этом случае вероят- ность попадания электрона, отраженного на втором электроде, обратно на первый очень мала; многократные отражения электро- нов происходят преимущественно на аноде, так что практически все эмитированные первым электродом электроны уйдут во вто- рой. Поэтому фактически будем иметь: 1)2 (ДЕЖ + eVB) 1; д2(Ж + eVB) «= 0 и поэтому (16.6) Таким образом, роль отражений на аноде существенно опреде- ляется конструкцией диода. Полный ток, протекающий через плоский диод будет равен е - v?1), т. е. ip = 5^1Jv1(7’1)-v2(T8)],
§ 17] ИЗМЕРЕНИЕ ТЕРМОЭЛЕКТРОННЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ВЕЩЕСТВ 135 где S — площадь поверхности электродов. Если (fj ф2 + 1^1, ТО V, (Л) Дт; «pH?;] И *2 (7\) y Л ехр | — щ {ф2 + (Ф1 — Фг — ^н)} | = Тогда i„ = ехр [- g-’] - Л ехр [- (16.7) Нетрудно получить выражение для 1д и в случае фх<^ ф2 + |РН|: 1Д = SAoD12 {л ехр [- ехр [- ]}. (16.8) § 17. Измерение термоэлектронных характеристик веществ В формулу (12.1) для термоэмиссионного тока с некоторой поверхности тела наряду с универсальными постоянными входят два параметра, характеризующие ее термоэмиссионные свойства,— работа выхода ф и средний коэффициент отражения электронов R. Определяющее влияние на величину термотока, как легко видеть из (12.1), оказывает работа выхода. Так, например, для катода с работой выхода, равной 4,5 эв (например, полпкристаллический вольфрам), при Т = 2000° К изменение ф всего на 10% приводит к изменению термотока на целый порядок, а изменение ф вдвое меняет / в 3-105 раз. Увеличение же R, равного для поликри- сталлического вольфрама 0,15 [16], в два раза вызвало бы из- менение термотока лишь на 20%. Рассмотрим экспериментальные методы определения термо- эмиссионных постоянных R и ф, а также температурного коэффи- <7<р циента ф, т. е. а = . 1. Метод определения R. К настоящему времени имеется не- большое число работ по определению среднего коэффициента отра- жения термоэлектронов с ряда поликристаллическпх и монокри- сталлических эмиттеров. Рассмотрим работу Д. Г. Булыгинского [16], в которой измерен коэффициент отражения термоэлектронов с поликристаллического вольфрамового катода. Остановимся кратко лишь на идее метода, использованного в этой работе.
136 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV Пусть имеется катод К в виде полого цилиндра с узкой про- резью 5j, параллельной его оси (рис. 63). Катод окружен анодом А в виде коаксиального с ним цилиндра, также с прорезью 52, параллельной оси цилиндра. Против щели в аноде расположен жестко с ним связанный, но электри- @ чески изолированный коллектор С. Анод с коллектором могут вращать- ____. ся, так что коллектор можно рас- IHZv положить либо против щели в ка- С -; > тоде, либо против его наружной по- 1 верхности. Измеряя плотность тока, эмитируемого наружной поверхно- Рис. 63. стью катода /, а также плотность тока, выходящего из щели, /щ, можно определить коэффициент отражения электронов R при ус- ловии, что в полости катода имеется почти равновесный элект- ронный газ. Для того чтобы это условие выполнялось, площадь прорези в катоде должна быть достаточно мала по сравнению с площадью внутренней поверхности катода. Плотность тока, выходящего из щели, очевидно, равна: /щ=4nv&' (17.1) где п — концентрация равновесного электронного газа, v — сред- няя скорость теплового движения электронов в полости. Из усло- вия равновесия электронного газа также вытекает, что внутри полости катода количество электронов, эмитируемых единицей его поверхности в единицу времени в точности равно числу электронов, упавших на ту же поверхность и ушедших внутрь катода за то же время: 4^(1-7?') = Х, (17.2) где R' — средний коэффициент отражения электронов на поверх- ности катода, упавших на нее из полости катода. Но коэффициент отражения электронов от потенциального порога не зависит от того, падают ли на него электроны со стороны потенциального ящика (R') или извне (/?"), т. е. (см. § 16): R'^R"=R. (17.3) Тогда из (17.1) и (17.2), учитывая (17.3), вытекает: D = l— R=k (17.4) /щ '
§ 17] ИЗМЕРЕНИЕ ТЕРМОЭЛЕКТРОННЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ВЕЩЕСТВ 137 Таким образом, вращая анод и соединенный с ним коллектор и определяя ток i в цепи последнего, можно измерить зависимость этого тока от угла поворота коллектора при бесконечно большой разрешающей зависимость г(й) = где S — площадь щели в аноде, изобразится кривой, показанной на рис. 64, из ко- торой легко, пользуясь формулой (17.4), найти величину/?. В работе [16] пока- зано, как можно измерить R и в реаль- ном приборе с конечной разрешающей способностью. По данным [16] для й. В идеальном случае способности прибора г? вольфрамового катода R 0,15. Заме- рис. 64. тим еще раз, что это значение R по- лучено для поликристаллического образца и потому, может быть, несколько завышено из-за наличия полей пятен. Помимо рассмотреннего выше метода коэффициент отражения измерялся также методом пучка (см. § 36). Можно показать, однако, что средние коэффициенты отражения потока термоэлек- тронов, падающих на границу эмиттера с вакуумом со всевозмож- ными значениями тангенциальных составляющих, и направлен- ного потока медленных первичных электронов, вообще говоря, не тождественны. Кроме указанных методов, возможно получить некоторые све- дения о коэффициенте отражения [519] из изучения так называе- мых «периодических отступлений термотока от прямой Шоттки» (см. § 18). 2. Методы определения работы выхода. Величина е<р (истинная работа выхода), входящая в (12.1), в адиабатическом и в одноэле- ктронном приближении равна разности энергий Еа — Ео. Здесь Еа — энергия электрона, покоящегося вне тела у его поверхно- сти на расстоянии, где силами, действующими на электрон со стороны этой поверхности, можно пренебречь (т. е. за пределами поля сил работы выхода); Ео — энергия, соответствующая уровню электрохимического потенциала системы электронов вну- три тела. Вследствие некоторых трудностей измерения истинной работы выхода для характеристики термоэлектронных свойств поверхности пользуются и несколько иными величинами, также называемыми работами выхода (см. ниже). В настоящем параграфе мы рассмотрим только те методы опре- деления работы выхода, которые основаны на использовании яв- ления термоэмиссии, а также контактной разности потенциалов. а) Метод полного тока. Как было показано выше, ток насыщения I, эмитируемый термокатодом с поверхностью 61,
138 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV равеа i = fS = S A0DT2 exp [— . Отсюда путем логарифмирования и подстановки численных зна- чений входящих универсальных величин получим <р(П = + с17-5) где 1g Ао — 2,025. Так как величина D почти для всех эмиттеров неизвестна, формула (17.5) не позволяет определить величину ср. Однако можно найти приближенное значение фпт, если положить D = 1, т. е. ФПНП = ^(2,025-1g (17-6) Поскольку в действительности D <( 1, т. е. lg D <( 0, постольку определенная таким образом работа выхода фпт завышена по сравнению с ее истинным значением фист: Т — фпт = фист 50401^77 фист- (17.7) Но, по-видимому, D не очень сильно отличается от единицы, по- этому допущенная ошибка Аф в определении фист будет невелика. Так, если предположить, что D = 0,5 (и это меньше истин- ного значения Р), легко получить, что при Т 1000° К Аф == фпт — фист = 0,06 в. Таким образом, ошибка в измерении вели- чины фист методом полного тока составляет сотые доли вольта. Используя фпт, уравнение для плотности термоэмиссионного тока можно переписать в виде /= Л0Пехр[-^]. (17.8) Согласно (17.8) фпт является единой комбинированной характери- стикой термо эмиссионных свойств эмиттера при данной темпера- туре. Величина фпт, как указано выше, несколько больше фист и неким образом включает D. Если воспользоваться (17.8), то для всех эмиттеров можно составить одну таблицу j (фпт, 7’) или по- строить график /пт (У) для разных значений фпт. На рис. 65 дано такое семейство кривых у (71) для интервала температур 300° К <( Т <( 3000° К и для 0,8 эв sg фпт «С 7 эв. Приведенное семейство кривых у (71) удобно для оценок зависимости у (Г, фпт), Т (j, фпт) и фпт (/, Т) на практике.
§ 17] ИЗМЕРЕНИЕ ТЕРМОЭЛЕКТРОННЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ВЕЩЕСТВ 139 б) Метод прямых Ричардсона. В § 15 было по- казано, что в случае, когда температурная зависимость работы выхода может быть аппроксимирована линейной функцией (см. формулу (15.7)), уравнение для термотока принимает вид / = ЛхЛехр где Ф (?) = фист (То) аТ0. При этом зависимость 1g ~ от должна изображаться прямой линией, тангенс угла наклона которой к осп абсцисс равен ф (рис. 61). Найденная таким путем величина ф есть приведенная или ричардсоновская работа выхода. Много лет этот метод являлся единственным при определении величины работы выхода [до вве- дения зоммерфельдовской термоэлектронной постоянной Ло (1928г.) и установления ее универсальности]. Достоинство метода прямых Ричардсона состоит в том, что полученная таким путем величина работы выхода не искажена влиянием неучета коэффициента про- зрачности D поверхности. Однако, так же как и в методе полного тока, она не равна истинной работе выхода катода. Допускаемая ошибка Аф — аТ0. В случае, когда а > 0, ф <( фист и, наоборот,
140 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ ГГЛ. IV при а 0 ф ф> фиог. Абсолютная величина ошибки зависит от абсолютного значения а. Для металлов |<х| 10 5 в-град1, так что при Т 1000° К |Аф| № 10 2 в, т. е. ошибка при определе- нии истинной работы выхода металлических эмиттеров методом прямых Ричардсона примерно такая же, что и в методе полного тока. Для некоторых полупроводников |а| (10 4—10 3)в- град \ так что [Дф| = (0,1 — 1)в, т. е. ошибка может быть очень велика. Поэтому для полупроводников для оценки истинной работы вы- хода предпочтительно пользоваться методом полного тока. При измерении работы выхода методом прямых Ричардсона из экспериментальных данных также определяется ричардсоновская термоэлектронная постоянная Аг, которая, в отличие от зоммер- фельдовской постоянной Ао, не является универсальной по- стоянной, а согласно (15.9) пропорциональна коэффициенту проз- рачности D и для монокристаллов экспоненциально зависит от температурного коэффициента работы выхода а. Значения D, как указано выше, не сильно отличаются от единицы. Коэффициент а, как сказано выше, для разных катодов может быть положитель- ным либо отрицательным и изменяется в широких пределах по абсолютной величине. Это приведет к тому, что экспериментально найденные значения Аг для разных веществ могут быть и больше и меньше Ао. Эти различия невелики для металлов, у которых ко- эффициент а мал. Для монокристаллических металлических эмит- теров значения А1 заключены в пределах 15—350 а - см2- град 2. Для поликристаллических металлических катодов величины Аг зависят также от пятнистости катода и шероховатости его повер- хности и могут существенно отличаться от Ао уже по этим при- чинам. Для полупроводников область значений а велика, так что значения Аг для разных веществ различаются между собой даже на несколько порядков. Для того чтобы еще раз указать на связь рассмотренных выше двух термоэлектронных работ выхода с истинной работой выхода, приведем следующее соотношение: / = Ао (1 - R) Т2 ехр [- = А0Т2 ехр [- = = A^expf- g]. Таким образом, для характеристики термоэмиссионной способ- ности поверхности эмиттера в некотором диапазоне температур в случае, если оправдывается линейная аппроксимация темпера- турной зависимости работы выхода, нужно задавать две величины: либо фпт (То) и -jy -(в методе полного тока), либо ф и Аг (в методе
§ 17] ИЗМЕРЕНИЕ ТЕРМОЭЛЕКТРОННЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ВЕЩЕСТВ 141 прямых Ричардсона). Отметим, что в различных статьях приво- дятся значения термоэлектронной работы выхода, измеренные каким-либо одним из указанных методов, и даже не всегда огова- ривается, каким именно. Это .затрудняет сопоставление результа- тов, полученных в разных работах. В ряде сводных таблиц и справочников также нередко приводятся различные термоэлек- тронные работы выхода без указания метода измерений, см., на- пример, [17]. в) Калориметрический метод. Этот метод осно- вывается на том, что эмиссия электронов термокатодом связана с затратой энергии — теплоты испарения электронов, которая определяется работой выхода катода. Поэтому тепловой баланс катода при отборе от него тока термоэмиссии не равен балансу при запирании тока. В случае, когда ток термоэмиссии заперт (/ = 0), а теплопроводностью вводов можно пренебречь, энергия, выделяющаяся в прямонакальном катоде в виде джоулева тепла, в состоянии равновесия расходуется только на тепловое излуче- ние, т. е. ЦИ = SaaTl, (17.9) где /0 — ток накала катода, R — его сопротивление, S — поверх- ность катода, а — постоянная Стефана — Больцмана, То — тем- пература катода, а — коэффициент излучения данного тела при данной температуре То. При отборе тока термоэмиссии (/ 0) энергия, выделяющаяся в катоде, расходуется не только на тепло- вое излучение, но и на испарение (эмиссию) электронов. Поэтому, если ток накала катода оставить неизменным (т. е. равным /0), температура окажется ниже, чем при у = 0. Для поддержания же прежней температуры То потребуется увеличить ток накала /0 на некоторую величину А/, т. е. (Л + А/)*Я = Аа<тЛ + д^, (17.10) где дг — средняя теплота испарения электронов при термоэмис- сии. Обычно А/ 10, тогда формулу (17.10) можно переписать в виде I0R + 2I0RM = + SavTl. (17-11) Из (17.11), учитывая (17.9), получим 2I0RM = gi'f. (17.12) Но средняя теплота испарения электронов равна Яг = «ф + 2кТй. (17.13)
142 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV (17.14) (В § 20 будет показано, что средняя кинетическая энергия электронов в потоке равна 2кТ.) Тогда из (17.12) п (17.13) следует: 2I0RM 2кТв 4= -Js---------? Измеряя входящие в формулу (17.14) величины, можно опреде- лить ср. Получаемая таким путем величина работы выхода является истинной и, следовательно, не искажена ни влиянием температур- ной зависимости работы выхода, ни отсутствием знаний о коэф- фициенте прозрачности D. Однако реализация этого метода на практике достаточно сложна [18]. Из-за этого калориметриче- ский метод используется редко. г) Метод контактной разности потенциа- л о в. Как указано в § 8, существующая между поверхностями двух электродов внутренняя разность потенциалов РЕ опреде- ляется, во-первых, приложенной внешней разностью потенциалов Уи и, во-вторых, контактной разностью потенциалов КьрП, т. е. КЕ=КН+Кнрп. (17.15) Из (17.15) следует, что при Ув=0 1Н ' = |К1фп1. Но FKPn = фА~фк- Поэтому, измерив внешнее напряжение Ун при Ув = 0 и опре- делив таким образом контактную разность потенциалов, можно, зная работу выхода одного из электродов, найти ее для другого электрода. Существует несколько способов измерения TKpn. Из них мы рассмотрим только два: метод Томсона — Зисмана и метод смещения вольтамперных характеристик. Рассмотрим сначала первый из указанных методов. При на- личии электрического поля, создаваемого разностью потенциалов Ув между двумя электродами, на них находится заряд д, опре- деляемый емкостью С конденсатора, образуемого этими электро- дами: g = CFB. (17.16) При вибрации электродов, приводящей к периодическим измене- ниям расстояния между ними, емкость С также периодически меняется. При фиксированной разности потенциалов РЕ это при- ведет согласно (17.16) к периодическим изменениям заряда д, в результате чего во внешней цепи появится переменный ток i (<): . . . dq dC Эффект появления переменного тока может быть обнаружен, на- пример, с помощью телефона, включенного в цепь последовательно с конденсатором. Ток в цепи протекать не будет только при усло- вии, что — 0, т. е. | Ун | = - | УцрП|. Поэтому, изменяя внешнее
§ 17] ИЗМЕРЕНИЕ ТЕРМОЭЛЕКТРОННЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ВЕЩЕСТВ 143 напряжение VH и регистрируя переменный ток в цепи конденса- тора, можно подобрать Va равным FKpn. Обратимся к методу смещения вольтамперных характеристик. Рассмотрим вольтамперную характеристику диода lg i = / (FH). Пусть <рк = фд, так что FKpn = 0, и ток эмиссии катода настолько мал, что можно пренебречь объемным зарядом. Тогда при FH О все электроны, эмитируемые катодом, достигают анода, и ток i равен току насыщения катода. При FH<C0, по мере роста абсо- лютного значения VH, анодный ток уменьшается, причем, как будет показано в § 20, зависимость Jg i = / (FH) линейна. Поэтому при указанных выше допущениях зависимость lg i = f (FH) должна изображаться графиком, состоящим из двух прямолинейных участков — горизонтального и наклоненного к оси абсцисс, кото- рые пересекаются при Va = 0 " фк Ф Фа к внешней разности по- тенциалов добавляется контакт- ная разность потенциалов FBpn, которая при фА <Z Фк ускоряет электроны, эмитируемые като- дом, а при фд фк, наоборот, тормозит их. В результате за- висимость lg i (FH) окажется смещенной по оси абсцисс на величину контактной разности потенциалов, так что излом кривой lg i — / (FH) будет иметь место при внешней раз- ности потенциалов | Va [ = | FKpn |, причем при фА \ Фк Ун 0 (рис. 66, кривая 2), тогда как при Фа фк Ун 0 (кривая 3). В реальных условиях в силу разных причин зависимость lg i = / (FH) не имеет резкого излома, а характеризуется плавной переходной областью. В этом случае величина FKPn определяется по пересечению экстраполированных прямолинейных участков кривой lg i = / (FH). Строго говоря, если температуры катода и анода не одинаковы, то необходимо ввести поправку [22] на термо- э. д. с. между электродами; однако в случае металлических элек- тродов эта поправка мала. Из определенной указанным методом величины FKpn и известной работы выхода одного из электродов можно найти работу выхода второго. Одним из удобных вариантов метода смещения вольтамперных характеристик является метод электронного пучка, предложен- ный Андерсоном [19]. В этом варианте пучок электронов из элек- тронной пушки падает на исследуемую мишень; измеряется ток на мишень в зависимости от задерживающей разности потенци- алов между катодом пушки и мишенью. В отличие от метода, в котором исследуемая мишень является эмиттером, в методе
144 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV Андерсона определение контактной разности потенциалов можно проводить в области температур, где собственная термоэмиссия изучаемого вещества еще практически отсутствует. Методы, основанные на исследовании контактной разности по- тенциалов, особенно удобны в том случае, если измеряется не сама работа выхода мишени, а ее изменение под влиянием тех или иных факторов, например, покрытия чужеродными атомами или изме- нения температуры мишени. д) Электронно-оптические методы иссле- дования термокатодов. Для многих задач сущест- венно знание локальной величины работы выхода малых областей поверхности термоэмиттеров. В этом случае используются методы электронной эмиссионной микроскопии [569]. Обычно принима- лось, что картина, наблюдаемая на экране эмиссионного микро- скопа, соответствует распределению эмиссии катода; несоответ- ствие же определяется лишь техническими параметрами прибора Рис. 67. (точностью юстировки электронных линз, напряженностью внеш- него поля и т. д.). Однако в ряде работ Г. В. Спивака с сотрудни- ками [299, 569] было детально выяснено, как неоднородности поверхности эмиттера механического или электрического харак- тера искажают эмиссионное изображение. Была выведена фор- мула, связывающая распределение тока в плоскости экрана эмис- сионного микроскопа у (хМ, уМ) (М — увеличение прибора) с распределением собственной удельной эмиссии катода /0 (я, у),
§ 17] ИЗМЕРЕНИЕ ТЕРМОЭЛЕКТРОННЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ВЕЩЕСТВ 145 ча- г- Рис. 68. учитывающая микрополе на поверхности эмиттера, обусловленное контактными полями пятен (см. § 22), микрогеометрией, вариацией локального объемного заряда и зарядкой плохо проводящих стей поверхности. Если в экране эмиссионного электронного микроскопа сде- лать небольшое отверстие, то ток, проходящий в это отвер- стие, можно измерить, напри- мер, с помощью цилиндра Фа- радея. В ряде работ [569] опи- сана автоматическая схема, позволяющая сразу же без смещения катода получать на экране осциллографа кривую у (хМ). Если тем или иным спосо- бом измерить / (хМ, уМ) в центре эмиссионного пятна (при достаточно гладкой поверхнос- ти) достаточно больших разме- ров, то можно считать, что М2] (хМ, уМ) 70 (х, у). Для термоэмиттеров, изучаемых в эмис- сионном микроскопе, 70 (х, у) определяется формулой (12.1). Следовательно, зная )0 (ж, у), можно легко определить ф (ж, у). На рис. 67 приведено эмиссионное изображение A-катода (см. § 26) с увеличением 2000 X (температура катода 1175° С) [570]. Работа выхода наиболее тивных центров равна 2,5 эв; значения ф (ж, у) ле- жат в пределах от 2,5 до 3,3 эв. На рис. 68 приведено эмиссионное изображение оксидного катода (М = 400 X; Тк. = 1060° К), а на рис. 69 — распределение ф (ж) на участке, обозначенном стрелкой на рис. 68 [569], полу- ченное с учетом микрополя на поверхности эмиттера, о котором сказано выше. е) Измерение работы выхода граней мо- нокристаллов. Укажем на один из методов исследования Рис. 69. ак- эмиссионных
146 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV термоэмиссии отдельных кристаллографических граней. Если взять, например, поликристаллическую вольфрамовую проволоку, то большинство микрокристаллов в ней имеет преимущественную ориентацию: направление с индексами (НО) совпадает с осью про- волоки. Путем соответствующей тепловой обработки можно до- биться перекристаллизации вольфрамовой проволоки, роста на некотором ее участке (длиной порядка см) одного монокристалла. При этом направление (110) в монокристалле окажется также сов- падающим с осью проволоки. Боковая поверхность цилиндра теперь будет состоять из меридиональных полосок, имеющих вдоль всего монокристалла одинаковое строение, соответствующее той или иной грани (ikl), причем два из трех индексов для таких проволок будут одинаковы, например (100), (110), (212) и т. д. Индексы (ikl) граней для полосок с различными азимутами будут разные. Если такой цилиндрический монокристаллический катод рас- положить внутри коаксиального анода, в котором имеется узкая прорезь по одной из образующих, то при достаточном анодном напряжении сквозь эту прорезь будут пролетать термоэлектроны, испущенные лишь меридиональной полоской катода, расположен- ной против прорези в аноде. Таким образом, можно выделить тер- моток, идущий с части катода, представляющей одну из граней (ikl) монокристалла. Поворачивая нить относительно анода, можно исследовать термоэмиссию с различных граней, выходящих на боковую поверхность цилиндрического монокристаллического ка- тода. В последнее время, в связи с большими успехами в технике изготовления макроскопических монокристаллов, получают рас- пространение методы изучения термоэмиссионных характеристик различных граней макроскопических монокристаллов. Вырезая из такого монокристалла сферический катод и нагре- вая его тем или иным способом, можно исследовать распределение термотока по его поверхности и отсюда определить термоэмпссион- ные свойства элементов с различными (ikl). Впервые этот метод был применен в работе [564]. Можно также сделать катод в виде цилиндра, торцевая поверхность которого имеет данные (ikl), и исследовать термоэлектронные свойства этой грани. Используются также и другие методы [20]. Для исследования термоэлектронных свойств граней моно- кристаллов в последнее время используются текстурированные ленты. ж) Некоторые особенности измерения ра- боты выхода тугоплавких соединений. По- мимо изучения термоэлектронной эмиссии элементов исследова- лась, главным образом в последние годы, термоэмиссия тугоплав-
§ 171 ИЗМЕРЕНИЕ ТЕРМОЭЛЕКТРОННЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ВЕЩЕСТВ 147 ких соединений (некоторые окислы, карбиды, нитриды, бориды и др.). Отметим некоторые особенности этих исследований. В большинстве работ объектом исследования были порошки изуча- емых веществ, нанесенные в виде слоя на подложки из тугоплав- ких металлов (W, Мо, Та), и лишь в небольшом числе работ изу- чались керамические таблетки и стержни без подложки. Во всех работах не указаны состав и структура поверхностных слоев ис- следованных веществ. В случае слоев на подложках при высоких Рис. 70. их температурах могут происходить химические реакции между материалами подложки и слоя, изменяющие объект исследования. Для того чтобы исключить это изменение, стараются подобрать такое вещество подложки, которое не реагирует с веществом слоя при температурах, используемых в опыте (подбирают так назы- ваемую совместимую с изучаемым веществом подложку). Некото- рые из тугоплавких веществ разлагаются при высоких температу- рах, что также приводит к изменению объекта исследования — вместо вещества АпВт в опыте изучается смесь веществ (АпВт Д + п'А + т'В). В ряде случаев испарение материала эмиттера, имеющее место в опыте, происходит неконгруэнтно, т. е. состав испарившегося материала не соответствует формуле АпВт; при этом объектом изучения также будет не вещество АпВт, но смесь Ап Вт с А и В. Термоэмиссионные свойства катодов из тугоплавких
148 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ ТТЛ. IV соединений зависят также от технологии их изготовления и от их предварительной тепловой обработки. Б качестве иллюстрации изложенного выше на рис. 70 представлены результаты измерений плотности тока термоэмиссии (/ измерялась в а - см~2) и значения работы выхода, определенной по методу полного тока, для ТаВ2 в зависимости от температуры и времени прогрева, по [21]. Все эти обстоятельства затрудняют изучение термоэлектрон- ной эмиссии и интерпретацию получаемых результатов для этого класса эмиттеров. 3. Измерение температурного коэффициента работы выхода. Одним из косвенных методов оценки температурного коэффици- ента работы выхода а = для монокристаллов является срав- нение теоретического значения зоммерфельдовской и измеренного на опыте значения ричардсоновской термоэлектронных постоян- ных. Последняя, по (15.9), равна А1 = Л0Т)ехр^—откуда a- Ifin^+inP], (17.17) Если бы для исследуемого эмиттера величина D была известна, то, измерив на опыте Alt по (17.17) можно было бы найти а. Но, как сказано выше, почти для всех эмиттеров D неизвестно. Поэтому приходится оценивать значение а, поступая аналогично тому, как это делается в методе определения работы выхода по полному току, т. е. полагая D = 1; тогда а*--—1пф (17.18) или, подставляя значения к, е, выражая а* в в-град1 и переходя к десятичным логарифмам, получим Так как D 1, то, очевидно, а* а. Этот метод, хотя и дает лишь верхний предел значений а, обладает тем достоинством, что позволяет дать оценку.» для тех монокристаллических эмиттеров, для которых измерены Аг. Прямые методы определения величины и знака температур- ного коэффициента работы выхода сводятся к измерению изменения Аф работы выхода при заданном изменении температуры АТ’ ис- следуемого электрода; при этом, очевидно, а = В большинстве работ по изучению а использовались те или иные варианты ме- тода контактной разности потенциалов. Следует напомнить, что
5 17] ИЗМЕРЕНИЕ ТЕРМОЭЛЕКТРОННЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ВЕЩЕСТВ 149 в случае неравенства температур эмиттера и коллектора следует вводить поправку на величину термо-э.д.с. [22]. Естественно, что для правильного определения а, относяще- гося к определенному электроду, необходимо обеспечить неиз- менность состава его поверхности при температурах, при которых производятся измерения работ выхода, т. е. проводить эти изме- рения при достаточно высоком вакууме и в области низких тем- ператур. Методика, аналогичная [22], применена в [23] для исследования ферромагнитной аномалии работы выхода никеля в интервале температур, содержащих точку Кюри. В подавляющем большинстве исследований измерялся тем- пературный коэффициент работы выхода поликристаллических электродов. В интересной работе [509] исследовались температур- ные коэффициенты работы выхода граней монокристалла воль- фрама. Изменение работы выхода определялось по сдвигу кри- вых распределения термоэлектронов по скоростям при изменении температуры эмиттера (см. § 20). 4. Результаты измерений работы выхода. Определению вели- чин работы выхода разных веществ, в основном металлов, посвя- щено большое число работ. Доверия заслуживают работы, в ко- торых измерения проводились в приборах с достаточным вакуумом и хорошо очищенными исследуемыми катодами. Так, например, для платины различные исследователи находили ф в пределах от 3,87 до 6,7 в и лишь в 1936 г. [24] путем очень длительного про- гревания платины в вакууме при температуре, близкой к темпе- ратуре ее плавления, удалось получить чистую поверхность поли- кристаллической платины со значением <р — 5,32 в. При плохой очистке поверхностей получался также очень большой разброс значений для ричардсоновской термоэлектронной постоянной At. К настоящему времени работы выхода измерены примерно для 60 элементов (главным образом металлов), для многих соединений и для некоторых пленочных катодов (см. § 21—25). Начаты ис- следования твердых растворов и сплавов. В основном измерения проведены для поликристаллических образцов, т. е. для катодов, поверхность которых представляет мозаику различных кристалло- графических граней. Поэтому приводимые в работах значения работ выхода являются либо средними по току, либо средними по поверхности работами выхода (см. § 28). Наименьшей работой выхода из изученных элементов обладает цезий (ф = 1,87 в), наибольшей — йод (ф = 6,80 в); из исследованных металлов наи- большей работой выхода характеризуется платина, для которой Ф = 5,32 в. Таким образом, диапазон значений работ выхода ф элементов примерно равен 4 в. Для большинства металлов
150 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV Ф 4-1-5 в. Интервал значений работ выхода соединений и пленочных катодов даже несколько больше. Библиографические данные о величинах работ выхода, полу- ченных разными методами, для большинства изученных элемен- тов, соединений и пленочных систем собраны в работе [17]. Существует несколько десятков работ по определению работ выхода для отдельных граней монокристаллов. Из проведенных исследований следует, что грани монокристаллов, имеющие раз- личные кристаллографические индексы (ikl), обладают разными значениями ф, т. е. ф = ф (ikl). В табл. 3 приводятся значения работ выхода ф (ikl) для некоторых граней вольфрама, молибдена Таблица 3 Грань Металл 110 112 100 111 116 (*) W 5,35 в 4,80 в 4,60 в 4,40 в 4,32 в 4,5 в Мо 5,00 в 4,55 в 4,40 в 4,10 в ~ 4,0 в 4,3 в Та 4,80 в 4,34-4,4 в 4,15 в 4,СО в — 3,9 в 4,1 в и тантала по [518]. Кроме того, в последнем столбце (*) даны наи- более часто приводимые в литературе значения работ выхода для поликристаллических эмиттеров тех же металлов. Таким образом, величина работы выхода является константой, характеризующей не только вещество катода, но и структуру его поверхности. По- этому и следует говорить не о работе выхода вещества или тела, а о работе выхода определенной поверхности тела. Обстоятельное рассмотрение исследований работ выхода различных граней для ряда металлов дано в [20]. Из этого рассмотрения следует, что для данного вещества работа выхода (рш грани тем больше, чем плотнее расположены атомы на этой грани монокристалла. Отметим, что не только термоэлектронные свойства разных граней кристалла данного вещества различны, но и многие дру- гие их свойства различны. Так, например, различны теплоты испа- рения атомов и ионов; такие физико-химические процессы, как адсорбция и десорбция чужеродных атомов, миграция их по по- верхности на разных гранях, протекают различно (обзор этих осо- бенностей также рассмотрен в литературе, например, в [20]). Для поликристаллических катодов величина ф будет, очевидно, некоторой средней из локальных значений этой величины для разных граней, образующих поверхность. При этом усреднение
§ 17] ИЗМЕРЕНИЕ ТЕРМОЭЛЕКТРОННЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ВЕЩЕСТВ 151 работы выхода, измеренной разными методами, различно, и поэтому даже для катодов из данного материала значения ф, получаемые в разных опытах, могут быть неодинаковы (см. § 28). Из зависимости <р от структуры поверхности, казалось бы, сле- дует ожидать скачкообразного изменения ф при изменении агре- гатного состояния тела при его плавлении или затвердевании. Однако, как показали опыты В. Г. Большова и автора [25J, вы- полненные в достаточно чистых вакуумных условиях, для меди, серебра и германия величина ф при плавлении вещества не ме- няется, происходит только скачкообразное изменение температур- ного коэффициента работы выхода (рис. 71). Этот на первый взгляд противоречивый результат получил следующее объяс- нение. Строго упорядочен- ная правильная струк- тура поверхности сущест- вует только при Т = 0° К. При Т )> 0 на поверхнос- ти всегда имеется некото- рая равновесная степень беспорядка, которая рас- тет при увеличении темпе- ратуры. При Т, близких к температуре плавления, поверхность уже, по-ви- димому, не имеет упоря- доченного строения, т. е. поверхностный слой как бы не имеет определенной Рис. 71. точки плавления. Скачкообразный переход упорядоченного состо- яния в неупорядоченное происходит только в объеме. Постепенно возрастающее с температурой нарушение упорядоченного строения грани монокристалла является, очевидно, одной из причин тем- пературной зависимости работы выхода. При этом работа, выхода разных граней должна стремиться к одному и тому же значению, соответствующему жидкости при температуре плавления. Дейст- вительно (см. раздел 5 этого параграфа), с ростом температуры Фш плотноупакованных граней убывает, для рыхлых граней — возрастает, а для граней с промежуточными значениями (t,fe,/) изменяется очень мало. Несомненный интерес представляют начатые в последние годы исследования термоэмиссионных свойств сплавов. Примечателен Факт, состоящий в том, что для некоторых сплавов, например, сплава вольфрам — молибден, работа выхода меньше, чем работа выхода компонентов сплава.
