Text
                    гмп КОМПЕНСАЦИЯ
ПОГРЕШНОСТЕЙ

В ОПТИЧЕСКИХ
ПРИБОРАХ

Ленинград
«Машиностроение»
Ленинградское отделение
1985

ББК 34.9 Л27 УДК 681.7 : 681,4.075 Рецензент канд. техн, наук В. А. Зверев Латыев С. М. Л27 Компенсация погрешностей в оптических приборах. — Л.: Машиностроение, Лецингр. отд-ние, 1985. — 248 с., ил. 1 р. 30 к. • " I В книге изложены методы повышения показателей качества оптических прибо- ров путем компенсации погрешностей, возникающих при их изготовлении и эксплуа- тации. Даны теоретические основы расчета компенсаторов и методы повышения ка- чества приборов на стадии проектирования. Рассмотрены типовые компенсаторы по- грешностей оптических функциональных устройств, механизмов и принципы процесса компенсации. Книга предназначена'для инженерно-технических работников, занимающихся конструированием, изготовлением и эксплуатацией оптических приборов. Л 2706000000-150 038 (91)-85 150-85 ББК 34.9 6П5.8 Святослав Михайлович ЛАТЫЕВ КОМПЕНСАЦИЯ ПОГРЕШНОСТЕЙ В ОПТИЧЕСКИХ ПРИБОРАХ Редактор Л. М. Манучарян Художественный редактор С. С, Венедиктов Технический редактор Т. М. Жилич Корректоры: И. Г. Иванова, А. И. Лавриненко Обложка художника А. Ф. Каширских ИБ № 4094 Сдано в набор 06.11.84. Подписано в печать 02.04.85.*М-21372. Формат бО^-ВОУхв. ’Бумага типографская № 3. Гарнитура литературная. Печать высокай". Усл.печ.л. 15,5. Усл.кр.-отт. 15.5. Уч.-изд. л. 17,2. Ти{>аж 3090 экз. Заказ 12. Цена 1 р. 30 к. Ленинградское отделение ордена Трудового Красного Знамени * издательства «Машиностроение», 191065, Ленинград, ул. Дзержинског^, 10 Ленинградская типография № 6 ордена Трудового Красного Знамени Ленинградского объединения «Техническая книга» им. Евгении Соколовой Союзполиграфпрома при Государственном комитете СССР по 'делам издательств, полиграфии и книжной торговли. 193144, Ленинград, ул. Моисеенко, 10. © Издательство «Машиностроение», 1985 г.
ПРЕДИСЛОВИЕ Современные тенденции развития точного приборостроения ста- вят перед оптической промышленностью задачу пр дальнейшему и значительному повышению качества выпускаемых изделий. В этой связи большое значение имеет систематизация и развитие путей и методов повышения качества оптических приборов, Одним из путей повышения показателей качества 'приборов является компенсация погрешностей, возникающих при изготовлений и эксплуатации приборов. Этот способ весьма эффективен и позво- ляет не только получить требуемые показатели.качества, но и рас- ширить допуски на изготовление и сборку деталей и узлов прибора, а также повысить производительность работы прибора. В настоя- щее время накоплен достаточно большой опыт по применению ком- пенсаторов погрешностей в точном приборостроении и машино- строении. Компенсаторы погрешностей некоторых механизмов рас- смотрены в работах [15, 38, 48], компенсаторы погрешностей приво- дов станков и передач — в. работах [20, 44], электронных измери- тельных устройств — в работах [2, 5, 12]. Некоторые вопросы компенсации погрешностей в оптических приборах (ОП) изложены в статьях и работах по юстировке приборов [9, 17, 33, 47, 541. Вместе с тем следует отметить, что многие задачи, возникающие при использовании компенсации погрешностей, еще не решены, поэтому эффективность применения этого способа повышения каче- ства приборов используется не в полной мере и существенно зависит от опытности разработчика (конструктора). На практике бывают случаи, когда требуемые показатели качества прибора невозможно получить из-за того, что не предусмотрены необходимые компенса- торы, или они предусмотрены там, где в них нет надобности. Зача- стую применяемый компенсатор не обладает достаточным диапазо- ном работы, необходимой чувствительностью и надежностью. Метод компенсации бывает не согласован с объемом выпуска приборов и условиями производства. Указанные недостатки, как правило, выявляются только при изготовлении опытных образцов или в про- цессе эксплуатации прибора, когда их уже трудно или невозможно устранить. . Использование достижений науки и передового опыта по компен- сационному методу повышения качества изделий особенно важным является для ОП, ни один из которых не обходится без юстировки, основанной, как известно [32, 54], на компенсации погрешностей изготовления и сборки деталей прибора с помощью тех или иных компенсаторов. Однако в литературе практически отсутствуют опи- сания способов компенсации погрешностей ОП, основ теории компен- сации систематических и случайных погрешностей, методик расчета компенсаторов, а также работы по систематизации и классификации
типовых компенсаторов погрешностей ОП, которые позволили бы еще на стадии разработки схем, конструкций и технологических процес- сов изготовления. и юстировки прибора эффективно применять компенсацию погрешностей для повышения показателей качества. Й предлагаемой книге сделана попытка осветить некоторые воп- росы компенсации погрешностей, не нашедшие достаточного отра- жения в литературе, а также обобщить практический опыт по приме- нению компенсаторов погрешностей функциональных устройств ОП. Автор выражает признательность сотрудникам ЛОМО, ГОИ и ЛИТМО А. С. Васильеву, В. П. Трегубу, В. А. Звереву, В. В. Боба- шеву, Ю. А. Степину, Е. А. Васильеву, Г. В. Погареву, А. М. Бур- баеву, Н. И. Кручининой за предоставление материалов и обсужде- ние некоторых разделов рукописи. Автор будет благодарен читате- лям за все замечания и пожелания, которые они сочтут нужным сделать, и просит направлять их по адресу: 191065, Ленинград, ул. Дзержинского, 10, ЛО издательства «Машиностроение».
Г л а в a 1 ’ МЕТОДЫ ПОВЫШЕНИЯ КАЧЕСТВА ОПТИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ Для современного оптического приборостроения характер- ным является неуклонное повышение требований к качеству произво- димой продукции — точности, надежности, качеству изображения, экономичности (технологичности) производства. Успешное выпол- нение нормируемых техническим заданием показателей качества при проектировании новых- и модернизации выпускаемы^ приборов зависит от критического анализа вариантов7 схемных, конструктив- ных, технологических и других решений с целью выявления и устранения недостатков. Рассмотрим методы повышения качества ОП при проектировании, в случае, когда первоначальное решение не обеспечивает требуемых показателей качества, особенности этих методов и взаимосвязь. 1.1. ХАРАКТЕРИСТИКИ КАЧЕСТВА ОПТИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ Качеством продукции называется совокупность свойств продук- ции, обусловливающих ее пригодность удовлетворять определенные потребнЬсти в соответствии с ее назначением [39]. Качество прибора отражает способность выполнять- его функциональное назначение в соответствии с техническими условиями. Для объективной оценки качества прибора его свойства необходимо характеризовать коли- чественно — показателями качества. Показатели качества характеризуют технико-экономические осо- бенности прибора и классифицируются по следующим основным группам [39]. Показатели назначения характеризуют Назначение, область при- менения, производительность, точность, светосилу, разрешающую способность, дальность действия, конструктивные особенности. Показатели надежности характеризуют безотказность, долго- вечность, ремонтопригодность и сохраняемость прибора. Показатели технологичности характеризуют степень соответ- ствия прибора и его элементов оптимальным условиям современного производства.. Важнейшими технолргическими показателями каче- ства продукции являются коэффициент сборности (блочности) изде- лия, коэффициент использования рациональных материалов, удель- ная трудоемкость. 7 Эргономические показатели позволяют оценивать степень при- способленности прибора к взаимодействию с человеком (с точки зре- ния удобства, гигиены и безопасности труда и т. п.). Эстетические показатели характеризуют внешний вид прибора, его соответствие современному стилю, гармоническому сочетанию элементов прибора между собой, соответствие формы прибора его назначению^
Показатели стандартизации и унификации характеризуют степень • использования и применения в данном приборе стандартизованных унифицированных и заимствованных узлов и деталей. Патентно-правовые показатели характеризуют патентоспособ- ность и патентную чистоту схемных- и конструктивных решений прибора. ' . . ’ , Наиболее многочисленной группой являются показатели назна- чения. Для оптических приборов существуют как общие показатели назначения (показатели точности функционирования, качества изо- бражения), так и частные (показатели, характеризующие параллель- ность визирных осей бинокулярных приборов, увеличение микро- скопов, светосилу фотографических приборов и т. д.). Компенсацию погрешностей мы будем рассматривать преимуще- ственно на основе обеспечения с ее помощью общих показателей назначения оптических приборов: Вопросы применения компенса- торов для обеспечения частных показателей назначения, а также показателей надежности, технологичности и других решаются ана- логично. Рассмотрим, какими показателями характеризуются качество изображения, создаваемого оптической системой прибора, и точность его функционирования. Показатели качества изображения. Эти Показатели характери- зуют способность оптической системы прибора создавать изображение высокого качества, т. е. геометрически подобное предмету, неиска- женное по форме, с правильной передачей ^деталей, контраста и цвета. Кроме того, изображение предмета должно занимать правильное ; пространственное положение (чтобы не было параллакса, поворота и наклона изображения).^’настоящее время нет единого показателя (критерия) качества изображения, характеризующего все перечи- сленные требования. На практике качество изображения, создаваемое оптической системой, оценивают следующими основными показателями: разре- шающей способностью, остаточными волновыми или геометрическими аберрациями, частотно-контрастной характеристикой. Качество изображения с точки зрения правильности его про- странственного положения оценивают значениями расфокусировки, углового или линейного параллакса, наклона и поворота .изобра- жения. , . ' • Показатели точности функционирования прибора. В большин- _ ствр ОП происходит не только оптическое, но и механическое, элек- трическое и другие виды преобразований сигнала. Качество таких приборов определяется уже йе только показателями качества изо- бражения, но и показателями точностного функционирования, т. е. показателями, характеризующими потери информации при преобра- зовании сигнала от объекта всеми функциональными устройствами прибора, Показателями точности функционирования прибора яв- ляются: погрешность прибора — разность между действительным и рас- четным (идеальным) значениями информативного параметра выход» 6
його сигйала прибора, соответствующими информативному пара* метру входного сигнала; погрешность функционирования прибора — разность между дей- ствительным и расчетным изменениями информативного параметра выходного сигнала прибора, соответствующими изменению инфррма- • тивного параметра входного сигнала; погрешность воспроизводимости прибора — разность действи- тельных значений информативного параметра выходного сигнала прибора, соответствующих одному и тому же информативному пара- метру входного сигнала при повторных циклах функционирования. Такими же показателями характеризуется и точность работы функциональных устройств прибора. Например, показателями точ- ности работы механизмов являются погрешности положения ведо- мого звена, перемещения и погрешность от' мертвого хода — основ- ная причина погрешности воспроизводимости механизмов . [55]. Основным показателем точности как приборов, так и функцио- нальных устройств является погрешность, функционирования, кото- рая в соответствии с ГОСТ 8.009—72 нормируется характеристиками систематической и случайной ее составляющих либо характеристи- ками ее суммарной погрешности. 1.2. ПОГРЕШНОСТИ И ФАКТОРЫ, ВЛИЯЮЩИЕ НА КАЧЕСТВО ПРИБОРА Погрешности, возникающие при изготовлении и эксплуатации прибора, в существенной мере влияют на большинство его показате- лей назначения, а также на показатели надежности й технологич- ности. Рассмотрим подробнее погрешности, влияющие на показатели качества изображения, создаваемого оптической системой, и на показатели точности функционирования.. Погрешности, влияющие на качество изображения. На качество изображения, создаваёмого оптической системой, влияют погреш- ности, которые можно объединить в следующие группы: 1) отклонения от расчетных характеристик материала оптиче- • ских деталей (показателя преломления, средней дисперсии); 2) погрешности изготовления деталей (радиусов, кривизны, тол- щины, клиновидности); 3) погрешности сборки оптической системы (децентровки, дефор- мации, отклонения от расчетных воздушных промежутков); 4) погрешности, возникающие при эксплуатации оптического прибора из-за изменения температуры, атмосферного, давления, вибраций, рефракций воздушных слоев И т. д. Погрешности, влияющие на точность прибора. Погрешность функционирования прибора обусловлена потерями информации еще до поступления на чувствительный элемент прибора, в приборе и при регистрации результатов.- • • _ ' Доприборные или методические погрешности обусловлены оши- бочностью или недостаточностью разработки принятой теории метода функционирования либо допущениями в отношении объекта, сигнала"
или кайаЛа прохождения сигнала. Методические Погрешности ХараК- терныдля приборов, принцип действия которых основан на косвенных методах измерения. Например, в функции, заложенной в основу работы импульсных светодальномеров: D — СИЧп, где D — дистан- ция до объекта; С — скорость света в вакууме; t — время прохожде- ния излучения до объекта й обратно; п — показатель преломления среды, предполагается, что скорость света и показатель преломления среды на трассе измерения постоянны и равны некоторым конкрет- ным значениям. При реальных измерениях эти параметры могут отличаться от принятых значений, что приводит к погрешности Рис. 1.1. График погрешностях от мертвого хода двухпарного зубчатого редуктора измерения дистанции. Другим примером методической погрешности может служить погрешность, возникающая из-за дискретности измерений. На рис. Г.1 изображен график погрешности от мертвого хода зубчатого редуктора, измеренной через 1° поворота (<р) ведо- мого звена (примерно две точки контроля на зуб ведомого колеса). Если такую передачу контролировать в ограниченном числе точек (например, в трех-четырех, как это часто бывает на практике), то может возникнуть большая методическая погрешность, представляю- щая. собой разности между истинным (за которое можно принять в нашем примере значения мертвого хода по графику) и полученным при дискретном измерении, значениями максимальной погрешности: △£мет = △’'’max действ △'’шахизм- К методическим погрешностям относят также допущения о рас- положении, температуре, форме объекта и погрешности-ориентирова- ния прибора относительно объекта (например, погрешности, возни- кающие при измерении линейных перемещений оптиметром из-за наклона его трубки относительно направления перемещения; по- грешности измерения углов наклона зеркала автоколлиматором из-за коллимационной ошибки). В том.случае, когда в основу функционирования прибора поло- жено допущение о прямолинейном распространении света на участие от объекта до прибора, к методическим погрешностям следует отнести влияние рефракции воздушных слоев, приводящей к искривлению линии визирования и ухудшению качества изображения. В против-
ном случае ее относят к факторам, приводящим к эксплуатационным погрешностям. Приборные или инструментальные погрешности обусловлены по- терями информации в оптических, механических, электрических и других преобразователях сигнала из-за допущений в заложенной функции преобразования, погрешностей изготовления и сборки эле- ментов, влияния эксплуатационных погрешностей и факто- ров. Допущения в функции, преобразования сигнала (их называют также теоретическими погрешностями) бывают трех видов [18]: 1) использование вместо строгой теоретической функции, связываю- щей информативные параметры выходного и входного сигналов, приближенной функции (например, замена тангенсной зависимости, связывающей угол поворота автоколлимационного зеркала с пере- мещением изображения на сетке автоколлиматора, линейной зави- симостью); 2) округления параметров, входящих в функцию преобра- зования-, производимые из-за наличия иррациональных чисел либо требований ГОСТа (например, округление до ближайших значений ГОСТа радиусов кривизны линз, округление модуля зубчатого зацепления до его значения йз нормального ряда); 3) конструктивные допущения, характерные для реальных конструкций высших кине- матических пар (см. п. 5.3). ' Погрешности изготовления и сборки элементов являются техно- логическими и представляют собой отклонения от расчетных значе- ний характеристик материалов, погрешности размеров,’ формы и рас- положения деталей. Технологические погрешности — одни из самых многочисленных и наиболее сильно влияющих на точность функцио- нирования (и качество изображения) прибора первичных погрешно- стей. Эксплуатационныё погрешности представляют собой погреш- ности размеров, форм и положения деталей, а также изменения харак- теристик материалов, источников и приемников излучения из-за. влияния нагрузок, вибраций, сил трения, перепада температуры, давления, влажности, радиационного излучения и т. п. * Погрешности регистрации обусловлены потерями информации при регистрации -результатов функционирования прибора. Эти погрешности связаны, как правило,, с оператором и вызваны запаз- дыванием или опережением регистрации сигнала, погрешностями считывания результата, управления (наведения), настройки и вы- верки прибора, обработки результатов. Погрешности регистрации условно выделены в отдельную группу и связаны не только с объективными параметрами и характеристиками прибора, но и с субъективными психо-физиологическими возмож- ностями оператора. Так как погрешности считывания и наведения зависят от конструктивных параметров прибора, to их часто относят к эксплуатационным инструментальным погрешностям. Погреш- ности обработки результатов, особенно в случае, когда прибор вы- дает их в неявном виде, относят к методическим погрешностям. Погрешности настройки и выверки могут быть отнесены к тем и другим.
Перечисленные погрешности, влияющие на качество ОП, будем называть первичными погрешностями и факторами. Они представ- ляют собой отклонения от номинальных значений конструктивных .параметров деталей и сборочных единицх, изменения влияющих факторов (А/), отклонения от расчетных значений функции преоб- разования сигнала в приборе (А/) и отклонение информативного параметра сигнала, поступающего на вход прибора, от его номи- нального значения (Ах): Aq — q—q$, &q' — q'—qfr, = f — f0’, Ax = x — x0, где q, q', x — действительные значения конструктив- ных параметров, влияющих факторов и информативного параметра входного сигнала, соответственно; qo, q'o, х0 — номинальные значе- ния конструктивных параметров, влияющих факторов и инфор- мативного параметра входного сигнала соответственно; f, f0 — дей- ствительная и номинальная функции, связывающие информативные параметры у и х выходного и входного сигналов соответст- венно.. Заметим, что первичные факторы приводят к изменению конструк- тивных параметров деталей и сборочных единиц, т. е. оказывают влияние на качество прибора посредством А</, причем один первич- ный фактор (например, изменение температуры) может действовать - на изменение как одного, так и нескольких конструктивных пара- метров одновременно. . Каждая отдельная первичная погрешность и фактор влияют на тот или иной показатель качества ОП, это влияние будем называть в дальнейшем частичным влиянием (частичной погрешностью, расфо- кусировкой,. параллаксом) и обозначать: \у^ч, &уьЯ', ^у\х> &Ум- Функция, связывающая частичное влияние с первичной погрешно- стью или фактором, может быть в общем случае как линейной, так и нелинейной, и называется передаточной функцией (коэффициентом влияния) первичной погрешности (фактора). Основное внимание при компенсации погрешностей будет уделено инструментальным погрешностям, оказывающим доминирующее влияние на точность работы и качество изображения ОП. Классификация погрешностей, влияющих на качество прибора. Как уже отмечалось, на качество прибора влияет большое количе- ство разнообразных первичных погрешностей и факторов. По при- роде возникновения они могут быть случайными и неслучайными. По результату действия погрешности, подразделяются на оказываю- щие случайное и неслучайное воздействие на качество партии прибо- ров и каждого прибора в отдельности. Случайными по своей природе являются погрешности и факторы, изменяющиеся нерегулярно, see они претерпевают рассеяние при 1 Погрешности конструктивных параметров сборочных единиц являются комп- лексными [18], обусловленными первичными погрешностями изготовления и сборки деталей. Обычно в качестве комплексных первичных погрешностей принимают погрешности покупных элементов (например, шарикоподшипников, фотоприемни- кбв) и погрешности сборочных единиц, нормируемых комплексным показателем (например, кинематическая погрешность зубчатых колес,' погрешность фокусного расстояния склейки объектива и т. д.).
Возникновении и не могут быть заранее определены однозначно йб своим параметрам. К таким погрешностям относятся в.се погрешности технологиче- ского характера (фокусных расстояний линз, углов призм, де- центровки, эксцентриситеты шкал, лимбов), отклонения свойств материалов, эксплуатационные погрешности, обусловленные дейст- вием случайных факторов (из-за влияния . сил' трения, вибра- ций, турбулентности атмосферы, нестационарных температурных полей). . ' z . ч. Некоторые из случайных погрешностей могут иметь системати- ческую (неслучайную) составляющую. Например, погрешность диа- Рис. 1.2. Поля рассеяния диаметра (а) и толщины (6) линзы метра линзы — величина случайная, однако, претерпевая рассея- ние в поле допуска, эта погрешность имеет один знак (минус), опре- деляемый заданным односторонним полем допуска. Систематиче- ская составляющая (рис. 1.2,. а) определяется координатой середины поля допуска До<7 = .0,5 (Д<?в + Д<ун), где Д<7в, Д<?н — верх- нее и нижнее предельные отклонения поля допуска соответст- венно. Так как при изготовлении линзы стремятся избежать неисправи- мого брака, то действительное поле рассеяния о (Д(?) смещено отно- сительно поля допуска и исходного рассеяния о0 (Д?) (за которое обычно принимается рассеяние, подчиняющееся закону Гаусса) на величину а. Таким образом центр группирования М действитель- ного рассеяния не совпадает с центром поля допуска С и"среднее (неслучайное) значение первичной погрешности равно Д<? — До<? +а. Значение а зависит от метода обработки (автоматический, пробных проходов), а = (0 -ь 0,2) Д<? [37]. При расчетах пользуются относи- тельным значением а, которое называется относительным коэффи- циентом асимметрии ag = aJ8q, где 8q—половина поля допуска. Тогда / Aq = Aoq-\-ag8q. . (1.1)
Для записи систематической составляющей случайной погрешности удобно пользоваться так называемым приведенным коэффициентом асимметрии поля допуска [18] * = Д^/&? = Ло7/6<7 + «?, (1-2) откуда Л<7 = Cfiq. В тех случаях, когда задан симметричный допуск на параметр ' детали (расстояние между отверстиями, угловые размеры, толщины линз и пластир), или же происходит симметричное рассеяние зна- чений погрешности или влияющего фактора, систематическая состав- ляющая отсутствует (Сд = 0) либо определяется только ’смещением центра действительного поля рассеяния от номинального (Cq = aq). Примером этого является погрешность толщины линзы (рис. 1.2, о), среднее значение которой несколько больше номинального значения из-за стремления рабочего-оптика иметь возможность удалить воз- никшую царапину или иметь запас для подгонки радиуса под проб- ное стекло. ч • Неслучайными по своей природе являются погрешности, неизме- няющиеся или изменяющиеся закономерно, параметры их могут быть заранее определены. К ним относятся некоторые методические, теоретические, эксплуатационные погрешности, обусловленное дей- ствием систематических факторов (например, деформации от извест- ных сил, температурные деформации от стационарных температур- ных полей). Заметим, что деформации от известных сил и температурные дефор- мации относят к систематическим погрешностям условно, так как они имеют случайную составляющую, из-за влияния случайных факторов. Например, угол скручивания валика под действием неко- торого момента может быть рассчитан заранее по известному моменту сил, диаметру валика, модулю сдвига материала и длины скручивае- мого участка. Однако значение действительного угла может отли- чаться от рассчитанного из-за погрешности изготовления диаметра и отклонений характеристик материала от расчетных. Рассчитан- ное значение зазора между-оправой и диаметром линзы при заданном, изменении температуры может отличаться от действительного из-за погрешностей изготовления их диаметров и отклонений коэффи- циентов линейного расширения материалов от расчетных. Так как рассчитанное значение таких погрешностей мало отличается от действительных значений (мала случайная составляющая), то эти погрешности принято относить к систематическим. По характеру воздействия на качество прибора погрешности также можно классифицировать на случайные и неслучайные. Эту классификацию осуществляют для партии приборов (т. е. для слу- чая, когда прибор не изготовлен) и для конкретного экземпляра (для учета изменения погрешностей при повторных циклах функцио- нирования прибора). • Например, для партии приборов практически все погрешности технологического происхождения (за исключением отклонений ха- рактеристик материала оптических деталей из стекла одной плавки)
оказывают случайное 'воздействие на качество прибора. Для кон- кретного же экземпляра эти погрешности. оказывают неслучайное влияние на качество. Рассмотрим погрешности фокусного расстояния объектива и экс- центриситет лимба; Для партии приборов их влияние на качество случайное, так как неизвестны ни значение, ни знак погрешности. На единичный экземпляр эти погрешности оказывают неслучайное влияние, так как для конкретного прибора известны их значение и знак. При повторных циклах функционирования прибора они будут оказывать одно и то же влияние на его качество и не претерпе- вать рассеяния. Некоторые погрешности оказывают случайное цлияние как на качество всей партии приборов, Так и на качество единичного при- бора. К ним относятся, например, рефракция воздушного тракта, влияние сил трения, случайные погрешности считывания и др. Неслучайные по своей природе причины и факторы оказывают зако- номерное влияние на качество всей партии и единичного прибора. Например, теоретическая погрешность автоколлиматора оказывает одинаковое действие на точность работы как отдельного прибора,. так и всей партии приборов. По характеру измёнения значений первичные погрешности и фак- торы подразделяются на неизменяющиеся (постоянные), переменные регулярные, переменные нерегулярные и смешанные. Изменение или постоянство их значений рассматривают в зависимости от изменения выходного (или входного) информативного параметра прибора в процессе его функционирования (изменения из-за износа и старе- ния материалов при этом не учитываются). К постоянным относят такие погрешности, значения которых не изменяются в функции у, это отклонения свойств материалов, технологические погрешности размеров и положений деталей (погреш- ности толщин линз, углов призм, децентровки и перекосы поверх- ностей), деформации от постоянных нагрузок. К переменным регулярным относят те погрешности, которые изменяются закономерно в функции у. Примером может служить изменение деформации трубы телескопа (гнутие телескопа) под дей- ствием силы тяжести в случае изменения угла места, а также теоре- тические'погрешности. К переменным нерегулярным относят погрешности и факторы, изменяющиеся нерегулярно в функции у. Это, например, шерохова- тость поверхностей деталей, биение колец шарикоподшипников, эксплуатационные погрешности из-за нестабильности сил трения и прочих случайных факторов. К смешанным относятся погрешности, изменение которых в функ- ции у имеет постоянную или переменную регулярную и.переменную нерегулярную составляющие. Эго погрешности деления линейных и круговых шкал, шага винта, кинематические погрешности зубча- тых колес. • • По направлению первичные погрешности и факторы подразде- ляются на скалярные и векторные. Скалярные характеризуются
только численным значением (с учетом знака), направление отсчета которого вполне определенно. Это погрешности размеров деталей, деформации от сил тяжести, изменения размеров при колебании тем- пературы. Векторные погрешности характеризуются численным значением и направлением. При расчетах направление векторных погрешностей считают неопределенным и заранее неизвестным. К ним относятся децентрировки линз, эксцентриситеты шкал, смещения из-за вибраций, турбулентность атмосферы. - Частичные влияния первичных погрешностей в зависимости от характера вызываемых их первичных погрешностей также под- 1 — комбинированной; 2 — мультиплика- тивной; 3 — аддитивной; 4 — периоди- ческой;^ — степенной разделяются на случайные и не- случайные. В зависимости от характера изменения частичного влияния (погрешности) в функций выход- ного информативного параметра прибора их подразделяют [51 на аддитивные, мультипликативные, степенные, периодические и ком- бинированные (рис. 1.3). Вид час- тичной погрешности зависит не только от изменения значения пер- вичной • погрешности ..(в функции у), но и от вида их связывающей передаточной функции. Аддитивные частичные [погреш- ности (например, погрешность от сбоя шкалы прибора) имеют постоянное значение, не зависящее от у (Ду = const). Мультипли- кативные погрешности (накопленные) изменяются пропорционально у (Ду = ky). Примером может служить погрешность измерения угла наклона зеркала автоколлиматором^ из-за погрешности фо- кусного расстояния объектива, расфокусировка на краю поля из-за разворота светоделительного зеркала вокруг оси, перпен- дикулярной к плоскости падения луча. Степенная погрешность имеет вид Ау = kym. Такой характер имеют обычно теоретические погрешности, аберрации оптической системы (например, кома и дисторсия из-за децентрировок линз). Периодические частичные погрешности изменяются в функции у по периодическому закону (например, Ду = a sin ky). Типичными примерами являются погреш- ность углоизмерительногб прибора, обусловленная эксцентриси- тетом-его лимба, и наклон изображения из-за погрешности установки плоского зеркала в сходящемся пучке лучей. Некоторые погрешности имеют комбинированный характер. Как правило,, это погрешности, обусловленные смешанными первичными погрешностями (напри- мер, погрешность измерения размеров окулярным винтовым микро- метром из-за погрешности шага винта). - Классификация первичных погрешностей по природе и воздей- ствию на качество прибора на случайные и неслучайные, знание их
- вида и свойств имеет важнейшее значение при расчете компенсато- ров, выборе того или иного метода компенсации, разработке методики их юстировки. 1.3. ПОВЫШЕНИЕ КАЧЕСТВА ОПТИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ ПРИ ПРОЕКТИРОВАНИИ В процессе проектирования на "стадии анализа технического решения производится проверка соответствия расчетных показа- телей качества ОП требованиям технического задания. Как правило, первоначальное решение; не является удовлетворительным и появ- ляется необходимость повышения показателей качества проектируе- мого объекта-за счет каких-то мероприятий, изменений в конструк- ции, ужесточения допусков, применения новых технологических процессов. Наиболее эффективно качество объекта может быть повышено именно в процессе проектирования. Существует несколько методов повышения качества ОП. Технологический метод основан на том, что для изготовления прибора йспользуют материалы с высокими показателями, напри- мер, стекло первой категории по Ane, A (nF—пс), по оптической . однородности и двойному лучепреломлению; применяются высокока- чественные элементы (приемники, источникй, шарикоподшипники и т. п.); назначаются жесткие допуски на размеры и положение дета- лей. Такой прием повышения качества ОП связан со значительным . удорожание^ производства й не может считаться наиболее эффектив- ным. Кроме того, развитие технологических возможностей отстает от предъявляемых требований к точности изготовления элементов и приборов и простое ужесточение допусков на их изготовление и сборку чаще всего не дает желаемого результата. Однако повыше- ние качества технологического _ оборудования и технологических процессов определяет перспективность данного метода. Вместе с тем, технологический метод повышения качества при- бора следует считать полезным и эффективным при более полном и’ правильном использовании уже имеющихся технологических возможностей производства. В качестве примера применения этого метода повышения качества прибора сравним новую модификацию - круглого поворотного стола СТ-320 с серийно выпускаемым столом СТ-24 (приспособление к универсальному измерительному микро- скопу УИМ-24). При разработке этого стола благодаря использова- нию новых материалов (ЦИАМ 1'0-5, фторлон), высококачественных, элементов (шаров подшипников с погрешностью диаметров не более 0,1—0,2 мкм), технологических возможностей оборудования уда- лось повысить точность новой модификации примерно в два раза. В углоизмерительном приборе с односторонним отсчетом одной ид основных погрешностей, влияющей на точность работы, является остаточный эксцентрицитет лимба после центрировки последнего относительно оси вращения по кольцевой риске или штриХам. Для уменьшения этой погрешности было предложено1 (рис... 1.4) наносить 1 Д, с. 623709 (СССР).
Рис. 1.4. Схема конструкции угло- измерительного стола 3 ,Гг деления на лимб 4, предварительно закрепив его на оправу 2, ис- пользуя внутренний диаметр оправы как базу. Диаметры Dt, D% (валика 5, вокруг которого вращается стол 3, соединенный с лим- бом) и D3 (шаров /) должны быть изготовлены с большой тбчностью (погрешности диаметров Dx и D3 составляют 0,2—0,3 мкм) во избе- жании эксцентриситета после сборки узла лимба с валом. Проектный метод повышения ка- чества ОП (наиболее перспективный) основан на рациональном перерас- пределении допусков и параметров, изменении конструкции отдельных деталей и узлов, схемы или принци- па. функционирования прибора или его функциональных устройств. Рациональное перераспределение допусков позволяет существенно по- высить технологичность прибора, а иногда и его1 показатели назна- чения. Например, в объективах до- пуски на центрировку отдельных линз часто назначают одинаковыми, однако децентрировка каждой линзы влияет на величину аберраций по- р азнрму, поэтому целесообр азно р ас- ширить допуск на линзы, которые влияют слабо, и сузить допуск на те, которые влияют очень сильно. , Примером этого может служить распределение допуска на центри- ровку поверхностей объектива «Агат- 14» с переменным фокусным расстоя- нием для кинокамеры «ЛОМО-215». В этом объективе, содержащем 18 поверхностей, фактически только де- центрировка поверхностей трех по- следних линз (особенно последней и предпоследней) существенно влияет на качество изрбражения (кому). Зна- чения коэффициентов влияния на изменение поперечных аберраций при децентрировке поверхностей на 0,01 мм для f' = 9 приведены в табл. 1.1. Для получения требуемого качества изображения были назна- чены жесткие и равные допуски на центрировку всех элементов. Однако это не позволило получить хорошего качества всех изготав- ливаемых объективов. Перераспределение допуска в сторону его существенного расширения (в соответствии с коэффициентами влия- ния децентрировок поверхностей) на все элементы, но с обеспечением возможности юстировки комы последних линз (см. п. 4.2), позволило 16 . • Рис. 1.5. Схема измерительного устройства дальномера
Номерг поверх- ности Коэффициент влияния 0,15-10"2 0,3-10"6 0,3-10'3 0,4- Ю'3 —0,44-Ю"2 —0,7* 10"3 0,6-10"6 —0,46-10"3 0,96-10“2 —0,12-Ю-2 0,15 мкм/рад 0,15 мкм/рад 0,Ь КН 0,001 мкм/рад —0,44 —0,39 0,16 0,57 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 получить требуемое качество изображения и повысило технологич- ность изделия. Повышение качества изделия рациональным перераспределением параметров рассмотрим на примере измерительного устройства оптического дальномера (линзовом компенсаторе) рис. 1.5. С по- мощью этого устройства производят измерение дистанции до цели посредством измерения параллактического угла у. Оно содержит афокальную телескопическую систему 4, 5, отклоняющую пучок лучей при перемещении положительного компонен- та с помощью двуплечего рычага 3 и винтового ме- ханизма 1, 2. Угол у связан следую- щей зависимостью с кон- структивными параметра- ми устройства й углом х поворота винта: у = r^kpxlif'rfin), где rlt г % — длины плеч рычага; k, р — число за- ходов и шаг резьбы винта соответственно; f — фо- кусное расстояние линзы 5. В типовых узлах у « « 10', ri = r2; k = 1; р = = 1 мм, фокусные расстоя- ния линз устройства коле- блются в пределах от не- . скольких метров до Юм. . Измерение параллак- тического угла должно производиться с погреш- ностью де "более 0,2—0,3". Основные погрешности функционирования устройства обусловлены погрешностью фокусного расстояния А/' линзы &уьр = —y&flf-\ погрешностью длин плеч рычага Ап, Дг2 Аудг,, дг2 = +//АП, 2/ri, 2’> погрешностью шага винта Ар куАр = r^plr^f', погрешностью форм опорных поверхностей рычагов Д/ii, ДЛ2 Аг/дл, = r2A^i/(nn> ^У\ь2 — = Mvjf и осевым .зазором Ac0 в винтовой паре &уьса = г2Асо/(п/')- Если точность функционирования устройства определялась бы только погрешностью А/', то предельный допуск на эту первичную' погрешность в относительных единицах был бы равен Af/f = Ар/р = = 0,05 %. Такой допуск технологически выдержать невозможно. Следовательно, необходимо компенсировать влияние этой погреш- ности. Так как эта погрешность, а также &уы-г и At/дг, носят мульти- пликативный характер, то регулированием одного из плеч рычага можно произвести взаимокомпенсацию их влияния. Регулировкой
компенсируется также влияние накопленной составляющей погреш- ности шага.винта (см. пи. 3.2.и 5?2). Местная погрешность шага винта при этом не компенсируется, что требует назначения, на нее жестких допусков и обязательной индивидуальной проверки микро- метрических винтов [40]. Из формулы для Дудр следует, что влияние погрешности шага винта зависит от соотношения ги/гх. Следовательно, если предусмо- треть эти параметры не равными друг другу, как в типовом узле, а принять гх = (2 -г- 3) г2, то влияние погрешности шага винта (а также погрешностей Д/гх, Дс0) будет ослаблено в два-три раза. Это позволит существенно повысить технологичность винтовой пары а) '//////////(У///////// Мг п 5) Mi 3|и' I Г) I 'l l =5; Л72 , Рис. 1.6. Схема компараторов: Э, П — эталонная и поверяемая шкалы;. и М2 — отсчетные микроскопы благодаря расширению допуска на погрешности ее изготовления и возможности переходу к выборочному контролю. Для обеспечения требуемых характеристик узла изменение соотношений длин плеч рычага приведет к изменению параметров винта (увеличению шага при том же значении х либо увеличению числа оборотов винта при неизменном значении р). Увеличение длины винта, как известно, приводит к некоторому возрастанию накопленной, составляющей погрешности его шага. Однако, во-первых, это возрастание незна- чительно, а во-вторых, накопленная составляющая компенсируется регулировкой размера одного из плеч рычага. Такое перераспреде- ление конструктивных параметров рычага и винта может вызвать увеличение габаритных размеров устройства. Рациональной компо- новкой конструкции это можно устранйть. • Примером решений,, позволяющих существенно снизить влияние . погрешности шага винта на точность и чувствительность перемеще- ния, выполняемого с помощью винто-рычажного привода,, могут служить механизм тонкой фокусировки микроскопа типа «Винкель», и наводящие устройства теодолитов [11 ], соотношения длин плеч рычагов в которых равны 1/3—1/5. Изменения в конструкции приборов могут существенйо повысить их качество. На рис. 1.6, а представлена схема компаратора, в кон- струкции которого соблюдается принцип Аббе,-поэтому при повороте стола на угол Дер он обладает погрешностью измерения Дух второго порядка малости - Д«/х = L 2 sin2 Д<р/2 « ЬД<р2/2,' -
а компаратор, кбйструкцйя которого не удовлетворяет йрййцйпу Аббе (рис. 1.6, б), имеет погрешность первого порядка • Дг/а = Н sin Дф « ЯДф. На рис. 1.7, а изображена схема измерительной автоколлима- ционной головки, качество изображения и точность работы которой много лучше благодаря изменению конструкции. В автоколлнма- Рис. 1.7. Схемы конструкций измерительной головки ционной головке прототипа (рис. 1.7, б) погрешность положения зеркала 3, стоящего между линзами телеобъектива, приводит к коме и другим аберрациям. Погрешность положения зеркала 3 (рис. 1.7, а), стоящего в параллельном пучке лучей телеобъектива 1, 2, практи- Рис. 1.8. Основания горизонтальных длиномеров*моделей ИКУ-2 (а) ,и ИЗГ-4 (б) чески никакого влияния на качество изображения не оказывает,' здесь также существенно снижена трудоемкость юстировки. Еще одним примером является сравнение конструкций оснований гори- зонтальных длиномеров ИКУ-2 и ИЗГ-4 (рис. 1.8, а, б). В длино- мере ИКУ-2 основание 1 является несущим элементом пинольной бабки 2, предметного стола 3 и измерительной бабки 4. Под дей- ствием веса ‘ измеряемого объекта возникает прогиб основания, приводящий к погрешности измерения до 1 мкм. В длиномере ИЗГ-4
основание 1, несущее измерительные бабки, разгружено от предмет- ного стола, и прогиб нижнего основания 2 прибора под действиём веса объекта мало сказывается на точности измерения (погрешность достигает 0,2 мкм при максимальной нагрузке). Изменением схемы устройства можно повысить качество прибора. На. рис. 1.9, а, б приведены схемы винтового и спирального оку- лярных микрометров. Спиральный микрометр обладает теми же техническими возможностями, что и винтовой, однако благодаря замене поступательного движения подвижной сетки 1, осуществляе- мого винтовым отсчетным механизмом 2, ’вращательным движением а) . . 5) Рис. 1.9. Схема винтового (а) и спирального (б) окуляр- ного микрометров сетки со спиральной и линейной шкалами, имеет меньшую погреш- ность измерения. Изменение схемы микрометра уменьшило длину отсчетной кинематической цепи, что привело к повышению его' точ- Рис. 1.10. Схемы отсчетного привода ности (коническая зубчатая передача 3, 4 является приводом и не оказывает влияния на точность прибора). На рис. .1.10, а, б представлены две схемы отсчетных приводов приборов, окончательного варианта и первоначального. Оба при- вода состоят из одинаковых червячных 1, 2 и зубчатых 3, 4 пар, но переставленных местами. Червячные пары имеют передаточные отношения i=l: 120,. зубчатые — i = 1 : 3. Максимальную, по-
грешность угла поворота призмы с помощью привода, изображенного на рис. 1.10, а, определим из выражения Af/max = Az/i 4~ А^/г/120 4“ Л^з/120 -J- Д/А/ЗбО, где &У1, кУъ, Ауз> ty* — кинематические погрешности червяч- ного колеса; червяка, зубчатого колеса 3 и зубчатого колеса 4 соот- ветственно. Максимальная погрешность другого привода (рис. 1.10, б) со- ставит Аутах = Аг/з 4~ А//4/3 4* &У\№ 4~ Ауг/360. •Если для упрощения вычислений примем, что Аух tv Ау3 « Ау3 « « Ау4, получим ' . Аутах/Аута’х 1/1 >6. - ])=В/Е. Таким образом, изменение схемы, привода прибора \ позволило повысить точность его работы примерно J \ в 1,6 раза. \ Значительного повышения качества прибора удает- ________\ ся достичь, путем изменения принципа функциони- $ в °г рования прибора. В качестве примера приведем-све- Рис щ. Па_ тодальномер, измеряющий дистанцию более быстро раллактичёский и точно, чем обычно применяемые монокулярные и треугольник стереоскопические оптииескиА дальномеры. Измерение дистанции оптическими дальномерами основано на решении параллактического треугольника 0х02Ц (рис. 1.11). Глав- ной причиной погрешности измерения дистанции является погреш- ность измерения параллактического угла Е. Погрешность измерения дистанции D из-за погрешности измере- ния параллактического угла Е для дальномера с базой В равна ДПДЕ = —BkEIE? = —D^kE/B. Погрешность измерения параллактического угла зависит не только от технологических и эксплуатационных погрешностей даль- номера, но и от погрешности, обусловленной ограниченной остротой зрения оператора. Эта погрешность, например, при. стереоскопиче- ском способе наблюдения составляет около 10" и вызывает так назы- ваемую теоретическую ошибку дальномера, равную ’ АЕТ = 107Г, где Г — увеличение дальномера. Погрешность измерения дистанции из-за теоретической ошибки дальномера достигает существенных значений. Например, при D = = 6000 м, В = 1 м и Г = 10хАПд£т = (6000)2 10"-5-10-®/(l х х 10х) « 180 м. Измерение дистанции светодальномером основано на измерении времени прохождения (/) излучения от дальномера до объекта наблюдения: .D = Ct/(2ri), где С — скорость распростране- ния света в вакууме; п — показатель преломления среды (воз- духа).