152 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV Были предприняты попытки установить соотношение между работами выхода ф и иными свойствами различных элементов, такими как атомный вес, порядковый номер, плотность, энергия решетки кристалла, теплота сублимации и др. [26]. Но, как ука- зано выше, различные грани кристалла данного вещества могут иметь работы выхода, отличающиеся примерно на 1 эв, а наличие на поверхности тела мономолекулярного слоя чужеродных ато- мов (см. § 23) может приводить к изменению еф на несколько эв. В то же время различия в работах выхода всех элементов заклю- чены в пределах около 3,5 эв (а если исключить щелочные металлы, то в интервале менее двух эв). Это означает, что определяющее влияние на величину работы выхода катода оказывает структура и состояние его поверхности (см. § 27, а также работу [27]). 5. Результаты измерения температурного коэффициента ра- боты выхода. Измерения температурного коэффициента работы вы- хода а, выполненные в основном в тридцатых и начале сороковых годов, были проведены для поликристаллических электродов в усло- виях недостаточно высокого вакуума. Результаты этих измерений противоречивы и не согласуются друг с другом не только в отно- шении величины, но даже и знака а (см., например, [28] и [29]). Из более поздних исследований а для поликристаллических об- разцов укажем на измерения этой величины для Мо и Ni, описан- ные в [30] и [31], выполненные на более высоком уровне экспери- ментальной техники (вакуум (3—4) 10 9 тор; длительная, до 10 000 часов, тепловая обработка исследуемого электрода; более точные методы измерения, позволяющие зарегистрировать изменение ф меньше 10 3 в) и с улучшенным методом обработки результатов измерений (учет поправки на термо-э.д.с. по [22]). Согласно [31] амо = = (7,84± 0,07) • 10 в-град-\ Для ферромагнитных тел особый интерес представляет изме- рение температурного ко эффициента работы выхода а в области температур, включающей точку Кюри 0. По теории С. В. Вонсов- ского [32] в этой точке а должно изменяться скачком, т. е. график зависимости ф (Т) должен иметь излом. В работе [31] на опыте исследована эта зависимость для никеля и обнаружен предска- зываемый теорией скачок а; при этом (а)г<в — (a)r>s (— 0,99 ± 0,17) 10 5 в град1. В работе [509], как указано выше, выполнено измерение тем- пературного коэффициента аш работы выхода отдельных граней монокристалла вольфрама. Оказалось, что значенияaikl для разных граней монокристаллов вольфрама различны не только по вели-
§ 18] ВЛИЯНИЕ ВНЕШНЕГО ПОЛЯ НА ТЕРМОЭМИССИЮ МЕТАЛЛОВ 153 чине, но и по знаку. Для плотноупакованных граней (например, (112)) с большей работой выхода ф{Н коэффициент aihl убывает с ростом температуры, тогда как у рыхлых граней (например, (111) и (116)) с меньшей работой выхода, наоборот, возрастает. Для грани ясе (100) со средним значением работы выхода величина аш мала. § 18. Влияние внешнего электрического поля на термоэлектронную эмиссию металлов Из опыта известно, что ток термоэлектронной эмиссии is не имеет истинного насыщения и непрерывно возрастает при увели- чении электрического поля у поверхности эмиттера. Объяснение этому явлению дано Шоттки [33]. Из условия эквипотенцпально- сти поверхности проводника, как известно, вытекает, что сила электрического изобраясения, действующая на электрон со стороны металла, поляризованного этим электроном, равна г е г0 = 4~3-, где х — расстояние от поверхности металла (рис. 72). Работа удаления электрона с расстояния х от металла до бесконечности, совершаемая против этой силы, равна А(х)= 4 = 4J- (18-1) X Заметим, что эту работу нельзя представить как произведение заряда е на потенциал некоторого поля, так как изменение заряда перемещаемого тела вызывает изменение работы, не пропорцио- нальное заряду, но пропорциональное его квадрату. Эти формулы для Fo и для А справедливы лишь для таких расстояний от поверхности металла, на которых поверхность можно считать гладкой, т. е. можно пренебречь атомной структу- рой металла. На расстояниях порядка постоянной решетки а закон Fo (ж) должен быть иным, причем по классической теории металлов внутри металла сила Fo должна обратиться в нуль. Следовательно, вблизи поверхности металла возрастание сил при- тяжения электрона при уменьшении расстояния должно прекра- титься и смениться уменьшением, а внутри металла на глубине порядка постоянной решетки сила Fo должна упасть до нуля (рис. 73). Шоттки полагал, что работа выхода электронов и есть работа против этих сил. Чтобы произвести вычисление величины
154 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV этой работы, необходимо сделать предположение о законе изме- нения сил вблизи поверхности металла. По Шоттки, до некоторого расстояния х = I эти силы изменяются по закону электрического изображения, а от х — I до поверхности металла х = 0 остаются постоянными (рис. 74, кривая 7). Работа выхода при этом выра- зится следующим образом: б ! Подставляя в (18.2) значение е и значение I порядка 10 8 см, полу- чим значения % правильного порядка 10 12 эрг ('—эв). По Ленг- мюру (рис. 74, кривая 2) до х — I закон сил тот же, но Fo (х) на участке от х — Z до ж = 0 меняется по закону ^(х) — Fm—K (ж — с)2, причем так, что Fo = 0 при х — 0. Второе предположение Ленг- мюра: кривая 7’0 (ж) при х = I без разрыва и излома переходит в кривую сил электрического изображения. Определяя из этих условий постоянные Foo, Кис и вычисляя полную работу от х = 0 до х = со, найдем, что и в этом случае «Р = "X = 2Z Для объяснения эффекта влияния внешнего поля на эмиссию (эффект Шоттки) не требуется, однако, знания закона изменения сил на малых расстояниях от поверхности металла. Полная ра-
§ 18] ВЛИЯНИЕ ВНЕШНЕГО ПОЛЯ НА ТЕРМОЭМИССИЮ МЕТАЛЛОВ 155 бота удаления электрона против этих сил может быть записана в виде Ло = F6(x)dx, (18.3) -ь где Fo (х) при х I выражается формулой для сил электрического изображения; интегрирование производится от некоторой точки — b внутри металла, где сила Fo уже равна нулю (рис. 73). При наличии электрического поля <?, тянущего электроны от металла с силой е<Р, полная сила F (ж), действующая на электрон вне ме- талла, будет равна (рис. 73): F (ж) = /’о (ж) — е'Р. Сила F (х) > 0 вплоть до некоторого расстояния х = xk‘ при х = х1{ сила Р (х) = 0 и, наконец, при х^> xh F (ж) направлена уже от металла, поэтому работа против силы, удерживающей электрон, теперь запишется в виде xh А = \ F (х) dx. -ь Значение хк (если xh I) определяется уравнением z>2 т. е. xh= (18.4) Выражение для А можно преобразовать, учитывая (18.4), следую- щим образом: хй оо со xh А = $ F (ж) dx — Fg (ж) dx — j Fo (ж) dx — dx — — Ь — b x& 0 т. e. при наличии внешнего электрического поля работа удаления электрона уменьшится на величину &А = Ао — А = е’А 2?%, (18.5)
156 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV Работа А должна, очевидно, входить в полную работу выхода % электрона из металла, а поэтому А% = Хо — Х = №/г, т. е. X = Хо — e,/2g? (18.6) или Д<р = = 3,8 • 10 * (18.7) где Аф выражено в вольтах, а <8 в в-см Ч Вводя это выражение в уравнение (15.6), получим ; — АТ2 ехр [_ехр — / ехр [е 1 /s ехр I । ехр । । /а0 ехр J, т. е. 1п^=^-. (18.8) 'sO Подставляя значение е, А, переходя к десятичным логарифмам и выражая <8 в в-смГ\ получим: 1g ,^ = 1,906^-. (18.9) 1S0 Если в диоде можно пренебречь искажением распределения потенциала между электродами объемным зарядом протекающего электрического тока, то напряженность поля <8 у поверхности однородного эмиттера может быть вычислена из разности потен- циалов VB между катодом и анодом и геометрии этого диода. На- пример, для плоского диода <8 = -A ($ — расстояние между плос- кими электродами), а для цилиндрической гладкой нити — ка- тода радиуса Як, окруженной коаксиальным анодом радиуса V <8 = -—j—* ё....-. В общем случае <8 — аЕв, где а = const як "1Яа/кк для данного прибора; тогда i v'!* ]g!!== 1,9060*/.^. 'so т Таким образом, если поле 8 у эмиттера не искажено влиянием объемного заряда, то в координатах 1g V^1 вольтамперные ха- Чо (18.10)
§ 18] ВЛИЯНИЕ ВНЕШНЕГО ПОЛЯ НА ТЕРМОЭМИССИЮ МЕТАЛЛОВ 157 рактеристики диодов с однородными электродами в области зна- чений Ув, соответствующих токам насыщения ia, должны быть прямыми линиями. Наклоны этих прямых изменяются обратно пропорционально температу- ре Т катода (см. рис. 75). Рассмотрим кратко влия- ние объемного заряда на за- висимость тока насыщения is от напряжения Ув для простейшего случая плоского диода в приближении нуле- вых начальных скоростей термоэлектронов. Объемный заряд электронов уменьшает напряженность поля S у ка- тода по сравнению с полем V So = , т. е. у поверхности реального катода S = р — , где Р S 1. При этом в области VB VB Р тем меньше единицы, чем VB ближе к значению Ув = [-у ( —'i Z’l/а й4/з, которому по (9.29) соответствует переход к режиму тока насыщения. Например, при Ув — Ув, как известно, S = 0, т. е. Р = 0; при 7в > П ₽ = 1. Так как К* = W (/s, rf), то и р = р (7В, /s, d). Поэтому для того, чтобы проверить теорию Шоттки, необходимо по оси абсцисс откладывать не величины, пропорциональные (или равные) VB‘, а величины, пропорциональные (Гв), т. е. необходимо знать функцию Р (Ув, /8, d). Как следует из §9, при ^ж-о # 0 постоянная интегрирования С в (9.22), очевидно, равна т. е. 2 = (4ВУ^ + ^=о),/!. (18.11) Интегрируя это уравнение в пределах 0 sC х d и 0 V VB, получим уравнение, связывающее Sx 0 с величинами d, Кв и р (т. е. с js). Не производя вычислений, приведем результаты: 2 3 W Р = У, (18.12) где корень уравнения: у3 —(у2 —2) + 4)*/= = 4 (18.13)
158 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV т. е. Р есть функция только отношения (тг). Вычисляя Р по рг В' ' В •' (18.12) й (18.13) для значений р5 = >Т’Т’ ПОЛУЧИМ соответственно Р 0,8; 0,9 и 0,97. При этом нетрудно показать, что в рассматри- ваемой области напряжений, где FB О Ув, но Р 1, 1g is возра- стает с увеличением FB2 быстрее, чем при линейном законе. Более подробно вопрос о напряженности поля у катода при наличии объемного заряда с учетом начального распределения скоростей рассмотрен в 134]. Таким образом, на вольтамперной характеристике диода с однородными электродами при Ув О 0 можно выделить три обла- сти: 1) область малых FB, где Ув < И, = 0^>0 и ток i, проте- кающий через диод, ограничен полем объемного заряда; при этом для Ув~^-кТ, где Т — температура катода, iFB2; 2) область токов насыщения диода is, в которой VB (> FB, но вследствие влия- ния объемного заряда 1g is возрастает с увеличением FB2 скорее, чем при линейной зависимости; 3) область токов насыщения диода is, где FB ]]> FB и поле объемных зарядов пренебрежимо мало, так что 1g is Увг- Схематически вид зависимости 1g i = / (FB2) показан на рис. 76 сплошной линией. Зависимость работы выхода эмиттера от электрического поля у его поверхности, т. е. % (<^), несколько осложняет само опреде- ление величины х- Действительно, для нахождения величины %, не измененной полем ё, необходимо измерять (как в методе пол- ного тока, так и в методе прямых Ричардсона) значения термо- эмиссионного тока при электрическом поле ё, равном нулю у ка- тода. Этому режиму на вольтамперной характеристике термо- тока диода соответствует, очевидно, напряжение Ув = FB, разделяющее указанные выше области I и II (рис. 76). Вслед- ствие плавного хода зави- симости lg i = / (FB 2) при FB VI (что обусловлено влиянием поля объемного заряда) нахождение на- пряжения FB, а следова- тельно, и тока за- труднено. Эту трудность, однако, можно обойти, проэкстраполировав прямолиней- ную часть характеристики lg i = / (FB2) к значению FB = 0 (рис. 76, пунктирная прямая). Легко видеть, что полученное
§ 18] ВЛИЯНИЕ ВНЕШНЕГО ПОЛЯ НА ТЕРМОЭМИССИЮ МЕТАЛЛОВ 159 таким путем значение ординаты lg i при FB = 0 и есть искомая величина lg is,#_0. Тогда пересечение горизонтальной прямой lg i = lg is,g.o с вольтамперной характеристикой диода оп- ределяет точку на этой характеристике, соответствующую VB = Vb, т. е. г? = 0 (см. рис. 76). Экспериментальная проверка для катодов из чистых металлов подтвердила выводы теории Шоттки (за исключением области малых VK, в которой, хотя ток эмиссии уже не ограничен объемным зарядом, но еще сказываются контактные поля, существующие над поверхностью поликристаллического катода; см. § 22). Изложенная теория, очевидно, будет неверна для таких внеш- них полей <о $к, для которых расстояние хк делается порядка постоянной решетки, когда уже нельзя силу взаимодействия элек- трона с поверхностью металла рассчитывать по методу электри- ческого изображения. Если считать, что xh 10 7 см еще лежит в пределах применимости теории, то, по (18.4), ^ = _L№3.10« в-см1. (18.4а) ''>хк Однако при таких полях теория становится неприменимой вслед- ствие появления автоэлектронной эмиссии. Более точные исследования [35] обнаружили отступления от закона (18.8) в области значительных полей <?, однако гораздо меньших, чем 10е в-смг1, а именно, наблюдались волнообразные колебания кривой lg i = f (Vb2) около прямой (18.10), схемати- чески изображенные на рис. 77. Опыты потребовали очень большой точности и совершенно надежно установили отклонения lg i от прямолинейной зависимости по- рядка процента (до 3%). Объяс- нение [36] этих отступлений сво- дится к следующему. При наличии внешнего электрического поля у поверхности катода потенциаль- ный порог на границе металла превращается в потенциальный барьер, ширина и форма кото- рого меняются с напряженностью электрического поля Элект- Ряс. 77. ронные волны, соответствующие термоэлектронам, проходящим над барьером, как вытекает из уравнений квантовой механики, должны частично отражаться от такого барьера. При этом коэффициент отражения, подобно коэф- фициенту отражения света от двух поверхностей, ограничивающих
160 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV тонкие пленки, будет периодической функцией толщины пленки вследствие интерференции волн. Поэтому средняя прозрачность D = D (е?) барьера меняется не монотонно при монотонном из- менении ®, но волнообразно. Но тогда и электронный ток термо- эмиссии h = HZ)7'2expJ — jX] будет изменяться с (S’ не только вследствие уменьшения % (т. е. монотонного понижения высоты барьера с ростом #), но и вслед- ствие волнообразного изменения D (<^), так как = + (18.14) 7 _ n 1 Г) ' ' ’ 80 Математические расчеты, основанные на этом объяснении, дали очень хорошее согласие с опытом. § 19. Влияние электрического поля на термоэлектронную эмиссию полупроводников В § 18 выяснено влияние внешнего электрического поля на термоэлектронную эмиссию металлов. Показано, что теория хо- рошо подтверждается на опыте. Иначе обстоит дело с влиянием внешнего поля на эмиссию полупроводниковых катодов. Основное отличие полупроводника от металла в отношении внешнего поля состоит в заметном проникновении электрического поля внутрь полупроводника. Утверждение формальной электростатики о том, что инду- цированные на проводящем теле поверхностные заряды о создают поле, компенсирующее внешнее поле всюду внутри проводника, не вполне точно. В действительности перераспределение электро- нов в проводнике, в результате которого возникают заряды у по- верхности, вызвано наличием электрического поля (я) внутри тела вблизи его поверхности (см. рис. 78; а — соответствует слу- чаю, когда внутри тела силы поля Fe (х), действующие на элек- троны, направлены к поверхности; б — эти силы направлены от поверхности). Как видно из рис. 78, у поверхности проводника при наличии внешнего поля возникает градиент концентрации п (х), а следовательно, и градиент давления р (х") электронного газа. Наличие поля действующего на электронный газ с силой, направленной против градиента давления, делает этот газ равно- весным. Рассмотрим условия этого равновесия.
§ 191 ВЛИЯНИЕ ПОЛЯ НА ТЁРМОЭМИССИЮ ПОЛУПРОВОДНИКОВ 161 Пусть мы имеем проводник, содержащий в отсутствие внешнего электрического поля га0 электронов в 1 см3. Для простоты будем считать подвижными только электроны. При наличии поля &‘х у поверхности проводника внутри его установится некоторое Рис. 78. распределение концентрации электронов п (ж). При этом падение давления электронного газа на отрезке dx окажется равным dp = — кТ ~ dx, так как р — пкТ. Это падение давления должно быть уравновешено электриче- скими силами dFe, действующими на электроны, находящиеся в слое dx: dFr, = еп S' (a:) dx = — еп dx. Из условия равновесия dp = — dFe имеем или 1 dn е dV п dx кТ dx 6 Л. H. Добрецов, М. В. Гомоюнова
HW ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV откуда и (ж) = С ехр [—Д^-|. При х оо п (х) -> п0, а, если считать, что при этом V (х) -> О, то следует положить С = п0, откуда n (а;) = n0 ехр (19.1) т. е. получаем обычное распределение электронного газа по Больцману в силовом поле с потенциалом V (х). Кроме того, п (х) и V (х) связаны уравнением Пуассона. Объем - ная плотность зарядов в сечении х будет равна р (ж) = — е[п(ж) — n0] = — еп0 jexp [— 1}. (19.2) Следовательно, для среды с диэлектрической постоянной I) имеем w («р I - -1} (I».3) Заменяя безразмерную величину через новую переменную Ф, К1 ах — через перепишем уравнение (19.3): -^ = ехр[-Фф]-1. (19.4) Интэгрируя это уравнение, можем найти универсальную функ- цию Ф (g), характеризующую проникновение поля внутрь любого проводника. Если есть значение g, при котором Ф (g) практи- чески равна нулю, то глубина проникновения поля в данный проводник xh выразится так: ‘НтШ'’6"- («•» Величина । .! . имеющая размерность длины и характери- зующая толщину слоя проводника, в котором заряды «перехва- тывают» силовые линии внешнего электрического поля и экрани- руют внутренние области тела от проникновения этого поля, на- зывается радиусом Дебая—Гюккеля проводника LD-. г ' 1>кт пом •, IL ft Q у Из (19.5) следует, что для двух проводников глубины xkl п жй2, на которых потенциал изменяется в одно и то же число раз, пропор-
§ 19] ВЛИЯНИЕ ПОЛЯ НА ТЕРМОЭМИССИЮ ПОЛУПРОВОДНИКОВ 163 циональны радиусам Дебая—Гюккеля, т. е. •T^g 1-^2и01 Если для металлов (пи 1022 см 3) глубина проникновения ноля порядка одного-двух атомных слоев, т. е. xh 10 8 см, то для полупроводников, в которых п0 может лежать в пределах 1014-к1018 см3, эта глубина составит уже 10 4-г-10 6 см. Таким образом, для металлов пренебрежение проникновением внешнего поля внутрь проводника (и, следовательно, использова- ние положения формальной электростатики об эквипотенциально- сти их поверхности) (рис. 79, а) оправдано при рассмотрении тех Рис. 79. вопросов, когда можно не учитывать атомистическую структуру тела. В случае же полупроводников глубина проникновения внешнего поля равна 100—10 000 атомных слоев, и поэтому упо- мянутым выше положением электростатики уже нельзя пользо- ваться при рассмотрении многих задач, в которых применимость его для металлов не вызывает сомнений. В связи с этим сила взаимодействия электрона с поверхностью е2 полупроводника не будет равна при малых х. Действительно, полный индуцированный на полупроводнике положительный за- ряд будет равен по величине заряду электрона, как и в случае металла. Однако этот заряд будет расположен не на поверхности проводника, но в слое глубиной порядка радиуса Дебая—Гюк- келя Ld, т. е. на больших расстояниях от поверхности, чем для идеального проводника (рис. 79, б). Вследствие этого сила взаимо- действия электрона с индуцированными им зарядами будет меньше, е2 чем Лишь при х ,> LD и для полупроводников применение теории электрических изображений не вызывает возражений. В связи с этим диапазон напряженностей поля &, в котором применима теория Шоттки для полупроводников, ограничен 6*
64 Термоэлектронная эмиссия [гл. IV меньшими е?Если для металлов можно принять xk в (18.4а) равным 10 7 см, то для полупроводников xh окажется 10 6—10 5 см равно Ю4—102 в-см1. Если силы взаимодействия электрона с поверхностью веще- ства, обусловленное перераспределением электронов проводи- мости в нем, значительно меньше, чем то решающую роль могут играть силы, обусловленные поляризацией молекул полу- проводника (рис. 7g, е). Величина заряда ед электрического изо- бражения в диэлектрике с диэлектрической постоянной D, как известно, равна ея «= „ D — I ei нием Гд = -тг-гтг д Л + 1 4*2 • D — 1 D+ 1 е, а сила притяжэния дается выраже- Вследствие большой скорости изменения поля в теле при удалении электрона (путь 10 8 см электрон при на- чальной энергии <^-1 эе проходит за время ~10 14 сек) ориентацион- ная часть диэлектрической поляризации молекул полупроводника, очевидно, не проявится, и в качестве D в (19.6) следовало бы взять лишь оптическую чдСть Dom. Но и оптическая часть поляризации при столь быстрых изменениях электрического поля в теле не будет успевать принимать значения, соответствующие мгновен- ным положениям электрона перед поверхностью. При этом «отста- вание» поляризации будет различным при разных расстояниях х от поверхности, что эквивалентно зависимости Dom от х. Но тогда сила взаимодействии электрона с поверхностью полупроводника не будет изменяться с расстоянием по закону -Д-. Н. Д. Моргулис [37], исходя из того, что полупроводник есть нечто промежуточное между металлом и диэлектриком, считает, что и силу взаимодействия электрона с поверхностью полупро- водника можно представить в виде выражения, промежуточного g’2 тх _ А л между = , т. е. (19.7) где <Са<О- В этом случае уменьшение работы удаления электрона внешним электрическим полем окажется равным А’Хш = Хо—X = Заметим, однако, что & у диэлектрика (рис. 79, в) фиктивные заряды, и у металла (рис. 79, д) реальные заряды, с которыми взаимодей- ствует электрон, расположены на их поверхностях, а у полупровод- ника (рис. 79, б) — й его объеме, т- е. последний случай, строго
§ 19] ВЛИЯНИЕ ПОЛЯ НА ТЕРМОЭМИССИЮ ПОЛУПРОВОДНИКОВ 165 говоря, нельзя рассматривать как промежуточный между двумя первыми. Проникновение поля в полупроводник, кроме того, должно приводить к искривлению зон вблизи поверхности, а это, как Рис. 80. показано в [37], в свою очередь должно приводить к дополнитель- ному изменению работы выхода Дхм внешним электрическим полем (рис. 80): ДХ„ = 2кТ ar sh ± 4ло)]> (19.8) где <л — поверхностная плотность зарядов, которые могут нахо- диться на катоде. Тогда для полного понижения работы выхода полупроводникового катода внешним полем имеем: ДХ = е (а е<)'л + 2кТ ar sh ± 4лн)]. (19.9) Однако на опыте в полупроводниках не всегда обнаруживаются [38] резкие отступления от уравнения (18.10). Теория Шоттки может сохранить свое значение и для полу- проводников, имеющих поверхностные состояния электронов. На рис. 81, а изображена энергетическая диаграмма элек- тронного полупроводника, имеющего поверхностные состояния электронов, уровни которых изображены горизонтальными штри- хами; Ek — тот уровень, заполнение поверхностных состояний до которого соответствует поверхностному заряду о, равному нулю. Так как в нашем случае этот уровень лежит ниже уровня электрохимического потенциала £0, то часть электронов с уровней дефектов Ея перейдет в поверхностные состояния. В результате на поверхности образуется отрицательный поверхностный заряд н0,
а в некотором слое полупроводника возникнет объемно-рас- пределенный положительный заряд р0 из-за недостатка электронов, перешедших в поверхностные состояния. Вследствие возникшего таким образом двойного электрического слоя потен- циальная энергия элект- ронов на поверхности по- высится, и стационарному состоянию будет соответст- вовать такое распределе- ние электронов, при кото- ром уровень Eh почти сов- падет с уровнем электрохи- мического потенциала Ео (рис. 81, б). При наличии внешнего электрического поля <^0, способствующего выходу электронов из полупроводника, потенциал поверхности несколько возрастет, граница Eh опустится несколько ниже Ео, поэтому число заполненных электронами поверхностных состояний умень- шится, в результате чего изменится и поверхностная плотность зарядов о. Если плотность поверхностных состояний достаточно велика и уровни энергии расположены достаточно тесно, то незначитель- ное изменение потенциала поверхности вызовет весьма значи- тельное изменение поверхностного заряда о, создающего, как легко видеть, внутри полупроводника поле, компенсирующее внешнее поле. Поэтому изменение хода потенциала внутри полу- проводника вблизи поверхности и изменение потенциала поверх- ности будет значительно меньше, чем в отсутствие поверхностных состояний. Наличие поверхностных состояний как бы экранирует область внутри проводника от проникновения внешнего поля. Сравним изменения потенциалов поверхностей полупровод- ников с поверхностными состояниями и без поверхностных со- стояний при наложении внешнего электрического поля <^0. Для простоты примем, что при е?0 = 0 уровень Eh совпадает с уровнем электрохимического потенциала Ео, т. е. при #0 = 0 и а — 0. Обозначим число поверхностных состояний на 1 с.и2 поверхности в интервале энергий в 1 эв около Eh через N. Если приложение поля <?0 вызывает изменение потенциала поверхности на 61’, то плотность поверхностного заряда и, возникающего из-за заполнения (или освобождения) поверхностных состояний будет равна о = eN 6F. Поэтому напряженность электрического по- ля e?; внутри тела, непосредственно под поверхностью, будет
— 4лст е?0 — 4леА 6 V. Но величина изменения потен- циала 6У, очевидно, пропорциональна т. е. 6У = В<3\ или 6У = 5[^0 —4ле/У6У], откуда Sl,= TT5S^ (,9ло> Изменение потенциала поверхности 6Уо такого же полупроводника, но без поверхностных состояний, т. е. при Лг = 0, по (19.10), равно 6У0 = Отсюда Нетрудно получить (19.11) и в случае, когда Eh не совпадает с Ео, т. е. когда ст0 Ф 0 при <У0 == 0. По расчетам [39] при плотности поверхностных состояний порядка 1013 см 2 проникновением внешнего поля в полупроводник можно пренебречь. Поэтому, на- пример, и изменение работы выхода за счет искривления зон вблизи поверхности проникающим в полупроводник внешним полем, на которое указывает Н. Д. Моргулис, будет значительно меньше, чем в отсутствие электронов в поверхностных состояниях. При наличии электрона вблизи поверхности полупроводника, имеющего достаточно большую плотность поверхностных состоя- ний, электрическое поле внешнего заряда также не будет прони- кать внутрь тела, так как перераспределение заряда о (у, z) электронов, находящихся в поверхностных состояниях, компенси- рует поле электрона внутри тела. Это значит, что ст (у, z) на по- верхности полупроводника почти совпадает с ст (у, z) на по- верхности металла. В этом случае силу взаимодействия электрона с поверхностью полупроводника, т. е. с зарядами ст (у, z), можно будет рассчитывать по приведенному выше методу электрических изображений, а следовательно, и описывать влияние внешнего электрического поля на работу выхода и на ток термоэлектронной эмиссии так же, как для металлов. Естественно, что это будет иметь место, если заполнение (или освобождение) поверхностных состояний полупроводника происходит достаточно быстро. § 20. Распределение термоэлектронов по скоростям Аналогично термодинамическому и статистическому выводу основного уравнения термоэмиссии (§ 14—15) возможны два под- хода к задаче о распределении термоэлектронов по скоростям: первый, исходящий пз рассмотрения равновесного электронного газа над поверхностью эмиттера, и второй, исходящий пз рассмот- рения электронного газа внутри эмиттера.
168 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЙ [ГЛ. IV В равновесном идеальном электронном газе над эмиттером имеется максвелловское распределение по скоростям v (vx, vy, vz) или по импульсам р (рх, р , pz) = mv, т. е. концентрация электро- нов с импульсами в интервале от р до р + dp, равна dn = C exp [— (р2 + pl -J- р*)] dpx dpy dpz. (20.1) Плотность потока dv электронов, падающих на поверхность эмпт- Р тера, будет равна dv = ~dn, т. е. dv = С J ехР [--2ткт~ -г dPx dPy dPz’ (20-2) а плотность потока этих электронов, уходящих внутрь эмиттера, dv* =D(px, ру, pz)dv, где D (рх, ру, pz) — коэффициент прозрачности границ эмиттера для рассматриваемой группы электронов. Таким образом, для dv* имеем ^v* = CZ>(px, ру, р2)^ехр[---(/£ + р2у + p^dpxdpydpz. (20.3) По принципу детального равновесия плотность уходящего в тело потока с данными р и dp должна равняться плотности dv' потока эмитируемых телом электронов с теми же р и dp: dv* = dv', т. е. распределение эмитируемых термоэлектронов по импульсам дается формулой dv = CD(px, ру, p2)Jexp[— + + P^\dPxdPydPz- (20.4) Поскольку выяснение вида функции D. (рх, р pz) лежит вне воз- можностей термодинамического рассмотрения, постольку это рас- смотрение не дает полных сведений о законе распределения термоэлектронов по скоростям. Статистический вывод закона распределения сделан лишь в приближении свободных электронов. Распределение электронов по импульсам (рж, р , р.) в твердом теле определяется уравнением (6.3): где dZ (рх, ру, pz) — число квантовых состояний с импульсами в пределах от (рх, ру, pz) до (рж + dpx, ру + dpy, pz + dpz), а
§ 20] РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ТЕРМОЭЛЕКТРОНОВ ПО СКОРОСТЯМ Z? (рх, ру, р2) — энергия электрона с заданными компонентами импульса. Для свободных электронов по (6.6) имеем dN = 2V /У dp dp dp 1 у 1 Z ехр кТ + 1 (20.5) где V — объем тела. Условие возможности выхода электронов из металла имеет вид (ось х совпадает с нормалью к поверхности) Поэтому для электронов, которые могут участвовать в термоэмис- сии, получим L (р2 + р2 + р2) _ W у — ж 5S Wa - W, = X > кТ, 2/п ' у ~' г 2/п “л г а г л ? т. е. А. + р2 + р2) _ W. > кТ. 2m u х 1 ry 1 r:i i Но это означает, что в выражении (20.5) можно отбросить единицу в знаменателе, малую по сравнению с первым слага- емым. Тогда эр ГРК.Д Г /’ж + т’у + т’г! dN = ехр j exp ------------------] dpx dpy dpz, , (IN а для концентрации dn = электронов с компонентами импульса px, РуИРги пределах dpx, dpy и dpz (причем, Wx= ^Px^Wa) получим 9 nr i г i 1 dn= exp ^jexp[— -^t(P2x + P2y + P^\dPxdPydPz’ (20.6) t. e. максвелловское распределение по импульсам. Изнутри металла на 1 с.и2 его поверхности за 1 сек при этом будет падать поток электронов рассматриваемой группы dv, рав- ный dv = vx dn. Для свободных электронов vx = pjm, тогда 2 р Г 1 1 dv == еХР [и1 J ехр L~ + ро + РЩаР^Ру dPz- (20-7) Если прозрачность границы твердого тела для электронов с компонентами импульса рх, ру и pz равна D (рх, ру, pz), то поток
170 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV этих электронов dv', выходящий из эмиттера, окажется равным 2 Р Г w- 1 dv =R3D(px, pv, /72)mxexp|-F;-j X X exp | — -2-^ (/>2 У /)“ + p-J | dpx dpy dp.. (20.8) Рассмотрим вопрос о коэффициенте прозрачности D (рх, ру, р2). В теории свободных электронов как внутри тела, так и вне его электроны описываются плоскими волнами де-Бройля, а силовое поле на границе тела представляется одномерным потенциальным порогом U (х) высотой Wa. Вид функции U (х) при этом не детали- зируется. Такой порог при прохождении через него электрона изменяет лишь нормальную компоненту его импульса, оставляя неизменными тангенциальные компоненты. Обозначим компоненты импульса электрона вне тела через рх, рй и р',. Тогда Р'У = РУ< Pz = Pz, (20.9) а нормальная компонента импульса р'х определяется из соотно- шения 2^W = 2^-WO. (20.10) Следовательно, в рамках модели свободных электронов электроны с компонентами импульса р'х возникают лишь из электронов с ком- понентой импульса рх. По представлениям квантовой механики не все падающие на порог электроны, обладающие энергией 1ТЖ, связанной с нор- мальной составляющей импульса рх, большей Wa, выходят из тела. У некоторой части их компонента импульса рх меняет знак, т. е. происходит частичное зеркальное отражение падающего потока электронов. При этом отношение потока dv' электронов, выходящих через поверхность тела к -потоку их dv, падающих из- нутри на эту поверхность, называемое коэффициентом прозрач- ности D, т. е. D = dv'Idv, для свободных электронов зависит только от нормальной компоненты импульса рх (т. е. той компо- ненты, которая изменяется при прохождении порога): Я = Ш (20.11) При этом в квантовой механике показывается, что коэффициент прозрачности порога определяется лишь величиной энергии, от- считанной от уровня энергии электрона, покоящегося вне тела у его поверхности, и не зависит от направления движения: Л (рх) = D’ (р'х), где D' — обозначение коэффициента прозрачности порога для электронов, падающих извне на поверхность эмиттера.
§ 20] РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ТЕРМОЭЛЕКТРОНОВ ПО СКОРОСТЯМ 171 Уравнение (20.8), учитывая (20.11), можно переписать в виде 2 Р ГИД rfv = h3 Z)(^)^eXp[^j х х ехр |--2^kf~(Px + + pl)^dPxdPydp2. (20.12) Заменяя в (20.12) Px, Py и Рг, исходя из (20.9) и (20.10), находим выражение для потока' термоэлектронов, проходящего в 1 сек через 1 см2 поверхности катода: , , 2 Рх Г О' H’.l dv = h3 D (^)_ехр[--^-^] x X exp j— + O^)2]} dP* dPy dPz- (20 ДЗ) Эта формула, очевидно, и дает распределение термоэлектронов по импульсам в потоке. Вне катода эти электроны расположатся в объеме рх!т, т. е. в 1 см3 их будет dn' Ь 1У ехР [“ kf ] х X ехр{— ^Рх^2 У У ^Р^} dP^dpydP'z- (20.14) Поток dv'x электронов с любыми значениями Ру и р'г, но значе- нием нормальной компоненты Рх в заданном интервале dp'x, полу- чается интегрированием (20.13) по Ру и P'z в пределах от минус бес- конечности до плюс бесконечности: dvx = D (Рх) —^ехр[ — A*.|exp| — -^р^Рх \^dPx, (20.15) j или, заменяя ^Рх через ИД, имеем rfvx = D' (ИД) ехр Г— *-1 ехр I — Ж1 dWx = п I *1* J I АД 1 Г W1 = C(T)D’(Wx)exp[-irxjdWx. (20.16) Для получения выражения cZv' или (1х’х в явном виде необхо- димо знать зависимость D (Рх). Однако вычисление функции Р (Рх) представляет математические трудности и требует знания вида функции U (ж). Поэтому и в приближении свободных электро- нов теория, по существу, не дает полного ответа на вопрос о рас- пределении термоэлектронов по скоростям. Если положить, что для термоэлектронов D (рх) = const (см. ниже), то закон распре- деления эмитированных электронов по импульсам будет законом
172 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ 1ГЛ. IV максвелловского распределения, соответствующего данной темпе- ратуре катода. Найдем- средние кинетические энергии термоэлектронов в по- токе, проходящем через 1 см2 поверхности катода, и в объеме 1 с.н3. Так как законы распределения электронов по импульсам в по- токе и в объеме различны, то будут неодинаковы и их средние кинетические энергии. Действительно, среднее в объеме значение IVx равно &xS dn' л________ -----= 1- (20. \ап M Если распределение максвелловское, то D = const. Подставляя в (20.17) выражение (20.14) и интегрируя по рх в пределах от нуля до оо, а по р'у и pz от минус бесконечности до плюс беско- I----I вечности, найдем: - (рх)2 = кТ. Так как рх, Ру и pz входят ДАМ --------------------------------------------------- в (20.14) одинаково, то и средние в объеме значения 2т(1Т)2 ц 2^(рД2 будут те же, т. е. iw-rtw-sLsiM»- <20Л8> Следовательно, (7? - [W + Ш Ш 1 • (20.19) Среднее в потоке значение W* равно: - (Рх'р dv' 1 (20.20) Подставляя в (20.20) выражение (20.13), считая, что 1) — const, аналогично предыдущему найдем (gp .• кТ. 2m ' ' Для Wy и Wz, как легко видеть, средние в потоке значения по- прежнему равны т. е. A W = Л(А)2= 4 кТ, 2m 2m ' 2 ’
§ 20] ' РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ТЕРМОЭЛЕКТРОНОВ ПО СКОРОСТЯМ 173 и, следовательно, отличны от (Рх)2- Средняя кинетическая энергия термоэлектронов в потоке будет равна л ----- 4-------4 ------- 4 ---- 1 т = 2m (^)2 + » + 2m = 2kT' (20’21) Существенно усложняется вопрос о коэффициенте прозрачности границы твердого тела, а следовательно, и о построении теории распределения термоэлектронов по скоростям при переходе от модели свободных электронов к реальному кристаллу. На границе реального кристалла ход потенциала зависит не от одной коорди- наты х, а от всех трех, т. е. U = U (ж, у, z); причем, из-за простран- ственной периодичности потенциала внутри кристалла, зависимость U от у и z является также периодической. При взаимодействии электрона с таким потенциальным порогом может происходить не одно только квантовомеханическое отражение, но, кроме того, могут реализоваться и другие механизмы упругого отражения электронов. Прохождение электрона через поверхность твердого тела в этих условиях может сопровождаться изменением всех трех компонент импульса. При этом электроны, выходящие из тела с нормальной составляющей импульса рх, могут возникать не только из электронов с нормальной составляющей рх, но и из электронов с другим ее значением, т. е. связь между компонентами импульса Рх и рх делается неоднозначной. Но тогда и само определение ко- эффициента прозрачности D для электронов с данным значением рх становится неопределенным, ибо неясно, к какому же падаю- щему потоку dvx следует относить выходящий поток dvx. Рассмотрим методы, использующиеся для экспериментального изучения распределения термоэлектронов по скоростям и резуль- таты этих исследований. Основной метод, применяющийся для этих исследований, — метод задерживающего поля. Пусть распределение термоэлектронов в потоке по величине Wx — р'х выражается уравнением clvx = f(Wx)dWx. (20.22) В задерживающем электрическом поле плоского конденсатора, одна из обкладок которого — эмитирующая поверхность, а другая является коллектором, дойдут до коллектора лишь те электроны, у которых Wx^eV3, где У'3 — задерживающая разность потенциалов. Если объемные заряды не создают минимума потенциала в межэлектродном пространстве, то У3 равна внутренней разности потенциалов р’г = Ев = Ен (фк — ФА). Зависимость силы тока
174 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV на коллектор от задерживающего потенциала У3 (кривая задержки) определяется соотношением г(У3) = eS f(Wx}dW'x, (20.23) •' <ж3 где S — площадь поверхности эмиттера, откуда, дифференцируя по У3, получим Таким образом, производная от полученной на опыте в плоском конденсаторе кривой задержки i (У3) дает кривую распределения термоэлектронов по энергиям Wx, из которой легко получается и кривая распределения по компоненте импульса, нормальной к эмитирующей поверхности. В случае D (рх) = const, т. е. для максвелловского распреде- ления скоростей эмитированных электронов, из выражения (20.13) для dv' легко получить И^з) = г>хр[—(20.25) где is — ток насыщения. Отсюда i eV„ lnr = -^ (20.26) s или, переходя к десятичным логарифмам, подставляя численные значения е, к и выражая У3 в вольтах, будем иметь как показано в [40], di/dV3 ным энергиям W', где 1g ^-^Уз. (20.27) Согласно(20.26) и (20.27), lg d~ линейно зависит от У3, причем наклон прямой определяется тем- пературой электронного газа в катоде. Примеры таких зависимос- тей схематически даны на рис. 82. В случае сферического конден- сатора, если радиус катода мал по сравнению с радиусом анода, !т кривую распределения по пол- тг-2 Г(/4)- -у (А,)2 + (р'гу-1
§ 2U] РАСПРЕДЕЛЕНИИ ТЕРМОЭЛЕКТРОНОВ ПО СКОРОСТЯМ 175 Действительно, все эмитированные электроны движутся в этом случае практически по радиусам, и задерживающее поле влияет не на одну из составляющих импульса электрона, а на полный импульс. Условие достижения электроном внешней сферы (кол- лектора) будет поэтому W' eVa и, следовательно, 1 Г di Л <?S JV3 и- = /т. (20.28) В цилиндрическом конденсаторе, в котором нить-эмиттер имеет радиус, малый по сравнению с радиусом анода, поле тормозит электроны с составляющими импульса, лежащими в плоскости, перпендикулярной к оси конденсатора. Зависимость тока от за- держивающего потенциала V„ для случая максвелловского рас- пределения электронов в таком конденсаторе по [41 ] выражается уравнением - 2 f/e73Y/2 1 = г* 4?7Г ехР £Г3] + \ ехр [—ж2]с?зД (20.29). \ kT / (погрешность этого выражения меньше 0,5% при ГА/ГК 30). eV7 При — )> 1 интегралом можно пренебречь по сравнению с первым членом, п тогда I eV „ eV., lnt = a+ '-In 3- J (20.30) Z n.1 KI ' ' или, пренебрегая изменением - In по сравнению с изменением , можно написать приближенное равенство: kT el73 In i = b — -кт . (20.31) Итак, если кривая задержки соответствует (20.26) в плоском диоде или (20.29) в цилиндрическом, то распределение термоэлек- тронов максвелловское. Однако исследование распределения скоростей термоэлектро- нов методом задерживающего поля в области малых энергий за- трудняется рядом причин, главные из которых: объемный заряд в межэлектродном пространстве и неоднородности катода и анода по работе выхода. Как показано в § 9 и 10, объемные заряды электронов создают у катода задерживающее поле, которое налагается на поле, соз- даваемое внешней разностью потенциалов, приложенной к элек-
176 Т Е Р М О Э Л Е К ТР О Н Н А Я Э М И С С И Я [ГЛ. IV тродам. На рис. 83 схематически показан ход потенциала V (.г) между плоскими электродами при различных задерживающих разностях потенциалов и некоторой плотности тока эмиссии. На- пример, при Нз = 0 (кривая 4) задерживающее иоле объем- ных зарядов не позволит дойти до коллектора электро- нам, если для них -сГ,^. При небольшом задерживаю- щем потенциале V:s (кривая <5) будут задержаны электро- ны с И\' <( eVm, а не с 1ГХ<[ eVa. Только при доста- точно больших задерживаю- щих потенциалах (кривая 6) минимум на кривой И (.г) исчезает, и торможение опре- деляется внутренней раз- ностью потенциалов 1’3, т. е. кривая i (Т’3) позволяет нахо- дить f (В д). Таким образом, при данной плотности эмиссии и данной геометрии электродов су- ществует некоторый задерживающий потенциал 1’1;1„|Т, ниже кото- рого кривая задержки i (У3) не годится для нахождения /(1Т() пли f (ТГ'), причем этот ГЬрпт тем выше, чем больше плотность тока насыщения /s. В таблице 2 из § 10 приведены данные, иллю- стрирующие указанные выше зависимости для плоского диода. Таким образом, объемный заряд не позволяет исследовать закон распределения электронов по скоростям в области сколь угодно малых значений 11(- или W'. В некоторых работах, например [42] и [43], для ослабления влияния поля объемного заряда (а также и для устранения не- которых других нежелательных эффектов) при исследовании рас- пределения эмитированных заряженных частиц по энергиям между эмиттером и коллектором вводится промежуточная ускоряющая сетка. Между эмиттером и этой сеткой создается ускоряющее частицы поле, а по энергиям анализируется поток частиц, прошед- ший через сетку, при этом задерживающее поле создается в про- странстве сетка—коллектор. Влияние сетки на результаты ана- лиза рассмотрено, например, в [44]. Вторым существенно затрудняющим анализ распределения термоэлектронов по скоростям обстоятельством, как упомянуто выше, является неодинаковость работы выхода различных уча- стков поверхности как эмиттера, так и коллектора, так как в большинстве выполненных работ использовались электроды из
§ 20] ВЛСПРЕДЕЛЕПИЕ ТЕРМОЭЛЕКТРОНОВ ПО СКОРОСТЯМ J 77 поликристаллических материалов. Главным фактором здесь является неодинаковость для различных частей поверхности .электродов контактной разности потенциалов(Екрп (гя) (г,) — — <р (rs), где (р,. и <рк —работы выхода катода и анода), а следо- вательно, и задерживающей разности потенциалов Е3 (rs). Если диапазон контактных разностей потенциалов разных частей катода и анода (ЕцРп)тах — равен 6Екрп, то легко показать, что начальный участок кривой задержки будет «испорчен* неоднород- ностью поверхностей и не может служить материалом для анализа распределения термоэлектронов по скоростям в области малых энергий от нуля до 6Vi;pn. Осложняющим обстоятельством является также и наличие полей пятен у поверхностей электродов. Способом устранения этих факторов является использование в качестве поверхностей электродов однородных по работе выхода граней монокристаллов. Несколько затрудняющим исследования обстоятельством яв- ляется магнитное поле тока накала, и, в особенности, падение потенциала вдоль катода, создающее различные задерживающие потенциалы для электронов, эмитируемых различными участками катода. С этими явлениями можно бороться, пользуясь эквипотен- циальными эмиттерами с косвенным накалом пли используя им- пульсный накал эмиттера. Измерения эмиссии производятся в промежутки времени, когда сила тока накала /0 --- 0, т. е. нет паде- ния потенциала 10Л вдоль нити и нет магнитного поля тока. Влияние паде- ния потенциала можно практически устранить, снимая исследуемый ток с узкой полоски катода, на которой это падение мало. Возможно исследовать f (И") для термоэлектронов по отклонению их в магнитном поле или в цилиндриче- ском конденсаторе Юза—Рожанского [17], [45]. Не излагая результатов многих работ, в которых изучалось распре- деление термоэлектронов по скорос- тям (в подавляющем большинстве их авторы приходили к заключению, что оно максвелловское), приведем Рис. 84. лишь результаты, полученные в одной из лучших работ, посвященных этому вопросу [43]. В этой работе анализировалось распределение по нормальной составляющей ско- рости узкого пучка термоэлектронов, эмитированных поверхностью
178 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ ГГЛ. IV грани (211) монокристалла тантала. Пучок вырезался отвер- стием в электроде, служившем для промежуточного ускорения электронов. Для устранения расхождения пучка из-за наличия тангенциальных составляющих тепловых скоростей использовалось сильное внешнее магнитное поле, направленное вдоль пучка. Часть поверхности коллектора, на которую падал пучок электронов, также представляла собой грань (211) монокристалла тантала. Одна из полученных на опыте вольтамперных характеристик тока пучка на коллектор в полулогарифмическом масштабе представлена на рис. 84; наклонная прямая соответствует уравнению (20.27), горизонтальная прямая соответствует току насыщения. Из ри- сунка видно, что опыт не обнаруживает сколько-нибудь заметных отклонений распределения термоэлектронов от максвелловского, т. е. показывает постоянство коэффициента прозрачности D, его независимость от рх в интервале энергий от нуля до ~1,5 эв. § 21. Торированный вольфрам Помимо чистых металлов в качестве термоэмиттеров применя- ются металлы,-на поверхности которых нанесены атомы других веществ (пленочные катоды). Способ нанесения пленки атомов чу- жеродных веществ может быть различным. В настоящем, а также в следующем параграфах будут рассмотрены эмиттеры, на поверх- ности которых адсорбированные пленки атомов других веществ при активировании получаются за счет диффузии этих атомов из толщи эмиттера. Одним из первых представителей пленочных ка- тодов такого типа был вольфрам, покрытый слоем атомов тория (торированный вольфрам). Именно при его исследовании были уста- новлены и изучены многие особенности эмиссии сложных катодов указанного типа. В вольфрамовых нитях ламп накаливания для затруднения рекристаллизации пользовались присадкой окислов тория (0,5— 1,5% по весу). Работая с нитью такого сорта в качестве термока- тода, Ленгмюр и Роджерс [46] обнаружили в 1913 г., что при со- ответствующей термической обработке этот катод может давать электронную эмиссию, во много раз превышающую эмиссию чи- стого вольфрама при тех же температурах; например, при Т = 1500' К можно добиться увеличения электронного тока в 1,8 -105 раз. Термическая обработка состоит в следующем: произ- водят прокаливание катода до Т ~^> 2600“ К, приводящее к вос- становлению части окиси тория в металлический торий (по [47] полное восстановление ThO2 в Th происходит при Т 2900° К), затем -- прогревание при Т ~ 2000-1-2300° К, при котором элек- тронная эмиссия возрастает от значения, соответствующего чис- тому вольфраму, до гораздо большей величины. Этот процесс
§ 21] ТОРИРОВАННЫЙ ВОЛЬФРАМ 179 носит название активирования катода. По [47] оптимальная тем- пература активирования равна 2250° К. Процесс активирования может идти и при более низких температурах, но требует тогда значительно большего времени для своего завершения. При Т 1800° К активирование практически отсутствует, и при этих температурах может длительно сохраняться состояние катода, достигнутое в результате предшествующего активирования, про- изведенного при более высоких температурах. Время активирования при данной температуре Т зависит от структуры нити: чем мельче кристаллики вольфрама в нити, тем быстрее идет активирование. Токи эмиссии, полученные после достаточно продолжитель- ного активирования при различных температурных режимах (1800° Т 2300э К), измеренные при некоторой температуре Т 1800° К, оказываются почти одинаковыми. Если активиро- ванную нить накалить до Г 2300° К и быстро снизить накал до Т <Z 1800 ° К, то эмиссия окажется почти такой же, как у чисто вольфрамовой нити — происходит дезактивирование катода. Если, например, активированием достигнута максимальная эмиссия катода, то ход дезактивирования (при постоянной темпе- ратуре Г > 2300° К) со временем не зависит от предшествовавшего режи- ма активирования. На рис. 85 схематически изоб- ражены кривые активиро- вания при двух разных температурах 7\ и Т.,, а также кривые дезактиви- рования из конечных рав- новесных состояний, полу- ченные при одинаковой температуре дезактивиро- Рис. 85. вания Ts в результате того и другого режима. Измерение токов эмиссии во всех случаях проведено при одной и той же температуре <_" 1800° К. Ак- тивирование и дезактивирование можно прекратить на любой стадии и получить, снизив температуру ниже 1800° К, катод с промежуточными свойствами. Эффект дезактивирования получается также при ионной бом- бардировке активированной нити даже в холодном состоянии (катодное распыление тория). Электроотрицательные газы от- равляют активированный катод. В процессе отравления атомы или молекулы этих газов попадают на поверхность катода, сильно уменьшая эмиссионный ток с него.
180 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV Ричардсоновские прямые для катодов (степень активирования возрастает от прямой 1 к прямой 4) схематически изображены на рис. 86. Как видно, и работа выхода и константа Ричардсона умень- шаются по мере повышения степени активирования. Уменьшение работы выхода при активировании следует также из измерений контактной разности потенциалов между торированным вольфра- мом и какой-нибудь стандартной поверхностью [48]. Вольтамперные характеристики торированного вольфрама в области анодных напряжений, значительно больших, чем те, в которых объемный заряд ограничивает эмиссионный ток (однако, Рис. 87. меньших тех, которые соответствуют напряженности поля <о у поверхности катода, равной 104 в -см 1), обнаруживают значитель- ные отступления от вольтамперных характеристик, соответствую- щих теории Шоттки (аномальный эффект Шоттки). При анодных напряжениях, при которых 104 в-слГ1, аномальный эффект
§ ТОРИРОВАННЫЙ ВОЛЬФРАМ 181 Шоттки исчезает. На рис. 87 показан ход зависимостей lg i = / (F‘/a) для различных степеней активирования катода. Числа у кривых идут в порядке возрастания активирования. Цифра 1 соответствует чистому вольфраму. Наибольшие отступ- ления от прямой Шоттки имеют место для средних степеней акти- вирования (кривая 3). Электронно-оптические исследования эмиссии торированного вольфрама показали, что плотность эмиссионного тока не одина- кова, а значительно различается для различных элементов поверх- ности катода. При этом размеры областей, эмиссия которых при- близительно одинакова, примерно совпадают с размерами граней микрокристалликов вольфрама. Изменение термоэлектронных свойств вольфрама при активи- ровании связано, очевидно, с наличием на его поверхности атомов тория’, понижающих работу выхода катода. Об этом свидетель- ствует тот факт, что процесс активирования за счет собственных запасов тория в нити можно заменить процессом напыления тория на чисто вольфрамовую нить. Для этого торий испаряют с нити торированного вольфрама, накаливаемой до Т7 2000° К, и рас- положенной по соседству с активируемой нитью. Зависимость эмиссии активируемой нити от времени активирования на- пылением схематически пред- ставлена на рис. 88. После достижения максимальной эмиссии (при продолжающем- ся напылении тория на нить) эмиссия начинает падать и, уменьшившись примерно в 10 раз, достигает стационар- ного значения, уже не меняю- щегося при дальнейшем на- пылении. (В настоящее время установлено, что процесс активи- рования напылением сильно зависит от вакуумных условий внутри прибора. В ряде работ, выполненных при давлении остаточных газов р ~ 10 9 тор, обнаружен монотонный ход зависимости lg i ~ f (t). Окончательно вопрос о виде кривой lg i = f (г) не решен и сейчас; см. также стр. 201 и стр. 222.) Если путем напыления покрыть торием одну сторону вольфра- мовой ленты, то эмиссия с этой стороны будет значительно больше, чем с другой, где она будет соответствовать чистому вольфраму. Однако при длительном прокаливании такой ленты (7’ 1500— 1600° К) эмиссия с обеих сторон выравнивается за счет перерас- пределения атомов тория по обеим сторонам ленты вследствие перемещения их по поверхности вольфрама (миграция атомов).