Главная Погрешность йзмереййя дистанций нознйкаеФ йз-за погрешности измерения времени (/) прохождения сигнала. Совре- менные способы позволяют измерять промежутки времени с точ- ностью около .10'® с*' Исходя из этого Д£>д( = СА(/(2п) = = 3-10М0-®/(2-1) = 15 см. Как видно из расчетов, погрешность измерения Дистанций свето- дальномером не зависит от дистанции и значительно меньше погреш- ности оптического дальномера. По другим показателям качества (например, производительности измерений) он также превосходит оптический дальномер, однако уступает ему в надежности. Рис. 1.12. Схема визуальной отсчетной системы микроскопа Повышение качества прибора не-обязательно связано с полным" изменением принципа действия, достаточно бывает лишь изменить принцип действия его основных преобразователей. Например, замена визуальных оптических систем отсчета координат перемещения стола и микроскопа в универсальном измерительном микроскопе УИМ-23 ’ на фотоэлектрические системы отсчета координат (микроскоп УИМ-29) позволила повысить производительность измерений в три- четыре раза, улучшить условия работы, существенно уменьшить количество деталей основного производства. На рис. 1.12 изображена схема отсчетной системы поперечной каретки микроскопа УИМ-23. Она содержит осветительную -систе- му / —10, эталонную шкалу 11, проекционную систему 12—19 с оптическим микрометром 15, 16 и восковой экран 20. Фотоэлектри- ческий датчик линейных перемещений Г—7 (рис. 1.13) содержит всего восемь оптических деталей: источник света 1, конденсор 3, клин 5, - дифракционные решётки 6, 7 и четыре проекционных линзы'4, строя- щие изображение на фотоприемниках 2 х. 1 А. с. 508672 (СССР).
Однако следует заметить, что такой путь повышения качества приборов зависит от появления новых изобретений, качественно новых, технологических процессов (н'апример, практическая реали- зация идеи, заложенной в основу -работы светодальномера, стала возможной только при появлении мощных источников излучения — лазеров и чувствительных приемников — ФЭУ\ Компенсационный метод повышения качества ОП широко исполь- зуется на практике..Он основан на применении специальных техно- логических, организационно-технических и конструкторских меро- приятий с целью компенсации влияния погрешностей, ухудшающих Рис. 1.13. Схема фотоэлектрического датчика линейных пере- мещений качество ОП. Этот метод тесно связан как с технологическим (в слу- чае применения технологических методов компенсации), так и с проектным (в случае конструкционных методов компенсации) мето- дами повышения качеств’а ОП. Ь4. МЕТОДЫ КОМПЕНСАЦИИ ПОГРЕШНОСТЕЙ В ОПТИЧЕСКИХ ПРИБОРАХ Технологический метод компенсации заключается в дополнитель- ной обработке деталей прибора, а также в регулировках и юстиров; ках в процессе сборки ОП с целью компенсации отклонений характе- ристик материалов деталей и погрешностей их изготовления и сборки. Дополнительная обработка деталей производится, как правило, в процессе их сборки в узды и называется пригонкой или доводкой. Доводочные операции могут осуществляться либо на металлорежу- щих станках (установленных на специальном участке сборочного цеха) либо шабрением, притиркой, развертыванием. Доводки бы-
вают раздельные, когда каждая деталь подгоняется к эталону (на- пример, с помощью притиров), либо совместные, когда подгоняются друг к другу сопрягаемые детали. Процесс доводки деталей является трудоемким и требует высокой квалификации сборщика. Регулировки и юстировки осуществляются на завершающем этапе сборки прибора или его узлов путем подвижек деталей, влияю- щих на качество ОП. Процесс регулировки и юстировки заключается в выявлении погрешностей, подлежащих компенсации (контроль), их устранении и фиксации результата. При использовании конструктивных компенсаторов, как пра- вило, не обойтись без их регулировок и юстировок (т. е. технологи- ческой компенсации). Это говорит о некоторой условности класси- фикации методов. В связи с этим под технологической компенсацией будем понимать главным образом только дополнительную обработку деталей. Данный метод применяется для получения высокой надеж- ности компенсации, а также в тех случаях, когда другие методы ис- пользовать невозможно. В остальных случаях экономически выгод- нее Применять конструктивный или -организационно-технический методы компенсации. Примером применения технологического метода может служить, доводка направляющих подвижных систем универсального и биоло- гического микроскопов, подрезка оправ линз в объективах для фоку- сировки, регулировки фокусного расстояния или компенсации сфе- рических аберраций, а также притирка и прикатка ходовых винтов, зубчатых колес приводов ОП. Организационно-технический метод компенсации заключается в селекции деталей, введении поправок, рандомизации погрешностей, пересчете оптической системы прибора на плавки стекол (пересчете для исправления аберраций по фактическим значениям показателя преломления и средней дисперсии партии стекла с дальнейшей комплектацией деталей по толщинам и воздушным промежуткам). Рассмотрим пример применения селекции объективов и окуляров бинокля для обеспечения параллельности между собой осей пучков лучей, выходящих из окуляров. Непараллельность осей возникает, в частности, из-за неравенства увеличений в трубках бинокля (рис. 1.14) и равна Да — ах — а2 — <в (Гх — Г2) — <вДГ. Допуск на непараллельность пучков лучей не превышает (в вертикальной плоскости) 1.5'. Отсюда определим допуск на относительную раз- ность увеличений в трубках ДГ/Г = Да/Г® = Да/®Ок — 15725° = = 1 %. Увеличение в трубках: Г1 = /W/oki; Г2 = /обг//ок2- Учитывая, что погрешность фокусного расстояния объектива в серийном производстве достигает 1 %, а окуляра 2—3 %, макси- мальное значение разности увеличений трубок-может достичь еле дующих значений: ’ АГ АГХ аГ2 А/;б1 г г‘+ г- АДж! । ^об2 | fок1 fo62 ^М-»(6-8)о/0. /ок2 Компенсацию этой погрешности производят селекцией объекти- вов и окуляров по фокусным расстояниям, комплектуя их таким
образом, чтобы разность увеличений в трубках Иё превышала 1 %. Для этого поля рассеяния фокусных расстояний объективов и оку- ляров относительно их номинальных значений . (/об. ном, /ок. ном) разделяют на несколько диапазонов (групп), а затем, измеряя факти- ческие значения их фокусных расстояний, осуществляют комплек- товку по группам (рис. 1.15). Число комплектовочных групп будет зависеть от величины поля рассеивания, определяемой максималь- ными (/об max, /ок max) И МИНИМЭЛЬНЫМИ J(/o6 mln, /ок min) ЗИЭЧе- ниями погрешностей фокусных расстояний. Примером селективной сборки может служить также комплекта- ция револьверных головок микрообъективами в биологических \ - * Рис. 1.14. Функциональная Рис. 1.15. Схема разбиения полей рассеяния фо- схема бинокля кусных расстояний объектива и окуляра на группы микроскопах. Погрешности изготовления и сборки револьверных головок и микрообъективов могут привести к тому, что при пере- ключении объективов изображение^иредмета уйдет из поля зрения. Компенсация неблагоприятного сочетания погрешностей осущест- вляется подбором к револьверу такого комплекта микрообъективов, чтобы при любом сочетании гнезд револьвера и объективовуизобра- жение предмета не смещалось более чем на допуск (в том случае, когда не удается подобрать объективы, применяют технологическую компенсацию погрешностей' револьвера). Планируя компенсацию - погрешностей селекцией деталей, сле- дует отдать предпочтение организованной селекции по сравнению с неорганизованной. При неорганизованной селекции (метод под- бора) оптик или сборщик-механик выбирает из партии деталей, поступающих на сборку, такие, которые дают нужное сочетание параметров (нужные посадку, толщину, длину). Характерным приме- ром неорганизованной селекции является, комплектация линз по толщине перед склейкой для взаймокомпенсации погрешностей их толщин. При организованной селекции детали с помощью специальных калибров сортируют по группам размеров до поступления на сборку. Организованная Селекция считается более перспективной и тех- нологичной, чем неорганизованная (особенно при крупносерийном
й массовом производстве), которая является более трудоемкой и результат ее зависит от квалификации сборщика. Несмотря на некоторые недостатки метода селекции (возможность незавершенного производства,' дополнительнее затраты на сорти- ровку, нарушение принципа полной взаимозаменяемости) он позво- ляет компенсировать неблагоприятные сочетания погрешностей изго- товления деталей и расширит^ допуски на точность изготовления их размеров. Организационно-технический метод может быть применен, на- пример, для компенсации влияния погрешности изготовления лимба углоизмерительного прибора типа теодолита (рис. 1.16, а). Погреш- Рие. 1.16. Схема теодолита (а) и график погрешности измерения угла теодолитом (б) ность изготовления лимба (Дф), случайная по своей природе и нося- щая нерегулярный характер, в конкретном углоизмерительном приборе будет вызывать систематическую погрешность при измере- нии некоторого угла ф ('рис. 1.16, б). Для компенсации этой погреш- ности в результат измерения можно ввести поправку, учитывающую погрешность лимба на данном диапазоне, либо произвести измерения угла на различных участках лимба (фх, ф2, ..., фп), которым соответ- ствуют погрешности Дфх, Дф2, ..., Дф„. Это позволит перевести систематическую погрешность лимба в случайную (рандомизация погрешностей) и обеспечйт повышение точности результата измере- ния,. равное примерно значению корня квадратного из числа изме- рений. Увеличение числа повторных измерений одной и той же величины позволяет, как известно, уменьшить случайную погрешность резуль- тата измерений. Это используют для компенсации погрешностей наведения, считывания, погрешностей, обусловленных нестабиль- ностью трения, рефракциями воздушных слоев и вибрациями. На- пример, при наведении биштриха оптического микрометра на изо- бражения штриха проектируемой шкалы оператор вследствие огра- ниченности остроты зрения выполняет эту наводку с погрешностью. Известно, что средняя квадратическая погрешность совмещения (оу) штрйха с биштрихом составляет примерно 6—8" (в линейной мере 8—10 мкм). Следовательно, предельная вероятная погрешность 26
положения изображения штриха шкалы относительно биштриха при одиночном наведении может достигать- значений 8у' = Зау = = 18 Ч- 24" (в линейной мере* 24—30 мкм). Для микроскопа УИМ-23, упрощенная схема которого приведена на рис. 1.17, это -приводит к предельной погрешности положения стола 1: 8уц = = 8у'/$ ж 30/63 » 0,5 мкм, где Р — увеличение проекционной си- стемы. При многократных- повторных .совмещениях погрешность поло- жения стола может быть уменьшена до значения корня квадратного из числа повторных совмещений 8уа = 8у'/(^^п), где п —г число повторных измерений. Для компенсации влияния некоторых погрешностей применяют также чисто организационные методы. Например, для компенсации Рис. 1.17. Схема отсчетной системы • ВидА 7О5~ 1111 IIII ll IIII погрешности от мертвого хода рекомендуется производить отсчетные перемещения подвижных систем прибора всегда с одной стороны. Подобным же образом можно уменьшить влияние “рефракций воз- душных слоев, оказывающих существенное влияние на погрешность функционирования углоизмерительных и других приборов (теле- скопы, теодолиты, нивелиры, автоколлиматоры и т. п.). Из-за реф- ракции происходят искривления визирных осей приборов, приводя- щие к погрешностям измерения и наведения. Уменьшить влияние рефракции можно, если изолировать воздуш- ный тракт от объекта до прибора, устранить источник теплового излучения на пути оптического пучка лучей, расположить прибор выше над землей й работать в определенное время суток, когда рефракция незначительна. К организационно-техническим методам компенсации следует, видимо, отнести и такие мероприятия как создание в помещениях, в которых эксплуатируются прецизионные приборы и оборудова- ние, постоянной температуры, давления, влажности, а также отсут- ствие сквозняков, вибраций, пыли и т, п. Конструктивные методы компенсации осуществляются с по- мощью ступенчатых компенсаторов, регулировочных устройств, силового замыкания, применения малорасстраивающихся систем, устройств стабилизации и корректировки. Ступенчатые компенсаторы — это детали, изменением размеров которых добиваются компенсации технологических и других погреш- ностей приборов. Изменение размеров компенсатора (скачкообраз- ное, неплавкое) происходит при их замене либо при дополнительной
технологической обработке. На рис. 1.18, а представлен компенса- тор (кольцо) К, заменой либо подрезкой которого добиваются фоку- сировки объектива. На рис. 1.18, б компенсационная прокладка К. позволяет регулировать зазор в оси вращения, а на рис. 1.18, в — боковой задор в зацеплении. При проектировании этих компенсаторов следует определить их размер и чувствительность, с которой надо изменять этот размер Рис. 1.18. Примеры использования простейших конст- руктивных компенсаторов (подбором или подрезкой). Размер определяют расчетом погрешности размерной цепи (для кольца К (рис. 1.18, а) — погрешностями /2 и Sf объектива). Чувствительность определяется из допустимых показателей качества узла или прибора. Чувствительность изменения Рис. 1.19. Регулировочные устройства толщины кольца опреде- ляется либо чувствитель- ностью глаза к продольным наводкам Az « 0,2/ст'л ли- бо допустимым параллак- сом (v): Az = /окГу//тах, где f'oK — фокусное рас- стояние окуляра; t — сме- щение глаза; Г — увели- чение трубы; Чувствительность А/к изменения размера про- « кладки К (рис. 1.18, а) определяется исходя из допустимого зна- чения мертвого хода (Av): А/к = mzAv/(4 tg а), где z — число зубьев колеса; т — модуль зацепления; а'—угол зацепления. Регулировочные устройства в отличие от ступенчатых компен- саторов позволяют плавно изменять размеры и положений деталей - и узлов, подвижкой которых обеспечивается требуемое качество. На рис. 1.18, г изображено устройство для плавного регули- рования зазора в опоре, Устройство для фокусировки объектива
и регулировки его фокусного расстояния изображено на рис. 1.19, а, на рис. 1.19, б — для регулирования горизонтальной оси вращения теодолита. . К регулировочным устройствам относятся простые конструктив- ные решения (без введения дополнительных деталей), например, соединение оправы объектива с корпусом по резьбе для обеспечения плавной фокусировки’(рис. 1.20, а), а также сложные, состоящие из нескольких деталей. На рис. 1.20, б изображена схема компенса- ции накопленной погрешности ша- га винта и фокусного расстояния 5) ' линзы в дальномере, что достк Рис. 1.20. Юстировочные компенсаторы тельно направляющих каретки подвижной линзы на некоторый угол у. При этом создается коррекция д^==-7%’х+7Н-хсо8т = ^7^Г(1 -cosy)^. где к, р — число заходов и шаг резьбы винтового механизма; f' — фокусное расстояние подвижной линзы. На рис. 1.20, в представлен компенсатор погрешности изготов- ления длины рычага привода столика монохроматора. Разрезная регулировочная гайка позволяет уменьшить погрешность от зазора в паре винт—гайка (рис. 1.20, а). На рис. 1.21 изображен в разрезе объектив бинокля в эксцентри- ковой оправе, разворотом которой компенсируются погрешности, приводящие к непараллельности осей пучков лучей, выходящих из окуляров трубок,
Силовое замыкание позволяет компенсировать погрешности изго- товления и сборки, а также некоторые эксплуатационные факторы (например, зубчатое зацепление с устранением влияния бокового зазора (рис. 1.22,'а) с помощью пружин, уста- новленных на разрезном колесе). Пружинный подпятник (рис. 1.22, б) ав- тематически выбирает зазоры, предохраняет оси от поломки в условиях тряски и вибраций, компенсирует температурные колебания разме- ~ ров. Пружинное кольцо компенсирует возмож- ное пережатие объектива при сборке и s) a) 4 iNNSSKSKSKKKK i Г Ж We; Рис. J.21. Объектив в двойной эксцентрико- вой оправе • Рис. 1.22. Компенсаторы погрешностей на основе силового замыкания колебания температуры в 'процессе эксплуатации прибора (рис; 1.22, в). Одним из эффективных методов компенсации погрешностей, ухудшающих качество ОП, является применение малорасстраиваю- щихся систем. Рис. 1.23. Схемы.биаксцальных коллиматоров На рис. 1.23 приведены схемы биаксиальных коллиматоров опти- ческих дальномеров. Смещение одной.из линз относительно другой ' (рис. 1.23, а) при сборке или эксплуатации приборов не приводит к непараллельности визирных осей коллиматора (углы ®i и <о2 равны). Во втором случае не возникает расстройки биаксиального коллиматора (рис. 1.23, б) при смещении линз, наклоне зеркала, а также не требуется точного равенства фокусных отрезков линз. К малорасстраивающимся системам следует отнести также и опти- ческую линейку ИС-36, приведенную на рис. 1.24. Действие ли- 30
нейки основано Нй свойстве афокальной телескопической системы создавать масштаб изображения постоянным и равным единице неза- висимо от положения сопрягаемых поверхностей (задний фокус одного из объективов совпадает с передним фокусом другого объектива О2), а также быть малочувствительной к* погрешности фокусных расстояний компонентов й несовпадению фокусов. Еще одним примером может служить фокусный уровень авиационного сек- станта ИАС-1, позволяющего получить устойчивую вертикаль при наклонах •Wl» Рис. 1.24. Схема узла оптической линейки Рис. 1.25. Схема' [фокусного уровня авиасекстанта инструмента (рис. 1.25). «Нерасстраиваемость» вертикали получается здесь благодаря тому, что радиус R кривизны уровня равен фокус- ному расстоянию f объектива. Широкое распространение получили также устройства стабили- зации и, автоматической^ коррекции. Примером могут служить ком- Рис. 1.26. Схема нивелира с само- Рис. 1.27. Схема нивелира с устанавливающейся линией визи- компенсатором а рования пенсаторы наклонов нивелиров в нивелирах с самоустанавливаю- щейся линией визирования. На рис. 1.26 изображена схема такого нивелира фирмы «Эртель» (Ertel). При наклонах нивелира на угол в отклоняется компенса- ционная призма К (на угол в"), установленная на плоском пружинном шарнире, в результате чего в пространстве предметов линия визи- рования рстается горизонтальной. На рис. 1.27 изображена схема нивелира «Кони 007» (Roni 007) фирмы «Карл Цейс» (Carl Zeiss). При наклоне данного нивелира на угол е компенсационная-приз- ма 1, свободно подвешенная на пластинке, стабилизирует в гори-