182 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ эмиссия [ГЛ. IV На рис. 89 схематически изображена эмиссия с обеих сторон ленты: за время t <С h происходит напыление тория, а при t /х — ми- грация. По Ленгмюру [49] каждый атом тория, находящийся на по- верхности вольфрама, поляризуется адсорбционными силами и обращается в электрический диполь, отрицательный полюс кото- Рис. 89. рого обращен к вольфраму (рис. 90). Совокупность таких диполей образует двойной электрический слой с моментом пр, где п — число диполей на 1 см2, ар — момент отдельного диполя. Скачок потенциала в этом двойном слое Аф = 4лир (рис. 91) и понижает работу выхода. Если обозначить работу выхода чистого вольфрама через <pw, а покрытого торием че- рез ср, то <PW “ Ф = ^ппР- (21Л) Отметим, что наличие потенциального горба, показанного на рис. 91, протяженностью, равной размерам атома, из-за туннельного эф- фекта (см. гл. VIII) не препятствует выходу термоэлектронов. Рис. 90. По первоначальным представлениям Ленгмюра, наибольшее понижение работы выхода Афтах соответствует мономолекулярному покрытию вольфрама атомами тория; т. е. АФтах = (21.2)
§ 21J ТОНИРОВАННЫЙ ВОЛЬФРАМ J83 где /ij — число атомов на 1 с.м2 в монослое. При п <' п1 Аф = 4лрп = ~ 4^! = 9Афтах , (21.3) - « где величину б = называют степенью покрытия или просто ni покрытием вольфрама торием. Эмиссионные токи с данного катода при некоторой темпера- туре Т при покрытиях 0 = 0, 0 = 1 и некотором промежуточном 0 будут соответственно равны: iw = 5 А^ ехр [- , ч = SA^ ехр [- , i0 = АЛо?12 ехр | — |, откуда, используя (21.3), вычисляем 0: 1 if) 1 ^0 In ----In -Т - 9 = ^-----------(21.4) In Ф- — In -ЬЬ 'w ylw Ленгмюр полагал, что Лг = Ае = Aw; тогда Эта же формула получится, как легко видеть, в предположении, что 1g А о пропорционален ф6, что, по [50], приблизительно и имеет место в действительности. При мономолекулярном покрытии атомы тория располагаются в определенном порядке относительно атомов поверхностных гра- ней кристаллов вольфрама. Атомный радиус тория примерно в полтора раза больше, чем вольфрама, поэтому атомы тория не могут продолжать решетку вольфрама. Ленгмюр принимал, что поверхность вольфрама состоит из кристаллографических граней только типа (110). На таких гранях концентрация атомов тория в монослое вдвое меньше, чем концентрация поверхностных атомов вольфрама. Расположение атомов тория относительно атомов вольфрама, соответствующее этому предположению, дано на рис. 92. Истинная поверхность вольфрама считалась большей, чем кажущаяся; при этом коэффициент шероховатости принимался равным 1,3. Исходя из указанных предположений, Ленгмюр на- шел поверхностную плотность атомов в мономолекулярном слое
184 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV тория на вольфраме равной пг = 7,1 - IO14 см 2. Измерив на опыте Афтах, можно определить р — электрический дипольный момент атомов тория; он оказался порядка 1СГ17 ед. СГСЭ. Измерение Рис. 92. плотности атомов тория на по- ликристаллическом вольфраме, соответствующее наибольшей термоэлектронной эмиссии, вы- полненное в работе [51], дало для пг меньшую величину: п1 = 4,2 • 1014смГ2. Предположение о том, что Дф пропорционально п,, однако, не точно. Опыты по активиро- ванию нитей испарением тория с соседних нитей в условиях, когда число атомов тория на вольфраме возрастает пропор- ционально времени испарения (Ленгмюр принимал, что коэф- фициент прилипания атомов то- рия к вольфраму при 0 1 не зависит от 0 и равен единице), т. е. п = п (t) = at, показывают, как это иллюстрирует рис. 93, что In i не линейно меняется со временем, т. е. Дф не пропор- ционально истинному по- крытию 6' =^~. Все же зна- чением 0, определяемым по (21.5), пользуются как условной характеристикой степени активирования, хотя истинное 0' не равно 0, определяемому из урав- нения Ленгмюра (21.5). Если бы второе предполо- жение Ленгмюра о том, что Дфтах соответствует мономолекулярному по- крытию (0' = 1), было вер- но, то нетрудно видеть, что уже при этом 0 было бы больше истинного 0' для всех 0, кроме нуля и единицы. Напри- мер, значение тока i’ на рис. 93 достигается за время напыления, составляющее 0,72 от времени напыления, соответствующего наи- большему току, a lg i' — lg iw составляет 0,90 от lg imax — lg i , t. e. соответствует 0 = 0,90. Кроме того, были основания
§ 211 ТОРЙРОВАННЫЙ ВОЛЬФРАМ 185 принимать (см. § 23), что наибольшая эмиссия, т. е. Афтах, соот- ветствует не 6' = 1, но 6' = 0,7, поэтому различие 0 и 0' может быть еще больше. Например, ток V на рис. 93 соответст- вует истинному 0', равному 0,5. Нелинейный ход Дф с 0' и падение Дф при 0'^>О,7 объяснялись деполяризующим действием соседних диполей тория друг на друга. Действительно, как видно из рис. 94, поля соседних диполей Рис. 94. в области каждого диполя стремятся умень- шить электрический момент этого диполя. Поэтому по мере увеличения 0' и уменьше- ния средних расстояний между диполями, деполяризующее поле соседей будет расти, момент каждого диполя будет уменьшаться, а не оставаться постоянным, как предпола- гал вначале Ленгмюр. Поэтому и 4лир(и) будет расти медленнее, чем 0', а при 0' ^>0,7 эффект деполяризации окажется сильнее, чем влияние увеличения поверхностной плотности п, и Дф будет падать с ростом 0'. Если наносить путем испарения слои тория с 0' 1, то работа выхода будет продолжать расти, стремясь к работе выхода чистого тория; при 0' = 2 уже достигается постоянное значение ф = фть- Мы изложили дипольную теорию Ленгмюра, так как ее пред- ставлениями пользуются и в работах, выходящих в настоящее вре- мя. Следует, однако, сделать одно замечание об основной идее этой теории. Согласно формуле (21.1), выражающей эту идею, работа выхода аддитивно складывается из работы выхода чистого воль- фрама и скачка потенциала в двойном слое, т. е. молчаливо пред- полагается, что силы, с которыми действует на электрон вольфра- мовая подложка, на всех расстояниях не изменены наличием слоя тория, а эффект, вызываемый наличием тория, сводится лишь к полю его диполей. Такое предположение не является ни очевид- ным, ни достаточно обоснованным. Действительно, если адсорби- рованные атомы и не имеют дипольных моментов, то наличие их все же вызовет изменение работы выхода, так как структура поверхности при этом изменится. Конечно, изменение работы выхода будет зависеть и от состояний адсорбированных атомов, в частности, и от их дипольных моментов, но оно не сведется только к скачку потенциала в двойном электрическом слое в покрытии. Рассмотрим теперь процессы активирования и дезактивиро- вания торированного вольфрама. При активировании атомы тория, возникающие внутри нити в результате восстановления окиси тория, выходят на поверхность. По-видимому, атомы тория дви- жутся по межкристаллическим стыкам и мпкротрещинам кристалликов, мигрируя по поверхности граней вольфрамовых
186 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV кристалликов, а также по дислокациям микрокристалликов воль- фрама. Так как атомы тория в различном положении относительно атомов вольфрама на его поверхности имеют различную потенциаль- ную энергию, то поверхность граней кристаллов вольфрама пред- ставляет для атомов тория поверхность с потенциальным рель- ефом. При перемещении из одного минимума энергии в другой атом тория должен преодолеть потенциальный барьер UM. Очевидно, это могут сделать те атомы, которые обладают энергией колеба- тельного теплового движения, превышающей £7М. Вероятность наличия у атома тория энергии Е 7> UM будет возрастать Г ^м! с температурой по закону: ехр —Хг • Подвижность, следова- тельно, существенно растет с температурой, а именно, как ехр [—иы1кТ]. Если обозначить концентрацию атомов тория внутри прово- локи через ni (очевидно, что в очагах, где выделился металличе- ский торий, iii 1), а поверхностную концентрацию через и', то скорость возрастания числа атомов тория на поверхности вслед- ствие миграции будет пропорциональна разности концентраций — п' и подвижности, т. е. 'dn\ „ . Г ^м1 ^7/м = С^-”)ехР[-Гт или, так как ni п', [dn\ п Г ^М1 и = ехр а следовательно, (21.6) Из измерений скорости миграции атомов тория по поверхности вольфрама при различных температурах можно определить Z7H; оно оказалось равным -А эв. При низких температурах подвиж- ность атомов тория исчезающе мала, и поэтому, несмотря на на- личие градиента концентрации, диффузия атомов на поверхность практически будет отсутствовать. Атомы тория, расположенные на открытой внешней поверх- ности нити, могут испариться, причем при испарении каждый атом должен совершить работу против сил, удерживающих его на по- верхности вольфрама. Поэтому вероятность испарения w также будет возрастать с температурой примерно по экспоненциальному закону W'ie.vp| — ~j. Здесь X — теплота испарения. Очевидно, что X £7М. Так как X 2> /7М, то рост вероятности испарения с
§ 21] ТОРИРОВАННЫЙ ВОЛЬФРАМ 187 температурой идет быстрее, чем рост подвижности. Скорость умень- шения числа атомов тория на поверхности вследствие испарения будет пропорциональна покрытию 6' и вероятности испарения, т. е. ^„^ВЭ'ехрр Д или ln (dtla 111 ‘ ln0 кТ' На рис. 95 схематически изображены сплошными линиями In как функции обратной температуры -1, для нескольких \ Ul j и J. значений покрытия 0' (соот- ветствующие значения 0' указаны внизу у прямых 1п (£)и=НЙ -а пунктир- ной линией — ход \dt х 1 п как функции от у-. Сели взять дезактивированную нить и нагреть ее до некото- рой температуры 7\, то вслед- ствие миграции тория покры- тие будет расти до тех пор, пока возрастающее с по- крытием 0' испарение не уравновесит подачу атомов тория на поверхность. При этом •dn \ \ d t / м ' ; dn \ \ dt При более высокой температуре 1\ это равновесие наступит при меньшем покрытии 0'. Наконец, в области еще более высоких температур равновесное покрытие 0' будет близко к нулю. По- этому если взять уже активированную нить и накалить до этих температур, то покрытие упадет практически до нуля (область дезактивирования). Из этого, казалось бы, следует, что равновесное покрытие 0', достигаемое активированием, должно быть функцией температуры, при которой производится активирование. Однако, как указано выше, хотя процесс активирования в широком диапазоне темпера- тур Т 2300° К и идет с различной скоростью, но в результате эмиттер приводится в одно и то же состояние. Процессы подачи
188 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV тория на поверхность и испарения с поверхности оказываются в равновесии во всем этом диапазоне температур при почти оди- наковом покрытии, несмотря на то, что миграция и испарение по- разному меняются с температурой. Это означает, что при 0'^1 либо замедляется диффузия изнутри, либо наступает повы- шенное испарение атомов с поверхности. Опыты показали, что диффузия изнутри почти не зависит от 0' и, следовательно, рав- новесие поддерживается возрастанием испарения при достижении этих покрытий. Действительно, например, при 0' Д> 1 диффунди- рующие на поверхность атомы тория должны были бы распола- гаться не на атомах вольфрама, а во втором моноатомном слое, т. е. уже на атомах тория. Работа испарения таких атомов будет приблизительно равна работе при испарении тория с тория, кото- рая значительно меньше, чем работа испарения тория с вольфрама. Поэтому вероятность испарения вновь появляющихся атомов сверх 0' — 1 оказалась бы значительно большей, чем из первого слоя, и, несмотря па возрастающую скорость подачи атомов тория на поверхность, они все успели бы испариться, не образуя сколько- нибудь заметного покрытия во втором слое. Впрочем, при низких температурах возможно подобрать такой режим, при котором скорость подачи тория на поверхность вольфрама обеспечит на- личие некоторого покрытия и во втором слое. Более детальное исследование испарения показало, что и в первом атомном слое тория вероятность испарения атомов при данной температуре возрастает с увеличением 0' (при Т --- 2200° К примерно на порядок с увеличением 0' от 0,1 до 0,9). При этом при небольших покрытиях теплота испарения, а следовательно, и вероятность испарения при данной температуре почти не зависят от 0' и лишь при 0' 0,6—0,7 начинают заметно возрастать. На рис. 95 наклоны графиков 2 почти одинаковы до 0'= 0,6, а график 1п -= f \ для 0Г 0,7 идет более по- лого, чем для 0' 0,7. Отсюда видно, что в широком диапазоне температур активирования от Т2 до 7’3 равновесные покрытия 0' будут меняться мало, т. е. активирование при температурах этого интервала приведет почти к одинаковому равновесному покрытию 0' 0,7. Небольшие различия в получающихся зна- чениях 0' вблизи 0' «г- 0,7, где зависимость i (О') имеет максимум, почти не сказываются на значениях эмиссионного тока. Все приведенное выше рассмотрение свойств торпрованного вольфрама исходит из положения, что при 0' 1 атомы тория располагаются на поверхности вольфрама в виде моноатомной пленки. В работе [64] это положение подвергается сомнению и ставится вопрос о том, существуют ли вообще монослойные эмит-
§ 22] ТЕОРИЯ «ПЯТЕН» 189 геры и не образуют ли всегда активаторы на поверхности металла агрегаты из многих атомов пли молекул («кристаллиты»; в случае тория — кристаллиты из Т11О2, образующиеся в результате окис- ления выходящих на поверхность атомов тория кислородом оста- точных газов в приборе). Однако и сам автор 164] считает спорным предположение о том, что монослопных эмиттеров не существует. В отношении торированного вольфрама (а также пленок щелочных металлов на тугоплавких металлах; см. § 23) отрицание пленочного характера эмиттера нам представляется не имеющим достаточных оснований (см. также 1565]). Кроме простого торированного вольфрама, используется также торпрованный катод из карбидированного вольфрама. Прокаливая вольфрам в атмосфере паров органических веществ (нафталин, бензол, толуол иногда с примесью азота или водорода) при температуре - -2200 К, создают на его поверхности слой кар- бидов вольфрама толщиной порядка десяти микрон. По [52] наи- лучшие результаты получаются, если этот слой состоит из \\ 2С, несколько худшие — если из WC. Работа выхода самого карбида W2C по [53] почти равна работе выхода чистого вольфрама. Ак- тивируя такой катод, содержащий ThO2, как и в случае торпро- ванного вольфрама, можно повысить его термоэлектронную эмис- сию также на несколько порядков. Преимуществами этих катодов являются меньшая, чем у торированного вольфрама, чувствитель- ность к отравлению, возможность использовать их при несколько более высокой температуре (~ на 20(У) и восстановление ThO2 карбидом вольфрама при более низкой температуре (оно практи- чески идет уже при рабочих температурах). Основной недостаток катодов этого типа — большая хрупкость. Помимо торированного вольфрама и торированного карбиди- рованного вольфрама были исследованы и другие системы этого же типа, например, MoTii, TaTh, WZr, WU и т. д., обнаружившие свойства, аналогичные свойствам торированного вольфрама. § 22. Теория «пятен» Впервые объяснение аномального роста тока термоэмиссии из торированного вольфрама при увеличении внешнего электри- ческого ноля (аномального эффекта Шоттки) было предложено Ленгмюром в его теории пятен. По этой теории атомы тория при О' <^1 не расположены па поверхности вольфрама равномерно, по сосредоточены в небольшие пятна; часть поверхности катода остается не покрытой торием. Локальные работы выхода областей поверхности, покрытых торием, и частей поверхности из чистого вольфрама не одинаковы. При этом под термином локальная работа выхода срл данного
190 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV элемента неоднородной поверхности мы понимаем работу выхода такого однородного эмиттера, структура поверхности которого такая же, как у рассматриваемого элемента неоднородной поверх- ности (см. подробнее § 28). Различие в локальных работах выхода частей поверхности, покрытых и не покрытых торием, означает, как указано в § 8, что между этими областями поверхности есть контактная разность потенциалов, а над поверхностью эмиттера существует поле контактных разностей потенциалов (поле пятен). В общем случае неоднородного по работе выхода эмиттера локальная работа выхода некоторого элемента поверхности есть функция координаты rs этого элемента на поверхности: фл= фл (rs). Обсудим характер поля пятен, рассмотрев простейший пример поверхности, содержащей пятна лишь двух сортов с ра- ботами выхода <рЛ] = <pmin и <рЛ2 = фшах, правильно чередующиеся на этой поверхности. Легко видеть, что поле пятен направлено так, что задерживает электроны, эмитированные областями, по- крытыми торием и обладающими малой работой выхода <pmIn, и, наоборот, ускоряет электроны над чистой поверхностью с большей работой выхода <ртах. Схематически это изображено на рис. 96 (стрелки на рисунке указывают не силовые линии, а направления сил, действующих на электроны). При наличии поля пятен полные работы Ф удаления электрона с уровня электрохимического потенциала эмиттера на бесконеч- ность с различных элементов поверхности (не равные, вообще говоря, работам выхода, определяющим плотность термотока на- сыщения; см. ниже) не равны локальным работам выхода, т. е. Ф # фтах Для элементов с большой работой выхода и Ф Ф- cpmin для элементов с малой работой выхода. Нетрудно заметить, что в отсутствие внешнего электрического поля е?0 полные работы Ф удаления электронов одинаковы для всех элементов поверхности.
§ 22] ТЕОРИЯ «ПЯТЕН» 191 Действительно, если удалить электрон через элемент с локальной работой выхода <рЛ1 (rs), то затраченная полная работа е Ф' (rs) будет равна еФ’ (rs) = е<рл1 (rj + е^пх (rs, x)dx, где #пх — о компонента напряженности поля пятен по нормали к поверхности (совпадающая с осью х) на расстоянии х от нее. При введении элек- трона с бесконечности в эмиттер через элемент с локальной ра- ботой выхода фл2 (rJ будет затрачена полная работа —еФ" (rs), равная—еФ" (rs) = — [е<рла (rs) + (rs, х) dx]. Так как о перемещение электрона с энергией, соответствующей электрохи- мическому потенциалу, единому для всего эмиттера, внутри эмит- тера от точки rs к точке rs не требует затраты работы, то Ф' (rs) — — Ф" (rs) = 0; отсюда Ф' (гч) = Ф" (г,) — Ф = const. Можно показать, что т. е. Ф равно среднему по поверхности значению локальной ра- боты выхода эмиттера ф8. Поэтому дополнительная работа в поле пятен еДР’ц (rs) = e^tfnx (rs, х) dx положительна для элементов с <рл (rs) ф8, и отрицательна, если <рл (rs) <ps. Напряженность поля пятен <^л = е?п (rs, х} убывает с увеличением расстояния х от поверхности и существенно отлична от нуля лишь на расстоя- ниях порядка размеров пятен I, которые (см. ниже) равны многим атомным диаметрам. Поле же сил локальной работы выхода фл (rs) сосредоточено на расстояниях порядка постоянной решетки Ф (г )-ф а<^1. Вследствие этого напряженность поля пятен е'п -- гораздо меньше напряженности поля сил локальной работы ф (г ) выхода Поле пятен над элементами с <рП1 = <pmtn действует почти так же, как внешнее задерживающее поле между плоскими электродами, и уменьшает силу тока эмиссии с этих элементов (при условии отсутствия ограничения тока объемным зарядом) приблизительно по закону Г еД Г 1 Л]=ехр[-------(22-2) где 00 О
192 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМПОРИЯ [ГЛ. IV — дополнительный потенциальный порог поля пятен. В противо- положность этому электроны, эмитируемые из тех областей катода, для которых фл2 — фП1ах, ускоряются силами ноля пятен. Однако действие этого ускоряющего поля на токи di., с рассматриваемых элементов поверхности сводится здесь лишь к нормальному эф- фекту Шоттки, соответствующему полям и2 (щ) над этими эле- ментами, в результате чего сила тока г, с этих областей катода немного превышает то ее значение (20, которое было бы при отсут- ствии поля пятен. Включение внешнего ускоряющего поля £0 не меняет качест- венно картину эмиссии с этих областей; поле ё'о складывается с полем пятен, вызывая некоторое увеличение тока i2, соответствую- щее нормальному эффекту Шоттки в суммарном поле. Аномальный эффект Шоттки объясняется, по Ленгмюру, бы- стрым возрастанием тока эмитируемого областями катода с Фл1 = фппп- Действительно, при включении внешнего электри- ческого поля дополнительный порог поля пятен А] П1 превра- щается в потенциальный барьер (рис. 97), высота которого AV’ni(£0, rs) = $ a-)—(22.3) о более чем на величину б'от1;1) (гД ниже высоты порога АГЩ. Здесь х|ф — то расстояние от поверхности катода, на котором задержи- вающее поле пятен компенсируется внешним полем &0, т. е.
§ 22] ТЕОРИЯ «ПЯТЕН» 193 </ lll (rs, ,тнр) : (рис. 98). Таким образом, картина здесь почти та же, что и при нормальном эффекте Шоттки, однако существен- ная разница состоит в том, что роль сил электрического изобра- жения играют более слабые длиннодействующие силы поля пятен. Соответственно этому zh.p велико по сравнению с его значением в теории Шоттки, ЛТ’П1 (^’0, »\) быстро уменьшается с ростом и эмиссионные токи ,. Г ^Гп1(#0,гН d'i еХр ---------------j Ло1, (22.4) с! значит, и ток ?г растут значительно оыстрее с л 0, чем при нормальном эффекте Шоттки. При достаточно большой величине напряженности внешнего ноля кр 3= A (rs,0) оно компенсирует задерживающее поле пятен всюду над областями с малой работой выхода и вплоть до само б поверхности катода (*' — 9) уничтожает барьер ноля пятен АГщ. Поэтому дальнейшее возрастание анодного напряжения прак- тически приведет к нормаль- ному эффекту Шоттки. При данной контакт- ной разности потенциалов фпшх — фпнп характер поля пя- тен сЗщ (rs, х) зависит от раз- меров I областей, покрытых и не покрытых торием; при ма- лых размерах пятен это поле будет обладать большей на- пряженностью вблизи по- верхности, по будет быстрее убывать с удалением от нее рах — поле слабее, чем в (рис. 99, а), а первом случае, стп эмиттера, по будет медленнее спадать с удалением от нее (рис. 99, б). В первом случае изменение барьера поля пятен AC'ni при данном с?0 будет меньше, чем во втором случае, и ток будет медленнее возрастать с увеличением анодного напряже- ния. Значение Аолт, при котором внешнее электрическое поле всюду скомпенсирует поле пятен вплоть до поверхности катода в областях, где <рл (rs)<f ips, и при котором аномальный эффект пе- рейдет в нормальный, в первом случае будет больше, чем во втором. Ленгмюр п Комптон [54] произвели расчет изменения АТ 'П1 в зависимости от б'о для схематизированного пятнистого катода, 7 Л. Н. Добрецов, М. В. Гомоюнова при больших разме- вблпзп поверхно-
194 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV в котором пятна с покрытиями 0 = 1 и 0 = 0 имели форму квад- ратов и чередовались как черные и белые квадраты шахматной доски (резкая модель пятнистой поверхности). Оказалось, что для объяснения наблюдающегося на опыте хода i (К) надо припи- сать пятнам размеры порядка 10 4 см. Ленгмюр полагал, что пятна возникают в результате флуктуаций распределения атомов тория на поверхности вольфрама. В связи с этим возможность возник- новения столь крупных пятен, содержащих число атомов тория порядка 107, казалась Ленгмюру невероятной, и он отказался от своей теории. В 1934—1935 гг. Беккер [55] вернулся к теории пятен, полагая, что размеры неоднородностей покрытия близки к размерам микро- кристаллов вольфрама, т. е. порядка 10 4 см. Кроме того, он счи- тал, что покрытия могут быть не только с 0 = 1 и 0 = 0, но и с любыми промежуточными, т. е. наибольшая контактная разность потенциалов не обязательно должна быть равна <pw — <pmtn. Для выполнения расчетов он заменил резкую модель пятнистого катода, использованную Ленгмюром, моделью с синусоидальным законом распределения работы выхода по поверхности, т. е. по- ложил ф (ГД = Ф (У- z) Фо + АФ cos (т?/) cos z) , где / — размеры неоднородностей, а Д<р =(фтах — фпнп)- В этом случае вычисляется распределение потенциала V (г) поля пятен и можно вычислить эмиссионные токи j (rs, <^0) dS для различных элементов поверхности при заданном <^0, а сумми-
§ 23] ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ ВЕЩЕСТВ, ПОКРЫТЫХ ПЛЕНКАМИ 195 руя эти токи, найти полный ток и изменение полного тока с пятнистой поверхности катода при различных <#0. Вычисления показали, что, подбирая значения Д<р и Z, можно не только добиться правильного общего вида зависимости силы тока от напряженности поля и правильного значения ^0,кр, но также хорошего совпадения вычисленных и экспериментальных кривых i (<^0) для различных степеней активирования 0'. Электронно-микроскопические исследования, показавшие не- равномерное распределение эмиссии по поверхности торирован- ного вольфрама и позволившие определить размеры неоднородно- стей как раз порядка 10~4 см, не оставляют сомнений в правиль- ности теории пятен. Поле пятен существует и над поверхностью чистого металли- ческого поликристаллического катода, если эта поверхность образована гранями микрокристалликов, имеющих различные работы выхода. Этим и объясняются отступления от теории Шот- тки, наблюдавшиеся, как упомянуто в § 18, для поликристалли- ческих чисто металлических эмиттеров в области малых внеш- них ускоряющих полей. В случае полупроводниковых и пористых катодов могут быть другие причины, приводящие к аномальному эффекту Шоттки (см. § 24). Особенности термоэлектронной эмиссии пятнистых катодов подробно рассмотрены в [9] (см. также § 28 гл. V). § 23. Термоэлектронная эмиссия тугоплавких веществ, покрытых пленками щелочных и щелочноземельных металлов Пленки атомов чужеродных веществ на поверхности металлов могут быть получены не только в результате диффузии этих атомов из толщи эмиттера, но и за счет нанесения их извне. С этой целью исследуемый металл можно поместить в атмосферу паров того вещества, пленку которого требуется получить на его поверхности. Поток атомов вещества на поверхность катода в этом случае оп- ределяется закономерностями кинетической теории газов (метод пара). Пленку адсорбированных атомов на металле можно также получить, направляя на его поверхность молекулярный (или атомный) пучок этого вещества из специального источни- ка — молекулярной пушки (метод пучка). Эмиссионные свойства пленочного катода с данным покрытием и при данной температуре, очевидно, не зависят от способа нане- сения покрытия. Однако, в зависимости от того, каким путем наносится покрытие (адсорбция извне или диффузия изнутри), оно может по-разному меняться с температурой катода. Поэтому некоторые характеристики пленочных катодов будут специфичес- 7*
190 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV кими только для катодов с определенным способом нанесения ак- тивирующего покрытия. В настоящем параграфе рассмотрены свойства таких пленочных катодов, адсорбированные атомы па поверхности которых нанесены извне (методом пучка либо методом пара). Наибольшее количество исследований выполнено с вольфрамом в парах цезия. В последние годы интенсивно изучаются эмиссион- ные свойства и некоторых других металлов (Та, Мо, Nb, Ni, Ag, Re, Ir [56]), покрытых пленками щелочных и щелочноземельных металлов. Из щелочных металлов преимущественно используется цезий, из щёлочноземельных — барий. При работе с щелочными металлами обычно применяют метод пара. В случае щелочнозе- мельных металлов, наоборот, чаще используется метод молеку- лярного пучка. Большинство работ выполнено с поликристалли- ческими эмиттерами. Имеется лишь небольшое число исследова- ний [57, 58], в которых изучались термоэмисспонные свойства отдельных граней монокристаллов, покрытых адсорбированными пленками. Многочисленным исследованиям в последние годы под- вергалась система вольфрам — окись бария. Наиболее значитель- ные результаты в этой серии опытов получены при работе с моно- кристаллическими образцами [59]. Имеется некоторое количество данных по адсорбции кислорода и галогенов на поверхностях тугоплавких металлов, а также данных, полученных для более сложных систем, таких, как, например, цезий на окисленном воль- фраме [60] или цезий на вольфраме, на поверхность которого по- давался поток молекул щелочно-галоидных солей [61]. В послед- ние годы возник интерес к изучению термоэлектронной эмиссии не только металлов, но и тугоплавких металлоподобных соедине- ний в парах цезия. Исследовались в основном карбиды циркония, тантала, ниобия и твердых растворов карбида циркония с кар- бидом урана [62, 510]. Эмиттерами являлись пленки этих веществ, нанесенные на соот- ветствующие подложки, либо массивные образцы этих же веществ. Так как к настоящему времени наиболее полно изучены эмис- сионные свойства вольфрама в парах цезия, основные характери- стики пленочных катодов указанного типа мы рассмотрим главным образом на примере системы W—Cs. Основной отличительной особенностью катодов W—Cs в парах цезия при pCi = const являются так называемые А-образные тем- пературные зависимости термоэлектронного тока. Схематически такая А-образная зависимость изображена на рис. 100, а. Этот необычный для чистого металлического катода температурный ход тока термоэмпссип объясняется изменением работы выхода вольфрама в зависимости от степени покрытия его поверхности пленкой атомов цезия. Это уменьшение работы выхода аналогично
§ 23] ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ ВЕЩЕСТВ, ПОКРЫТЫХ ПЛЕНКАМИ 197 рассмотренному в § 21 понижению, вызываемому пленкой атомов тория. При каждой температуре нити и плотности паров цезия уста- навливается такое покрытие катода атомами цезия, при котором число атомов, адсор- бируемых поверхностью ни- ти из атмосферы пара цезия, уравновешивается числом атомов, испаряющихся за то же время. Количество ато- мов цезия, адсорбирующихся за 1 сек на 1 см2 поверхности вольфрама, пропорционально числу падающих из пара ато- мов цезия, которое, как из- вестно из кинетической тео- рии газов, равно Рис. 100. 1 - nv ~ 4 PCs (2лкт^3 Тс.,) где pCs—давление паров цезия, 7’Cs — его температура, a mCs — мас- са атома цезия. Число испаряющихся за то же время с 1 см2 атомов цезия пропорционально покрытию 0^ вольфрама цезием и вероят- ности испарения. Последняя возрастает с температурой Т нити, fl 1 — kT <3«есь — теплота испарения цезия с поверх- ности вольфрама). Таким образом, условие равновесия примет вид |^ = Жехр[-А]. 1 Cs 1 J С повышением температуры катода увеличивается вероятность испарения. Однако поток атомов Cs на поверхность вольфрама (в отличие от случая торированного вольфрама) от температуры катода не зависит. Поэтому с ростом температуры катода равно- весное покрытие 0' при данной упругости паров Cs монотоннс уменьшается (см. рис. 100, б). При низких температурах катод покрыт сравнительно толстым слоем атомов цезия и имеет работу выхода, близкую к работе выхода этого металла (<pCg = 1,87 в), но вследствие низкой температуры эмитирует электроны очень слабо. С повышением температуры нити происходит испарение излишков цезия и установление мономолекулярного, а затем мень- шего, чем мономолекулярное, оптимального покрытия; при этом работа выхода падает от (pCs до фт1п (см. рис. 100, б). Уменьшение
198 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV работы выхода вместб с увеличением температуры катода, естест- венно, приводит к быстрому росту электронной эмиссии. Дальней- ший подъем температуры вольфрама, сопровождающийся даль- нейшим уменьшением 0^, ведет уже к увеличению работы выхода, стремящейся при 0Cs -> 0 к работе выхода чистого вольфрама. В начале интервала температур, соответствующего возрастанию ра- боты выхода <р, повышение температуры сильнее влияет на эмиссию, чем медленный вблизи минимума рост работы выхода; ток еще продолжает возрастать, хотя и медленнее, чем при более низких температурах. В дальнейшем, однако, рост работы выхода из-за уменьшения покрытия начинает сказываться сильнее, и ток падает, несмотря на увеличение Т. Наконец, при «=* 0, когда работа выхода катода становится почти постоянной и равной работе вы- хода чистого вольфрама, ток эмиссии начинает вновь возрастать с температурой как у чистого вольфрама. Впервые большую термоэлектронную эмиссию вольфрама, находящегося в атмосфере паров цезия малой плотности, обнару- жили Ленгмюр и Кингдон [60] еще в 1923 г. По их данным при Т = 690° К и упругости паров цезия рс 10'5 mop плотность тока равна / = 10~4 а-см'2 (для вольфрама этой температуре соответ- ствует j 10~26 а-см2). При указанной упругости паров Cs, согласно [60], температура Т — 690° К соответствует максимуму тока на 5-образной кривой. Если увеличить плотность пара цезия, т. е. увеличить поток падающих на катод атомов, то температура вольфрама, при которой установится данное покрытие атомами цезия, будет выше. В резуль- тате оптимальное покрытие и максимум эмиссии сместятся к более высоким температурам нити; при этом и величина максималь- ного тока, в соответствии с повышением температуры катода, будет расти. При данной температуре нити Т, чем выше Тс , а следова- тельно, и рс , тем больше равновесное покрытие 9'Cs. Для 0'<^ 0ОПТ рост покрытия приводит к уменьшению работы выхода. Поэтому кривая i (Т), соответствующая большей TCs, идет выше, чем кривая для меньшей Тс&. При 0' 2> 0ОПт увеличение покрытия сопровождается возрастанием работы выхода. Поэтому кривая i (Т) в области этих покрытий идет тем ниже, чем выше соответ- ствующая ей Тс . На рис. 101 приведены графики зависимости плотности термо- электронного тока с вольфрама, как функции 1/Т для различных упругостей пара Cs [63]. По ординатам отложены плотности то- ков эмиссии у, выраженные числамй электронов с 1 см2 в 1 сек. Цифры над кривыми указывают плотности потоков атомов цезия и температуры насыщенных паров цезия, соответствующие этим
§ 231 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ ВЕЩЕСТВ, ПОКРЫТЫХ ПЛЕНКАМИ 199 плотностям. Наклонные прямые на рис. 101 — ричардсоновские прямые, соответствующие работам выхода <р, указанным у прямых в верхней части рисунка, а цифры у тех же прямых — покрытия 0', вычисленные по (21.5). Рис. 101. Рассмотренные 5-образные температурные зависимости термо- эмиссионного тока наблюдались при изучении эмиссии многих тугоплавких металлов в парах щелочных и щелочноземельных металлов. Объектами исследования выбирались как поликри- сталлические, так и монокристаллические образцы. Высказыва- лись предположения, что от величины работы выхода подложки существенно зависит положение максимума термоэмиссионного
200 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV тока на 5-образной кривой. С увеличением работы выхода при дан- ном давлении паров цезия максимум кривой тока термоэмиссии сдвигается к более высоким температурам, а высота его возрастает. Это утверждение, по-видимому, согласуется с эксперименталь- ными результатами для Cs и Rb. В качестве иллюстрации отмечен- ной корреляции на рис. 102 приведены зависимости lg j = f (1/71) для двух граней тантала (100) п (110) в парах ру- бидия по [57]; соглас- но [518], <р100 ~ 4,15 в, а Фно — 4,80 в. При исследовании раз- ных граней монокристал- лов некоторых металлов были обнаружены разли- чия в теплотах испарения адсорбированных атомов с разных граней, а также зависимость теплоты ис- парения от степени пок- рытия. Обширный мате- риал по адсорбции раз- личных атомов на разных гранях монокристаллов получен с по- мощью электронного проектора (см. § 41). Изучение термоэмиссионных характеристик при адсорбции цезия на окисленных металлах — вольфраме и молибдене — по- казало, что система Me—О—Cs при оптимальном покрытии обла- дает меньшей работой выхода, чем система Me—Cs. Так, например, для системы Мо—О—Cs при оптимальном покрытии работа выхода равна '-'-4,4 эв, тогда как для системы Мо—Cs ~1,7 эв. Так же как и при адсорбции атомов Cs на чистых металлах, при адсорбции их на окисленных металлах наблюдаются 5-образные кривые для температурной зависимости термотока. Пример такой зависимости для окисленного вольфрама в парах цезия показан на рис. 100, а пунктирной кривой. Из рисунка видно, что максимум кривой выше и находится при больших температурах, чем для чистого воль- фрама. Аналогично кислороду действуют галогены. Наиболее прочно удерживается на металлах фтор. В работе [61] в прибор для иссле- дования термоэлектронной эмиссии молибдена в парах цезия вво- дился кристалл CsF. В результате диссоциации молекул CsF на раскаленном молибдене образовывался свободный фтор, который на нем и адсорбировался. Минимальная работа выхода, полученная в системе (Мо—F—Cs), оказалась равной 1,4 эв (вместо 1,7 эв для Мо—Cs).