п Рис. 1.28. Температурные компенсаторы пературы. Выражение Д#д$ == —Д#к зонте Л'ийию Визирования. Выражение 5 = 9,5/об будет-" условием стабилизаций. В точном приборостроении широко используют также системы автоматической коррекции погрешностей, возникающих из-за коле- бания температуры, технологических погрешностей и т. д. Напри- мер, температурная компенсация изменения показателя преломления диспергирующей призмы осуществляется с помощью двух стержней (рис. 1.28, а) с различными показателями линейного расширения ах и а2 (автоколлимационная схема) разворачивающими зеркало, либо с помощью биметалли- ческого рычага (рис. 1.28, б),' разворачивающего стол с призмой при колебании тем- является условием компен- сации. На рис. 1.29 изображена схема коррекционного устройства для устранения влияния эксцентриснтета червячного колеса. Здесь Рис. 1.29. Коррекционное устройство червячной передачи [46]: / — червяк; 2 — шкала; 3 — индекс; 4 — рычаг; 5 — толкатель; ’ £—> коррекционная шайба; 7 —» червячное колесо наклонная шайба 6 через рычажную передачу производит дополни- тельный разворот индекса 3. В результате червяк поворачивается на дополнительный угол (Дхк), осуществляя коррекционный пово- рот (Дг/к) колеса: Дг/К= —Дг/Де = к tg Дук a sin yl(zr), где к — чис- 32
до заходов чёрвяка‘,'2 — число зубьев колеса; а — расстояние.от оси поворота колеса до толкателя; г — радиус рычага индекса; у — угол поворота колеса; Дук — коррекционный jjaopH шайбы. ’ В некоторых случаях коррекционные устройства представляют собой довольно сложные системы. • На рис. ИЗО, а представлена принципиальная схема выверителЯ фокусировки телескопах. Здесь фотоприемник 2 выставляется в первичном фокусе главного «зеркала телескопа 9 подвижкой^ стакана 1 с помощью вывери- телЯ фокусировки, содержащем источник света 3, призму — пи- рамиду 4 с двумя отражающими и одной преломляющей гранью; составной светофильтр 5, поло- • винки которого имеют разный цвет; конденсор — марку 6, . штриховая марка которого рас- положена перпендикулярно к измеряемому направлению; пен- таотражатели 7, ,14; контроль- ную зрительную трубу 11; юстировочный двуклиновый компенсатор 8, предназначен- ный для совмещения изобра- жений штрихов марки 6 при ' юстировке выверцтеля. ’ В том случае, когда происходит рас- фокусировка телескопа (фото- приемник и марка не находятся в фокальной плоскости зерна-* ла) лучи света, отраженные от зеркала в точках А и Б будут не параллельны друг другу и . изображения штрихов марки в поле зрения ' контрольной трубы (рис. 1.30, б) разойдутся. Знак расфокусировки определяется по ’взаимному расположению цветных изображений частей штриха. > При использовании в телескопе различных фотоприемников воз- никает рассогласование положений светочувствительного слоя прием- ника и плоскости марки .6, что приводит к сбою нуля выверителя фокусировки. Для устранения этого недостатка служит устройство компенсации фокальной разности . фотоприемников, содержащее двухклиновый компенсатор 13, привод' 12 и шкальное отсчетное устройство 10, шкала которого, градуирована с учетом фокальной раз- ности. Нулевой отсчет соответствует совпадению марки выверителя с фокальной плоскостью главного зеркала. 1 А; с. 263927 (СССР). 2 Латыев С. М.
Как видно из приведенного примера, в коррекционное устрой- ство могут быть включены компенсаторы для обеспечения его юсти- ровки, настройки и выверкй. В данном выверителе, кроме упомяну- тых компенсаторов 8 и 13, предусмотрены также юстировочные подвижки пентаотражателей, разворот пирамиды вокруг оси Ох—03, смещения источника света. В последнее время для автоматизации работ ОП все более широ- кое применение находят ЭВМ, которые могут быть использованы также для- коррекции влияния погрешностей приборов. В качестве примера использования ЭВМ для коррекции можно привести компен- сацию методических погрешностей функционирования космических Рис. 1.31. Схема адаптивной системы: 1 — светоделительное зеркало; 2 — активное гибкое зеркало; 3 — управляемый блок высо-’ ковольТного напряжения; . 4 — компьютер; 5 — усилитель; 6 — фотоприемник; 7 — объ- ектив секстантов с помощью бортовых ЭВМ космических кораблей х. В разработанном окулярном микрометре с фотоэлек- трической отсчетной системой координат случайная погреш- ность наведения на объект, вы- полняемая оператором', умень- шается повторными совмеще- ниями, причем результат измерений обрабать1вается на микро-ЭВМ, встроенной в ре- гистрационный блок. Благодаря применению ЭВМ стало возможным компенсиро- вать влияние некоторых слу- чайных погрешностей, которые считались ранее некомпенси- руемыми. Это привело, в част- ности, к развитию отдельного направления в оптике: к созданию так называемой адаптивной оптики, содержащей активный элемент (управляемый ЭВМ) для ^компенсации влияния турбулентности и рефракций воздушных слоев на качество изображения, создаваемого оптической системой? и других эксплуатационных и технологиче- ских погрешностей системы [1 ГгОдйа из таких систем, используемая для коррекции влияния турбулентности воздушной атмосферы, изображена на рис'. 1.31 [59]. Коррекция искаженного турбулент- ностью атмосферы волнового фронта происходит здесь благодаря управляемому «гибкому» зеркалу, состоящему из п триппель призм, установленных на пьезоэлектрических колонках. При подаче элек- трического напряжения, Ur—Un на пьезоколонки последние изме- няют свой размер, перемещают триппель призмы, компенсируя тем самым искажения волнового фронта. Управление необходимым перемещением призм осуществляется компьютером с логическим устройством и анализатором сигнала с фотоприемника. 1 Основы проектирования космических секстантов?А. Г. Николаев, И. А. За- белина, Н. Ф. Романтеев и др. М.: Машиностроение, 1978. 216 с. 34 •
Все перечисленные компенсаторы погрешностей могут быть клас- сифицированы еще и по их типам. , В зависимости от вида компенсируемых погрешностей и месту регулировки (изменению параметров) компенсаторы можно подраз- делить на регулировочно-юстировочные, функциональные, настроеч- но-выверочные. Регулировочно-юстировочные компенсаторы предназначена для компенсации погрешностей отдельных деталей и размерных цепей, их параметры изменяются при выполнении регулировок и юсти- ровок прибора. (Например, кольца для фокусировки объективов, прокладки для регулировки зазоров в -кинематических парах, до- водка направляющих, регулировочные устройства. для центри- ровки объективов и зеркально-призменных систем). функциональные компенсаторы предназначены для компенсации переменных погрешностей функциональных преобразователей при- бора, их параметры изменяются при эксплуатации прибора. При- мером такого типа компенсаторов могут служить коррекционные устройства, температурные компенсаторы, устройства стабилизации линии визирования, адаптивные компенсаторы. Настроечно-выверочные компенсаторы предназначены для ком- пенсации7 погрешностей ориентации прибора, износа, расстройки. Параметры этих компенсаторов изменяются в процессе настройки и выверки прибора. К компенсаторам данного типа относятся уст- ройства для выверки оптических дальномеров по высоте.и дальности, устройства выверки теодолита в полевых условиях для устранения наклона вертикальной и горизонтальной осей вращения и коллима- ционной ошибки, регулировочные устройства, предназначенные для компенсации износа направляющих и для компенсации изме- нения моментов и сил на рукоятках управления. 1.5. ТЕХНИКО-ЭКОНОМИЧЕСКИЕ ОБОСНОВАНИЯ ВЫБОРА МЕТОДА КОМПЕНСАЦИИ При компенсации погрешностей возникает вопрос выбора метода компенсации. От правильности его решения зависит эффективность данного способа обеспечения показателей качества ОП. Рассматри- вая компенсаторы как подсистему прибора, следует их свойства также оценивать некоторыми показателями качества, характери-i зующими их точность, экономичность (технологичность), надеж- ность, пределы работы. Кроме того, при выборе того или иного метода койпенсации следует руководствовать,ся возможностью его применения/которая обусловлена, с одной стороны, видом и харак- тером компенсируемой погрешности, а с другой, — условиями про- изводства. Например, невозможно компенсировать погрешности теоретические, эксплуатационные (рефракцию воздуха, деформации) технологическим методом, но можно компенсировать их конструк- тивным и организационно-техническим методами. Если выбирается конструктивный компенсатор (например, для компенсации периоди- ческой погрешности), то невозможно применение ступенчатого 2* 85
компенсатора, следует применить коррекционное устройство, созда- ющее периодическую погрешность (коррекцию) обратного знака. Точность компенсатора определяется остаточной компенсируемой погрешностью либо остаточным значением компенсируемого пока- зателя качества. Например, остаточная погрешность фокусного расстояния телеобъектива (компенсируемая подвижкой одного ком- понента относительно другого) определяется в основном погреш- ностью измерения его фокусного расстояния. Остаточная непарал- лельность выходных осей пучков лучей бинокля, обусловленная разностью увеличения трубок, определяется полями рассеяния значений фокусных расстояний объективов и окуляров в пределах. своих групп при селекции (см. рис. 1.15). Остаточное значение боко- вого зазора пары рейка—зубчатое колесо, компенсируемого ступен- чатым компенсатором (см. рис. 1.18, в) будет определяться не только возможностям^ изменения толщины прокладки, но главным обра- зом эксцентриситетом колеса (фактором, который не позволяет при такой компенсации полностью избавиться от бокового зазора). Если же применить для компенсации разрезное колеса (см. рис. 1.22, а) или силовое замыкание, то боковой зазор будет компенсирован полностью. < Экономичность (технологичность) компенсатора определяется за- тратами на выполнение той или иной компенсации. Иногда‘эконо- мичность одного метода по - отношению к другим можно определить достаточно просто (на качественном уровне). Например при крупно- серийном производстве приборов конструктивный метод компенсации предпочтителен перед технологическим. Организованная селекция деталей перед сборкой экономичней. неорганизованной селекции, когда ее делает квалифицированный рабочий. Среди конструктор- ских методов компенсации следует отдавать предпочтение тем, которые требуют меньшего количества юстировок. Например ком- пенсация зазоров в направляющих с помощью силового замыкания, как правило, технологичней компенсации их регулировкой. В дру- гих случаях экономичность того или иного метода компенсации^ определить не просто, так как она зависит от большого количества" факторов: серийности прибора, технологической оснащенности про- изводства, квалификации рабочих, стоимости и дефицитности мате- риалов, конъюнктуры рынка и т. п. .. Под надежностью компенсатора понимают его свойство сохранять работоспособность (т. е. заданные функции с параметрами, удовле- творяющими предъявленным требованиям) в течение требуемого промежутка времени, или требуемой наработки прибора. Надежность компенсатора обусловливается его безотказностью (свойство сохранять работоспособность в течение некоторой нара- ботки без вынужденных перерывов), ремонтопригодностью (свой- ство к предупреждению, обнаружению' и устранению отказов путем проведенйя технического обслуживания и ремонтов), сохраняе- мостью (свойство сохранять параметры неизменными при опреде- ленных условиях и сроках хранения и транспортировки прибора), долговечностью (способность к.длительной эксплуатации при необ’ 36-
ходимом техническом обслуживании). Оценка надежности того или, иного метода компенсации часто является сложной задачей, так как * , п0 одним показателям надежности следует отдать предпочтение одному компенсатору, а по другим показателям — другому. Однако и здесь некоторым компенсаторам можно отдать предпочтение без вычислений их показателей надежности, на основании накопленного практического опыта. Известно, например, что компенсация погреш- ностей неподвижных систем прибора (погрешностей положения зеркал, призм,-объективов нт. д.) дополнительной обработкой, дета- лей (припиловкой, шабре- нием, доводкой) и использо- ванием ступенчатых компен- саторов более надежна, чем регулировочными устрой- ствами. И наоборот, ддя не- которых подвижных систем при наличии износа следует отдать предпочтение регули- ровочным устройствам (кото- • рые могут быть подналажены в процессе эксплуатации) я по сравнению с технологи- ческими методами компен- сации. Пределы работы компен- сатора характеризуются ве- личиной создаваемой'им кор- рекции для компенсации максимально возможного рис значения погрешности (по- X Kt 1 К 2 Лк 3 У/2 к, К 1.32. Кинематическая схема щелевой диафрагмы типа ГОИ грешностей) либо ее (их) час- тичного влияния. Не всегда пределов работы компенсатора бывает достаточно для полной компенсации погрешностей. Например, если компенсировать непараллельность визирных осей бинокля только смещением объектива йли окуляра перпендикулярно оптической оси . трубки, то для полной компенсации максимально возможной непа- раллельности объектив или окуляр придется смещать на такое рас- стояние, что существенно ухудшится качество изображения [32]. Другим примером служит попытка компенсировать только доводкой кроме погрешностей формы направляющих поступательного (или вращательного) движения также погрешность их размеров или расположения, которая может достигать значений до десятых долей миллиметра. Подобные погрешности компенсировать доводкой неце- лесообразно. ‘ ' Рассмотрим, как перечисленные выше критерии позволяют вы- брать метод компенсации погрешностей в спектральной щелевой Диафрагме типа ГОИ,- изготавливаемой небольшими сериями. Кине- матическая схема диафрагмы приведена на рис. 1.32. При вращении (х) барабанчика перемещается винт /, воздействующий на ползун 2,
Рис. 1.33. Компенсация за- зора в-паре винт-гайка на котором закреплен плоский кулачок (клин) 3, замыкающийся на ,винт с помощью пружины 5. В результате перемещаются толка- тели 4, непосредственно связанные с ножами диафрагмы. Анализ схемы (см. п. 2.3) показывает, что для обеспечения заданных требова- ний к точности раскрытия диафрагмы, ее положению и форме (отсут- ствие клиновидности) требуется компенсация зазора в паре винт — гайка, /С2 — зазора в направляющих поЛзуна, К3 — погреш- ности угла клина, /С4 — погрешности формы поверхности клина, Къ — зазора в направляющих ножей, /С6 — непараллельное™ кро- мок ножей. Компенсация зазора в паре винт — райка возможна всеми тремя методами: технологическим (притиркой винта и гайки); организа- ционно-техническим (введением поправок, селекцией винтов и гаек, односторонним отсчетным движением винта); конструк- тивным (регулировочным устройством, силовым замыканием). Все методы, за ис- ключением селекции, обеспечивают требуе- мую точность: остаточный осевой зазор 2— 3 мкм. Селекция винтов и гаек вследствие больших полей рассеяния погрешностей их изготовления, а также из-за малых серий выпускаемых диафрагм может практически не дать требуемой точности компенсаций. Заметим также, что такой метод для данно- го случая был бы еще и неэкономичен из-за большой незавершенности производства. По экономичности технологическая и организационно-техниче- ская компенсация уступают конструктивной: первая — из-за боль- шой трудоемкости подгонки винта и гайки, а введение поправок и одностороннее отсчетное движение — из-за неудобства при экс- плуатации (потеря времени, ухудшение комфорта).- Наиболее просто зазор в паре винт — гайка можно было бы компенсировать силовым замыканием, выполнив пружину 5 такой, чтобы она не только замыкала ползун на винт, но и выбирала бы зазор. Такая компенсация, однако, была бы недостаточно надежна, так как непосредственно на винт воздействуют радиальные и осе- вые силы, создаваемые рукой оператора (различные по значению и знаку). Для компенсации этих сил пришлось бы создавать очень сильную пружину, что привело бы к увеличениям износа пары винт — гайка й погрешностей из-За деформаций и сил трения, т. е. к потере точ- ности и надежности устройства. Таким образом, наиболее эффективна компенсация' с помощью регулировочного устройства. В типбвой конструкции щелевой диаф- рагмы зазор компенсируют с помощью разрезной гайки (рис. 1.33). Разрезную гайку 1 выполняют в виде цанги? конусные части ко- торой обжимают ходовой винт 2' при завинчивании регулировоч- ного кольца 3 в корпус 4, ' 38
Компенсация зазора в направляющих ползуна возможна под- гонкой ползуна и направляющих, селекцией деталей, конструктив- «ной регулировкой зазора и силовым замыканием. Отказавшись от технологической компенсации по экономическим соображениям, а от селекции еще и из-за недостаточной точности, остановимся на конструктивных методах компенсации. Так как ползун находится по сравнению с винтом в более определенном и стационарном сило- вом режиме, то применение силового замыкания для компенсации зазора достаточно надежно. В данном случае определение наиболее А-А Рис.'1.34. Компенсация зазора в на- Рис. 1.35. Компенсация по- правляющих типа ласточкин хвост . грешности углов клиньев, устанЬвленных на ползуне щелевой диафрагмы выгодного варианта регулировочного устройства, или варианта силового замыкания основывается на количественной оценке (т. е. показателях) экономичности? В типовой конструкции применяют комбинированное решение — силовое замыкание с элементами регу- лировочного устройства (рис. 1.34). Для компенсации зазора между направляющими 2 и ползуном 1 последний изготавливают с двумя сквозными прорезями на концах. Механик при сборке этого узла слегка отгибает концы ползуна, которые работают в соединении с не- которым подпружиниванием. Погрешность угла клина может быть компенсирована доводкой, введением поправок в отсчет, регулировочным и коррекционным уст- ройствами. Погрешность угла клина приводит к погрешности раскрытия щели и к смещению ее центра из-за неравенства углов клиньев. Это обстоятельство требует введения не только постоянной поправки в отсчет на раскрытие щели (осуществить это было бы, видимо, несложно), но и поправки, учитывающей смещение, что не позволяет считать этот метод компенсации экономичным.