§ 23] ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ ВЕЩЕСТВ, ПОКРЫТЫХ ПЛЕНКАМИ 201 Отметим, что адсорбция одного только кислорода пли галогена на поверхностях W, Мо и других металлов приводит не к пониже- нию, а наоборот, к повышению работы выхода катода. Для понимания особенностей пленочных катодов типа W—Cs существенно изучение не только равновесных 5-образных темпе- ратурных кривых термоэлектронного тока, но и кинетики установ- ления равновесной термоэмиссии этих катодов. Характеристиками, позволяющими судить об изменениях работы выхода пленочного катода в зависимости от его покрытия при постоянной температуре, являются так называемые кривые адсорбции, т. е. кривые зави- симости термоэлектронного тока от времени, снимаемые в процессе установления равновесного покрытия катода. Эти кривые можно получить, если нить, находящуюся в атмосфере исследуемых паров, нагреть до высокой температуры Тг, при которой ее поверхность становится чистой, и затем быстро охладить до температуры Тг, так, чтобы за время остывания нити на ее поверхности практически не успели адсорбироваться атомы пара. Тогда кривая термоэмис- сионного тока, снимаемая в процессе последующего установления равновесного состояния катода, т. е. при непрерывном возрастании покрытия практически от нулевого до равновесного при Т2, и будет искомой кривой адсорбции. Еще легче подобный опыт, оче- видно, можно поставить, если воспользоваться не методом пара, а методом пучка. Если температура, при которой ведется наблюде- ние, соответствует покрытию, меньшему оптимального покрытия, кривая адсорбции будет монотонной. Если же температура катода соответствует покрытию большему, чем оптимальное, то в процессе адсорбции на поверхности катода атомов пара или пучка термо- электронный ток должен пройти через максимум при оптимальном покрытии катода, т. е. при минимуме работы выхода, если такой минимум действительно существует. В течение длительного вре- мени, начиная с ранних работ Ленгмюра [60], в которых были по- лучены кривые адсорбции Cs на W с максимумами, вопрос о мини- муме работы выхода для систем типа W—Cs, Мо—Cs, W—Ва и т. д., не подвергался сомнениям. (Отметим, что для объяснения Х-образиых кривых наличие минимума на кривой ф (0) не обя- зательно.) Различные авторы систематически получали немоно- тонные кривые адсорбции. В некоторых работах последних лет [51, 65], однако, утверждалось, что минимум работы выхода на- блюдается лишь в условиях недостаточного вакуума. Впервые утверждение об отсутствии минимума на зависимости ф (0) было высказано еще Нергаардом [64]. В достаточно хороших вакуумных условиях изменение ф с ростом покрытия 0', в частности, для Ва на W, согласно [65], а также [51 ], идет монотонно, не проходя через минимум. Подобные же утверждения можно встретить и относи- тельно Cs, Th на W, Мо и Re. Каков конкретный физический
202 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV механизм, обеспечивающий появление максимума на кривых ад- сорбции, полученных в недостаточно хороших вакуумных усло- виях, в работах, как правило, не рассматривается. Однако, со- гласно данным других тоже более поздних исследований [66], выполненных также в условиях достаточно хорошего вакуума, минимум на кривых адсорбции все же наблюдается. Поэтому, вопрос о зависимости <р (0') для разных металлов, покрытых раз- личными активаторами, требует дальнейшего исследования. Изучение кривых адсорбции при определенных условиях поз- воляет оценить величину оптимального покрытия. Такая оценка для случая W—Cs была сделана в [67] и основана на следующем, установленном на опыте факте. При изучении зависимости lg i =f (t), где t — время адсорбции, для ряда температур нити, при которых 0' «с 0опт (рис. 103), было выяснено, что время т, в тече- ние которого ток достигает максимума при данной плот- ности паров цезия (т. е. пок- рытие 0' изменяется от 0 до 0опт), не зависит от темпера- туры вольфрамовой нити. Это было объяснено тем, что в этом температурном интер- вале все падающие на поверх- ность нити атомы цезия ад- сорбируются на ней и прак- тически не испаряются за время т. Зная упругость паров це- зия, их температуру и время т образования 0'опт, можно по формулам кинетической теории газов определить соответствующее 0' — ©опт число иопт атомов, адсорбировавшихся за время т на 1 см2, а сравнивая его с пг — числом атомов цезия в мономолекулярном слое, найти истинное ©опт! автор [67] пришел к заключению, что 0оПТ =0,67. При вычислении в [67] принималось, что поверхность воль- фрама представлена лишь гранями (110), истинная поверхность за счет шероховатости в 1,4 раза больше, чем геометрическая, а плотность упаковки атомов цезия на поверхности грани вчетверо меньше, чем плотность упаковки атомов вольфрама на этой грани. В работе [68] более обстоятельно рассмотрено строение прово- локи или ленты из мозаики различных граней кристаллов воль- фрама и вычислено количество адсорбированных атомов разного атомного диаметра, которые могут расположиться на тех или иных гранях. Автор [68] приходит к заключению, что величина пг
§ 23] ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ ВЕЩЕСТВ, ПОКРЫТЫХ ПЛЕНКАМИ 203 меньше, поэтому 0оПТ больше, чем получалось в [67 ]. По его мнению, для Cs на W (а также Ва и К на W) 0оПТ близко к единице. В ранних исследованиях вольфрама в парах цезия кривые адсорбции использовались для определения работы выхода <р пленочного катода. В настоящее время основным методом опре- деления <р таких катодов является метод полного тока. Однако, как указывалось в § 17, этот метод получил распространение лишь в пятидесятые годы. До этого работа выхода определялась мето- дом прямых Ричардсона. При построении прямой Ричардсона для пленочного катода требуется измерить значения термоэлектрон- ного тока, соответствующие разным температурам, но одному и тому же покрытию 0'. Между тем при изменении температуры пле- ночного катода меняется равновесное покрытие 0'. Поэтому для того, чтобы определить значения тока термоэмиссии пленочного катода при разных температурах, но одинаковом 0', можно вос- пользоваться кривыми адсорбции для pCs = const, но при разных температурах нити, и выбрать на них точки, соответствующие оди- наковому покрытию, т. е. относящиеся к одинаковым временам адсорбции. Наиболее просто это сделать для оптимального по- крытия, при котором наблюдается максимум термотока на кривых адсорбции. В этом случае, собственно, не надо даже снимать сами временные зависимости термотока, а достаточно лишь измерить его максимальные значения в процессе установления равновес- ного покрытия. Для определения минимальной работы выхода пленочного катода методом прямых Ричардсона можно воспользоваться и равновесными б’-образными температурными кривыми зависимости термоэмиссионного тока. Для этого необходимо на них также найти точки, соответствующие этому оптимальному покрытию. Семейство кривых lg i = / (у-1) было приведено на рис. 101. На каждой кривой этого семейства есть точка, соответствующая эмиссии равновесного оптимального покрытия 0' = ©опт, наступающего, как указыва- лось выше, для различных упругостей паров цезия при различных температурах нити Т. Поэтому семейство кривых lg i = / должно иметь общую касательную АВ (рис. 104), являющуюся рИЧардСОНОВСКОЙ ПРЯМОЙ ДЛЯ 0' = 0'опт- Остановимся кратко на основных результатах исследований термоэмиссионных свойств карбидов в парах цезия. Эти объекты более сложны, чем металлы, хотя бы уже потому, что на поверх- ность эмиттера выходят атомы двух сортов; влияние атомов цезия, адсорбированных на этих двух типах элементов поверхности, на ее термоэмиссионные свойства может быть различно. Литературные данные о влиянии паров цезия на эмиссию карбидов противоречивы.
204 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ (ГЛ. IV Наиболее подробно изучен карбид циркония ZrC. В настоящее время, нам кажется, можно считать установленным, что при соответствующих давлениях цезия и температурах эмиттера можно получить 5-об- разные характеристики = подобные характеристикам для металлов [510],снизить цезированием карбидов их работы выхода до значений 1 эв (при тем- пературах эмиттера, близких к комнатной). Однако термоэлектрон- ная эмиссия карбидов в парах цезия обнару- живает и ряд особенно- стей: длительные време- на активирования при невысоких температу- рах активирования, на несколько порядков превышающие времена образования мономолекулярного слоя цезия (в предположении полного прилипания), трудность дезактивирования таких цези- рованных карбидов при температурах, меньших 2000° С и др. [62]. Возможно, что воздействие паров цезия не сводится лишь к адсорбции его атомов на поверхности карбидов, но приводит и к объемным изменениям эмиттера. § 24. Эффективные термокатоды I (оксидно-бариевый катод) [69] Высокая термоэлектронная активность окислов щелочноземель- ных металлов была открыта в 1904 г. Венельтом [70]. На основе этих окислов был разработан эффективный термокатод, называ- емый сокращенно оксидным катодом. В течение многих лет он являлся почти единственным эффективным термокатодом, широко используемым в технике. Литература по вопросам, связанным с оксидным катодом, весьма обширна. Однако, несмотря на много- численные исследования, посвященные оксидному катоду, до на- стоящего времени физика его работы еще не вполне ясна. В этом параграфе приводятся краткие сведения об оксидном, а в следую- щем — о других эффективных термокатодах.
§ 24] ЭФФЕКТИВНЫЕ ТЕРМОКАТОДЫ I (ОКСИДНО-БАРИЕВЫЙ КАТОД) 205 Перечислим основные параметры термокатодов. 1) Рабочая температура катода — Zpa6; под Граб понимают такую наибольшую температуру катода, при которой он может длительно работать. 2) Плотность тока эмиссии (или удельная эмиссия) j при Рраб- 3) Эффективность термокатода А, под которой понимается отноше- ние тока эмиссии i к мощности W тока накала катода, необходимого для поддержания этой эмиссии, т. е. А = UW. Обычно А измеря- ется в ма-впГ1. 4) Долговечность или срок службы катода т. Под т понимается продолжительность работы катода, в течение которой крутизна характеристики лампы с этим катодом умень- шается на заданное число % (для многих ламп это число прини- мается равным десяти). Представляют интерес и другие свойства катодов, такие, как их пористость, поверхностный рельеф, распределение эмиссии по поверхности, стабильность работы при высоких анодных напря- жениях, устойчивость катода к ионной бомбардировке и отравляю- щему действию остаточных газов. В табл. 4 приведены основные параметры некоторых типов тер- мокатодов. Таблица 4 Тип катода Т'раб* ° К 3, а • см~2 А, ма • вт '1 W 2500-5-2700 0,14-0,4 34-10 W—Th (торированный W) 1800-J-1900 0,74-1,5 304-50 WC—Th (карбидированный торированный W) 2000 3 704-100 Оксидный катод (статиче- ский режим) 10004-1100 0,14-0,5 304-100 Оксидный катод (импуль- сный режим) 1100 104-100 25004-25 000 Таблица показывает, что пз перечисленных в ней термокатодов оксидный катод является одним из наиболее эффективных. Оксидный катод состоит из металлической подложки (керна), покрытой слоем окислов щелочноземельных металлов. Конструк- тивно оксидный катод выполняется в виде катодов прямого накала (рис. 105, а), либо в виде катодов косвенного накала (рис. 105, б и в). Керны для катодов прямого накала обычно изготовляются из никеля пли вольфрама. В случае катодов косвенного накала
206 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV керном служит цилиндрическая трубка из никеля, на боковую поверхность или на торец (торцевые катоды) которой наносится слой окислов, внутрь ее вставляется подогреватель из вольфрамо- ffucuff/foe пеиры/те Лери Лери Рис. 105. нее через отверстие О (обычно воипроволокиилипроволоки из сплава вольфрама и рения (реже вольфрама и молибдена), покры- тых слоем алунда (А12О3). Недо- статками прямонакальных ка- тодов являются трудность по- лучения больших эмитирующих поверхностей, наличие падения напряжения вдоль катода и маг- нитного поля тока накала над поверхностью катода, влияю- щих на движение электронов. В некоторых случаях ис- пользуются так называемые полые катоды. В этих като- дах оксидное покрытие нано- сится не на наружную поверх- ность катода, а на внутренние стенки полости Р (рис. 106) в металлическом блоке Б, нагре- ваемом подогревателем П. Тер- моэлектроны, эмитируемые стенками полости, выходят из на этот ток накладывается тер- моток с краев отверстия, покрытых налетом активного вещества из полости). Исследования установили, что наилучшими эмиссионными свой- ствами из окислов щелочноземельных металлов обладает окись бария; однако смеси этого окисла с другими окислами металлов той же группы дают еще большую плот- ность эмиссии. Так, например, из двойных окислов бария и стронция, окисел, содержащий 70% (молеку- лярных) стронция и 30% бария, об- ладает ЭМИССИОННОЙ СПОСОбнОСТЬЮ, рис jQg. примерно в десять раз большей, чем чистый окисел бария. Поэтому почти всегда оксидное покрытие делается из смеси окислов бария с окислами стронция или стронция и кальция. При изготовлении катодов на керн наносятся мелкие кристаллики карбонатов этих металлов [Ва, Sr (СО3)21 или [Ва, Sr, Са (СО3)31 в виде суспензии в каком-либо связующем
§ 24] ЭФФЕКТИВНЫЕ ТЕРМОКАТОДЫ 1 (ОКСИДНО-БАРИЕВЫЙ КАТОД) 207 вещество (биндере). Размеры кристалликов колеблются в пределах нескольких микрон. Карбонаты при последующем прокаливании катода в лампе превращаются в окислы. Выделяющийся при этом углекислый газ откачивается насосом. Покрытие наносится на керн либо опрыскиванием из пульверизатора, либо путем ката- фореза суспензии. Толщина h слоя покрытия карбонатами лежит в пределах от 30 до 200 мк. Кроме толщины, обычно указывают и плотность по- крытия, вес на единицу площади керна (в мг-см2). Покрытие представляет собой пористый агломерат микрокристаллов слож- ных окислов [Ва, Sr (О)2] или [Ва, Sr, Са (О)3]. Зная h и вес Р, можно определить пористость, т. е. долю объема покрытия, заня- /. Р \ тую порами; она, очевидно, равна ,1---, где d — плотность монокристаллов оксида. Изменяя технологию нанесения карбо- натов, можно менять пористость покрытия в довольно широких пределах от <—80% (рыхлые покрытия) до <-—20% (плотные покрытия). Оксидное покрытие, состоящее из окислов щелочноземельных металлов, по своим свойствам близко к диэлектрикам и обладает плохими термоэмиссионными свойствами; для получения высокой термоэлектронной эмиссии требуется еще процесс активирования. Этот процесс состоит в нагревании оксидного катода до темпе- ратуры приблизительно 1275° К при отборе эмиссионного тока. В результате этой операции часть молекул окиси бария восстанав- ливается до металлического бария. Избыточные атомы бария рас- пределяются внутри кристалликов окислов, превращая их в при- месный полупроводник. Восстановление бария в оксидном катоде может происходить в результате нескольких процессов. Во-первых, барий образуется вследствие термической диссоциации окислов; во-вторых, метал- лический барий образуется в результате электролиза оксида при прохождении тока эмиссии сквозь покрытие (ионная составляющая тока при рабочих режимах равняется, примерно, 0,5% общего тока, идущего через слой оксида); в-третьих, восстановление бария может идти за счет реакций окиси бария с остатками углерода в слое после разложения биндера и с окисью углерода, образую- щейся при разложении карбонатов или в результате реакции СО2 + С = 2СО. Наконец, для облегчения процесса активирова- ния в керн катода иногда вводятся специальные примеси (при- садки), например Si, Ti, Al, W, Мп, в результате реакции окиси бария с которыми выделяется металлический барий (активные керны). Однако наличие присадок приводит и к некоторым неже- лательным явлениям, ухудшающим свойства катода (см. ниже). Поэтому в долговечных лампах и лампах с повышенной
208 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМ НОС ИЯ |ГЛ. IV надежностью в качестве материала керна часто используется чистейший никель (а иногда и платина) (пассивные керны), не реагирующий с окисью бария. В катодах с активным керном при химических реакциях с при- садками на границе оксид—керн образуется химический запор- ный слой — полупроводниковая прослойка, обладающая сопротив- лением, значительно большим, чем сопротивление основной массы активированного покрытия (рис. 107). При прохождении сквозь покрытие термоэмиссионного то- ка в запорном слое сосредоточивается значительное поперечное падение на- пряжения, которое, с одной стороны, от- рицательно сказывается на параметрах ламп, имеющих оксидные катоды (на- пример, на их крутизне) и, с другой стороны, приводит к выделению про- ходящим током джоулева тепла в прос- лойке и к ее перегреву, что может стимулировать искрение оксидного ка- тода. Вредное влияние запорного слоя можно уменьшить, если в качестве при- садки выбрать вещество, соединения которого с барием и окисью бария об- ладают достаточной электропровод- ностью при рабочих температурах катода. Возникновения химического запорного слоя можно избежать, если использовать пассивный керн. Наружная эмитирующая поверхность оксидного катода неод- нородна. Она имеет довольно сложный геометрический рельеф (см. рис. 107), в особенности для рыхлых покрытий. Работы выхода различных участков катода могут заметно отличаться друг от друга. Поэтому поверхность может иметь заметный «потенциаль- ный рельеф». Распределение работы выхода по поверхности оксидного ка- тода изучалось в работе [511]. Оно зависело от температуры катода и от степени его активирования; разброс работ выхода уменьшался по мере улучшения активирования. В работе [512] сообщается, что можно для хорошо активированных катодов в условиях высо- кого вакуума (р 10 8 тор) получить достаточно однородные эмиттеры, у которых неоднородность по работе выхода не пре- вышает неоднородности для поликристаллического вольфрама. Потенциальный рельеф или, что то же самое, поле пятен является одной из причин наличия у оксидного катода аномаль- ного эффекта Шоттки (см. рис. 69).
5 24] ЭФФЕКТИВНЫЕ 'ГЕРМОКАТОДЫ I (ОКСИДНО-Б АРИЕВЫЙ КАТОД) 209 На другую возможную причину аномального возрастания тока эмиссии рыхлых покрытий оксидных катодов указано, на- пример, в работах [513] и [514]. В [514] была измерена теплопро- водность по зернам рыхлых оксидных покрытий и показано, что она очень мала (^10 5 вт- см1- град '1, в то время как теплопровод- ность монокристалла, например, MgO,равна <^-0,4 вт • см 1 • град1}. Поэтому джоулево тепло, выделяемое проходящим сквозь оксид током термоэмиссии, может его нагревать до температур, заметно превышающих температуру керна. При этом наибольший перегрев будет у наиболее удаленных от керна наружных слоев оксидного покрытия. Этим перегревом и объясняют авторы [513] аномальное возрастание эмиссии. Действительно, измеренные ими на опыте зависимости тока термоэмиссии от внешнего электрического поля в режиме коротких одиночных импульсов, когда перегрев не имел места, дали удовлетворительное соответствие с теоретической за- висимостью по Шоттки. Лишь при периодических импульсах появляются аномалии и тем большие, чем больше частота следо- вания этих импульсов, т. е. чем больше средний во времени про- ходящий через покрытие ток. На такой перегрев поверхностных слоев оксидного покрытия указывается также в работе [71], в которой вместо обычно наблю- даемого спада эмиссии (см. ниже) в импульсе длительностью в 400 мксек, при работе с очень чистым танталовым анодом на- блюдался рост тока, объясняемый авторами также разогревом оксидного слоя. Третьей причиной аномального эффекта Шоттки может быть возрастание эффективной эмитирующей поверхности катода с ростом внешнего электрического поля. В отсутствие электричес- кого поля в порах покрытия, выходящих устьями на его открытую поверхность, плотность тока эмиссии из таких пор будет опреде- ляться уравнением (12.1) только без множителя (1 —R), подобно тому как это имело место в опыте по измерению (1 — R), описан- ному в § 17. При наличии у поверхности катода внешнего поля оно будет «провисать» внутрь пор и проникать в полупроводнико- вое покрытие (см. § 19). Это провисающее в поры поле увеличивает плотность тока эмиссии из пор. При этом поверхность зерен оксида, с которой эмиссия будет идти наружу, как бы увеличится и тем больше, чем сильнее поле в порах, т. е. чем больше внешнее элек- трическое ноле у поверхности катода. Это обстоятельство также приведет к аномальному росту термоэлектронного тока с ростом анодного напряжения. В качестве четвертой причины аномального эффекта Шоттки у пористых покрытий указывалась вторичная электронная эмис- сия в порах (см. ниже). Существуют, однако, технологические
210 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV приемы, позволяющие получать достаточно плотные, гладкие поверхности покрытия и, как указано выше, имеющие незначи- тельную неоднородность по работе выхода. Для таких оксидных катодов аномальный эффект Шоттки выражен слабо. Автор работы [72] исследовал влияние электрических полей на статическую и импульсную термоэмиссию нормального и уплот- ненного (примерно вдвое) оксидных покрытий. Для уплотненного покрытия в таких полях <о, при которых поле пятен всюду ском- пенсировано этим внешним полем <э, зависимость lg i от d’Vs со- ответствовала формуле Шоттки (18.9); наклон d In i прямых Шоттки уменьшался с ростом температуры примерно как ЦТ, т. е. также в соответствии с теорией Шоттки. Для нормального, неуплотненного покрытия зависимость lg i от в области больших полей <£ была значительно сильнее, чем по (18.9), а наклоны не уменьшались, а возрастали с повышением температуры Т. Согласно [72] эти особенности объяс- няются умножением электронов в порах за счет явления вторичной электронной эмиссии, вызываемой термоэлектронами, ускорен- ными электрическим полем внутри пор, при ударе этих электронов о стенки пор. Заметим, что идея о роли вторичной электронной эмиссии внутри пор в термоэмиссии оксидного катода высказы- валась и ранее, например, в работе [73]. Как известно, снимая кривую задержки термотока, можно определить температуру электронного газа в эмиттере (см. § 20). Оказывается, что для оксидного катода эта температура Т3 выше температуры керна катода Тк, т. е. Та Тк. Величина \Т = = Тэ — Тк зависит от Тк: АТ мало или даже практически отсут- ствует при Тк <Ц 900° К и составляет примерно 100—200° при рабочих температурах катода (см., например, [515]). Высказыва- лись две точки зрения на причину этого различия. Согласно одной из них это превышение температуры обусловлено упоминавшимся выше перегревом поверхностных, эмитирующих термоэлектроны, слоев покрытия джоулевым теплом протекающего сквозь покры- тие тока эмиссии [513]. Согласно другой точке зрения причина этого явления состоит в перегреве электронного газа электричес- ким полем в покрытии, т. е. в превышении температуры электрон- ного газа в зернах оксида над температурой кристаллической решетки этих зерен (подробнее об этом будет сказано в § 44). Возможной причиной повышенных скоростей термоэлектронов в случае пористого покрытия может быть также и ускорение их электрическим полем в порах. Для оксидного катода характерно явление искрения, иногда приводящее к пробою промежутка катод—анод. Для некоторых
§ 24] ЭФФЕКТИВНЫЕ ТЕРМОКАТОДЫ I (ОКСИДНО-БАРИЕВЫЙ КАТОД) 211 оксидых катодов, обычно для хорошо активированных, искрение наблюдается при анодных напряжениях, соответствующих режиму ограничения тока объемным зарядом; для других оксидных ка- тодов — при напряжениях, соответствующих области аномального эффекта Шоттки. Природа искрения в этих случаях разная. В последнем случае искрение связано с отрывом мелких отрицательно заряженных кристалликов оксида от поверхности катода сильным электрическим полем. Пробой вызывается выделением газа при ударе об анод оторванного кристаллика, ускоренного разностью по- тенциалов катод—анод. Для хорошо активированных катодов иск- рение, наблюдаемое в режиме ограничения тока объемным зарядом, т. е. в отсутствие сильного электрического поля у поверхности покрытия, обусловлено иным механизмом, а именно, оно вызы- вается перегревом промежуточного запорного слоя оксидного покрытия, приводящим к своего рода взрыву — тепловому пробою покрытия. Для хорошо активированных оксидных катодов из-за искре- ния не удается достичь насыщения вольтамперной характери- стики. Поэтому для них нельзя измерить эмиссионную способ- ность катода. Использование импульсного отбора тока (при дли- тельности импульсов порядка 1 мксек) позволяет снимать с ка- тода в импульсе плотности тока, достигающие 100-т-200 а-см 2. Для съема таких плотностей тока требуются по закону трех вто- рых очень большие анодные напряжения. До середины тридцатых годов оксидный катод являлся загад- кой для физиков, так как никакие из существовавших в то время представлений о металлических и пленочных катодах не могли объяснить всю совокупность фактов, обнаруженных при его ис- следовании. Только с появлением теории полупроводников удалось в основном разобраться в природе процессов, происхо- дящих в оксидном катоде. Чистый оксид является хорошим ди- электриком. В процессе активирования, как указано выше, оксид превра- щается в полупроводник, так как в нем создаются избыточные ато- мы Ва, приводящие к появлению локальных донорных уровней. Это вызывает подъем уровня электрохимического потенциала и уменьшение работы выхода катода. Комплексное исследование привело к созданию основной кар- тины физических процессов, происходящих в оксидном катоде. Рассмотрим основные результаты этих исследований. Во-первых, было проведено одновременное исследование тем- пературных зависимостей термотока j (Т) и электропроводности о (Т) в широком интервале температур. Графики зависимостей Igo = / имеют вид, схематически представленный на рис. 108.
212 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV В высокотемпературной области I наклон прямых 1g о = / совпадает с наклоном ричардсоновских прямых 1g | для соответствующих степеней активирования. Такое совпадение было трудно объяснить, исходя из зонной схемы электронного полу- проводника (см. рис. 30). Дей- ствительно, по (7.13) и (15.13) электропроводность о для вещества оксида должна воз- растать как ехр —2кТ\’ ток эмиссии / — как Г 2ХСР + АЕЛ 1 ехр |_---W------J ’ т-е-рост 1 должен идти быстрее, чем рост о. Было дано следующее объяснение этого совпаде- ния [74]. Слой оксида, как выше указывалось, не заполнен зернами окислов, в нем имеются поры. В результате термоэмиссии зерен эти поры наполняются электронным газом. При наличии в слое элек- трического поля движение электронов в порах будет про- исходить преимущественно в направлении электрической силы, и этот электронный газ будет проводить ток. Таким образом, в слое оксида имеют место два механизма электропроводности: электро- проводность Щ через зерна окислов, возрастающая с температурой Г АЛ’.Я пропорционально ехр —kt™- , и электропроводность о, электрон- |_ Zftl J ного газа в порах, возрастающая пропорционально плотности этого газа, т. е., по (15.5), пропорционально плотности эмисси- онного тока ехр [— ' ХсР2^у—Если принять, что в реальном катоде действуют оба механизма проводимости, то полная электро- проводность о будет равна сумме их, т. е. ° = °1 + °2- В области низких температур преобладает проводимость через зерна щ ~ о2, т. е. О «к (Тр Однако при повышении температуры более быстро возрастающая с Т электропроводность электронного газа в порах п2 сделается
§ 24] ЭФФЕКТИВНЫЕ ТЕРМОКАТОДЫ I (ОКСИДНО-БАРИЕВЫЙ КАТОД) 213 значительно больше, чем о^, и окажется, что о о2. Отсюда делается понятной одинаковая быстрота возрастания из- меряемой на опыте электропроводности о и возрастания эмисси- ЛЛ'., онпого тока в высокотемпературной области I. Величина - , определяемая из наклона прямых Igo — Лу/м в области II, ока- залась изменяющейся от 0,7 эв для плохо активированного ка- тода до 0,2—0,Зэв для хорошо активированного. Во-вторых, исследованием знака термо-э.д.с. системы металл — оксид—металл, проведенным Н. Д. Моргулисом с сотрудниками [75], было показано, что плохо активированный оксид является не электронным, а дырочным полупроводником. Позднее это же было доказано и исследованием эффекта Холла в оксидном слое [76]. Этот факт требует введения в зонную схему оксидного катода, кроме доноров, также и акцепторов. Доноры в оксидном катоде появляются в процессе его активирования. Первоначально их число меньше числа акцепторов, так что все электроны с донорных уровней переходят на акцепторные и еще остаются свободные акцепторные уровни, обусловливающие дырочную электропровод- ность оксидного покрытия в этом состоянии. По мере активиро- вания катода число доноров растет и для хорошо активированного катода намного превышает число акцепторов; при этом часть элек- тронов с уровней доноров перейдет на уровни акцепторов, заполнив уже все эти уровни. Но остается еще много доноров с электронами, способными возбуждаться в зону проводимости оксида и создавать электронную электропроводность. Для выяснения природы доноров в оксидном катоде была ис- следована фотопроводимость слоя оксида и диффузия в нем бария. В этих опытах было показано, что избыток Ва в катоде может реа- лизоваться в виде пустых кислородных узлов. Энергетические уровни, соответствующие этим дефектам, могут быть заняты двумя электронами, т. е. доноры в слое оксида аналогичны F-центрам щелочно-галоидных солей. Такой взгляд на природу доноров в оксидном катоде одно время был подвергнут сомнению. Измерения количества свободного бария, имеющегося в оксидном катоде, по [77], как будто не обна- ружили корреляции между этим количеством и термоэмиссионной активностью катода; были получены катоды с примерно одинако- вой активностью, но с содержанием бария, различающимся в несколько раз. Однако в более поздних работах, в частности советских исследователей [516], такая корреляция была обна- ружена.
214 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV Изучение оптического поглощения и фотопроводимости моно- кристаллов ВаО и твердых растворов ВаО—SrO позволило опре- делить ширину запрещенной зоны и положение донорных уровней в зонной схеме оксидного катода. Оказалось, что имеются два уровня доноров; их связывают с двумя энергетическими уровнями пустых металлоидных узлов, т. е. с первым и вторым «потенциалами ионизации» F-центров. Далее, из опытов по изучению воздействия кислорода на ок- сидный катод был сделан вывод о наличии адсорбированной пленки свободных атомов Ва на слое оксида; при этом величи- %Ср оксидного катода оказалась за- висящей от степени этого по- на электронного сродства Рис. 109. большем количестве испаряется крытия. В результате проведения всех описанных выше исследо- ваний была создана зонная схема оксидного катода, пока- занная на рис. 109. Оксидный катод в лампе не находится в состоянии термо- динамического равновесия с окружающей средой, поэтому его состав, строение и свойства не остаются с течением времени неизменными. При работе ка- тода, во-первых, идет рост промежуточной прослойки на границе керн — покрытие, если покрытие нанесено на активный керн. Во-вторых, идет испаре- ние поверхностных слоев веще- ства покрытия; при этом в более летучая окись бария, так что приповерхностные слои оксида обогащаются окисью стронция. Это приводит к повышению сопротивления приповерхностных слоев покрытия. Естественно, что и степень обогащения окисью стронция и глубина обогащенного ею слоя зависят от времени работы катода. Помимо этих необратимых и монотонно протекающих во времени процессов, в оксидном покрытии могут происходить различные обратимые изменения при изменении режима его работы (пере- ходные процессы). К ним, например, относятся явления спада и восстановления эмиссии, считавшиесй до последних лет характер- ными для оксидного катода. После приложения анодного напря- жения, т. е. после начала отбора эмиссионного тока, в течение
§ 24] ЭФФЕКТИВНЫЕ ТЕРМОКАТОДЫ I (ОКСИДНО-БАРИЕВЫЙ КАТОД) 215 некоторого промежутка времени при неизменной температуре и по- стоянном анодном напряжении наблюдается уменьшение этого тока со временем. Эмиссия электронов как бы ухудшает свойства такого катода. Это явление получило название отравления катода током эмиссии. Отравление можно наблюдать как в обычном стати- ческом режиме отбора тока (медленный спад эмиссии), так и в им- пульсном режиме (быстрый спад эмиссии). Кривые изменения эмиссионного тока оксидного катода в зависимости от вре- мени t, отсчитываемого от момента приложения анод- ного напряжения, в случае медленного спада схемати- чески представлены на рис. 110; из них видно, что на- чальный ток больше устано- вившегося тока. Если отбор электронного тока прекра- тить, то после некоторого «отдыха» катод восстановит свои первоначальные эмис- сионные свойства. Зависимость тока от времени t удовлетвори- тельно соответствует уравнению: i (t) = + 0о — г'оо) ехр [— at}, (24.1) где г0 — начальный, а г’ю — установившийся эмиссионный ток. Величина а, характеризующая скорость спада, для медленного спада невелика и лежит в пределах от 1 сек 1 до 100 сек"1, а отно- сительный спад -° может достигать 30—60%. Причиной этого гсо медленного спада эмиссии являются процессы, происходящие на аноде. Анод в приборах с оксидным катодом обычно покрыт плен- кой ВаО. Под влиянием электронной бомбардировки окислы ВаО разлагаются, что сопровождается выделением кислорода, который и отравляет оксидный катод. Оказалось, что при соответствующей конструкции электронных ламп и технологии их изготовления медленного спада эмиссии оксидного катода можно практически избежать. Быстрый спад эмиссии можно наблюдать при подаче анодного напряжения в виде П-образных импульсов (рис. 111, а); импульсы тока эмиссии при этом имеют форму, схематически изображенную на рис. 111, б. Как видно, эмиссионный ток за время импульса, превышающее примерно десять микросекунд, заметно уменьша- ется. Хотя и это спадание тока эмиссии оказывается также удовлетворительно соответствующим формуле (24.1), однако
216 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV постоянная а в этом случае значительно больше (порядка 10s сек л при рабочих температурах катода). Величина спада ” может быть порядка нескольких единиц и даже десятков. Таким образом, по-видимому, существуют два различных явления отравления б) Рис. 111. случаях достигает 100 ч-200 в. оксидного катода током эмиссии. Относительно природы быстрого спада эмиссии оксидного катода в литературе высказывались различ- ные точки зрения. Оксидный катод есть электронный полупроводник, донорные уровни в котором обус- ловлены избыточными атомами бария. При рабочих температурах оксидного катода часть доноров находится в ионизованном со- стоянии. При наложении анодного напряжения через слой оксида начинает течь ток эмиссии, и в слое возникает поперечная разность потенциалов, которая в отдельных По Нергаарду [78] поперечное электрическое поле втягивает внутрь покрытия ионизованные избыточные атомы Ва. Приповерхностный слой оказывается обедненным донорами, что и приводит к увеличению работы выхода катода и падению его эмиссии. Однако оценки времени, которое требуется для соответствующего смещения ионов бария, произведенные, например, в работе [79], показали, что оно значи- тельно больше, чем времена быстрого спада, наблюдаемые на опыте. По мнению этих авторов, быстрый спад эмиссии связан с запол- нением электронами поверхностных состояний, так как такое заполнение находится в непосредственной связи с электрическим полем, существующим у поверхности полупроводника. Заполнение поверхностных состояний электронами, так же как и увод допоров в покрытие, приводит к повышению работы выхода, и, следова- тельно, к уменьшению тока эмиссии. Обе точки зрения связывают быстрый спад с наличием электрического поля в оксидном покрытии или у его поверхности. Однако, как указано выше, в последние годы в лампах с очень высоким вакуумом и с очень чистыми ано- дами явление спада эмиссии не наблюдалось и даже, наоборот, имел место рост тока эмиссии при длинных импульсах (например, [71]). Поэтому сейчас не ясно, может ли поле в слое или у его по- верхности вызывать явления отравления оксидного катода. Однако достаточная стабильность эмиссии катода, работаю- щего в постоянных условиях, показывает, что состояние и состав
§ 24] ЭФФЕКТИВНЫЕ ТЕРМОКАТОДЫ I (ОКСИДНО-БАРИЕВЫЙ КАТОД) 217 приповерхностных слоев покрытия являются почти стационарными. (Некоторая нестационарность обусловлена упомянутыми выше медленно протекающими необратимыми процессами.) Эта стационарность есть результат динамического равновесия различных одновременно протекающих процессов активирования и отравления и, естественно, зависит не только от самого оксидного покрытия, но и от условий, в которых находится катод. В частно- сти, такими условиями являются давление и состав остаточных газов в лампе, определяющие один из механизмов отравления катода. Поэтому, как указано в [80], нельзя рассматривать катод изолированно от прибора, в котором он работает. Вернемся к вопросу о влиянии пористости покрытия оксидного катода на его электронную эмиссию. Почти во всех работах по оксидному катоду примерно до шестидесятых годов не рассматри- валось влияние структуры покрытия на термоэмиссионные свой- ства катода. Лишь в работе [73] для объяснения распределения по скоростям термоэлектронов, эмитируемых оксидным катодом в импульсном режиме, рассматривались пористость покрытия, а также вторичные процессы в порах при наличии в них сильного электрического поля. Пористость толщи оксидного покрытия в должной мере учитывалась, как указано выше, лишь при рассмот- рении электропроводности оксида при высоких температурах. Очевидно, однако, от характера пор зависит, будет ли сказываться пористость только на электропроводности или и на термоэмиссии. Действительно, рассмотрим две схематизированные модели пор: закрытые поры, не выходящие на наружную поверхность покрытия, и поры, пронизывающие толщу покрытия и одним концом выходя- щие на поверхность покрытия, граничащую с вакуумом (модель больших каналов). В первой модели, очевидно, термоэмиссия может идти лишь с тонкого приповерхностного слоя покрытия, пористость скажется на электропроводности, но лишь слабо — на термоэмиссии. Во второй модели термоток будет состоять не только из электронов, вышедших через наружную поверхность покрытия, но и из электронов, вышедших в вакуум через поры. В этом случае пористость скажется и на электропроводности, и на термоэмиссии. При этом и закономерности электропроводности в той и другой модели будут различны. Собственно говоря, уже в [74] рассматривалось параллельное действие проводимости по зернам оксида и по порам, т. е. прини- малась вторая модель. Качественное согласие представлений, изложенных в [74], с опытом уже говорит в пользу этой модели. К такому же выводу приходят и авторы интересной работы [517], в которой исследовалась электропроводность и термо-э.д.с. ба- рий-стронциевого оксида в магнитном поле. Конечно, обе ука- занные модели являются лишь грубой схематизацией строения
218 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV реального оксидного катода, однако сравнение вытекающих из них следствий (главным образом, качественных) с опытом может дать сведения о том, какая из них лучше отражает влияние пористости на свойства реального оксидного катода; в частности, такое срав- нение и может дать ответ на вопрос о том, можно ли при интер- претации данных по термоэмиссии оксидного катода ограничиться рассмотрением лишь наружной его поверхности. Анализ закономерностей электропроводности оксидных по- крытий привел авторов работы [81] к заключению, что модель больших каналов находится в лучшем соответствии с опытом. Авторы работы [82], изучавшие электропроводность и термоэмис- сию оксидных покрытий, также приходят к выводу об удовлетво- рительном соответствии результатов их опытов с моделью глу- боких каналов. Более того, они заключают, что основной вклад в термоэмиссию оксидного катода вносят электроны, выходящие в поры покрытия в слоях, прилегающих к керну катода. Причи- нами этого согласно [82] являются, во-первых, более высокая температура слоев, прилегающих к керну (в противополож- ность представлениям авторов работы [513]), во-вторых, мень- шая их доступность действию отравляющих газов, поступаю- щих извне, и, в-третьих, обеднение наружных и обогащение вну- тренних слоев донорами в результате увода их полем в покрытие по [78]. Автор работы [71] оценил влияние вторичной электронной эмиссии в схематизированной модели глубокого канала на эмиссионный ток и получил удовлетворительное количественное согласие с данными опыта. Таким образом, и эта работа указывает на недостаточность учета эмиссии только с наружной поверхности оксидного катода. § 25. Эффективные термокатоды II. Антиэмиссионные покрытия Помимо оксидно-бариевого катода в электровакуумных при- борах применяются и другие типы эффективных термокатодов. К ним относятся: 1) оксидно-ториевый катод; 2) катоды из гекса- боридов щелочноземельных и редкоземельных элементов; 3) ме- талло-капиллярные катоды; 4) прессованные или матричные ка- тоды; 5) импрегнированные катоды. Последние три типа катодов обычно объединяют в группу диспенсерных катодов. Рассмотрим кратко устройство, изготовление и термоэмиссионные свойства этих катодов. 1. Оксидно-ториевый термокатод. Этот катод можно изгото- вить, как и обычный оксидный, покрывая слоем окиси тория ThO2 керн из тугоплавких металлов. Его можно также сделать в виде керамических трубок, спрессовывая порошки окиси тория с по-
§ 25] ЭФФЕКТИВНЫЕ ТЕРМОКАТОДЫ II 219 рошками молибдена, тантала или вольфрама, а затем спекая спрес- сованные таблетки при высокой температуре. Рабочая температура оксидно-ториевого катода значительно выше, чем Трас обычного оксидного катода; она лежит в области 1700—1800° С, а поэтому мощность, требующаяся для накала такого катода, больше, чем для оксидно-бариевого. Это обстоя- тельство, однако, окупается целым рядом преимуществ катода из окиси тория по сравнению с обычным оксидным катодом. К таким преимуществам относятся отсутствие искрения, легкость процесса активирования, значительно меньшая чувствительность активированного катода к остаточным газам в лампе, меньший и значительно более медленный спад эмиссии при отборе тока. Для активации оксидно-ториевого катода оказывается достаточным кратковременное прокаливание его до 1700—1800° С, необходимое для обезгаживания катода. Наличие остаточных газов в лампе, в том числе и кислорода, при давлении порядка 10 4 тор не дезак- тивирует оксидно-ториевый катод; в ряде ламп он может работать в отсутствие геттера. Плотности тока эмиссии оксидно-ториевого катода довольно значительны; так, при температуре 1600° С катод устойчиво ра- ботает, давая в импульсном режиме эмиссионный ток в 4 а -см~2, а при 1800° С — ток в 14—15 а-см 2. Работа выхода оксидно- ториевого катода в активированном состоянии, определенная по методу прямых Ричардсона, равна примерно 2,5 эв, а константа А} имеет значение от 3 до 8 а см2 град~2. Скорость испарения окиси тория, определяющая продолжительность жизни катода при работе в импульсном режиме, невелика; например, при температуре 1800° С она соответствует испарению слоя покрытия толщиной в 1мк за 60 часов работы катода. Оксидно-ториевый катод и экспериментально и теоретически изучен значительно меньше, чем обычный оксидный катод. Основ- ные явления в слое окиси тория объясняются, если рассматривать его как электронный примесный полупроводник, доноры в котором связаны с наличием избыточных атомов металлического тория. Наличие этих атомов в слое оксида подтверждается фактом испа- рения металлического тория при работе катода, что можно уста- новить по активированию вольфрамовой нити, расположенной в лампе вблизи оксидно-ториевого катода. Имеются, однако, факты, которые необъяснимы указанной здесь точкой зрения. 2. Катоды из гексаборидов щелочноземельных и редкоземель- ных элементов [83]. Наибольшее распространение из этой группы катодов к настоящему времени получили катоды из борида лан- тана (LaB6) и из борида бария (ВаВв). Катоды из этих веществ не нуждаются в процессе активирования. Работа выхода LaB6 равна примерно 2,7 эв, а его эффективность приближается к
220 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV эффективности оксидных катодов. Большим достоинством катода этого типа является малая скорость испарения компонент катода при рабочих температурах (при2200°С она равна 3-10 6 г-см^-сек1, а при рабочих температурах ^1700—1800° С она равна 10 9—10 11 г -см ^сек1}. 3. Металлокапиллярные катоды. К катодам этого типа отно- сится так называемый L-катод, разработанный в начале пятидеся- тых годов в Голландии [84]. Его схематическое устройство пока- зано на рис. 112. В цилиндр Ц, имеющий внутри перегородку П, с нижнеи стороны вставляется подог- реватель Р, сверху засыпается актив- ное вещество А (например, карбонат бария или смесь карбонатов бария и стронция). Цилиндр закрывается крышкой К из пористого вольфрама (так называемой вольфрамовой губ- ки). Последняя изготовляется обычно спеканием порошка вольфрама; можно изготовить губку, спрессовывая тонкие вольфрамовые проволочки (пучковый катод). Катод нагревают, карбонаты при этом разлагаются и превращаются в окислы; выделяющийся углекислый газ откачивается через вольфрамовую губку. Затем температуру катода поднимают, атомы бария и молекулы окиси бария диффундируют по порам вольфрамовой губки и выходят на ее поверхность. При этом работа выхода вольфрамовой губки снижается, и она превращается в эффектив- ный термокатод, который может при Т «а 1440° К давать плот- ность тока эмиссии около 5 а -см~2. Эта система в процессе работы находится все время в динамическом равновесии. Таким образом, Л-катод 'представляет собой пленочный катод. Недостатки Л-катода: 1) Л-катод работает при температурах более высоких, чем оксидный, и поэтому обладает более низкой эффективностью, чем оксидный катод; кроме того, более высокие рабочие температуры создают некоторые трудности в осущест- влении соответствующих высокотемпературных подогревателей; 2)£-катод сложен в изготовлении, а процесс откачки СО2через воль- фрамовую губку занимает продолжительное время; 3) при ра- боте Z-катода с его поверхности происходит непрерывное испаре- ние атомов Ва, что влияет на свойства окружающих электродов, а следовательно, и на характеристики соответствующего при- бора. Преимущества L-катода: 1) отсутствие искрения; 2) механи- ческая прочность; 3) лучшая устойчивость к ионной бомбардировке,
§ 25] ЭФФЕКТИВНЫЕ ТЕРМОКАТОДЫ II 221 чем у оксидного катода; 4) отсутствие поперечного падения напря- жения. Вместо вольфрама в металлокапиллярных катодах может быть использован молибден, никель или графит. В последние годы ис- пользуются рений, сплавы рения с вольфрамом и иридий. В ка- честве активных веществ наряду с ВаО и (BaSr) О2 применяется также торий, окись тория, сплав бария с бериллием и т. д. Срок службы металлокапиллярных катодов зависит от коли- чества активатора, помещенного в катод. 4. Прессованный пли матричный катод. Этот тип катода был предложен в начале пятидесятых годов, а обстоятельно изучен Юзом и Копполой [85]. В этом катоде в отличие от металлокапил- лярного катода, нет отдельной камеры для активного вещества — оно находится в порах вольфрамовой или никелевой губки (рис. 113). При изготовлении ка- тода смесь порошков материала губки и активного вещества за- прессовывается в керн, а затем спекается в вакууме или в атмос- фере водорода. Катод получается очень прочным и его можно под- вергать различной механической обработке. Чтобы избежать боль- шого газоотделения в процессе активирования катода, в качестве активного вещества можно подоб- рать такое соединение бария, ко- торое при разложении не дает га- Рис. ИЗ. зообразных веществ. В частности, таким соединением является алюминат бария Ва3А12О6, который при нагревании разлагается на ВаО и ВаА12О4. Использование алюмината бария существенно сокращает процесс активирова- ния катода. 5. Импрегнированный катод. Неудобство в изготовлении прес- сованного катода на основе алюмината бария состоит в необходи- мости спекания W и алюмината бария, который является легко- плавким соединением. С целью обойти эту трудность процесс изготовления катода видоизменяется следующим образом. Предва- рительно изготовляется вольфрамовая губка, которая затем про- питывается медью (медь входит в поры губки за счет капиллярных сил). Таким путем получается механически прочное образование, которое подвергают соответствующей механической обработке для придания катоду нужной формы. После этого медь из губки выпаривают прогревом в вакууме. Очищенную губку помещают в жидкий алюминат, который заполняет в ней все поры.
222 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV Срок службы такого катода сильно зависит от рабочей темпе- ратуры. На рис. 114 приведены графики зависимости плотности тока от температуры для различных термокатодов. В настоящее время имеется уже довольно много работ, в кото- рых обсуждаются вопросы физики термоэмиссии диспенсерных катодов и структуры активирующего покрытия этих катодов. В ранних работах считалось, что высокая термоэлектронная актив- ность этих эмиттеров обусловлена наличием на поверхности ме- таллической губки (или окисленной металлической губки) атомной пленки бария. По этим представлениям диспенсерные катоды яв- ляются пленочными, аналогичными системам W—Cs или W—О—Cs, рассмотренным в § 23. Несколько позднее высказывались пред- положения о том, что пленка состоит не из атомов бария, а из моле- кул окиси бария. Однако в работе [566] было показано, что тонкие пленки окиси бария на металлах, по крайней мере в некоторой области температур, собираются в кристаллиты размерами по- рядка сотен ангстрем. В связи с этим, как упоминалось в § 21, в работе [64] возможность существования монослойных эмиттеров вообще была подвергнута сомнению. Представление о кристал- личной структуре тонких «слоев» окиси бария на поверхности дис- пенсерных катодов в последнее время находит много сторонников. Имеются и опытные факты, находящиеся в согласии с этими взгля- дами [567]. Нам кажется, однако, что вопрос о структуре покры- тия нельзя считать окончательно решенным. Наряду с проблемой создания эффективных эмиттеров термо- электронов значительный технический интерес представляет и проблема подавления термоэмиссии. Во многих электровакуумных приборах оказывается нагретой до значительной температуры не только та часть поверхности термокатода, которая должна испус-
§ 26] ТЕРМОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ 223 кать электроны, но и другие части его (например, боковая поверх- ность торцевого катода, закраины его), а также электроды (на- пример, сетки), служащие для управления потоком термоэлек- тронов катода. Термоэмиссия с этих поверхностей оказывает вредное влияние как на сами характеристики приборов, в особенности в СВЧ-при- борах, так и на стабильность этих характеристик в процессе дли- тельной работы [86]. При этом в лампах с эффективными термо- катодами поверхности электродов не остаются неизменными по- верхностями исходных материалов, а покрываются продуктами испарения с катодов (BaO, Ba, Th, ThO, La и др.), приводящими к снижению работы выхода. Одной из мер борьбы с паразитными термотоками является понижение температуры поверхности электродов путем улучшения теплоотвода или путем повышения их лучеиспускательной спо- собности за счет соответствующих покрытий. Однако этот путь не всегда доступен. Поэтому поверхности электродов, которые могут давать паразитную термоэмиссию, приходится покрывать специальными веществами (антиэмиссионные покрытия), обеспе- чивающими достаточно низкий уровень этой эмиссии при дли- тельной работе прибора. Этого можно достигнуть, по-видимому, за счет двух различных механизмов. Во-первых, за счет растворе- ния материала продуктов испарения в толще покрытия (иногда с образованием химических соединений этих материалов с мате- риалом покрытия). Во-вторых, за счет быстрого испарения про- дуктов испарения с покрытия из-за малой энергии связи этих продуктов и материала покрытия. При этом материал покрытия сам должен обладать малой скоростью испарения при рабочих температурах и не должен отравлять катод. В качестве антиэмис- сионных покрытий используются золото, олово, платина, титан, цирконий, углерод, карбиды вольфрама и молибдена, силициды титана и др. Из указанных выше механизмов, по-видимому, за счет первого работают золото в лампах с оксидным катодом и платина в лампах с торированным катодом; за счет второго, напри- мер, титан и цирконий в лампах с оксидными катодами. § 26. Термоэлектронные преобразователи тепловой энергии в электрическую [87] Применяемые ныне способы получения электрической энергии из химической или ядерной на тепловых или атомных электростан- циях основаны на ряде последовательных превращений энергии. Сначала химическая энергия топлива или энергия ядерного горю- чего в котле или в реакторе превращается в тепловую. Тепловая энергия в турбине превращается в энергию механического
224 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV движения и, наконец, механическая энергия в генераторе превраща- ется в энергию электрическую (рис. 115). Наличие турбин, гене- раторов, т. е. машин с движущимися частями, как видно, связано с наличием в этом каскаде промежуточного этапа, связанного с превращением исходной энергии в механическую. Естественно, возникла проблема исключения этого этапа п непосредственного Рис. 115. преобразования тепловой энергии в электрическую без исполь- зования машин с движущимися частями. Можно указать три основ- ных способа решения этой проблемы: 1) термоэлектрический, 2) магнитогидродинамический и 3) термоэлектронный. Изложим физические принципы работы термоэлектронного преобразователя (ТЭП). Физические основы действия ТЭП можно объяснить, рассматри- вая его в двух аспектах: в радиотехническом и в термодинамиче- ском. Начнем с первого аспекта. Вольтамперная характеристика диода с термокатодом про- стирается, вообще говоря, в область отрицательных потенциалов анода (диод имеет «левую» часть характеристики). Поэтому если замкнуть его на внешнее сопротивление г, то в отсутствие источ- ника анодного напряжения через сопротивление будет протекать электронный ток. Сила этого тока i и создаваемая им на внешнем сопротивлении разность потенциалов F = ri будут соответство- вать некоторой рабочей точке на левой части вольтамперной характеристики диода. Этой точкой будет точка пересечения ха- рактеристики диода с прямой, проведенной из начала координат
§ 26] ТЕРМОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ 225 под углом 0Г, тангенс которого равен г (рис. 116). В этом режиме диод является источником электрической энергии, причем мощ- ность, отдаваемая им во внешнюю цепь, равна iV (площадь за- штрихованного прямоугольника). Для обычных диодов, вольт- амперная характеристи- ка которых лежит в ос- новном в области поло- жительных потенциалов анода («правые» диоды) (кривая 1 на рис. 116), эта мощность слишком мала, чтобы представ- лять практический ин- терес, а коэффициент полезного действия (к.п.д.), равный отно- шению мощности iV к мощности, требующей- ся на накал катода вдиоде, нпчтожен. Мощность и к.п.д., как видно пз рис. 116, можно увеличить, сдвигая характеристику влево — переходя к «левым» дподам (кривая 2). Этого можно достигнуть, уменьшив работу выхода анода (см. § 10, задача II). Дальнейшего повышения мощности и к.п.д. можно добиться, увеличивая кру- тизну вольтамперной характеристики (кривая 3) путем уменьше- ния расстояния катод — анод или путем компенсации (частично или полностью) отрицательного объемного заряда электронов по- ложительными ионами. Таким образом, задача построения практически интересного ТЭП с радиотехнической точки зрения сводится к построению «левого» диода с большой крутизной вольтамперной характери- стики п с достаточно большим током насыщения катода. С термодинамической точки зрения такой диод представляет собой тепловую машину. Работа некоторых тепловых машин с зам- кнутым циклом рабочего вещества (например, воды в паровой машине с конденсатором) связана с тем, что рабочее вещество машины разделяется на две фазы с различной средней энерги- ей молекул в них (например, вода и пар, в котором средняя энергия молекул выше, чем в жидкости, на величину теплоты испарения). В равновесии молекулы пара могут уходить обратно в жидкость, полностью превращая при конденсации избыток энергии в тепло. В машине, однако, конденсация молекул пара в жидкость происходит в условиях, когда теплота конденсации меньше, чем теплота, затраченная на нагревание воды, поступаю- щей в котел из конденсатора, и па ее испарение. Разность этих теплот и можно превратить в механическую работу. 8 Л. Н. Добрецов. М. В. Гомоюнова
226 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV На рис. 117, а слева на оси энергий Е отложены средние энергии молекул воды в жидком состоянии при температуре кон- денсатора (уровень Ж и температуре испарителя (уро- вень Ж (7\)) и средние энергии молекул в парообразном состоя- нии при тех же температурах (уровни П (Т2) и И (7\)). Справа на том же рисунке схематически изображен цикл, по которому w - w -- -- Ко/пел Машина Конденсатор а) 6) в) Рис. 117. работает пар в идеальной машине. Вода, поступающая в котел из конденсатора с температурой Т2, нагревается до температуры котла Т\ и при этой температуре испаряется — молекулы воды переходят с уровня Ж на уровень Ж (7\) и затем при испа- рении — на уровень П (Tj). В этом процессе котел отдает моле- кулам воды теплоту Qx. В машине пар совершает механическую работу Ат и охлаждается до температуры конденсатора Т2 — молекулы пара переходят на уровень П (Т2). В конденсаторе пар превращается в жидкость — молекулы переходят на уровень Ж (Т2), причем конденсатору передается теплота конденсации Q2. В идеальной машине Am = Qr — Q%. Из конденсатора вода пере- ходит в котел и цикл замыкается. В реальной машине из-за раз-
§ 26] ТЕРМОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ 227 личных потерь энергии при движении пара от котла до конден- сатора А Ат. По этому же принципу осуществляется преобразование тепло- вой энергии в электрическую в ТЭП. В этом случае рабочим веще- ством, работающим по замкнутому циклу, является электронный газ. На рис. 117, б и в слева на шкале энергий показаны уровни электрохимических потенциалов электронов в катоде (уро- вень 7?01) и в аноде (уровень Т?02) при отсутствии поля между поверхностями катода и анода, отсчитанные от энергии электрона, покоящегося вне электродов (нулевой уровень), и уровень сред- ней энергии электронов, эмитированных катодом с температу- рой Тг. На рис. 117, б представлена диаграмма идеального цикла в ТЭП. Тепловая энергия возбуждает электроны в катоде с уровня электрохимического потенциала Е01 на более высоко лежащие уровни. Те электроны, которые возбудятся на уровни, лежащие выше нуля, могут выйти из катода в качестве термо- электронов; при этом затрачивается теплота испарения, равная ефк + 2кТг. Переходя к аноду и «конденсируясь» в нем, электроны «падают» на уровень электрохимического потенциала Е1)2, выделяя теплоту конденсации ефд + 2кТг (из-за малой теплоемкости элек- тронного газа в металлах различие тепловых энергий электронов при температурах 7\ и Т2 можно не учитывать). Если фд<^ фк, то после конденсации в аноде энергия электронов оказывается больше, чем в исходном состоянии в катоде, на величину е (фк — фА). Этот избыток энергии и превращается в работу электрического тока при движении электронов во внешней цепи. Величина работы, производимой одним электроном, равна VP* ='е (фк — ф ). Некоторым аналогом этой работы является работа, которую могут производить молекулы воды, испарившиеся с поверхности моря и выпавшие в виде дождя в озеро, уровень поверхности которого лежит выше уровня моря, при протекании воды из озера в море через турбину. Различие диаграмм рис. 117, а и б, в лишь в том, что молекулы в паровой машине производят механическую работу в процессах, происходящих в состояниях с наибольшими энергиями в интер- вале от П (TJ до П (Т2), а в термоэлектронном преобразователе «работают» электроны, уже «сконденсированные» на аноде. Если между поверхностями катода и анода есть, например, падение потенциала АР, то уровень электрохимического потенциала в аноде превышает уровень потенциала в катоде на величину, мень- шую, чем е (фк — фд), как это схематически изображено на диаг- рамме рис. 117, в (аналогичное снижение величины Ат имело бы место и на диаграмме рис. 117, а при наличии потерь энергии пара по пути от котла к машине или от машины к конденсатору). 8’
228 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ |ГЛ. IV Естественно, что и здесь, даже в идеальном преобразователе гр ________________________________________________т этого типа, к. п. д., конечно, ограничен г)терМод = —Чр—С тер- модинамической точки зрения очевидным преимуществом элект- ронного газа как рабочего вещества тепловой машины является возможность «испарять» его при очень высоких температурах Тг, и с а поэтому использовать теплоту, затраченную на испарение, высоким коэффициентом полезного действия. Однако практическая ценность ТЭП характеризуется не Цтермод, А реальным к. п. д. т]р = -р-~ ; при этом в оптимальном режиме и \'р работы ТЭП А = Ат = где = у (е<рк + 2kl\) есть теплота, затраченная в единицу времени на «испарение» электро- нов из катода, Q2 = -0 (ефд + 2kTr) — теплота «конденсации» элек- тронов в аноде. Подводимая к катоду ТЭП теплота Qp больше, чем из-за различных потерь энергии (^потерь- Поэтому /„ \ Qi — <2з <21 <2а <2i ИрМх- Qp - Q1 <21 + <2потерь- Величина для ТЭП близка к Цтермод, поэтому <2i ('Пр)тах ЛтермодТ) = Лтермод D. "1 ч vпотерь Среди потерь тепла раскаленным катодом главную роль играют потери на излучение; обозначая эти потери через I, имеем Qi Qi+i Таким образом, вопрос о возможных значениях реального к. п. д. ТЭП включает вопрос о возможности осуществления ТЭП с не очень малыми значениями Dm и D. В работах, опубликованных примерно до 1956 г., авторы не видели возможности решения этой задачи с интересными для практики удельными мощностями и высокими к. п. д. Лишь в последние годы произошла переоценка этих возможностей и появился интерес к проблеме преобразования тепловой энергии в электрическую в термоэлектронных диодах. Как указано выше, получение большой крутизны характе- ристики диода возможно одним из двух основных способов: путем уменьшения межэлектродного расстояния пли путем компенса- ции объемного заряда электронов положительными ионами. В со- ответствии с этим ТЭП можно разделить на два основных типа: а) вакуумные ТЭП с малыми межэлектродными расстояниями, б) ТЭП с парами цезия, ионы которого, образующиеся тем или иным путем, компенсируют объемный заряд электронов.