Применение коррёкцибйного устройства такжё неэффективно из-за. сложности таких устройств. Сравнение технологического метода с регулировочным устройством' показывает* что последнее в условиях серийного производства более экономично, хотя в общем случае менее надежно; в лабораторных условиях работы диафрагмы надежность регулировочного устройства достаточно высока. В типовой конструкции погрешность изготовления углов клиньев компенсируют разворотом клиньев 1 относительно ползуна 2 (рис. 1.35). Для повышения надежности клинья,после регулировки можно заштифтовать. Погрешность формы поверх- ности клина из-за переменного нерегулярного характера этой ошибки практически можно Рис. 1.37. Компенсация' непарал- лельное™ кромок ножейГ Рис. 1.36. Компенсация зазора между ножом 1 и направляющими 2, 3, пру- жиной 4 компенсировать только технологическим методом: в типовой кон- струкции ее компенсируют доводкой (полировкой) поверхности клина. - ’ Компенсацию зазора направляющих ножей аналогично компен- сации -зазора в направляющих ползуна осуществляют наиболее эффективно силовым замыканием или регулировочным устройством. Так как ножи перемещаются в открытых Т-образных направляющих, то в типовой конструкции зазор компенсируют силовым замыканием ножей на направляющие пружиной (рис. 1.36). Непараллельность кромок ножей, возникающую из-за погреш- ности прямого угла а ножей (рис. 1.37), компенсируют технологи- ческой доводкой, селекцией деталей, ступенчатым компенсатором и регулировочным устройством. . Технологическая компенсация и селекция'деталей (ножей) эко- номически невыгодны. Последняя, кроме-того, не может обеспечить
Таблица 1.2 * Показатели качества компенсаторов Метод компенсации о 5 2« 1 л £ 5 О о g л О В* у д д о i * О) сЗ 9^2 Э3 ° аллов : весо- ффи- я и н д ГП Е Д X д К чк> Ю 2 Д <я ° д О 11 2 я л S Becoeqft коэффициент В В* О И « к 0,4 0,3 0,2. 0,1 О o'S 5 Техноло- Притирка 10 5 4 '6 10 14,5 гический .Ретуширование 0 —— — — — Поправки 10 3 3 2 10 12,6 Организа-х f Селекция И , 10 0—1 1 6, 0 11,5— 11,9 ционно- Рандомизация. ' 0 — — — — — Гехниче- ский Одностороннее движение 10 4 . 6 3 10 14,4 - Регулировочное устройство^ 10 8 10 17,3 16,5 Конструк- Силовое' замыкание 10 6 1 1 10 1 10 тивный Коррекционное устройство • 0 к 1 • ' ' требуемой точности (остаточная клиновидность допускается не более 1 мкм). Экономически "невыгодным, оказывается применение ступен- чатого компенсатора». тдк как для обеспечения требуемой точности потребовалось бы очень тщательное изменение его размера. В типовой модели параллельность рабочих кромок ножей ргулируют разворо- том одной из направляющих 1 относительно другой 2 (рис. 1.37). Рассмотренный пример показал, что при выборе того или иного метода компенсации возможны случаи, когда по одним показателям предпочтение следует отдать одному виду компенсаторов, а по дру- гим — другому. Для поиска оптимального решения в подобных слу- чаях и особенно^ когда показатели надежности, точности и экономич- ности компенсатора не рассчитаны, а оцениваются-на,основании опыта и здравого смысла, рекомендуют применять матрицу оптими- зации решений [45]. ’ Матрицу решений составляют на основании весовых коэффициен- тов показателей качества и баллов, которыми оценивают показатели того или иного компенсатора. Весовой коэффициент, принимающий значение ют 0 до 1, про- ставляют в зависимости от относительной важности критерия и его влияния на качество ОП, исходя из технических условий и техни- ' Н •
ческого задания на прибор. Сумма всех весовых коэффициентов равна 1. Баллами от 0 до 10 оценивают показатели качества компенсатора на оснований их расчета; либр исходя из накопленных практических данных, опыта или интуиции разработчика. Минимальный балл — 0 означает невозможность применения, либо невозможность обеспечения требуемого показателя. Вариант, набравший наиболь- шую сумму баллов, считают наиболее эффективным. Табл. 1.2 представляет матрицу решений для выбора компен- сатора зазора в паре винт — гайка .(первого компенсатора рассмот- ренного примера). < , Возможность применения компенсатора целесообразно оценивать двумя баллами: 0 (тогда прочие показатели, не рассматриваются и вариант отбрасывается) и 10. Пределы работы можно, но не обяза- тельно оценивать двумя такими же баллами. Здесь балл 0 означает, что диапазон компенсации возможной погрешности(ей) может быть недостаточным и дЛя полной компенсации потребуется применение дополнительных мероприятии. Г л а в а 2 ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ РАСЧЕТА КОМПЕНСАТОРОВ ПОГРЕШНОСТЕЙ В ОПТИЧЕСКИХ ПРИБОРАХ Расчет компенсаторов погрешностей заключается в опре- делении необходимого и достаточного для обеспечения требуемых показателей качества ОП числа компенсаторов и требований к их параметрам. От числа компенсаторов в существенной мере зависит технологичность прибора. В условиях крупносерийного производ- ства число компенсаторов стараются уменьшить, компенсируя только те Погрешности, которые не позволяют получить требуемое качество прибора. Это объясняется тем, что компенсаторы, как правило, требуют регулировки и юстировки; трудоемкость которых выше трудоемкости точного изготовления деталей при крупносерийном производстве. В условиях мелкосерийного и единичного производ- ства компенсаторы используют также для повышения технологич- ности некоторых деталей благодаря расширению допусков на по- грешности их изготовления. В некоторых случаях компенсаторы применяют для Повышения показателей качества, связанных с экономической эффективностью прибора. От правильного определения требований к компенсаторам, в пер- вую очередь, к точности, пределам работы зависит эффективность их применения. Как число компенсаторов, так и требования к их параметрам зависят от количества, вида ц степени влияния первич- ных погрешностей, а также от заданных значений показателей ка-
чества ОП. В связи е этим расчет компенсаторов представляет собой сложную, многофакторную задачу, решение которой должно осно- вываться на моделях, учитывающих взаимосвязь всех факторов. 2.1. КОНЦЕПТУАЛЬНАЯ И МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛИ КОМПЕНСАЦИИ ПОГРЕШНОСТЕЙ •* Разработка моделей компенсации погрешностей в ОП основана на том, что процесс функционирования прибора и компенсатора представляют как сложную систему, параметры которой в общем случае носят вероятностный характер. Модели процесса компенса- ции можно рассматривать в виде совокупности понятий, структур- ных й функциональных схем, уравнений, логических операторов, таблиц и т. д., с помощью которых характеристики состояния си- стемы определяются в зависимости от параметров процесса, вхрдных или выходных сигналов, влияющих внешних воздействий, времени и других факторов. Разработаем концептуальную и математическую модели, позволяющие ответить на вопросы, связанные с числом ком- пенсаторов погрешностей и требований, которые должны быть им предъявлены. Компенсаторы погрешностей, с помощью которых удается повы- сить качество прибора, являются его «лишними» системами. Они требуют производства, юстировки, регулировки и других затрат. Однако специфика ОП такова, что ни один из них не может быть изготовлен без компенсации тех' или иных погрешностей. Необхо- димое и достаточное для обеспечения требуемых показателей ка- чества прибора (или его функционального устройства} число компен- саторов можно определить, если связать функциональной зависи- мостью погрешности прибора, допустимые значения показателей качества, число компенсаторов и их параметры. Причинно-следственные связи между этими факторами могут быть выявлены следующей концептуальной моделью: В том случае, когда заданные показатели качества прибора (или функционального устройства} невозможно или экономически нецелесообразно получить из-за технологических, эксплуатационных и других погрешностей, применяют компенсаторы погрешностей, число которых и требова- ния к ним зависят от параметров прибора, численного значения, и вида погрешностей, условий производства и эксплуатации. На основании этой модели можно разработать математическую модель, характеризующую количественно в виде функциональных зависимостей выявленные причинно-следственные связи. Для этого вначале определим действие первичных погрешностей и факторов на показатели качества ОП. Запишем действительную и номинальную (расчетную) функции преобразования сигнала ОП (или функционального устройства) в следующем виде;. y = f(x, qt, q'i); (2.1) yo = fo(xo, qio, q'to), (2-2)
где у, уй — действительное й йдмйнальноё значенйя информатив- ного параметра выходного сигнала прибора (устройства) соответ- . ственно; х, х0 — действительное- и номинальное значение информа- тивного параметра входного сигнала соответственно; qt, qi0 — действительное и номинальное значения инструктивного параметра прибора; qi, q'{0 — действительное и номинальное значения влия- ющих факторов; f, /0 — действительная и номинальная функция, связывающие х и у. В связи с тем что реальная функция преобразования сигнала отличается от номинальной, возникает разность между действитель- ным и номинальным значениями-информативного параметра выход- ного сигнала прибора Ау = у-^у0. (2.3) В общем случае Ду представляет собой погрешность функциони- рования прибора, либо аберрацию оптической системы, либо рас- фокусировку, перекос или наклон изображения, либо непараллель- ность визирных осей бинокулярных приборов; т, е. характеристику интересующего нас показателя качества прибора (Ду может быть характеристикой такого показателя, который определяется раз- ностью между его номинальным и реальным свойствами, например, характеристикой точности, качества изображения). ' Подставив в выражение (2.3) значения у и у0 из выражений (2.1) и (2.2) и разложив в ряд Тейлора действительную функцию преобра- зования, запишем (оставаясь в рамках линейной зависимости между первичными погрешностями и их частичными влияниями) результат их совместного действия на показатель качества Дух = (ду/дх)0 Дх + [/ (х, qi0, q’i0) — fa (х, qiQ, yjo)] + n I + 2(^)оД^ + 2(ау7^)оД<7;-, м где dyldx, dyldq, dyldq' — передаточные функции (коэффициенты) - первичных погрешностей; Дх = х — х0 — отклонение информатив- ного параметра входного сигнала от его номинального значе- ния (методическая погрешность); f (х, qi0, q'{0) — f0 (х, qi0, q'Oi) = = куц — теоретическая инструментальная погрешность; -Ду = — q — у0 — первичная погрешность конструктивного параметра; Ду' = у' — уо — изменение влияющего фактора; п — число первич- ных погрешностей конструктивных параметров; I — число влия- ющих факторов. Индекс «О» означает, что частные производные вычисляют для номинального значения параметров без учета по- грешностей. Поскольку величина Дх может быть обусловлена действием не одного, а нескольких допущений (первичных методических погреш- ностей), Дуд/ —'действием разнородных теоретических погреш-
костей, а величина А<?* действуем на показатель качества через А</, то выражение (2.4) запишем в виде - т * Ф п ’ ку* = 2 (dy/dx)0 AXi 4- 2 Аг/д/, + Ё (dy/dqijo i i i P ( * ] + S (<fy/d<7i)o 2j (dqt/dq/) kq'j\, i I i J где tn и <p — число методических и теоретических погрешностей соответственно; р — число параметров, на которые воздействуют влияющие факторы. Согласно концептуальной модели компенсаторы погрешностей необходимо применять в том случае, когда Ау2 > Ayd, где Ayd.— допустимое значение показателя качества прибора (функциональ- ного устройства). Следовательно, математическая модель, связыва- ющая первичные погрешности, параметры прибора и условия экс- плуатации с чисЛом и параметрами компенсатора, может быть пред- ставлена следующйм соотношением; 2 ('W’Oo + IS + 2 ^yldqi)o А<?г + i i i + Zj.((<W<7i) ZJ {dqildq’j) kqj\ — J] Idy/dqt AzKJ < Ayd, i I / J i I / J - . (2.5) где к — число компенсаторов; г — число параметров, на которые воздействуют компенсаторы; dq/dzK —передаточная функция (коэф- фициент) компенсатора; Агк — коррекционный сигнал на компен- сатор. Величина Агк в общем случае представляет собой либо изме- нение параметра компенсатора [например, поворот распорного резь- бового кольца между компонентами объектива' для регулировки его фокусного расстояния (см. рис. 1.19, а)], либо то непосредственное изме’нение первичной погрешности (изменение конструктивного па- раметра прибора), которое осуществляется компенсатором (напри- мер, слой материала направляющей, удаляемый при шабрении), либо поправку, вводимую в отсчет. Последнее слагаемое в выражении (2.5) представляет собой кор- рекционное воздействие компенсаторов (Аукг) для уменьшения влияния тюгрешностей прибора на показатель качества до значения, равного (или меньше) допустимому (расчетному) значению. Выраже- ние (2.5) соответствует случаю, когда компенсаторы оказывают влияние посредством изменения конструктивных параметров при- бора. При коррекции непосредственно информативных параметров у или х (этот случай встречается весьма редко) последнее слагаемое имеет вид (соответственно для у и х): К. , к = S (dytdz^ kyKS = ду/дх £ (dx/dzKj) \zuj. i i
Количество, вйД й передаточные функции ’ погрешностей при раз** работке того или иного варианта конструкции прибора известны. Однако большинство погрешностей цОсит случайный характер, по- этому на стадии проектирования их конкретные значения неиз- вестны, т. е. выражение (2;5) может иметь множество решений, обла- дающих некоторой вероятностью относительно неизвестных к, dq!dzK и Лгк. Так как при проектировании прибора обеспечивается не "один показатель качества, зависящий от первичных погрешностей, то общее йисло компенсаторов в приборе, их передаточную функцию и коррекционные воздействия определяют из решения п линейных неравенств или уравнений: Аг/12-A«/1KS< а — Az/2k а < ^-Уъсь (2.6) Ьуп2 — bynKz<bynd-. Эту систему с учетом того, что первичнее погрешности могут носить случайный характер, можно решить численными методами на ЭВМ с помощью процедуры, позволяющей путем итерационных прибли- жений на основе направленного перебора оптимизировать область, решений. В некоторых случаях компенсаторы применяют не только для обеспечения требуемых показателей назначения, но и для расшире- ния допусков на изготовление и сборку элементов прибора, благо- даря чему повышается технологичность его изготовления. С учетом того, что стоимость деталей обратно пропорциональна квадратам допусков, число компенсаторов, повышающих технологичность кон- струкции можно определить из соотношения п п к ' S Cf/M > S Ci/bqf + S ' (2.7) i i j где Cilfyft = Ri — затраты на обеспечение допуска bqt (Ci — коэф- фициент пропорциональности для выражения погрешности в едини- цах затрат); Ci/bq't' = R't — затраты на обеспечение расширенного допуска f>q'i = §qt + 6qK (8qK — увеличение допуска благодаря компен- сатору); 7?к — затраты на изготовление и юстировку компенсатора; п — число погрешностей, допуск на которые расширяется; к.— число компенсаторов., В тех случаях, когда компенсаторы позволяют повысить произ- водительность работы (как, например, в авторедукционных ниве- лирах) или другие показатели, связанные с экономической эффек- тивностью прибора, их необходимо учитывать при определении числа компенсаторов по формуле (2.7). Неравенство (2.7) целесообразно использовать при нахождении области решения. системы уравне- ний (2.6) относительно неизвестных к, Азц,. dq/dzK. В настоящее время автоматизированный расчет производится только для компенсаторов, обеспечивающих некоторые показатели 46
качества изображения, создаваемого оптической системой. В осталь- ных случаях из-за недостаточного развития системы автоматизиро- ванного проектирования ОП (особенно механических функциональ- ных устройств) и" отсутствия элементной базы данных по типовым компенсаторам погрешностей их рассчитывают аналйтическим мето- дом. Для аналитического решения уравнений (2.5) и (2.6) следует ’ ввести систему критериев, позволяющих уменьшить их неопре- . деленность. , х 2.2. МЕТОДИКА РАСЧЕТА КОМПЕНСАТОРОВ Необходимость применения компенсаторов для обеспечения тре- буемых качеств прибора определяется на этапе его проектирования, при выполнении точностных, аберрационных и. других расчетов [31, 56]. Так как большинство погрешностей, прибора являются случайными, то на этапе проектирования мы не можем знать их конкретных ‘значений, поэтому определение числа компенсаторов из выражения (2.5) и требований к ним должно быть основано на ве- роятностном суммировании случайных погрешностей. Это приводит к тому, что неравенство (2.5) имеет множество решений, обладающих - Некоторой вероятностью. . Неопределенность решений обусловлена также тем, что для компенсации погрешностей, нарушающих требуемое качество, могут быть выбраны компенсаторы с различными значениями Дгк, dqldzK или ду/дг^ Для уменьшения неопределенности неравенства (2.5) необходимо выполнить следующие условия; 1) неравенство (2.5) превратить в равенство; 2). случайным погрешностям присвоить' рпределенное вероятное значение (такими значениями могут быть, например, их практические предельные вероятные значения, кото- рыми нормируются в общем случае показатели качества прибора); 3) число компенсаторов, должно быть минимальным, но достаточным для обеспечения требуемого качества; 4) показатели качества ком- пенсатора должны обеспечивать эффективность его применения. С учетом этих условий запишем выражение (2.5) в виде ПС «1 S Aqt Aqt -J- Zj + , i i /nt . n2 _ Acik2Pi + Zj A2ik2Pi 82qi — = кум, (2.8) где nc — число частичных влияний (т. е. единичных влияний пер- вичной погрешности или фактора на показатель качества), вызван- ных систематическими (неслучайными) первичными погрешностями и факторами; пъ п2 — число частичных - влияний, обусловленных случайными погрешностями и факторами, которые имеют и не имеют соответственно систематические составляющие; Ад =• dyldq — АсАа — передаточная функция (коэффициент) первичной погрешности или фактора (Лс и Лр) — неслучайная и случайная части передаточной