§ 26] ТЕРМОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ 229 Основной задачей теории ТЭП является расчет его вольт- амперной характеристики по заданным параметрам диода Т2, Фк, <рд, cl, р ). Для вакуумного ТЭП эта задача полностью ре- шается при использовании расчетов, рассмотренных в § 10, для распределения потенциала в плоском диоде с учетом на- чального максвелловского распределения термоэлектронов по скоростям. В задаче II § 10 показано, как для данных Тг и <рк (т. е. дан- ного значения тока насыщения js) найти внутреннюю разность потенциалов Ув (рис. 118, а), при которой в плоском диоде с за- данным межэлектродным рас- стоянием d будет протекать ток с определенной плот- ностью у 7S, т- е- вычис- лить «внутреннюю» вольт- амперную характеристику 7 (Бв)- «Внешняя» характе- ристика диода будет сдвинута по сравнению с «внутренней» на величину фк — фд влево, если фк Д> фд. Семейство та- ких характеристик для ряда значений dсхематически пред- ставлено на рис. 118, б. По- строив «внешние» вольтам- перные характеристики, мож- но найти те внешние сопро- тивления rm (согласованные нагрузки), которым соответ- ствует максимальная мощ- ность Wm, отдаваемая ТЭП во внешнюю цепь (нетрудно показать, что при согласо- ванной нагрузке прямая tg 6 = rm пересекает характерис- тику J (У ) под прямым углом). Из рис. 118, б видно, что Wm падает с ростом d. Расчеты показали, что при фк — фд --1 и- 2 в для получения W порядка единиц ватт с 1 см2 рас- стояния d не должны превышать, примерно, десяти микрон. Экспериментальная проверка расчетов [88] показала хорошее их согласие с опытом. Были осуществлены ТЭП этого типа с не- большой площадью электродов, с d — 6 мк, дававшие W7n =« 1 втп-см2 при к. п. д. примерно в 4%. Практическое осуще- ствление диодов с по малыми площадями электродов и со столь
230 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV малыми расстояниями между ними, при высоких температурах катода, представляется технически очень трудной задачей. Кроме того, неясно, как можно длительно сохранять при работе ТЭП работу выхода анода меньшей работы выхода катода; испарение раскаленного катода приведет к покрытию поверхности анода материалом этого электрода независимо от выбора исходного вещества анода. Несмотря на всю привлекательность вакуум- ных ТЭП, в особенности для космической энергетики, пока не видно технического конструкторского решения встающих здесь задач. В ТЭП с парами цезия последний играет двоякую, а иногда троякую роль. Во-первых, из атомов цезия создаются ионы Cs+, компенсирующие отрицательный объемный заряд электронов. Во- вторых, атомы цезия, адсорбируясь на поверхности анода, пони- жают его работу выхода (см. § 23) и смещают вольтамперную характеристику влево. В-третьих, при больших давлениях рс$ паров цезия атомы его могут адсорбироваться и на поверхности горячего катода, также снижая его работу выхода. Ионы Cs+ в ТЭП могут образовываться как в межэлектродном промежутке, так и на поверхности раскаленного катода путем поверхностной ионизации. Отношение числа частиц пр, поки- дающих поверхность в виде ионов, к числу частиц па, отлетаю- щих в виде атомов, называемое степенью поверхностной иониза- ции а, определяется уравнением Саха — Ленгмюра (см. § 13 и гл. X): а— пр ехр[е_(ФпЛ ехр1 кТ Цезий обладает наименьшим ионизационным потенциалом = 3,88 в и поэтому его степень ионизации, при прочих рав- ных условиях, наибольшая. Адсорбционное покрытие электродов цезием тем больше, чем выше упругость паров pCs и чем ниже температура электродов. Поэтому заметное покрытие горячего катода (а следовательно, и ощутимое понижение работы выхода его) будет иметь место лишь при больших давлениях паров. Для более холодного анода это понижение наступит при меньших pCs, если при этом Т2 не высока. Возможны три основных режима работы ТЭП с парами цезия: 1) прямопролетный (кнудсеновский), 2) диффузионный и 3) плаз- менный. Под прямопролетным режимом мы подразумеваем такой, при котором все длины пробегов X электронов и ионов велики по сравнению с межэлектродным расстоянием d. В этом режиме можно пренебрегать рассеянием как ионов, так и электронов на пути от катода к аноду. При этом через межэлектродное прост-
§ 26] ТЕРМОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ 231 ранство идут два потока: поток электронов и поток ионов Cs+. Если потоку электронов тока насыщения js соответствует плот- ность объемного заряда р2”, которая превышает плотность объем- ного заряда р'°’ потока ионов, образующихся на катоде (недо- статочная компенсация), то у катода образуется слой толщиной порядка радиуса Дебая — Гюккеля, в котором возникает при- катодное падение потенциала, тормозящее' электроны. Это поле отразит часть потока электронов обратно на катод. Поток их, уходящий за пределы слоя, станет таков, что в межэлектродном пространстве плотности объемных зарядов р<+0> и pL0) сделаются одинаковыми; там образуется электрически нейтральная плазма. В случае избытка ионов, образующихся на катоде (избыточ- ная компенсация), возникает прикатодное падение потенциала обратного знака. Это падение снижает поток ионов, уходящих за пределы слоя, так, что' в межэлектродном пространстве опять образуется нейтральная плазма. В случае потоков ионов и элект- ронов, эмитируемых катодом, создающих равные по величине плотности зарядов, р'Т = р2” (случай точной компенсации), прикатодного скачка потенциала не будет. Не будет отражения ни электронов, ни ионов, и потоки их, эмитированные поверх- ностью катода, полностью пройдут в межэлектродное простран- ство. Если при этом внутренняя разность потенциалов равна нулю, то потоки полностью достигнут анода. Если учесть, что р(°) _ еп(о) _ е где п(о) —концентрация частиц в объеме, v(o) — концентрация частиц в потоке (ev(0) = /0)) иг) — сред- няя скорость движения частиц, то для случая точной компенсации имеем /1°) _ р __1Щ1/2 j<s>) \т j ’ так как г? и v+ — тепловые скорости электронов и ионов, соот- ветствующие одной и той же температуре катода. Для цезия (.11 \1/2 rnn l—l «apOU, т. е. условию точной компенсации соответствует плотность электронного тока насыщения, в 500 раз превышающая плотность тока ионов цезия. Таким образом, почти весь ток, про- текающий через ТЭП, обусловлен движением термоэлектронов. В соответствии с этим вольтамперная характеристика ТЭП в этих условиях должна иметь вид, схематически изображенный па рис. 119. Пока внутренняя разность потенциалов положи- тельна, ток постоянен и равен току насыщения катода js. При н ~ (фк — фд) ток будет падать из-за торможения термо- электронов в межэлектродном промежутке. Режим оптимальной
232 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ |ГЛ. IV мощности соответствует напряжению на нагрузке, равному (фк ~~ Ч’д)’ Нетрудно видеть, что прямопролетный режим при точной ком- пенсации соответствует для данных Тх и фк наибольшему току уменьшится. в нагрузке, равному току насыщения катода, наиболь- шей мощности на ней (при согласованной нагрузке) и наименьшему давлению pcs в приборе. При недостаточной компенсации, хотя напряже- ние на нагрузке возрастает на величину прикатодного падения, проходящий ток при этом падает сильнее, чем ра- стет напряжение, и мощность При избытке компенсации ток остается равным току насыщения, но напряжение на нагрузке уменьшается на величину прикатодного падения, что ведет к некоторому уменьшению мощности. Кроме того, избыточная компенсация получается при данных Т\ и фк при большем />с . ТЭП, рабо- тающий в прямопролетном режиме при точной компенсации, поддается теоретическому анализу [89] в предположении, что ток утечки представляет собой термоэлектронный ток с анода. Реализация прямопролетного режима с достаточно большими плотностями тока насыщения предъявляет к катоду противоречи- вые требования. Работа выхода его для получения большой тер- моэмиссии должна быть возможно меньшей. (С другой стороны, она должна быть больше работы выхода анода.) Однако умень- шение работы выхода катода ведет к уменьшению степени поверх- ностной ионизации цезия, что не позволяет получить режима точной компенсации при малых давлениях паров цезия. Расчеты показывают, что оптимальные значения работы выхода катода, при которых возможна реализация точной компенсации при Pcs. ОЛ тоР И 2500° К соответствуют, примерно, Ф^ ^ (3,5-3,7) в. Таким образом, встает задача отыскания материала катода ТЭП с такой работой выхода, способного длительно работать при Т 2500° К. К материалу анода ТЭП, по-видимому, не предъявляется жестких требований, так как его поверхность, как указано выше, будет покрыта слоем продуктов испарения катода и работа вы- хода будет определяться не исходным материалом анода, а свой- ствами этого слоя в парах цезия.
ТЕРМОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ 233 В ряде лабораторий были осуществлены макеты ТЭП с парами цезия, работавшие в прямопролетном режиме и с различными материалами катода. Хотя оптимальным режимом работы ТЭП является прямопро- летный, есть факторы, которые могут заставить перейти к боль- шим плотностям паров цезия. Таким фактором является, например, возможность получения точной компенсации при меньших рабо- тах выхода катода; при этом, несмотря на малую степень иониза- ции атомов цезия, количество ионов, образующихся на катоде, может быть достаточно большим за счет большого числа атомов, падающих на катод из плотной атмосферы цезия. Другим факто- ром является меньшее влияние магнитных полей токов в ТЭП на движение электронов в более плотном паре цезия. Предлага- лось также переходить к значительным давлениям паров цезия с целью использования металлических катодов (например, из Мо), работа выхода которых будет снижена до нужных величин адсор- бированным слоем атомов цезия, образующихся при больших рс^ даже при высоких рабочих температурах Ту катода. Если по усло- виям работы ТЭП температура его анода Т2 должна быть высокой (но, конечно, меньшей, чем ТД, то и для получения малой работы выхода фд за счет адсорбции цезия необходимы достаточно боль- шие цСз. При немалых pCi уже нельзя пренебрегать столкновениями между атомами пара, ионами и электронами. Движение их будет носить не «пролетный» характер, но все более диффузионный. Если, однако, число столкновений электронов с атомами на пути от катода к аноду не очень велико, то обмен энергией между эле- ктронами и атомами будет мал из-за Ма m и температуру электронов всюду можно считать равной температуре катода Те = Тг. В то же время обмен энергией между ионами и атомами вследствие Мр Ма приведет к выравниванию локальных тем- ператур ионов и атомов: Тр (х) Та (ж). В межэлектродном про- странстве образуется плазма, но с различными температурами Тр и Ту. Мы будем называть такой режим работы ТЭП диффузион- ным режимом. Теоретически такой режим работы ТЭП рассмот- рен, например, в статье [90]. Ток электронов, проходящий через ТЭП в диффузионном режиме, очевидно, будет меньше тока на- сыщения катода и мощность, отдаваемая во внешнюю цепь, меньше, чем в прямопролетном режиме при точной компенсации. При дальнейшем увеличении давления паров цезия и при увеличении расстояния между катодом и анодом температура электронов в плазме будет понижаться, стремясь к температуре ионов и атомов (кроме области вблизи катода), появится реком- бинация ионов и электронов, ионизация в объеме — в межэлект-
234 ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. IV родном пространстве образуется термодинамически равновесная изотермическая плазма. Концентрация ионов и электронов будет определяться локальной температурой плазмы в соответствии с уравнением Саха (см., например, [10], стр. 252). Этот режим мы называем плазменным. В этом случае источником разности потен- циалов является термо-э. д. с., вырабатывающаяся в плазме при наличии в ней градиента температуры, подобно тому как это происходит в полупроводниковом термоэлементе. В настоящем параграфе мы не будем более подробно останавливаться на диф- фузионном и плазменном режимах работы ТЭП, так как это рас- смотрение выходит за рамки вопросов, излагаемых в книге. Хотя ТЭП может преобразовывать в электрическую энергию теплоту любого происхождения, в настоящее время наибольший интерес представляет преобразование энергии ядерного горючего. Так, для космической энергетики лишь ядерное горючее содер- жит достаточную концентрацию энергии для питания энергетиче- ских установок на спутниках и космических кораблях. Одним из возможных способов передачи тепла из реактора катоду ТЭП является передача его с помощью некоего теплоно- сителя. Однако при таком спо- Масло Иуолятар Охлаждаемы} коллектор KOmod (ZrC- UС) Плазма Охладитель (маелор Вакуум Источник цезия собе встает трудная проблема очень высокотемпературного носителя либо проблема пере- хода к ТЭП со сравнительно низкотемпературным катодом. Последнее приводит к пониже- нию к. п. д. и к трудностям с получением компенсации объем- ного заряда при практически интересных токах в ТЭП. Поэ- тому представляется очень важ- ной и перспективной идея наг- ревания катода ТЭП без тепло- носителя, за счет ядерных реак- ций в самом катоде, осущест- вленная впервые в так называе- мом Лос-Аламосском термоэле- менте [91]. Этот термоэлемент схематически изображен на Рис. 120. рис. 120. Катод представлял собой цилиндрический брусок твердого раствора карбида циркония и карбида урана, обогащенного лег- ким изотопом; он помещался в’ вакуумный баллон, в котором находился цезий. При помещении прибора в ядерный реактор под влиянием нейтронного облучения в катоде происходило деление
§ 26] ТЕРМОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ 235 ядер урана и нагревание его за счет выделяющейся энергии до температур, определяемых составом и размерами катодного бруска и плотностью потока нейтронов в реакторе. В Лос-Аламосском термоэлементе разогрев катода происхо- дил за счет ядерных реакций, вызываемых в куске ядерного горю- чего, так сказать, «чужими» нейтронами. Конечно, к. п. д. такого преобразователя, как отношение электрической энергии, отда- ваемой ТЭП, к полной энергии реактора, выделяющейся за то же время, был ничтожно мал. Естественно, конечно, перейти к специальному реактору ТЭП, в котором вся активная зона реактора составлена из катодов ТЭП. Коэффициент полезного действия такого реактора-преобразователя, естественно, будет гораздо больше.
ГЛАВА V РАБОТА ВЫХОДА § 27. Работа выхода (однородные катоды) Понятие работы выхода как меры энергии связи электронов с твердым телом возникло уже на ранних стадиях развития элект- ронной теории металлов. Для объяснения существования элект- ронного газа внутри металла необходимо было допустить нали- чие у границ металла некоего поля сил / (х), направленных внутрь металла и препятствующих вылету свободных электронов во внешнее пространство. При удалении электрона из металла совер- шается работа против этих сил — работа выхода: СО X = е<р == J / (ж) dx. — ь (27.1) Таким образом, в классической теории металлов работа вы- хода равнялась скачку потенциальной энергии электрона на границе металла. В зоммерфельдовской модели металла понятие работы выхода несколько усложнилось. Интеграл выражения (27.1) определял так называемую внешнюю работу выхода Wa, равную полной глубине потенциального ящика металла. Однако даже при темпе- ратуре электронного газа Т = 0, в отличие от классической тео- рии, считалось, что не все электроны обладали кинетической энергией, равной нулю, но распределялись по энергиям от нуля до некоторой максимальной Wt, равной границе распределения Ферми. Поэтому наименьшая энергия, которую необходимо со- общить одному из электронов проводимости при Т = 0 для уда- ления его из металла, оказалась равной (27.2)
§ 27] РАБОТА ВЫХОДА (ОДНОРОДНЫЕ КАТОДЫ) 237 Если энергию покоящегося электрона вне металла положить рав- ной нулю, то поэтому % = — £тах =— Ео, (27.3) т. е. работа выхода равна взятой с обратным знаком полной энер- гии верхнего электронного уровня Етах в металле, занятого элект- роном при температуре электронного газа Т = 0; в свою очередь уровень 2?тах равен уровню электрохимического потенциала Ео электронного газа. Однако и это определение работы выхода не вполне удовлетво- рительно. Реальный металл не представляет собой потенциального ящика с гладким дном, т. е. U const = — Wа, но внутри металла потенциал поля, в котором находится каждый электрон, есть периодическая функция координат, определяемая структу- рой решетки, а также состоянием всех остальных электронов. Можно дать следующее определение энергии связи электрона в твердом теле, в частности, в металле, не зависящее от конкрет- ной модели этого тела. Сам факт стационарного существова- ния электронов внутри него свидетельствует, что система из Л!р ионов и Д'р = Np электронов внутри металла, находящихся в равновесии при температуре Т = 0, обладает меньшей энергией, чем те же Np ионов с TV) = 7VK —п электронами при той же тем- пературе также в состоянии равновесия. Обозначая энергию пер- вой системы через Е (TVNe), а второй — через Е (Np, Np — п), можно записать изменение энергии при удалении одного элект- рона, т. е. работу выхода при Т = 0, в следующем виде: %0 = l[2?(7Vp, Ne-n)~E(Np, 7Vp)]n = N =~~. (27.4) ™ p e e Это определение работы выхода аналогично определению работы ионизации нейтрального невозбужденного атома [92]. При Т )> 0 определение (27.4) делается неоднозначным. Действительно, раз- личие в энергиях равновесного состояния системы (N , Л'р — п) и равновесного состояния системы (N , Л'е) зависит от условий перехода. Например, если переход происходит адиабатически, т. е. в отсутствие теплового обмена с внешней средой (dQ = 0 и, следовательно, изменение энтропии системы dS = 0 или £ — const), то, вообще говоря, температуры в обоих состояниях будут неодинаковы. При изотермическом переходе Т = const, но в общем случае dQ ф 0 и S Ф const. Возможны, естественно, и другие условия перехода системы (Д’Дтр) в систему (Д' Д”р — п). В соответствии с этим и разности [/< (Дгр, Дте — /?) — Е (Д’ Л’,,)1,
238 РАБОТА ВЫХОДА (ГЛ. V а следовательно, величины %, определяемые по (27.4), будут не- одинаковы. Здесь ситуация аналогична той, которая, например, имеет место при определении теплоемкости газа С; в зависимости от условий нагревания газа эта величина имеет разные значения: в случае нагревания при постоянном объеме — значение Cv, а при постоянном давлении — Ср Cv. Истинная работа выхода, которая стоит, например, в числи- теле экспоненты формулы (14.24), равна — Ео, но в термодина- мике показывается, что электрохимический потенциал Е =Л— 0 \9NeIS = const, V = const ’ т. е. ____р _ ( \ %ист — -о — \dNe )g = const, V = const’ Покажем, что ричардсоновская работа выхода Хрич — т = const, V = const Имеем । T(dS\ .ЭМе!т, v \dNe/T, v ' \dNelT, v’ (27.5) (27.6) где F = E — TS — свободная энергия системы. Из термодина- мики известно, что { 3F \ = >дЕ\ = р \dNe!T, v \9Ne)s,V ~'0, „ I 9F \ rr [ 9S \ a.S = — \эт]к v’ 1*0ЭТ0МУ производная \^)TV определяется так: / 9S \ d'-F \ЭЕ/е)т,у~ ЭЕ КЭТ ~~ д ЭТ [9F \ = _ (9Еа\ \9Ne/T, V \9Т JNe,v’ (27.7) т. е. (27.6) дает 1 ЭЕ \ __ [dNe т, V — ( ЭЕ \ \dNe) — т s, v \9T)n ,v (27.8) Потому имеем: 4|),iV=b,+ (27.9) При Г = 0, как видно, %рпч — Хист- Заметим, что фигурирующие в (27.4) и далее разности энер- гий— это разности полных энергий твердого тела, включающие
§ 27] РАБОТА ВЫХОДА (ОДНОРОДНЫЕ КАТОДЫ) 239 изменения энергии коллектива электронов в теле и энергии ре- шетки при удалении из него электрона. Поэтому данные выше определения работ выхода, строго говоря, лежат вне рамок зон- ной теории. В приближениях этой теории отдельным электронам приписываются определенные энергии Ег, а полная энергия элект- ронного газа считается'равной Е = ^Е^ где суммирование про- изводится ио всем электронам, находящимся в теле. Поэтому изменение энергии Е при удалении i-ro электрона по зонной тео- рии равно — Е{. Казалось бы, что из-за этого каждому электрону соответствует своя работа выхода = — Ev Однако удаление г-го электрона с затратой «работы выхода» Xi оставит, вообще говоря, электронный газ в неравновесном состоянии. Есть лишь один энергетический уровень, удаление электрона с которого не нарушит равновесия оставшегося электронного газа. Так, на- пример, при Т = 0, очевидно, лишь удаление с уровня Етах =— Хо не нарушит термодинамического равновесия. Удаление элект- рона с энергией Е{ Етах потребует сообщения этому элект- рону энергии — Et, но для того, чтобы привести оставшийся электронный газ в равновесие при Т = 0, необходимо отнять у него энергию Еюъх — Е{ = — X, т. е. изменение энергии электронного газа окажется также равным Хо- При Т )> 0, если удалить электрон, занимающий уровень __Y — Е ___Т (— х 1 \dTjNe,v’ тепловое равновесие, которое установится в оставшемся элект- ронном газе, будет соответствовать той же температуре Т; для установления равновесия, как указано выше, телу необходимо сообщить некоторое количество (положительное или отрицатель- ное) теплоты. При удалении же электрона с любого другого уровня равно- весная температура тела изменится (как нетрудно показать, — на величину - ~ , где Xi — работа удаления с данного уровня, С-р a Cv — теплоемкость металла). Так, удаление электрона с уровня электрохимического потенциала (х; = — Ь’о) повышает темпе- ратуру на величину . Но установление равновесия в по- следнем случае не потребует сообщения теплоты извне. Обсудим вопрос о температурном коэффициенте истинной ра- ^Хист боты выхода Имеется несколько причин, вызывающих из- менение Ео = — Хист^ зависимость распределения плотности со- стояний °т Е в области Е № Еа, тепловое расширение тела,
2Ю РАБОТА ВЫХОДА Г1Л. Л'’ изменение структуры его поверхности с температурой. Рассмотрим влияние первой из указанных причин. Из условия нормировки, по которому определяется Ео, нетрудно показать, что (см., на- пример, [93]) Если плотность состояний Z в области Е = Ео не зависит от Е, то Е, (Т) = Ео (0) = const, ихист не изменяется с Т по этой при- чине. В случае, когда плотность состояний Z в этой области воз- растает с Е, имеем Еп (Т) Ео (0), т. е. эта причина вызывает рост Хист с температурой. Если Z уменьшается с Е, то Хист убы- вает с ростом Т. Так, например, в теории свободных электронов Зоммерфельда плотность состояний возрастает с W = Wa -Р Е по параболическому закону (2.13). При этом для вырожденного электронного газа, когда Wt^kT, зависимость Z от W слабая. Связь между и Т при этом дается выражением (6.15), из кото- рого легко получить, что, например, при lEi0 = 10 эв Wi (1000° К) — (El0 (0° К) = 0,003 эв. В реальном металле Z (Е) есть функция с максимумами и Z (Е) = 0 на границах энерге- тической зоны. Если электроны заполняют более половины зоны, то [4^ <[ 0 и температурный коэффициент хПСт может быть \ uzi / Е = К о отрицателен. Влияние теплового расширения металла на его работу выхода обсуждалось в рамках теории Зоммерфельда [93]. При расшире- нии металла имеют место два эффекта. Во-первых, смещение PEi0; действительно, для вырожденного электронного газа по (6.14): Г17 Л2 ( Зп \s/:i где п — концентрация электронов в металле, убывающая при повышении температуры вследствие теплового расширения тела. Вследствие этого и 11'.; убывает с ростом Т. Но и Wa уменьшается при возрастании температуры, так как то же тепловое расшире- ние уменьшает плотность зарядов, обусловливающих скачок по- тенциальной энергии на границе металла. По вычислениям одних авторов JEj падает с ростом Т быстрее, чем 1Еа, и поэтому работа выхода х = Wa — Растет, причем по расчетам для вольфрама температурный коэффициент dyJdT оказывается порядка 10~5 в-град Однако другие авторы приходят к выводу, что изменение lEj медленнее изменения Wa, и знак температурно- го коэффициента у них получается отрицательным (см., напри- мер, [91).
5 27] РАБОТА ВЫХОДА (ОДНОРОДНЫЕ КАТОДЫ] 241 Влияние изменения структуры поверхности кристалла с тем- пературой, изменяющее высоту потенциального порога на его границе, рассмотрено в конце § 17. Одно из первых объяснений физической природы работы вы- хода металлов было предложено Дебаем и Шоттки, рассматри- вавшими ее как работу, совершаемую против сил взаимодействия электрона с индуцированными им на поверхности металла заря- дами, т. е. против поляризационных сил [33]. Мы рассмотрели это объяснение в § 18. Поляризационная часть работы выхода в современной теории металлов имеет следующий смысл. При удалении одного из элект- ронов металла оставшиеся в нем электроны окажутся в иных условиях, чем до удаления; это вызовет изменение состояний оставшихся электронов и возрастание их энергий на величину поляризационной части работы выхода. Квантовомеханическое рассмотрение этих поляризационных изменений энергии элект- ронов в металле, имеющем «гладкую» (т. е. без учета атомистиче- ской структуры) поверхность, привело к выражению, совпадаю- щему с формулой (18.2) [95]. Значения внешней работы выхода Wa, к которым приводила теория металлов Зоммерфельда, были больше, чем те, которые можно было допустить с точки зрения теории поляризационных сил. Можно было искать еще другую причину, вызывающую скачок потенциала на границе металла, в двойном электрическом слое на его поверхности. Возникновение его приписывалось сле- дующему механизму [96]. Свободные электроны проводимости должны уходить за пределы металла и образовывать вблизи по- верхности отрицательно заряженный электрический слой, кото- рый вместе с избыточными положительными зарядами ионов под поверхностью и образует двойной электрический слой, поле кото- рого будет тормозить проходящие сквозь него электроны пз ме- талла. Существование двойного электрического слоя на границах металла должно иметь место и с точки зрения современной теории твердого тела [97]. Плотность электронного облака р (х, у, z) = = фф * внутри кристалла есть периодическая, с периодом, рав- ным постоянной решетки, функция координат. При этом для металлического кристалла центр тяжести электронного облака в каждой ячейке совпадает с ядром атома, и поэтому дипольный момент этих ячеек равен нулю. Для ячеек, расположенных на границах металла, дело обстоит иначе, так как электронное облако в них будет расположено несимметрично относительно ядер ато- мов — оно несколько расширится наружу на величину поряд- ка разности радиусов атома в газообразном состоянии и в кри- сталлической решетке. Поэтому каждая поверхностная ячейка
242 РАБОТА ВЫХОДА [ГЛ. V кристалла будет обладать дипольным моментом р, а совокупность их образует двойной электрический слой с моментом pF, где F — поверхностная плотность атомов. Как момент отдельной ячейки р, так и поверхностная плотность зависят от структуры поверх- ности грани данного кристалла, и поэтому моменты двойных слоев различных граней одного кристалла могут быть неодинаковы. Нам известна одна работа [98], в которой сделана попытка рассмотрения работы выхода некоторых граней монокристалла вольфрама, исходя из особенностей электронных облаков у по- верхности граней с разной структурой и обусловленного этим разли- чия двойных слоев у них. Однако результаты этого рассмотрения не находятся в достаточно хорошем согласии с данными опыта. Рассмотренные здесь две составляющие работы выхода (поля- ризационная и связанная с наличием двойного электрического слоя у поверхности тела) имеют положительный знак при выходе электрона из эмиттера и отрицательный — при входе электрона в него, т. е. являются обратимыми. Существует, однако, и необра- тимая часть работы выхода. Ее понимание лежит вне рамок адиа- батического приближения, в котором считается, что система элект- ронов находится в замороженной решетке. Рассмотрим эту часть работы выхода. При удалении электрона из идеального металла избыточный положительный заряд, остающийся в металле, в каждый момент времени оказывается распределенным по поверхности металла в соответствии с теорией электрических изображений. При уда- лении электрона из идеального диэлектрического кристалла заряд остается локализованным в той части поверхности, откуда ушел электрон. Если же эмиттер является телом с малой электронной проводимостью, то после удаления электрона локализованный заряд будет нейтрализован некоторой системой токов в теле, а окончательное состояние окажется состоянием поверхностно за- ряженного тела. Разность энергетических состояний не будет, однако, определяться только структурой поверхности, как в иде- альном металле, так как система токов выделит в кристалле неко- торое джоулево тепло. Это тепло проявится в изменении энергии колебаний кристаллической решетки. Полное изменение энер- гии тела будет складываться из изменения энергии системы электронов и энергии решетки. Очевидно, что изменение энергии решетки, вызванное релак- сационными явлениями, имеет одинаковый знак как при уда- лении электрона из тела, так и при введении электрона извне, т. е. является необратимой частью работы выхода. При переходе к металлам конечной электропроводности эффекты релаксации не исчезают, хотя протекают значительно быстрее. Поэтому и для них релаксационная, необратимая часть работы
§ 271 РАБОТА ВЫХОДА (ОДНОРОДНЫЕ КАТОДЫ) 243 выхода остается неравной нулю, хотя, конечно, ее роль сущест- венно меньше, чем в телах с плохой электропроводностью. Нетрудно понять происхождение этой необратимой части ра- боты выхода с точки зрения сил электрического изображения. Заряд е, расположенный перед проводящей плоскостью, вызывает по законам формальной электростатики поверхностно распре- деленный заряд о0 (у, г) такой, что сумма полей заряда е и по- верхностных зарядов равна нулю внутри металла. Если заряд движется перед проводящей плоскостью, то эти поверхностные заряды должны меняться со временем, следовательно, внутри металла должна существовать система токов, обеспечивающая должное изменение о, т. е. должно существовать электрическое поле <о (х,у, z, Z), создающее эти токи. Поэтому и мгновенное рас- пределение поверхностных зарядов о (у, z, t) должно отличаться от электростатического о0 (у, z, t), соответствующего мгновенному положению заряда е. Сила взаимодействия заряда е с зарядами о на поверхности не будет определяться выражением <?2/4ж2, соот- ветствующим взаимодействию с зарядами о0 (у, z, z). Можно показать, что при незначительных отклонениях о от о0, т. е. при о — о0 № 0, последнее эквивалентно взаимодействию за- ряда е с равным ему по величине и противоположным по знаку зарядом е' = — е, расположенным не в точке зеркального изоб- ражения, соответствующего мгновенному положению заряда е но в точке, соответствующей изображению более раннего по времени положения заряда е (рис. 121). Движение электри- ческого изображения как бы отстает от движения заряда. Величина этого отставания за- висит от скорости движения заряда е и от электропровод- ности металла, определяющей быстроту релаксационных про- цессов в нем. Работа etp против сил взаимодействия с отстаю- щим электрическим изображе- нием, естественно, отличается от вычисленной по Шоттки работы еф0. В [99] дана оценка необратимой части работы выхода для вольфрама, показывающая, что эта часть не мала. Необратимая часть работы выхода будет сказываться в явле- ниях эмиссии электронов, но контактное равновесие, очевидно, от нее зависеть не будет. Адсорбция чужеродных атомов на поверхности тела, в част- ности металла, изменяет электронные облака у его поверхности
. 244 РАБОТА ВЫХОДА [ГЛ. V и является причиной изменения работы выхода. Адсорбированный атом (адатом) может находиться на поверхности не только в ней- тральном состоянии, но в состоянии частичной ионизации [100]. Рассмотрим вопрос о заряде атома, адсорбированного на поверх- ности металла. Адатом и металл образуют единую систему, и электроны адатома и металла принадлежат не металлу или ада- тому, но всей системе в целом. Их электронные облака распре- деляются и по объему металла, и по объему адатома. При этом состояния электронов, соответствующие глубоким уровням энер- гии (К-, L-оболочкам как адатома, так и атомов металла), прак- тически не отличаются от состояний в изолированных атомах, т. е. соответствующие электроны оказываются практически локали- зованными либо в адатоме, либо в атомах металла. Но состояниям, соответствующим высоким значениям энергии, например, почти сплошному спектру энергий Еп зоны проводимости, соответствуют Электронные облака, плотность которых р (т, у, z) отлична от нуля как внутри металла, так и в области адатома. При этом интеграл vn = ^ри (ж, у, z) dr, взятый по объему адатома, про- порционален вероятности нахождения электрона с энергией Еп в пределах адатома, a evn дает долю заряда этого электрона, нейт- рализующего положительный заряд атомного остатка адатома (рис. 122). Эта доля для данного Еп зависит от вида рп для си- стемы металл — адатом, т. е. от природы металла и адатома. Для каждой такой системы vn имеет наибольшее значение для некоторого состояния электрона, соответствующего энергии Ет1 и убывает для больших и меньших Еп. Иначе говоря, кривая зависимости вероятности нахождения электрона в пределах ада- тома от энергии Еп имеет максимум при Еп — Ет, положение которого определяется природой адатома и металла (рис. 123).
§ 27] РАБОТА ВЫХОДА (ОДНОРОДНЫЕ КАТОДЫ)5 245 Полный отрицательный заряд, нейтрализующий заряд атом- ного остатка, равен сумме указанных выше интегралов, т. е. е zj S Рп dr, п где суммирование, производится по всем п, соответствующим со- стояниям, в которых находятся электроны в этой системе, т. е. по всем состояниям, занятым при данных условиях электронами. Такие суммы интегралов могут быть как меньше, так и больше заряда электрона е. В первом случае адатом заряжен положи- тельно, во втором — отрицательно, причем заряд его может со- ставлять любую долю заряда электрона. Герни считает, что уровень — Ет совпадает с работой иони- зации адатома и что заполнение электронами уровней до Ет соот- ветствует значению § Pndr, равному е. Поэтому если уровень п электрохимического потенциала металла Ео лежит выше Ет (т. е. в первом приближении потенциал ионизации атома больше работы выхода металла ср), то адатом будет заряжен отрицательно, в случае же Vi <р заряд атома будет положителен (рис. 123) (подробнее мы рассмотрим этот вопрос в § 46). В первом случае, по Герни, отрицательные ионы вместе с их электрическими изоб- ражениями образуют двойной слой, повышающий работу выхода металла, во втором — имеет место понижение работы выхода. Если энергетический уровень электрона в адатоме, eV{, лежит ниже дна зоны проводимости твердого тела, то в системе металл — адатом будут иметься, с одной стороны, состояния электронов, соответствующие зоне проводимости металла, для которых р (ж, у, z) отличны от нуля только в твердом теле (т. е. дающие г = 0), и, с другой стороны, одно состояние, соответствующее Еи = — eVv Плотность электронного облака ро этого состояния отлична от нуля только в области адатома, т. е. соответствую- щий интеграл va = 1, и поэтому адатом окажется нейтральным. Однако если адатомы обладают сродством к электрону, равным еЗ, таким, что уровень — еЗ оказывается лежащим против уровней зоны проводимости, то величины vs, соответствующие состояниям электронов в этой зоне, опять отличны от нуля. В этом случае сумма e2z>s, взятая по состояниям зоны проводимости, занятым электронами, дает избыток отрицательного заряда сверх зна- чения eva = е, необходимого для нейтрализации положитель- ного заряда атомного остатка, и адатом окажется отрицательно заряженным. Действительно, атомы, обладающие заметным сродством к электрону, такие как кислород и галогены, адсорбированные на металлах, повышают их работу выхода.
246 РАБОТА ВЫХОДА 1ГЛ. V Изложенные представления позволяют дать некоторые каче- ственные соображения о состоянии адатомов и об изменении ими работы выхода металла. Какова же глубина того приповерхностного слоя эмиттера, которая определяет величину работы выхода его поверхности? Если кусок одного вещества А с работой выхода у_д = е<рд (рис. 124, а и в) покрыт достаточно толстой оболочкой другого б) в) г) Рис. 124. вещества В с работой выхода у_в = е<рв (рис. 126, б), то на гра нице этих веществ возникнет двойной электрический слой кон- тактной разности потенциалов. Этот двойной слой будет локали- зован в приграничных областях глубиной порядка радиусов Дебая — Гюккеля LDA и LDB веществ А и В; падение потенциала в нем равно А К = фд — <рв- В результате возникновения скачка потенциала средняя потенциальная энергия электронов в теле А по отношению к энергии электрона, покоящегося вне тела, поднимется (если <рд срв) на величину (% — %в). Вслед- ствие этого все полные энергии электронов в теле А по отноше- нию к энергии электрона, покоящегося вне системы (А В), по- высятся на ту же величину. В частности, повысится энергия дна зоны проводимости в теле А, а также уровень электрохимического
§ 27] РАБОТА ВЫХОДА (ОДНОРОДНЫЕ КАТОДЫ) 247 потенциала ЕоА до выравнивания его с уровнем Еов (рис. 124, г). Работа выхода электронов из системы (Л В) будет рав- на - Еов. При уменьшении толщины h оболочки это положение сохра- нится до столь малых /г, при которых падение потенциала на гра- нице Л а В остается равным АР, = <рд — <рв, т. е. до толщин, больших той, в которой локализован двойной электрический слой в веществе В, а она, как указано выше, порядка LDB. Опыт пока- зывает, что покрытие вещества металлом толщиной в два атом- ных слоя приводит к х = Хв (см., например, [48]). Это находится в согласии с величиной радиуса Дебая—Гюккеля (19.6) для металлов, где п0 1022 см3. Работа выхода данного вещества, как было указано выше, зависит от атомной структуры его по- верхности. Естественно, что работа выхода тела, покрытого двумя- тремя слоями металла, будет равна работе выхода поверхности этого металла с такой же атомной структурой, как и у слоя. Кроме того, очевидно, что все эти положения справедливы для таких металлов и на таких подложках, когда может образовы- ваться атомно-сплошной слой покрытия. В случае покрытия полупроводником, очевидно, толщина слоя, определяющая ра- боту выхода, будет больше [101]. Слой вещества при h<^L конечно, может изменить работу выхода подложки, но не сделает ее равной работе выхода сплошного куска покрытия. Отметим здесь, что не ясно, всегда ли можно говорить о полу- проводниковых свойствах тонкого, порядка моноатомного, слоя вещества, массивные образцы которого являются полупроводни- ками, в том случае, когда этот слой расположен на металли- ческой подложке. Все электроны эмиттера, как сказано выше, образуют единую систему. Согласно изложенным выше пред- ставлениям волновые функции металла не обрываются у его границы, но проникают в слой покрытия, причем амплитуда их для тех значений энергии, которые соответствуют запрещенному интервалу ЕЕ3 материала полупроводникового покрытия, убы- вает от границы раздела к наружной поверхности слоя. Поэтому для достаточно толстого слоя полупроводника эта амплитуда практически станет равной нулю на некоторой глубине, мень- шей толщины слоя; в наружной части слоя покрытия будут лишь электроны с энергиями, лежащими вне интервала ЕЕ3. Для эле- ктронов этой части слоя будет существовать запрещенная энер- гетическая зона. В случае очень тонких слоев волновые функции металла не будут исчезающе малы во всей толще покрытия, не будет запрещенной зоны энергий ни в какой области эмиттера, п слой не будет полупроводником, по крайней мере в обычном смысле этого термина.
248 РАБОТА ВЫХОДА (ГЛ. V Таким образом, работа выхода эмиттера определяется не его составом и объемно-структурными свойствами, а лишь природой поверхностного слоя его, как было сказано в § 17. Заметим, что состояние системы электронов внутри эмиттера (волновые функ- ции, описывающие состояния электронов, плотность электрон- ного газа, плотность состояний, положение уровня Ферми отно- сительно дна зоны проводимости и др.) будет определяться объем- ными свойствами этого эмиттера; они будут различны в разных веществах при наличии на их поверхности одного и того же по- крытия и при h Ld. Поверхностный слой определяет лишь различное в разных телах положение системы энергетических уровней электронов, относительно уровня энергии Е = 0 элект- рона, покоящегося вне эмиттера и сдвигает эту систему уровней так, что Л ov делается равным — § 28. Работа выхода (неоднородные катоды) Над всеми элементами неоднородной поверхности (различные грани микрокристаллов, области с различными покрытиями чуже- родными атомами) реального эмиттера существует поле контакт- ных разностей потенциалов, рассмотренное в § 22. Электрон, вы- ходящий из некоторого элемента поверхности, при уходе из эмиттера должен совершить дополнительную работу в этом поле (вообще говоря, положительную или отрицательную), которую мы обозначим cAl7,, (rs) и будем называть барьером поля пятен. Таким образом, работа выхода некоторого элемента поверхности катода определяется не только его свойствами, но и свойствами со- седних элементов, а также величиной внешнего электрического поля. Если размеры некоторого однородного элемента поверхности будут возрастать, то поле пятен над ним будет ослабевать. При достаточно больших размерах однородного элемента поверхности работа удаления электрона через него на расстояние, много боль- шее атомных размеров (но меньшее размеров этого однородного элемента), стремится к некоторому пределу, определяемому лишь свойствами этого элемента. Это предельное значение работы вы- хода мы будем называть локальной работой выхода е<рл(г8)- Работу удаления электрона через данный элемент на бесконеч- ность будем называть полной работой выхода еФ (rs) этого эле- мента. Очевидно, что Ф(г5) = фл(г5) + АГп(г8) (28.1) Представляет интерес вопрос о .том, до сколь малых размеров пятна сохраняет смысл понятие локальной работы выхода. Выхо- дящий из тела электрон взаимодействует не с одним атомом по- верхности, а с группой их, занимающих некоторую площадь I2
§ 28] ' РАБОТА ВЫХОДА (НЕОДНОРОДНЫЕ КАТОДЫ) 249 на этой поверхности, где I — линейные размеры этой площади. Очевидно, что если размеры пятна меньше, чем Z2, то работа вы- хода не будет определяться свойствами лишь этого пятна и дан- ное выше определение локальной работы выхода станет не- применимым. С учетом волновой природы электронов в работе [102] произведена оценка размеров I пятен, с атомами которых взаимодействует эмитируемый термоэлектрон. Оказалось, что Z —~\7:, > гДе — постоянная Планка; для Т = 300° К это дает Z -200 А, а при Г = 1000° К I 100 А. Итак, по (28.1) полная работа выхода Ф (rs) элемента поверх- ности неоднородного катода слагается из локальной работы вы- хода его <рл (rs) и потенциального барьера поля пятен АИЛ (rs). Величина ДВП (rs) существенно зависит от внешнего электриче- ского поля <9, от покрытия 0 (rs) как самого элемента ds, так и распределения этого покрытия 0 (г/) по соседним элементам по- верхности катода, т. е. Ф [rs, 0 (rs), 0 (г')] = = фл [rs, 6(G)] + AFn[rs, <f, 0(rs), 0(г0]. (28.2) В отсутствие внешнего электрического поля, т. е. при S — 0, полная работа выхода, как показано в § 22, должна быть одина- ковой для всех элементов поверхности катода и равной среднему по поверхности S катода значению локальной работы выхода фл (rs), т. е. при d? 0: ф (rs) Фз = § фл (rs) ds. (28.3) s Соответственно, ДИп(г8)^ф8-фл(г8). (28.4) При внешнем электрическом поле, достаточном для полной ком- пенсации поля пятен, т. е. при <з0 <^окр, AFn(rs) = 0, (28.5) и поэтому Ф(г,)-фл(гв). (28.5а) Таким образом, для элементов с фл <Т ф3 ПРИ возрастании поля <§0 барьер поля пятен изменяется от ф8 — фл (rs) до нуля, а работа выхода — от ф8 до фл (rs), причем для <э0 &0 кр ло- кальная работа выхода этих элементов будет понижена, как и Для чистого металла, по Шоттки, на величину е (е^')1'2, где г (здесь ё'п — нормальная составляющая напряжен- ности поля пятен у поверхности данного элемента катода).
250 РАБОТА ВЫХОДА [ГЛ. V Для элементов с фл (rs) Д> <ps ускоряющее электроны поле пятен почти не сказывается, как упоминалось выше (см. § 22), на эмиссии. Последняя будет определяться здесь локальной работой выхода, лишь немного измененной, по Шоттки, полем = С + <%• Полагая, что плотность тока электронной эмиссии / (rs) опре- деляется уравнением (15.6), имеем / ds = di = A (rs) Т2 ехр ^s’ (28.6) а для полной эмиссии катода: г = ^fds=T2^ Л(г5)ехр| — ds, (28.7) S S где Ф' (rs) = <рл (rs) для элементов поверхности с фл (rs) Д> <ps и Ф' (гД = Ф (гД при фл (гД ф8. Отсюда: j /Ф' ds ----(In = 4- Д.----------= ~ ф,, (28.8) di_ \ Т2 / к jds к ' где символом Фе обозначено среднее по электронному току зна- чение работы выхода катода. При значительном внешнем поле, вследствие очень сильной зависимости плотности электронного тока от работы выхода Ф (гД, практически вся эмиссия пойдет с областей катода, где Ф (гД = = Фщш, и поэтому Фе ФШш, а для > <экр Фй = фщщ- Таким образом, электронная эмиссия пятнистого катода может служить в соответствующих условиях средством изучения областей катода, обладающих малой работой выхода. Средством изучения областей неоднородного катода, обладаю- щих большой работой выхода, является так называемая положи- тельная поверхностная ионизация. Если на поверхность металла с работой выхода еф, раскаленную до температуры Т °К, падает поток п нейтральных атомов на 1 см2 в 1 сек, имеющих потенциал ионизации Vit то некоторое количество па <Д п этих атомов отле- тит с поверхности в виде также нейтральных частиц, а в стацио- нарном режиме остальные пр = п — па частиц отлетят в виде положительных ионов (положительная поверхностная иониза- ция; подробнее см. § 46). Отношение пр!па определяется уравне- нием Саха — Ленгмюра:
§ 28] РАБОТА ВЫХОДА (НЕОДНОРОДНЫЕ КАТОДЫ) 251 В случае е(7г — ф) кТ па п, и тогда поток ионов и будет равен пр -= nA ехр | е (28.10) Поэтому плотность тока положительных ионов jp с поверхности металла будет равна /р==емр = емЛехр^^=Д^. (28.11) Однако поле пятен будет для областей с фл (rs) <ps задерживать положительные ионы и будет уменьшать плотность тока в ГеДГп] exp[^fj раз’ т‘ е' /p=mBexp[-tlt^^-a] (28.12) ИЛИ /р = епВ ехр [- | ( (28.13) где Ф' (rs) = фл (rs) — Д7П (*%) есть полная работа выхода для элемента поверхности металла с фл (rs) О <ps. Полный же ионный ток с поверхности раскаленного металла будет равен ip = \ /pds = еп \ В (rs) ехр j — ds. (28.14) в 8 Отсюда без труда получается выражение для наклона температур- ной характеристики ионного тока: j [Vi — Ф' (rs)J /р ds ---Д-х1п^ = Т- !~Т,-----------------Нг.-Ф»), (28.15) d =-----------------------------------------------)lvas \J / s где Фр обозначает среднее по ионному току значение работы вы- хода неоднородной поверхности металла. При достаточно сильном внешнем электрическом поле S почти весь ионный ток будет идти с областей, где Ф' (г8) яе Фтах, и поэтому Фр Фщах > а для с?0 > Фр = фл шах-
252 РАБОТА ВЫХОДА [ГЛ. V Как видно, различные методы измерения работы выхода металла с пятнистой поверхностью дают различные, вообще говоря, средние значения работы выхода (среднее по поверхности, сред- нее по электронному току, среднее по ионному току), которые могут значительно отличаться друг от друга, и притом больше или меньше при различных внешних электрических полях. Помимо тех причин, которые могут объяснить температурную зависимость работы выхода однородных катодов (тепловое рас- ширение, изменение границы Ферми и др.), в случае пятнистых катодов могут играть роль еще несколько причин. Укажем прежде всего на кажущуюся температурную зависимость работы выхода неоднородного катода, обусловленную мозаичной структурой его поверхности [103]. Сила эмиссионного тока насыщения I для мозаичного катода будет представлять собой сумму токов 1п от- дельных элементов поверхности. Эти токи in будут изменяться с температурой в соответствии с работой выхода данного эле- мента, т. е. для полного тока i следует написать выражение: п где $п — площадь элемента с работой выхода фли. Если же зависимость i от Т записать в виде уравнения (15.6): i =5ЛЛехр [-^], то показатель степени будет, вообще говоря, не постоянным, но будет зависеть от температуры, иначе говоря, усредненная таким способом работа выхода ср (У) окажется функцией температуры. Это обстоятельство имеет место и для поликристаллических като- дов из чистых металлов. Константа 4 в последнем уравнении, вообще говоря, не будет равна какой-либо из констант Ап. Если все Ап, например, будут порядка Ао = 120 а • см2 • град 2, то А будет меньше этого значения. Нетрудно понять, что не только работа выхода пятнистого катода, но и ее температурный коэффициент значительно изме- няются с изменением внешнего электрического поля $.
ГЛАВА VI ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ § 29. Фотоэлектронная эмиссия металлов Фотоэлектронной эмиссией пли внешним фотоэлектрическим эффектом (для краткости — просто фотоэффектом) называется, как указано в § 12, испускание электронов поверхностью твердого (или жидкого) тела под действием падающего на нее электромаг нитного излучения. Фотоэффект был открыт Герцем в 1887 г. В настоящем параграфе будут определены основные характери- стики явления и рассмотрены закономерности фотоэффекта ме- таллов, главным образом в видимой и ультрафиолетовой частях спектра. Основными законами фотоэффекта можно считать следующие: 1) пропорциональность фототока г'ф интенсивности светового потока J, вызывающего фотоэффект (г’ф ~ 7), при условии неиз- менности спектрального состава излучения (закон Столетова); 2) наличие длинноволновой (красной) границы Хо области спектра излучения, вырывающего фотоэлектроны из данного фо- токатода; лишь излучения с длиной волны X <' Хо, т. е. с часто- той v v0 = с/Х0, могут вырывать фотоэлектроны; 3) независимость кинетической энергии фотоэлектронов от интенсивности света и линейная зависимость максимальной кине- тическои энергии фотоэлектронов ,вырванных из дан- кого фотокатода светом некоторой частоты v, от этой частоты: (4- mv2\ = а -|- bv, 4) безынерционность фотоэффекта. Установлено, что фототок появляется и исчезает вместе с освещением, запаздывая не более чем па т <4 3- 10 9 сек [104].
254 ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ И'Л. VI Объяснение основных закономерностей фотоэффекта было дано на основе фотонной теории света (Эйнштейн, 1905 г.). Фотон, обладающий энергией /zv, поглощается электроном фотокатода в единичном акте взаимодействия, повышая его энергию на вели- чину hv. Если до поглощения фотона кинетическая энергия элект- рона была W = Wj + бW, где W\ — граница Ферми, a 6И7 — положительная или отрицательная добавка, то после поглоще- ния его энергия станет равной Wz + 6И7 + hv. Если импульс такого электрона будет направлен к поверхности, то, потеряв по пути энергию AW, электрон может достигнуть поверхности металла и вылететь из катода. После преодоления на поверхности металла потенциального порога Wa электрон унесет с собой кинетическую энергию, равную 4- mv2 = И7; + 6И7 + hv — AW — Wa или, учитывая, что Wа — — %, mv2 = hv — % — А И7 -ф bW. Наибольшей кинетической энергией при данном бW, очевидно, будут обладать те электроны, для которых потери по пути АП7 равны нулю, т. е. ('4-mr2') = hv— v -ф 6И7. (29.1) \ / max Если пренебречь энергией теплового возбуждения электрона 6И7, то {-^-mv2} = hv — % (29.2) (уравнение Эйнштейна). При hv % по этой теории фотоэффект X невозможен. Таким образом, значение v0 = у определяет на- именьшую частоту фотоактивных фотонов (красную границу фотоэффекта для данного катода). Уравнение (29.2) теперь можно записать в виде mv2\ =h(v — v0). (29.3) Соотношение Эйнштейна (29.2) лежит в основе ряда фотоэлектри- ческих методов измерения работы выхода .фотокатодов, j Напри- мер, величину х можно определить, измеряя в сферическом кон- денсаторе (при гк гд) истинную разность потенциалов Vm
§ 29] ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ МЕТАЛЛОВ 255 катод — коллектор, при которой фототок прекращается. Дей- ствительно (с учетом контактной разности потенциалов) eVm = (4 тг;2') щ \ 2 У max следовательно, ,еУ„, h(v~ vu), т. е. при заданном из соотношения v можем вычислить v0 и далее определить % X = hv0 или hva he 1 * е ~ е ?.о ’ т. е. 12360 / 90 (Р’б — Х0, А’ (2М Фотоэлектрические свойства эмиттеров принято характеризо- вать несколькими величинами. Величина У' = г$ называется J чувствительностью катода. В этой формуле J — падающий на фотокатод поток лучистой энергии определенной длины волны, а ?Ф — фототок, вызванный этим потоком. Умножая числитель и знаменатель на время t, получим в числителе количество элект- ричества, унесенное фототоком за время t, а в знаменателе — энергию, упавшую за то же время на фотокатод. Обычно чувст- вительность измеряют в кулонах на калорию (к - кал 1). Чувстви- тельность фотокатода можно также выразить в виде отношения числа электронов пе, испускаемых фотокатодом, к числу фотонов пр, упавших на его поверхность за то же время. Величину пе1пр называют квантовым выходом У, т. е. (29.5) у __ пе __ 'ф/е __ пр J/hv е В этом случае У измеряется в электронах на квант (эл/кв). Если часть энергии излучения, упавшей на фотокатод, отражается от него или проходит насквозь, то для оценки эффективности фото- катода физически более целесообразно его чувствительность отно- сить не к падающей, а к поглощенной энергии (или в случае квантового выхода, не к числу падающих, а поглощенных квантов энергии). Чувствительность фотокатода и квантовый выход за- висят от длины волны X падающего излучения. Зависимости 1 (Л) и У (X) или же Y' (hv) и У (hv) называются спектральными характеристиками фотокатода.
256 ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [гл. VF Практически для фотоэлементов больший интерес представляет полный фототок, возникающий при освещении сплошным спект- ром, даваемым раскаленным телом, например, спиралью лампы накаливания. Характеристика фотокатода в этом случае назы- вается интегральной чувствительностью и дается обычно в мик- роамперах на люмен (мка- ллГ1). Интегральная чувствительность, очевидно, определяется спектральной характеристикой фотока- тода и спектральным составом излучения. Обычно интегральная чувствительность фотокатода определяется при использовании стандартного источника облучения. Таким источником яв- ляется вольфрамовая нить накала лампы при температуре ее, равной 2770° К (яркостная температура при этом равна 2848° К). Рассмотрим кратко основы экспериментальной техники фото- электрических измерений. Для определения зависимостей Y (hv) требуется получение монохроматических потоков излучения раз- личных длин волн и измерение их интенсивностей. Тип источ- ника излучения зависит от исследуемой спектральной области. В видимой части спектра (Л = 8000—4000 А; 1,5 эв-a^hv ==< 3,1 эв) обычно пользуются лампами накаливания, дающими непрерыв- ный спектр. В области ближнего ультрафиолета (X = 4000—2200 А; 3,1 эв hv гС 5,63 эв) широкое распространение имеет ртутная кварцевая лампа, излучающая линейчатый спектр, содержащий большое число спектральных линий. В области вакуумного уль- трафиолета (X = 2000 -т- 1000 А; 6,2 эв hv sg 12,3 эв), как пра- вило, используется искровой разряд. (Эта область спектра полу- чила свое название в связи с тем, что излучение этих волн сильно поглощается в воздухе. Поэтому работать с излучениями этих длин волн можно лишь в аппаратуре, в которой давление воздуха меньше 10 4—10 5 тор.) Монохроматизация излучения длин волн, больших 1200 А, может быть осуществлена с помощью призмен- ных спектрографов. При этом в качестве оптических материалов в видимой части спектра используется обычно стекло, в области ближайшего ультрафиолета до 1800 А — кварц. Могут при- меняться также и другие материалы, например, кристаллы NaCl. В интервале длин волн Л 1800—1200 А используются кристаллы LiF. Излучение с более короткими длинами волн (А 1200 А) поглощается любыми известными оптическими материалами. По- этому проведение исследований в коротковолновой области ваку- умного ультрафиолета требует использования спектрографов с от- ражающими диспергирующими системами, например, с вогнутой дифракционной решеткой. Измерение интенсивностей потоков излучения обычно осуще- ствляется с помощью специально калиброванных термопар, тер- мостолбиков и фотоумножителей.
§ 29] ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ МЕТАЛЛОВ В ряде случаев абсолютные значения фототоков при и зующихся интенсивностях излучения малы и их измерение бует применения высокочувствительных измерителей тока. Рассмотрим результаты экспериментальных исследований спек- тральных характеристик фотокатодов из массивных металлов. Для щелочных, а также некоторых щелочноземельных металлов красная граница' лежит в видимой части спектра; для подавляю- щего же большинства металлов она находится в ультрафиолетовой области. Болеё детальные исследования фотоэффекта с различных металлов показали, однако, что при Т 0 резкой красной гра- ницы не существует. В действительности фототок в области v, близких к v0, асимптотически приближается к нулю и определе- ние v0 из экспериментальной зависимости Y (hv), строго говоря, выполнено быть не может. Лишь специальная математическая обработка экспериментальных данных (см. ниже) позволяет найти v0 = х/Л. Отсутствие резкой красной границы при Т )> О легко понять, если учесть распределение по энергиям электронов внутри твердого тела. Пренебрежение величиной бW, сделанное выше, является точным лишь при 7 = 0. При Т Д> 0 величина может быть больше нуля. Это приведет, во-первых, к фото- эффекту электронов с уровней энергии Е^>— %, который может происходить и при hv %, а во-вторых, к наличию в фотоэмис- сии электронов с кинетическими энергиями, большими, чем hv — х (по (29.2)). Однако число электронов в металле с энергиями Е~^> — х мало. Поэтому и вероятность фотоэлектрического поглощения при hv hvq мала, и фототок также мал. При hv hv0 для всех металлов их квантовый выход возра- стает при увеличении hv, около красной границы рост фототока определяется зависимостью iф^(v — v0)2. Качественно указанное возрастание У с hv легко объяснить из следующих простых соображений. При hv hv0 интервал энер- гий электронов в металле, которые могут быть возбуждены све- том до энергий Е 0, достаточных для вылета из фотокатода, тем шире, чем больше hv — hv0, если, однако, при этом hv —Ег, где Ег — уровень дна зоны проводимости в металле. Поэтому "при увеличении частоты света вероятность поглощения, сопровождаю- щегося переходами электронов на уровни Е 0, при том же общем числе поглощенных фотонов сделается больше, а следовательно, п сила фототока, как правило, будет возрастать. Кроме того, поглощение электроном с данной начальной энергией Е фотона большой энергии hv hv0 обусловливает немалую вероятность выхода такого электрона из более глубоких слоев фотокатода. 9 Л, Н. Добрецов, M. В. Гомоюнова
258 ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. VI Интервал частот излучений, с которыми проводились иссле- дования, Av = v — v0, прилегающий к v0, как правило, невелик и составляет примерно 0,5 v0. В большей спектральной области вблизи красной границы исследованы щелочные и отчасти ще- лочноземельные металлы (Ва), для которых Av «« (1,5—1,8) v0. Для них, в отличие от остальных металлов, спектральные харак- теристики в этой области энергий фотонов Av имеют максимум. Примеры экспериментально полученных спектральных характе- ристик вблизи красной границы для ряда металлов [105] пока- заны на рис. 125 слева. Данные, полученные в разных работах, Pt 1О~е 7О~7- —1------1 ।-----1-----1-----1— __।_____।_____। г 2 5 8 11 14 17 20 23 26 hv,w Рис. 125. а иногда даже и в одной и той же работе, не всегда хорошо согла- суются между собой (см., например, рис. 125, результаты для Be). Это объясняется тем, что квантовый выход металлических эмитте- ров вблизи красной границы очень чувствителен к чистоте по- верхности и изменяется в десятки и даже сотни раз в процессе очистки и обезгаживания эмиттера. Абсолютные значения кван- тового выхода для чистых металлов в рассматриваемом интер- вале hv имеют порядок 10 5—10 3 эл/кв и, очевидно, зависят от (v — v0); для h (v — v0)?«lao У 10'3 эл!кв. Спектральную характеристику с монотонным ростом У при увеличении v принято называть нормальной характеристикой, а фотоэффект в этом случае — нормальным. Если же спектральная характеристика
§ 29] ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ МЕТАЛЛОВ 259 имеет максимум, фотоэффект обычно называют селективным. Явле- ние селективного фотоэффекта мы рассмотрим ниже. Имеется ряд работ, относящихся к области вакуумного ульт- рафиолета. Число их невелико, и они были выполнены главным образом в середине пятидесятых годов [106], [107]. Спектраль- ные характеристики квантового выхода Y (hv) при hv (9-5—27) эв для ряда металлов приведены на рис. 125 справа. Основ- ные отличительные особенности квантового выхода в вакуумном ультрафиолете состоят в следующем. Для всех исследованных металлов численные значения Y при hv [> (И 4- 12) эв порядка 10 2 —10 ' эл!кв и, следовательно, в (10 4- 100) раз превышают величины У в видимой и ближней ультрафиолетовой областях спектра. Области высоких значений У предшествует сильный рост У в интервале hv (9 4- 12) эв. Согласно [107] начало этого роста У при hv № (9 4- 10) эв совпадает с областью, в ко- торой заметно уменьшается отражающая способность металлов и начинается значительный рост поглощения. После быстрого роста У, как правило, наблюдается довольно пологий макси- мум, после которого следует спад кривой У (hv); в особенно- сти отчетливо этот максимум обнаруживается для фотоэф- фекта силенок [107]. Начало спада У по [107] совпадает примерно с областью, где поглощение начинает уменьшаться и сущест- венно возрастает способность металлов пропускать излучение. Рис. 126. Для примера на рис. 126 приведены зависимости квантового вы- хода У, коэффициента отражения 7? и коэффициента пропуска- ния Т излучения от энергии падающих квантов для А1 [107]. В области вакуумного ультрафиолета квантовый выход значи- тельно менее чувствителен к состоянию поверхности, чем в об- ласти, прилегающей к красной границе. Прогрев металлов обычно Уменьшает У лишь примерно в 10 раз. Пленки, напыленные в из- мерительном приборе, в большинстве случаев характеризуются 9’
260 ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ . VI в 1,5 4- 2 раза более низкими значениями Y, чем пленки тех же металлов, побывавшие в атмосфере. Так же как и в длинноволно- вой области, имеется разброс (примерно в пределах одного по- рядка) в значениях У, из- меренных разными авторами. Электрическое поле у поверхности фотокатода уве- личивает фототок. Его влия- ние весьма незначительно для фототока, создаваемого светом с v v0, и очень существенно [111 ] приу ~ v0 (рис. 127). Влияние поля сводится к обычному эффек- ту Шоттки, понижающему работу выхода и сдвигающе- му красную границу к боль- шим длинам волн. Уже из вида спектральных характе- ристик легко понять, что это приводит к относительно большому изменению фото- тока лишь вблизи красной Рис. 127. характеристики около красной может быть представлено в виде границы. При низких температу- рах уравнение спектральной границы, как указано выше, 1ф = с (V — v0)2. В электрическом поле, по Шоттки, X = Хо —е(ей?)'/2, поэтому Здесь v00 — граничная частота фотоэффекта при внешнем элект- рическом поле, равном нулю. Если v очень близко к v00, а поле (о не очень мало, то и тогда г’ф (^) = с'^'- (29.6)
§ 29] ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ МЕТАЛЛОВ 261 Однако в сильных электрических полях наблюдаются периоди- ческие отступления от прямолинейной зависимости (29.6), ана- логичные описанным в § 18 для термоэлектронной эмиссии [112]. Уже при h (v — v0) — 1 эв даже при<^ = 104 в- см 1 второй член в выражении для гф Ц5) составляет лишь ~ 4 % от величины первого и, следовательно, фототок при возрастании поля от <о = О до <о — 104 е-с.Ц1 увеличивается приблизительно лишь на 8%. Зависимость фототока от внешнего электрического поля при v v00 используется в одном из фотоэлектрических методов оп- ределения работы выхода [113]. Целый ряд исследований посвящен выяснению влияния тем- пературы катода на фототок. Первоначальные опыты со спект- рально неразложенным светом давали неясные результаты и в об- щем устанавливали слабую зависимость гф от Т, если изменение температуры не вызывало изменения состояния поверхности, аг- регатного состояния или фазовых превращений. Изучение фотоэффекта, вызываемого монохроматическим све- том, несомненно, установило температурный эффект. При этом фототок слабо’ меняется с Т для v v0 и резко возрастает с повышением температуры при v ~ v0 (ив особенности для v v0). Примером могут слу- жить данные для Pd, приведен- ные на рис. 128 [114]. Поведе- ние тока было таково, как будто v0 уменьшалось с ростом тем- пературы. Эффективная крас- ная граница смещалась в об- ласть меньших v с ростом Т, и вид спектральной характерис- тики в области v v0 сущест- венно менялся; кривая 1ф (v) в этой области спектра делалась положе и определение v0 стано- 1ф Рие. 128. вилось весьма неопределенным. Для ферромагнитных металлов в температурной зависимости фототока для v v0 наблюдаются особенности в точке Кюри [115]. Объяснение этих особенностей дано С. В. Вонсовским и А. В. Соколовым [116]. Значительное число работ посвящено измерению квантового выхода пленок переменной толщины на подложках. Целью этих работ, как правило, являлось определение глубины выхода фото- электронов из металла. Известно, что свет проникает в металл на глубину порядка длины волны, т. е. в видимой области спектра
262 ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ [ГЛ. VI в приповерхностный слой толщиной примерно 4000—8000 А. При этом, если глубина выхода фотоэлектронов значительно меньше, казалось бы, что изменения фототока с ростом толщины пленки прекратятся при толщине, примерно равной максимальной глу- бине выхода фотоэлектронов из металла. В действительности при интерпретации экспериментальный данных необходимо также учи- тывать и оптические факторы, в частности, изменение с толщи- ной слоя энергии падающего излучения, поглощаемой во всей толще пленки, а также в ее тонком приповерхностном слое [110]. Для исключения влияния фотоэлектронов, эмитируемых подлож- кой, целесообразно в качестве материала подложки пользоваться веществами, прозрачными для излучения длин волн, используе- мого в опыте. Существенными в этих опытах могут оказаться вопросы, связанные со структурой и сплошностью напыляемых слоев, а также с вакуумными условиями. Наибольший интерес представляют работы (см., например, [108], [109], [117], [118]), выполненные за последние 10—15 лет, в ко- торых измерения проведены в сверхвысоком вакууме и напыле- ние велось на кварцевые подложки, охлажденные до температуры кипения жидкого азота. Спектральный интервал, использован- ный в этих исследованиях, охватывает видимую и ближнюю уль- трафиолетовые области. По данным этих работ глубина выхода фотоэлектронов невелика и составляет несколько атомных слоев. Лишь в работе [109] для глубины вы