функции соответственно); 8q — половина вероятного поля рассея- ния случайной первичной погрешности или фактора; Ср, kp — коэффициенты, зависящие от расположения поля и вида рассеяния первичной погрешности или фактора, а также .от их передаточной функции [18]; Ayvd— допустимое вероятное значение показателя качества. Коэффициент Ср учитывает систематическую составляющую ча- стичного влияния. Для частичных влияний, обусловленных скаляр- ными первичными погрешностями, его определяют по формуле Ср == = Д0^/6^ + ад [см. формулу (1.2)1, а для частичных влияний, обусловленных векторными первичными погрешностями,— 2Л по формуле Ср — М (Aa)Cq = -^- j ABdQC4, где ^И(ЛГ) — мате- о матическое ожидание случайной части передаточной функции; 0 — направление векторной первичной погрешности (если 0 с 0 с С 360°). . . , Коэффициент kp учитывает отклонение действительного закона рассеяния частичного влияния от закона Гаусса (нормальное распре- деление). Для частичных влияний, обусловленных скалярными пер- вичными погрешностями, его определяют по формуле kp = kq — => a (&q)/o0 (Ду), где — коэффициент относительного рассеяния первичной погрешности' или фактора; о (Aq) — среднеквадратиче- ское отклонение действительного закона распределения; <т0 (Aq\ — среднеквадратическое отклонение рассеивания, подчиняющееся за- кону Гаусса. Для частичных влияний, обусловленных векторными первичными погрешностями и факторами [18], коэффициент &р находят из выражения = -/о2 (Ло) (йр + 9С|) + М2 (Ло) kq, 2л где о2(ЛЛ = -^- j AvdQ. о . ' Очевидно, что необходимость в применении компенсаторов (т. е. в введении Д//к2) возникает в том случае, когда суммарное влияние погрешностей больше допустимого значения. Для выяснения этого суммируют левую часть выражения (2.8) при Дг/к2 = 0. Однако полученный результат не позволяет* определить степень влияния каждой первичной погрешности и фактора, поэтому компенсаторы и допуски на первичные погрешности назначаются здесь весьма про- извольно, на основании аналогий и опыта разработчика. - Методику расчета компенсаторов- более целесообразно основы- вать на проектных расчетах; когда' по заданному показателю каче- ства прибора (функционального устройства), его схеме, конструкции и условиям эксплуатации определяют допустимые значения первич- ных погрешностей. При таком подходе определяется степень влияния каждой первичной погрешности и фактора и, следовательно, могут . быть найдены погрешности, требующие компенсации. Определение того, что Дг/2 > Ayvd' а 'также степени влияния каждойлервичной погрешности и фактора на показатель качества 46
производится с помощью коэффициентов влияния X/ = | Дг/0/А</д?. где — частичное влияние [181. Если окажется, что имеютср погрешности и факторы с значением 1г, меньшим, чем наименьшее допустимое значение (Ло) этого коэффициента, то условие (2.8) может быть выполнено только с помощью компенсаторов (т. е. Д«/к2 =/= 0), устраняющих или ослабляющих действие этих погрешностей и фак- торов. , Наименьшее допустимое значение коэффициента влияния опре- деляют, исходя из выражения (2.8) (если приравнять Д«/к2 = 0) при условии равенства частичных влияний групп п0, пх и п2. Для этого вначале находят выражения для коэффициентов влияния ча- стичных погрешностей различных групп [приравнивая число ча- стичных влияний других групп в формуле (2.8) нулю!: /z ~ К = ^HvdKAg^y, . (2.9) М = АМ4(С, + ^8?]; (2.10) %2= А^В(// (AJip 8q). (2.11) Преобразовав выражения (2.9)—(2.11) и подставив их в (2.8), получим «С «1 &Уо<1 — tyvdlKii + AZ/0(/Cpdlippi + kp^ Xxi] ~Ь 1/ S A^od^pi7[(Cp,--|-^р,)2 J] A^d/Xj;. (2.12) г л i i Далее сократим выражение (2.12) на Ду^ ЛС «1 1 = S lAci 4“ Cpil{(ppiA~ ^pi)^lil 4" + ”|/ 2j k2pi/l(Cpi 4“ kpi)2 Xh] + S 1/^1/. (2.13) При условии. равного влияния частичных погрешностей (т. е. при = Лп = X2f = %0) получим Г~х К = Пс + S СрЛСр/ + М + У S ЫСР1 + kpi^ + «2- (2.14) Учитывая, что для большого числа технологических погрешно- стей группы пх обычно выполняется следующее соотношение [18! - Cpj/(Cpf+M^V(Cpi + M^0,5, (2.15)’ а также, что число погрешностей группы п^в приборе, как правило, невелико, наименьшее допустимое значение коэффициента влияния можно найти по упрощенной приближенной зависимости К9 ль ие Ц- 0,5hj + }/0,25nj -j- n?. (2.16) ' ' • 49
Прежде чем принять окончательное решение о компенсации той или иной погрешности или фактора, имеющих < М> следует уточ- нить знацение Ло, отбросив ничтожно влияющие на качество прибора погрешности и факторы. • Критерием ничтожности влияния погреш- ности является условие Хг М> гДе М — коэффициент влияния ничтожно малых погрешностей и факторов, определяемый из усло- вия, что отбрасываемые частичные влияния не изменяют значения Ду2 более чем на 5—10 %: пс ”сн , л1н а ^Уи<1 ~ S '4?/ AVi “ -Aqi tyt 4" S AciCpi fyi T S ^ci^pi fyi “I” i i i i п Г nl ' nlH n2 n2H + 1/ 2 8q2 — J] Alik2Pi 4“ Zj A2ik2p{ bq2 — 2 A2ik2pi faff = r i i i i nc nCH * = 2 kyvdf^ci Zj tyvd/'hcKi 4~ i i • ?i "in + Zj AyvdCpMPpz 4" kpi) ^li] “ 2 AyvdCpi/l(Cpi 4“ ^pi) ^1H d 4~ . _ / "1 - xH 4" у 2 &yvdkpi/[(Cpi 4" kpi)2 h2;] — 2 Ayvdkpi/[(Cpi 4" ^pi)2 Mn] 4" , n2 П2Н 4- 2 Ayvd/^2i— 2 * 42-17) i i где a = (0,954-0,9) — коэффициент, учитывающий уменьшение сум- • маркой погрешности на 5—10 %; псн, п1н, п2н — число ничтожно малых частичных погрешностей групп пс; п±, п2 соответственно; Мш, Мн. Мн — коэффициенты их влияния соответственно. Сократив выражение (2.17) на Ду0<г, получим' пс п1 . «он а — £ VMi 4~ Cpil[[Cpi kpi) 11г] — 2 1/Мн г — i i i — Zj CPi/[(Cpi 4- kpi) Xih Д 4" 1/^ 2 4“ kpi}2 ZiJ 4" ^2 ^1H ^2H + 2 lAlt — 2 ^pil\7fipi 4" kpi}2 Л1н J — 2 iAIhi- • ii / i Примем, ЧТО Mr Mi М» Мн i == Мн i == Мн i = Mi. Cpil{Cpi 4- kp^ m kpiKCpi 4- kpt) m 0,5, и после некоторых пре- образований найдем j М (лон 4-»0.5я1н) ± (исн + 0>5л1н)2 “Ь (В — Л2) (0,25п1н 4- Яан)] Лн------------------- да —в ’ (2.18) где 4 = пс 4" 0,5/ij — Ма5 = 0,25/ix + п2.
При выполнении расчетов кничтожно малым погрешностям пред- варительно относят: погрешности .второго порядка малости, а также те, которые меньше других в три раза и более (т. е. у которых ЗХ0). В том случае, когда отсутствуют систематические погреш- ности (пс = 0). и ничтожно малые погрешности группы nx (и1н = 0), коэффициент ничтожного влияния погрешностей группы п2 опреде- ляют либо по зависимости, полученной из формулы (2.18) . Лн = Ло п2н/[0,'25п1 (1 — пх) + аХ0 (пх — оАо) + п2], (2.19) либо из выражения [18, 371 ЛН‘=^Х0М2н/(2Хо пх), где k = 10 (при 10 %-ном риске) и k = 20 (при 5 %-ном риске). В том случае, когда отсутствуют и погрешности группы гц — "= 0), из формулы (2.19) получим &н .= Z А,§п2н/(п2 — W)- Так как при пс = пг = 0 наименьшее допустимое значение коэф- фициента влияния Ло = то — а2), что согласуется с данными работы [181 и с известным критерием ничтожно малых погрешностей по М. Ф. Маликову (см. Маликов М. Ф. Основы ме- трологии, М., 1949). Уточненное значение Хо находят по формуле %о = пс — «сн + 0,5 (П1 — П1Н) + у40,25 (hi — П1н) + и2 — п2н. (2.20) Выявив все погрешности, требующие компенсации (т. е. погреш- ности с < Xq), выбирают тот или иной компенсатор для устранения влияния одной или нескольких погрешностей. При этом- учитывают величину и характер влияния (случайное, неслучайное, аддитивное, мультипликативное, периодическое и т. п.), условия' производства (серийность, наличие необходимого оборудо- вания, квалификацию рабочих) и эксплуатации прибора. Эти фак- торы позволяют выбрать метод компенсации и определить требова- ния к компенсатору с,, точки зрения возможности применения того или иного метода, точности компенсатора, его надежности, эконо- мичности и диапазон работы. Вначале выбирают компенсатор для компенсации наиболее, сильно влияющей погрешности, а также та- кой, который позволяет компенсировать не одну, а несколько по- грешностей сразу. Точность компенсатора определяют исходя из требуемой точности компенсации, характеризуемой остаточной величиной компенсируе- мого влияния либо компенсируемой погрешности или фактора: - Дунк = Д?нк = Д?—д?к- Величина недокомпенсации также'имеет коэффициент влияния на показатель качества ’ ^нк = I Д#гк//Д#нкЛ — | ^UvdKAq Д<7нк)|* (2.21) . z 51
Максимальное допустимое значение нёдокомпенсацйи определяют с учетом условия Хнк Ц: - ' . , . ' ^Унк шах= AjfodAo» | А^нк шах = AyBd/(AqXo).J При этом влияние компенсируемой погрешности или фактора умень- шено до значения, не нарушающего требуемого качества. Значение недокомпенсацйи, удовлетворяющее условию: Дуяк min kyvdftbb 1 2$\ А^нк mln I означает, что влияние данной' погрешности или' фактора можно считать полностью компенсированным (так каю 1як А,н). В том случае, когда компенсатор воздействует на какой-то параметр при- бора, его коррекцию определяют по формуле - &Ук! == {^yldqt} (dqtldZKj) == AqiA.,j &ZKj = A^j Azkj. Изменение коррекции должно быть таким, чтобы выполнялись условия (2.22).или (2.23). Отсюда можно определить требования к величине AKj при'известном минимальном значении коррекцион- ного сигнала Az^m^, которое может быть создано выбираемым методом компенсации, либо требования к AzKJ-mln, при известном значении Ак1: - .^к/max ~ A^/»dZ(^o min); (2.24) AkJ mln = ^yvdlty'vc&Ztii mln)> (2.25) AzK^ min = Ay^/(%oAKJ-); _ , (2.26) AZkZ min == Ai/B(f/(%H.AK<;). • . , (2.27) Здесь AzH) mm — минимальное значение коррекционного сигнала, обеспечивающее уменьшение компенсируемой погрешности до зна- чения, .не нарушающего требуемого качества; Дгк/min— значение коррекционного сигнала, обеспечивающего полную компенсацию погрешности. Диапазон работы компенсатора при компенсации одной погреш- ности (фактора) определяется ее максимальным значением AZKy тах = АуОб(/(Х; Аку), (2.28) а при компенсации нескольких погрешностей (или факторов) — их максимальным суммарным значением. Например, при компенсации п технологических погрешностей (случайных по природе) A2Kj шах Az/p^ 1/ AHj. (2.29) « г t Действие компенсатора приводит к тому, что компенсируемое влияние одной погрешности или фактора (либо сама погрешность).: 1) уменьшено до значения, не нарушающего требуемого качества 52 • -
(коэффициент влияния неддкомпенсации Хнк при этом кн > Хнк А,о); 2) полностью устранено (Лнк 5» Хн). В первом случае наименьшее допустимое значение коэффициента влияния, которое обозначим теперь Xqk [вычисленное по формуле (2.20), но с учетом того, что компенсатор увеличивает или остав- ляет неизменным число ничтожно малых погрешностей], остает- ся неизменным, а во втором случае — уменьшается. Условие Хяк < Ь'о обычно указывает на неправильность выбора компен- сатора; ' . Если одним компенсатором устраняется действие п погрешностей, то возможны следующие случаи: 1) при условии, что суммарная недокомпенсация имеет коэффициент влияния Хнк 2 эти по: грешности исключаются из расчета Хок; ,2) при Хн > Xhk2 эти погрешности заменяются одной, не .нарушающей требуемого качества; 3) при Хнк 2 < Xq из формулы для расчета XjK мы также исключаем п — 1 погрешностей, но остаточная недокомпенсация продолжает влиять так сильно, что' требуемого показателя качества не получить (т. е. возможно, что потребуется компенсировать не- докомпенсацию). После того как ввели первый компенсатор, выявляют наличие Погрешностей и факторов, у которых Xz < Хок, и тогда вводят вто* грой компенсатор. Окончательно число компенсаторов к определяют при отсутствии Погрешностей и факторов, у которых X,- < Xqk. При этом будут выполнены условия (2.5) и (2.8). ’ Так как в выражении (2.5) учитывается число компенсаторов, обеспечивающих только какой-то один показатель качества ОП, то общее число компенсаторов находят суммированием числа ком- пенсаторов по всем показателям качества,-которые могут быть опре- делены также с помощью изложенной методики. При выполнении расчетов компенсаторов по данной методике для определения коэффициентов -влияния каждой первичной по- грешности и фактора необходимо задать их значение. Значения си- стематических погрешностей (теоретических ошибок, деформаций от известных сил и т. д.) вычисляют по известным,конструктивным параметрам прибора и условиям его эксплуатации. Значения влия- ющих факторов определяют исходя из условий эксплуатации прибора и его параметров, а также на основании известных эксперименталь- ных данных о значении того или иного фактора. Например, известно, что. погрешность совмещения марок из-за ограниченной остроты зрения оператора (Да) в случае нониальных наводок характеризуется средним значением стандартного отклонения, равного 10—15". Следовательно, при определении коэффициента влияния этого фак- тора (%) будем задавать его значение половиной практически вероят- ного поля рассеяния, равного 30—45". На основании известных данных задают также пределы колебаний сил трения в кинематиче- ских парах (с учетом материалов пар, их конструкции, нагрузок, шероховатости поверхностей, смазки), рефракцию воздушных слоев
(учитывая возможное состояние атмосферы, толщину воздушного слоя) и т. д. . . ' Значения технологических погрешностей задают допусками на изготовление и сборку деталей прибора. Так как стоимость прибора в существенной мере определяется трудоемкостью изготовления и сборки его деталей, то заданные допуски будут определять также технологичность прибора. Это обстоятельство, а также экономиче- ская целесообразность применения компенсаторов технологических погрешностей (см. концептуальную модель) учитывается в рассмотрен- ной методике экономическими уровнями точности технологических процессов изготовления И сборки деталей. Сначала допуски на все технологические Погрешности задают по экономическому уровню точности технологических процессов (6</э). Этому уровню соответствует точность, получаемая в серийном про- изводстве при изготовлении деталей на автоматическом и универ - сальном оборудовании с помощью типового инструмента, оснастки и приспособлений. Сборка осуществляется без пригонок и регули? ровок. Контроль производят с помощью цехового инструмента (ми- крометров, индикаторов, калибров,, эталонных стекол). Для заводов оптической промышленности экономическому уровню в среднем соответствуют допуски по 9—11-му квалитетам точ- ности. Вычислив значения частичных влияний первичных погрешностей, которые заданы допусками на экономическом уровне точности, можно найти соответствующие коэффициенты их влияния (%эг = = |&gvd/(Aqi8qai)\) на качество ОП. При Хэг к0 допуск на данную погрешность может быть задан на экономическом уровне точности. Если Кз1 < К'о, то допуск на такую погрешность должен быть уже- сточен до значения, соответствующего производственному' уровню точности технологических процессов. Производственному уровню соответствует точность, получаемая в серийном производстве при изготовлении деталей на универсаль- ном оборудовании, но с применением специального инструмента, оснастки и технологических процессов (цапример, при изготовлении 1 деталей на шлифовальных станках'с использованием разверток, кондукторов, приспособлений для центрировки заготовки и с увели- чением числа повторных циклов обработки поверхностей деталей). Этому уровню точности соответствует сборка с элементами компен- сации погрешностей подвижками деталей, сопровождающимися кон- тролемг на качественном уровне и с использованием производствен- ных средств контроля. Производственному уровню соответствуют в среднем допуски по 6—8-му квалитетам точности. После вычисления коэффициентов влияния погрешностей, до- пуск на которые задают по производственному (6<?ni) уровню точ- ности (Anf — \ Ayoli/(A^6qni)\) путем их сравнения с Ц выясняют возможность назначения допуска на этом уровне (при Хп/ Х-6). Для погрешностей с А.пг < К назначают еще более высокий допуск (соответствующий техническому уровню точности технологических процессов).
Техническому уровню соответствует предельная точность, кото- рая может быть достигнута с помощью специального оборудования, инструмента и технологических процессов. Например, для дости- жения точности нанесения делений на штриховых лимбах, (диаметром около 100 мм) с погрешностью не более 1" используют прецизионные делительные машины, осуществляют стабилизацию температуры (до сотых долей градуса), давления и влажности в рабочем помеще- нии, защиту от вибраций и т. п. Этому уровню точности соответ- ствует сборка с пригонками и регулировками, сопровождающаяся контролем лабораторными средствами (автоколлиматорами, интер-. ферометрами, микроскопами). Техническому уровню соответствует в среднем допуск по 4—5-му квалитетам. После вычисления коэффициентов влияния погрешностей, до- пуски на которые были заданы по техническому (б<?тг) уровню точ- ности (Лтг = | &yvd/(Aqi8qTi) |), определяют возможность назначе- ния допусков на этом уровне (при Лт( 5» к'о) либо необходимость их компенсации (при Лт < Ло). Исходя из затрат на выполнение того или иного допуска 6<7тг, можйо определить также целесообраз- ность компенсации этой погрешности в случае, если затраты на ком- пенсатор будут меньше (обычно применение компенсатора целесооб- разно в случае единичного и мелкосерийного производства). Основными факторами, позволяющими определить экономический эффект' принимаемого решения, являются условия производства: серийность прибора, наличие необходимого оборудования, оснастки, контрольно-юстировочных приспособлений и т. п. После проведения р.асчетов компенсаторов, необходимых для обеспечения требуемых, показателей качества ОП, производят уточнение допусков на пер- вичные погрешности (см. п. 2.4). Для машинной реализации методики расчета компенсаторов целесообразно использовать два алгоритма; С помощью первого алгоритма можно выявить степень влияния каждой первичной погрешности, уточнить допустимые значения первичных погреш- ностей и определить число погрешностей, требующих компенсации. По второму алгоритму на основании данных, полученных при рас- четах по первому алгоритму, определяют число компенсаторов и требования к их параметрам. Работа этого алгоритма организована в режиме прямого диалога оператора с ЭВМ. Процесс расчетов является итерационным и основан на использовании результатов, получаемых при реализации последовательных шагов. Первый алгоритм можно представить в следующем виде: 1. Задать следующие данные: число погрешностей i = 1, 2, ...; п; • значения первичных погрешностей (технологические погреш- ности задать допусками, соответствующими экономическому б<7эг, производственному 8qni и техническому 8qTt уровням точности тех- нологических процессов); значения передаточных коэффициентов первичных погрешностей ^ci, число частичных влияний групп пс, nlt п2;
значения коэффициентов Cpi и kpi для случайных первичных погрешностей; • коэффициент риска при отбрасывании ничтожно малых ошибок й; значение допуска на показатель качества &yod. 2. Вычислить по формуле (2.14) значение наименьшего допусти- мого коэффициента влияния Хо. 3. Вычислить значения частичных влияний погрешностей групп пе, fit и п2 по следующим формулам: -Aqityh &Убд11 A<sl(Ppi fcpi).tylb ^УЬ<рл == Для технологических погрешностей расчет произвести по допускам 6</э, соответствующим экономическому уровню точности. • 4. Вычислить коэффициенты влияния Х{ погрешностей по фор- мулам (2.9)—(2.11). 5. Сравнить полученные значения Хг,с Хо: если Xf ЗХ0,‘ занести их в группу для проверки на ничтожное влияние (п^); если X; < < ЗХ0, — в группу п}. 6. Вычислить по формуле (2.18) коэффициент ничтожного влия- ния Хн и вывести на регистратор (дисплей, печать). При выполнении машинного расчета значение Хя может быть вычислено не по при- ближенной формуле (2.18), а по формуле, учитывающей коэффи- циенты CPi и kpt [см. формулу (2.17)]. 7. Сравнить значение Х/из группы nHi с Хя: если Xj Хя, за- нести их в группу ничтожно влияющих (пн) и вывести на регистра- тор; если Хг < Хя, вывести значение первичной погрешности и коэф- фициент влияния на регистратор. 8. Рассчитать по формуле (2.2Q) уточненное значение наимень- шего допустимого коэффициента влияния Хо и вывести его на реги- стратор. 9. Сравнить значение X; из группы.«/ с Хо: если Х£- Хо, вывести значение первичной погрешности и коэффициент влияния нд реги- стратор; если коэффициент влияния систематических погрешностей и влияющих факторов Х; .< Хо, занести их в число погрешностей, требующих компенсации NKi; если коэффициент влияния техноло- гических погрешностей Хг < Хо, выполнить пп. 3 и 4 (расчет про- изводить^ по допускам 6д„г, соответствующим, производственному уровню точности). 10. Сравнить рассчитанные в nil. 3 и 4 значения коэффициентов влияния Хп; с Хо: если Хп; Хо, вывести допуск й коэффициент влия- ния на регистратор; если Хп; < Хо, выполнить пп. 3 и 4 (расчеты производить по допускам dqTi, соответствующим техническому уровню точности). ' 11. Сравнить рассчитанные в пп. 3 и 4 значения коэффициентов влияния Хг; с Хо: если Хтг Хо, вывести допуски и коэффициенты влияния на регистратор; если Хтг <? Хо, занести их в число погреш- ностей, требующих компенсации NKi и-вывести допуски и коэффи- циенты влияния на регистратор. 12. Конец.
Исходя из вида погрешностей, требующих компенсации NKi, их коэффициентов влияния Хг, условий производства оператор выбирает тот или. иной компенсатор для компенсации одной или нескольких погрешностей. При этом он вводит значение наименьшего сигнала на компенсатор, которое может быть создано выбранным методом компенсации Дгк/т1п, либо значение передаточного коэффициента компенсатора Лк,-. Дальнейший расчет производится по второму алгоритму, который * можно представить в следующем виде: 1. Задать значение AzK;-mln (либо Лк;)- о 2. Рассчитать по формулам (2.22), (2.23) максимальное и мини- мальное значения недокомпенсации (Ai/нк maxi, &Унк mini. Д<7нктахЬ Д<7НКmmi) и вывести их на регистратор. 3. По формулам (2.24)—(2.27) произвести расчет AKi (если было задано, Д^тш) либо расчет AzKj min (если было задано AKj), [рас- считанные значения вывести на регистратор. 4. Вычислить по формулам (2.28), (2.29) диапазон работы ком- пенсатора* Агашах, результат вывести на регистратор? 5. Вычислить значение коэффициента недокомпенсации ^нпо формуле (2.21), вывести на регистратор. . 6. Сравнить значение Хнк t с %о и Хн: если Хнк t Хн. то погреш- ность (или погрешности) полностью компенсирована, ее (или их) занести в группу ничтожно малйх пн и по формуле (2.20) рассчитать значение %ок, которое вывести на регистратор; если Хн > ^нк t 5® Хо, • то в случае компенсации одной погрешности значению Xqk присвоить значение XJ; если Хн > Хнк К, то в случае компенсации одним компенсатором пк погрешностей значение Хцк рассчитать по формуле (2.20), при отнесении к ничтожно малым пк — 1 погрешностей, и результат вывести на регистратор; если Хнк t < К, то в случае ком- пенсации одной погрешности на регистратор подать метку «Ошибка в'выборе метода компенсации»; если ХНК1- <Хо, то в случае компен- сации пк погрешностей значение Xqk рассчитать по формуле (2.20) • .при отнесении к ничтожно'малым пк — 1 погрешностей, затем вы- вести на регистратор, пк погрешностей в числе NKi заменить одной погрешностью, значение которой (&ут или А^нк) и коэффициент влияния ХнК также вывести на регистратор. 7. Сравнить значения Х(- йз группы NKi с Xqk • если Хг Xj>K, вывести погрешность из группы NKi; -если X,- < Хок,- ввести второй компенсатор, и перейти к п.. 1. < Весь, цикл повторить до условия, что коэффициенты влияния погрешностей йз группы NK примут значения Xf Хок. 8. Конец. Рассчитав компенсаторы, необходимые для обеспечения одного из показателей качества ОП, переходят к расчету по данным алго- ритмам компенсаторов, обеспечивающих соответствие прибора дру- гим показателям. Применение ЭВМ позволяет ускорить процесс рас- четов и использовать более точные формулы для их Выполнения.
Особенно удобно производить с помощью ЭВМ уточнение допусков на первичные погрешности и факторы по алгоритму, основы' которого изложены в п. 2.4. 2.з. примеры Расчетов компенсаторов ПРИ ПРОЕКТИРОВАНИИ ОПТИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ Используем изложенную выше методику для расчета компенса- торов, обеспечивающих некоторые показатели качества простых ОП и функциональных узлов. Примеры подобраны так, чтобы охватить различные типы функциональных преобразователей с различными 1 —* зеркало; 2 — объектив; 3 — подвижная сетка оку- лярного винтового микрометра; 4 — неподвижная сетка с грубой шкалой; 5 — окуляр; 6 — винтовой механизм; 7 — точная шкала; 8 — источник света; 9 — конденсор; 10 — сетка; 11 — светоделительная призма-куб показателями-качества, разнородными погрешностями и компенса торами. Расчет компенсаторов автоколлиматора. Предположим, что тре- буется создать автоколлиматор на базе автоколлимационной торцо- вой трубки [33] со следующими техническими данными: пределы измерения .угла наклона зеркала (у) —’±20', цена деления точной шкалы (Лт) — 5", допустимое предельное вероятное значение по- грешности автоколлиматора (Az/Od) — 5". Разработанный автоколлиматор (рис. 2.1) основан на измерении перемещения автоколлимационного изображения сетки 10 при на- клоне зеркала 1 с помощью окулярного винтового микрометра 3—7, точная шкала 7 которого имеет 60 делений (цена деления — 5"), а грубая шкала — ±4 деления (цена деления — 5'). Искомый угол поворота (у) зеркала связан следующей зависимостью с конструк- тивными параметрами автоколлиматора: У ~ Т агс^8
пп Первичная погрешность ПП ♦ (А<7) Частичные погрешности (л^Д/у) * пс п1 п2 1 Теоретическая Дрт &Ут — — 2 Погрешность фокусного расстояния ' объектива Д/ \ — — 3 Погрешность деления точной шкалы Дер — — ^У tup 4 Эксцентриситет точной шкалы Де — — ЬУ&е- 5 Погрешность снятая отсчетов Дп — — ЬУьп 6 Погрешность совмещения марки подвиж- ной сетки с автоколлимационной маркой^а — Z ЬУьа. 7 + Погрешность совмещения марки подвиж- ной сетки из-за параллакса Др — — ЬУ^р 8 Погрешность шага винта &t — :— ЬУм 9 Зазор в паре винт—гайка Дс0 — ' д^0 — 10 Непараллельность перемещений винта и сетки Ду — Д^д? — 11 Погрешность формы опорной площадки винта Д/г ' - — • — - by±h 12 Изменение контактной деформации пары . винт-площадка Ad — — 13 Зазор и направляющих сетки Дсн — * Мдсн — 14 Погрешность формы направляющих сетки ДЛн — — Ьу^л где fe *— число заходов; р — шаг винта винтового механизма; f — фокусное расстояние объектива; х — угол поворота точной шкалы. • Так как измеряются небольшие углы поворота зеркала, то в основу работы автоколлиматора положена приближенная зависимость у а — kpxl^f'n) = kpnl(2f'nT). Здесь k = 1; р = 1 мм; = 343,64; п — угол поворота точной шкалы в делениях, пшах = пгпт = ±240, где пг — число делений грубой шкалы; пт — число делений точной шкалы. Определим число компенсаторов, позволяющих обеспечить за- данную точность работы автоколлиматора, созданного по этой схеме, а также требования к компенсаторам. При этом одновременно опре- деляют допуски (или уточняют их, если они были получены при •проверочном точностном расчете, проводившемся при конструирова- нии) на технологические первичные погрешности. В табл. 2.1 приведены первичные, погрешности, влияющие на точность автоколлиматора, и осуществлено «распределение вызван- ных ими частичных погрешностей по группам ne, пр пР Значение
наименьшего допустимого коэффициента влияния согласно формуле (2.16) составляет %0 = 6>6. Результаты расчетов для определения степени влияния частичных погрешностей приведены в. табл. 2.2. Как видно из таблицы, ничтожно малое влияние на точность автоколлиматора оказывают погрешности 1, 3, 10, 12, 13, 14. Про- верку правильности отнесения’ данных погрешностей к ничтожно малым производим с помощью Хд — 31, вычисленного по формуле (2.18) при а = 0,9. По формуле (2.20) находим к'о = 3,2. Требуют компенсации погрешность фокусного ^расстояния объектива (Д/') и-зазор в винтовом зацеплении (Дс0). Компенсировать обе погрешности одним компенсатором не пред- ставляется возможным, так как зазор в винтовом зацеплении яв- ляется переменной нерегулярной величиной. Компенсацию погреш- ности фокусного расстояния можно осуществить, например,, измене- нием воздушного промежутка между линзами объектива. Недоком- пенсация определяется, главном образом погрешностью измерения фокусного расстояния объектива и чувствительностью регулировки; Таблица 2.2 №№ пп Частич- ная по- греш- ность Общее выражение частичной погреш- ности Aq&q Численное значение пер- вичной погреш- ности для тех? н ©логических. ПП Численное значение частичной . погреш- ности, ..." Коэффи- циент влияния X 1 2 3 4 5 . 6 7 8 9 J0 И 12 13 14 ДУт ДУдГ . Д^Дф ДУде . &Уьа ^Уьр *Уы ЬУьс, ЬУь-t ЛУм Ьу&Л &Умв —4р®/3 (у//')Д/' (1//л) Д <р (ulxR) sin (х 4- + 0О) Де 0,54Дп [250/(2/Т)1 Да [Л/(2Г250)1 Др [1/(2/')] д/ 11/(2/') 1 Асо (р/2) Ду* [1/(2/')] АЛ ' ± (1/2/') да ’ [l/(8/'L) ] Дс| [1/(8/'£)] ДД2 0,05* 3,4 мм 10' 125 мкм 175 деления 30* 55 мкм 3,0 мкм 100 мкм 10' 1,6 мкм 0,07 мкм 200 мкм ' 10 мкм 0,05 12 0,06 0,4 0,5 - 0,7 0,46 0,87 . 29 0,01 0,46 0,02 0,1 0,0002 100 0,4 83,3 12,5 10 7,1 10,86 5,74 0,172 500 . 10,86 250 50 25000 Примечания: 1. R — 12,5 мм — радиус барабана точной шкалы; 0О — начальная фаза вектора эксцентриситета шкалы; Г = 15^ — увеличение окуляра; L 5= 30 мм — дли1га (база) ползуна сетки; t = 0,5 мм — смещение глаза наблюда- теля в поперечном направлении. 2. Погрешности 13 и 14 второго порядка малости — только при соблюдении принципа Аббе.
и достигает 0,1 % f. Отсюда по формуле (2.21) и табл. 2.2 находим Хнк = 4,16. Так как Хн >ХНК >Xq, погрешность уменьшена, однако остаточной недокомпенсацией пренебречь нельзя (т. е. Хок = Xq). Коэффициент влияния погрешности от-зазора в винтовом зацеплении меньше Хок, поэтому необходим второй компенсатор. Компенсация зазора в винтовом зацеплении может быть осуществлена, например, регулировкой зазора с помощью разрезной гайки. По формуле (2.22) и общему выражению частичной погрешности из табл. 2.2 * находим, что зазор после регулировки должен быть не более 5,5 мкм. Таким образом, требуемая точность автоколлиматора достигается с помощью двух компенсаторов, которые позволяют повысить техно- логичность изделия благо- даря расширению допус- ков на Д/' и Дс0. . 0S Рис. 2.2. Схема призменного бинокля: 1 — 1-я трубка бинокля; 2 — объектив 1-й трубки; 3 — призма П2; 4 — призма /7'; 5 г- объектив 2-й трубки; 6 — 2-я трубка бинокля; 7 — призма /7£; 8 — окуляр 2-й трубки; 9 —- шарнир; 10 — окуляр 1-й трубки; 11 — призма /7Я Расчет компенсаторов призменного-бинокля. Од- . ним из основных показате- леи качества призменного бинокля (рис; 2.2) являет- ся параллельнбсть осей пучков лучей, выходящих из окуляров от одной и той же точки предмета’йа- блюдения. Допустимая .'их непараллельность Да, [на- пример, в вертикальной плоскости составляет 15г (в горизонтальной плос- кости допуск составляет 20' при дивергенции осей и 60' при их конвергенции). Определим число компенсаторов и требования к ним, обеспечи- вающие заданный показатель качества (Д^ » 15') в призменном бинокле 6 X 30 при фокусных расстояниях объективов /об = 120 мм и. Окуляров /ок = 20 мм. Наводка на резкость осуществляется вращением окуляров. На непараллельность осей ,в вертикальной плоскости влияет, как известно [32 ], большое количество техноло- гических погрешностей, основные цз которых приведены в табл. 2.3. Значение наименьшего допустимого коэффициента влияния со- гласно формуле (2.16) составляет Хо = 4,7. Результаты расчетов для определения степени частичного влияния первичных погрешностей на непараллельность осей приведены в табл.- 2.4, из которой видно, что все погрешности оказывают такое сильное влияние, что требуе- мой параллельности осей не получить даже при наличии лишь одной, из них. Только 17, 18-, 2Ги 22-я погрешности могли бы не требовать компенсации при условии некоторого ужесточения их допуска. Компенсация погрешностей в биноклях различных фирм осуще- ствляется по-разному [32]. Йе останавливаясь на сравнительном
№№ пп Первичная погрешность ПП (Дд) • ч Частичное влияние (ДаД/7) п2 _ 1 Погрешность фокусного расстояния объектива первой труб- ки Afi ДадП 2 Погрешность фокусного расстояния объектива второй труб- ки Д/2 Дад/, з. Погрешность фокусного расстояния окуляра первой труб- ки Д/3 Дадь 4 Погрешность фокусного расстояния окуляра второй труб- Дад\ ки Д/4 5 Непараллельность геометрических осей трубок Дбх ДаД6, | 6 Непараллельность оптической оси поворотной трубки оси шарнира Д62 - ДаД6г 7 Децентрировка объектива первой трубки Дех Даде, 8 » » второй трубки Де2 ДаДе, 9 » окуляра первой .трубки Де3 ДаДе, 10 » » второй трубки Де4 ДаДе4 11 Сдвиг ребра призмы Л2 вдоль оси X &р2 ДаДР, 12 » » » П'2 » » X Др2 13 Поворот главного сечения призмы Пх вокруг оси Y Дф^х ДаДфг/1 14 Поворот главного сечения призмы П\ вокруг оси Y Дф^2 Д“дФр2 15 Погрешность прямого угла призмы П2 ДДх Дадп,. 16' » » » » /72 Д/72 Д“дп, 17 Погрешность в острых углах призмы П2 Де$ Дад8, 18 » » » » » П2 Дв2 . Дадв, 19 Пирамидальность призмы Длх Д®дл, 20 » » Щ Ал2 ДаДл2 21 Неперпендикулярность главных сечений призм Порро пер- вой трубки Дух Дад?, 22 Неперпендикулярность главных сечений призм Порро вто- рой трубки Ду2 Д®дуа анализе компенсаторов тех. или иных моделей, определим их число и требования к ним., Анализ первичных погрешностей показывает, что погрешности фокусных расстояний объективов и окуляров, эксцентриситеты оку- ляров не могут быть компенсированы подвижкой й разворотом призм на мостике или смещением объективов (окуляров). Непарал- лельность оптической оси поворотной трубки оси шарнира-(Д62) должна компенсироваться независимо от того, параллельна она или нет оптической оси неподвижной трубки. Погрешности 5, 6, 7, 11 62 \
№№ пп Частич- ное влияние Общее выражение частичного влияния Л^Д<7 Значение первич- ной погреш- ности Значение частичного4 влия- ния, Коэффи- циент влияния % 1 д«дГ, (Г<0Об//об) Д/1 1,2 мм 1S 0,83 2 Дадь (Г^об^об) Д/г 1,2 мм • 18 0,83 3 ДаД/. (r©Of//OK) Afg. 0,4 мм 36 0,41 4 д«д/< (Г<о0б//ок) АЛ 0,4 мм 36 0,41 5 Дадв, (Г - 1) Д«1 10' 50 0,3 6 Д«дв2 sin рдеа (Г — 1) 20' 100 0,15 7 Д«де1 &eiJfок 0,1 ММ 16,6^ 0,9 8 ДаДе2 ' &e2/f0K 0,1 мм 16,6 0,9 9 ДаДе» ^eJfoK 04 мм 16,6 0,9 10 -:Даде4 &eJfoK 0,1 мм 16,6 0,9 11 • ДадРг 2AP2/fок 0,2 мм 66 0,22 12 ДаД₽2 2ДР2//ок 0,2 мм 66 0,22 13 Дад<м. (2лг1//ок) Дф^1 5' 40 0,375 14 ДаДФР2 (2Х1//0К) Дфу2 5' 40 0,375 15 Дадп, (2пх2//ок) Д/71 2' 15 1 16 Дадп2 (2пх2//ок) 2' 15 1 17 ДаДе, (2Dсв. n/fок) 2' 4 ’ 3,75 18 ДаДв2 (2DCB. п//ок) А82 2' 4 3,75 19 Дадя, (2nx1/f0K) Длх v 2' 24 0,51 20 ДаДя2 (2пхх//ок) Дл2 2' 24 0,51 21 Дадт. 2<оокДТ1 5' 5,2 2,88 22 : Дад?« 2й>0КДу2 5' 5,2 2,88 П р и меч а н-и е. Г = 6* — увеличение бинокля; б)об =? 5° — угол поля зрения объектива; соок = 30° — угол поля зрения окуляра; 0 ж 90° — максималь- ный угол поворота поворотной трубки; п « 1,5 — показатель преломления мате- риала призмы;^ « 80 мм, х2 » 50 мм — расстояния от приведенного ребра призм 7,11 и 3,4 до переднего фокуса окуляра; DCB п — световой диаметр призмы. . 13, 15, 17, 19 (см. табл. 2.3 и 2.4) подвижной трубки так же как и -.погрешности 8, 12, 14, 16, 18, 20 неподвижной трубки могут быть компенсированы одним компенсатором/ . Введем первый компенсатор, устанавливающий оптическую ось поворотной трубки параллельно оси шарнира. Это можно сделать, например, смещением призмы 772 вдоль оси X, поворотом главного сечения призмы Z7X вокруг оси У, сдвигом объектива или окуляра вдоль оси X, регулировкой шарнира. 7 Согласно формулам (2.21) и (2.22) максимальное значение недо- комп'енсации- этой погрешности A<XhK тЯу = 3,2', а минимальное
•значение,. Позволяющее считать Эту погрешность полностью, компен* сированной', АаНК mln « Г (приближенно принимаем %н « ЗА0). В первом случае погрешности 5, 6, 7, 11, 13, 15, 17 и 19 заменяются одной (так как недокомпенсацией мы пренебречь не можем) и тогда Xqk = 3,87, во втором случае эти погрешности полностью исклю- чаются из формулы для расчета %ок и тогда %ок = 3,74. Рассмотрим случай, когда Хок = 3,87. Он позволяет расширить требования к чувствительности компенсатора в три раза по сравнению со слу- чаем, когда Лок = 3,74. Если эту компенсацию мы будем осуществ- лять подвижной призмы д 2 вдоль оси X, то тогда чувствительность этой подвижки определим из выражения Аргт1п = Аапктах/ок/2л^ 10 МКМ. Если компенсация осуществляется поворотом главного сечения призмы [J х вокруг оси Y, то чувствительность разворота найдем следующим образом: , Дфг/1 mln = Аоснк шах/ок/(2Х1) !=« 0,4 . , При компенсации погрешности сдвигом объектива или окуляра его чувствительность Ae„.in = foK Аанк ,пах =19 мкм. При компен- сации погрешности регулировкой шарнира чувствительность его разворота Аф^шы «0,о. Так как остаются погрешности с %,< << Л,ок, вводим второй компенсатор, предназначенный для устране- ния непараллельное™ оптической оси неподвижной трубки оптиче- ской оси подвижной трубки. Компенсация может быть осуществлена вышеперечисленными методами за исключением регулировки шар- нира. Максимальное значение недокомпенсации при этом будет равно AaHK2-max — Aocd/Xo14 =4,1'; чувствительностьA/^min ~ 13 МКМ; Akinin» 0,5'; Aemin « 24 мкм; Xqk = 2,82. Сравнение коэффи- циентов влияния погрешностей 21 и 22 со значением^ показы- вает, что эти погрешности уже не требуют компенсации. Компенсаций погрешностей фокусных расстояний объективов и окуляров, приводящих к разности увеличений трубок, может быть осуществлена либо их комплектацией, либо регулировкой фо- кусного расстояния одного из них. При компенсации максимальное значение погрешности фокусного расстояния объектива в группе, либо его изменение при регулировке должно составить А/об. нк =’ = Аа0(//об/(Г<о0б^о,!) « 0,35 мм, а окуляра — AfoK. нк =~ Aow X X /ок/(Г<ооб1дк) « 0,06 мм. Коэффициент Хок = 2,23. Децентрировка каждого окуляра влияет на непараллельность осей так сильно, что требуется их компенсация. Компенсацию можно осуществить либо конструктивным центрированием окуляра относительно резьбы па- трубка, либо результативной технологической обработкой корпуса окуляра от его оптической оси. В обоих случаях остаточная децен- трировка не должна ‘ превосходить > значения Аеок. нк = =7ок Aactf/loK « 40 мкм.
Таким образом, требуемый показатель качества бинокля достй: Тается применением по крайней мере пяти компенсаторов. Бинокли, выпускаемые в СССР, содержат в основном семь компенсаторов, .так как установка оптической оси подвижной трубки параллельно оси шарнира и установка параллельности оптических осей достигается не двумя, а четырьмя компенсаторами: грубо — подвижкой призм на мостике и точно — смещением объективов. Компенсаторы приз- менного бинокля позволяют не только получить требуемую парал- лельность осей, но и расширить допуск на большинство первичных погрешностей, что существенно повышает технологичность изготовле- ния бинокля. Расчет компенсаторов спектральной щелевой диафрагмы. К спек- тральным щелевым диафрагмам предъявляются высокие требования к точности изменения ширины щели и ее форме (клиновидности и погрешностям формы образующих ее кромок ножей). Приведем расчет компенсаторов, обеспечивающих указанные требования в щелевой диафрагме, созданной на базе унифицирован- ной диафрагмы типа ГОИ, но с несколько измененными пределами работы. Пределы раскрытия щели диафрагмы составляют 0—3 мм; допустимое предельное вероятное значение погрешности щели на всем диапазоне — 5 мкм; клиновидность щели — 1 мкм. Кинематическая схема диафрагмы изображена на рис. 1.32. Изменение ширины (у) щели здесь происходит при перемещении ножей 4, опирающихся на плоский кулачок (клинья) 3 ползуна 2. Ползун перемещается винтовым механизмом 1 при вра'щении (х) барабанчика со шкалой. • Искомая ширина щели связана следующей зависимостью с кон- структивными параметрами узла: у — kp tg Р х/л = 2kp tg Р n/tij, где k — 1 — число заходов винта; р — шаг винта; Р — угол клина, Р = 14° 2'; х — угол поворота точной шкалы (максимальный угол поворота xmav = б-2л: п — угол поворота точной шкалы в-деле- ниях, «max = Пг«т = 600 (пг = 6 — число делений грубой шкалы, пт = 100 — число делений точной шкалы). Цена деления точной шкалы Ат = 5 мкм; цена деления грубой шкалы Аг — 0,5 мм. В табл. 2.5 приведены основные первичные погрешности, влияю- щие на точность раскрытия щели диафрагмы. Значение наименьшего допустимого коэффициента влияния согласно'формуле (2.16) равно %0 = 7,4. Как видно из табл. 2.6, к ничтожно малым могут быть отнесены погрешности 1, 3, 8, 10, 12. Проверку правильности их отнесения к ничтожно малым производим с помощью коэффициента %н = 42,2, вычисленного по формуле (2.18) при а = 0,9. Сравнение коэффициентов влияния указанных погрешностей со значением %н показывает, что лишь только погрешности 8 и 10 могут не учиты- ваться при расчетах. Так как допуск на погрешность 3^может быть уменьшен в два раза (до 5Г), то эту погрешность тоже можно не учи- тывать при расчетах. 3 Латыев-С. М. . - 65
№№ пп Первичная погрешность (ПП) Частичные погрешности пс п1 «2 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16_ 17 18 19 20 Погрешность совмещения штриха шкалы с индексом Да Погрешность совмещения штриха шкалы * из-за параллакса Др Погрешность деления точной шкалы Дфх Эксцентриситет точной шкалы Ле Перекос барабанчика точной шкалы Лу Погрешность шага винта Д/ Зазор в паре винт-гайка Дс0 . Непараллельность перемещений винта и ползуна Дф2 Погрешность формы поверхностей выс- шей пары винт—ползун ДЛ Изменение контактной деформации пары винт—ползун Д4 Зазор в направляющих ползуна Лсг Погрешность . формы направляющих и ползуна Д/^ Погрешность угла левого клина Д₽л Погрешность угла правого клина Д₽п Погрешность формы поверхности левого’ клина ДЛ2 Погрешность формы поверхности право-2 го клина ДЛ8 Зазор в направляющих левого ножа Дг2 Зазор в направляющих правого ножа Д^з Погрешность формы направляющих и ле- вого ножа Ahi Погрешность формы направляющих и правого ножа ДЛб АУм 0 1 » 1 1. 1 1 1 1 1 1 11 1 .1 1 1 11" 1 1 < <1 <1 < <1 Д^Да АУдР Д^Дф, дУд7 AKt АУьп АУм, Дудэп Д^ДЛ, Д^ДЛ, дУдл4 Д^ДЛ, Уточненное значение коэффициента Ло, равное 5,74, находим из формулы (2.20), после чего определяем, что погрешности 6, 7, 11, 13, 14, 15, 16, 17 и 18 требуют компенсации. Выполнить это одним компенсатором невозможно (вследствие малого хода винта возможна лишь, частичная взаимокомпенсация погрешностей углов клиньев и Скопленной погрешности шага винта). Начнем а компенсации наиболее сильно действующих погреш- ностей 11, 17 и 18. Исходя из выражения (2.22), определяем, что наибольшее значение недокомпенсации погрешностей 17 и 18 со- 66
Ке№ пп. Частич- ная по- греш- ность Д^Д<7 Общее выражение частичной погреш* - ности Д//д^ = Aqbq Значение ПП Значение частичной погреш- ности, мкм Коэффи- циент влияния К 1 Д^Да (4т250//) Да 30" 0,187 , 26,7 »2 Д0Др • [4т//(/250)1 Др 0,5 мм 0,5 10 3 (у/х) Д<рх 10' (5') 0,23 (0,115) 21,7 (43,4) 4 Д^де [у sin (х + + 0о)/(х7?)] Д/ 125 мкм 0,765 6,5 5 > Д^д? [у sin (х + ' + GJ L!(xR)} Ду -10' 0,293 17,0 6 ДУд/ 2 tg Р Д/ . 2 мкм (3)- • 1,0 1 (L5) . 5 (3,33) 7 Д^Дсо 2 tg Р Дс0 50 мкм 25^ 0,2 8 Д^Дф, (—«//2) Дф1 20' 0,054 92,5 • 9 Д^дл 2 tg Р Д/г Ij6 MKM 0,8 6,25 10 Д'/Ad 2 tg Р Ad 0,2 мкм 0,1 50 Г1 Д-"дс, (b tg р/В,) Act 150 мкм 10,7 0,46 12 Д^дл, (b tg Р/Вх) Aht 3,2 мкм 0,228 21,9 13 Д^Д₽Л [xkp/(n cos2 P)] ДРЛ 10' ‘ 3,82 1,3 14 А^₽П [xkp/(n cos2 P)] Дрп 10' 3,82 ' 1,3 15 Д^дй2 (1/cos p) Ah3 1,6 MKM 1,64 3,0 16 Дг/дл. . (1/cos P) Ahs 1,6 MKM 1,64 3,0 17 •ДУДе2 (tg P) Дс2 220 мкм - 55 0,09 18 Д//де, (tg P) Aca- 220 мкм 55 0,09 19 Дг/дл. (Litgp/Ba) Д/ti . 3,2 мкм (0,5) 0,39 (0,06) 12,8 (83,3) 20 Д^дй. (Litg p/Bs) Aht 3,2 мкм (0,5) 0,39 (0,06) 12,8 (83,3) П р и м е,ч а н и е: 1 да 1 мм расстояние между штрихами точной шкалы; t да да 50 мм — возможное смещение глаз наблюдателя; R да 13 мм — радиус барабана точной шкалы; 60 — начальная фаза вектора эксцентриситета шкалы; L да 16 мм — расстояние от края барабана до точки поворота? b да 10 мм — вылет клина; да да 35 мм — база ползуна; да 10 мм — расстояние от центра поворота ножа до его опоры на клин; В2 20 мм — база ножа. ставляет Дснктах = A^/(tgPXo) « 3,5 мкм, а погрешности 11 ДСнк max &yVdl(b tg 0/Bi) %£>] « 12,5 докм. Если эти по- грешности компенсировать силовым замыканием (см. п. 1.5), то Дснн = “ 0. .Тогда, применив три компенсатора, получим Хок = 4,1. Следо- вательно, погрешность 6 уже не требует компенсации. Максимальное значение недокомпенсации следующей значительно . влияющей погрешности 7 составляет Дс0. нк max = A#vd/(2tg 0%qk) « 5* 67
ж 2,4 мкм. Если применить регулировку зазора обжимной гайкой (как в типовой конструкции), то уменьшись значение Ас0,нк не удастся из-за погрешности шага винта (т. е. Аок = Лок = 4,1). Погрешности углов клиньев (13 и 14) регулируют путем их раз- ворота относительно ползуна. Максимальное значение недокомпен- сации составляет Д0НКтах = tyVd/[(xKp/(a cos2 0) Xqk] « 3'. Тогда %ок = Xqk = 4,1. Минимальное значение недокомпенсации, позво- ляющее не учитывать эти погрешности, -равно APHKmin = = &yvdl\xKpl(ncos2 0) 1ц] «О.З'УВ этом.случае Х®к « 3,85. В обоих случаях остаются .погрешности, требующие компенсации. Выбираем вариант с = 4,1, так как он позволяет более просто осуществить регулировку углов клиньев. Погрешности формы поверхностей 15 и 16 устраняются обычно их доводкой. Допустимая погрешность формы равна A/i2j3hk = = A#t,d/[(l/cos 0) « 1,2 мкм. Этот допуск с учетом небольшой базовой длины кромки может бть выдержан- тонкой шлифовкой. Проведенный расчет компенсаторов позволяет обеспечить с их помощью заданную точность функционирования щели. На клино- видность щели Д/Сщ влияют погрешность прямых углов ножей Аа (см. рис. 1.37) и погрешности формы их направляющих ДЛ4 и A/i6: ААщ да 77 Да; А7Сщдл4,5 = (Д/Вг) ДЛ4,5, где Н = 20 мм — рабочая высота ножей. Так как эти погрешнЪсти относятся к группе п2, то Хо = 2. Исходя из допустимой клиновидности ДЛщ0</ = 1’ мкм, находим допустимые значения первичных погрешностей': Да112 = .= ДДЩР<//(Я%0) = 5"; ДЙ4.6 = ДДщо<г/[(Д/В2) %0] = 0,5 мкм. Вы- держать такие допуски технологически весьма трудно, поэтому производят компенсацию погрешностей. Погрешность прямого угла ножей Да компенсируют путём ориентирования их рабочих кромок параллельно друг другу разворотом направляющих (см. рис. 1.37). Допуск на погрешность выполнения прямого угла при изготовлении ножей может быть расширен до экономического уровня точности. Возникающая при таком методе компенсации косинусная погреш- ность раскрытия щели мала и ею. можно пренебречь. Погрешность формы Д/г4, Дй6 направляющих ножей, приводящая к их переменным наклонам при движении, устраняется доводкой. Рабочие кромки ножей также-доводятся и контролируются пробным стеклом. Рассмотренные примеры показывают, что введение компенсаторов позволяет расширить допуски не только на компенсируемые, но и на другие погрешности. 2.4. УТОЧНЕНИЕ ДОПУСТИМЫХ ЗНАЧЕНИЙ . ПЕРВИЧНЫХ ПОГРЕШНОСТЕЙ Правильное определение допустимых значений перЬичных по- грешностей имеет весьма важное значение, так как от этого зависит назначение допусков на технологические первичные погрешности, 68.
а следовательно, технологичность прибора. Допустимые значе- ния влияющих факторов позволяют уточнить условия экс- плуатации прибора и оптимизировать его конструктивные пара- метры. , / Например, если погрешность совмещения штриха точной шкалы щелевой диафрагмы из-за параллакса (см. табл. 2.6) нарушала бы требуемую точность работы, то пришлось бы изменить конструкцию шкального отсчетного устройства (для уменьшения параллакса) либо каким-то образом уменьшить или устранить возможное смеще- ние глаз наблюдателя в поперечном направлении. 4 Допустимые значения первичных погрешностей и факторов определяют при выполнении проектного расчета из условия равного влияния их частичных погрешностей (влияний) [18], т. е. при Kt = Ki = Ki — К- Следовательно, исходя из (2.9)—(2.11), можно получить: ^Яс1 — tyli = tyed/lAci (Сpi + kpi) &/2i = &yvd/(flcikpiK)> f (2.30) где Д<7с, Sft, 6q2—допустимые значения неслучайных первичных погрешностей и случайных, имеющих и не имеющих систематиче- скую составляющую соответственно; Хо — наименьшее допустимое значение коэффициента влияния, вычисленное по формулам (2.14) или (2.16). Как видно из этих выражений, допустимые значения первичных погрешностей зависят не только от их передаточной функции (коэф- фициентов) Л, (Лс), но и от числа погрешностей (т. е. от Хо). Однако среди них есть погрешности, ълияющие очень слабо на показатель качества прибора (узла), что приводит при условии равенства их частичных влияний к некоторому ужесточению допусков на другие погрешности и, как следствие, иногда к неоправданной их компен- сации.- Первое уточнение допустимых значений первичных погреш- ностей производят при выявлении ничтожно малых погрешностей и факторов с помощью коэффициента К> вычисленного по формуле (2.18). В том случае, когда отсутствуют неслучайные погрешности (или они учтены отдельно), а число ничтожно малых из группы пх равно нулю, наименьший допустимый коэффициент влияния может быть определен по формуле (2.19). Исключив ничтожно малые по- грешности (т. е. такие, у которых пересчитывают по фор- муле (2.20) значение Ко- Уточненное значение 1о подставляют в вы- ражение (2.30) и получают новые (расширенные) допуски на первич- ные погрешности и факторы. Далее выявляют погрешности, требующие компенсации, опре- деляют Число компенсаторов по вышеизложенной методике и’ нахо- дят значение к, вычисленное по формуле (2.-20) с учетом того, что часть компенсируемых погрешностей перейдет в группу ничтожно малых погрешностей,
После этого вторично уточняют допустимые значения первичных погрешностей и факторов: . = A&tf/MgAo'к); . fyli = ^yvd/t-^ci (Cpi + Apt) Хф-' K]» S^2i = ^yvdl{,^ci^pi^ )' (2.31) Однако приведенное уточнение допусков может быть не окон- чательным. Среди первичных погрешностей (особенно технологиче- ских) встречаются такие, допуски на которые являются весьма же-* сткими. Их можно выполнить, но с точки зрения экономичности целесообразно расширить допуск на них за счет более слабо влия- ющих ошибок. Примером такого допуска является допуск на погреш- ность шага винта в винтовом механизме спектральной щели (см. табл. 2.6). Выдержать допуск, равный 2 мкм, весьма сложно, ком- пенсация же этой погрешности принципиально возможна, но в дан- ном устройстве экономически и технически нецелесообразна. Вместе с тем некоторые погрешности оказывают гораздо более слабое влия- ние (например, 1 и 5). Кроме этого, для обеспечения другого пока- зателя качества (в нашем примере — клиновидности щели) допуски на некоторые первичные погрешности иногда ужесточаются, либо компенсируются (погрешности 1.9 и 20), в результате чего они пере- ходят в разряд слабо влияющих или ничтожно малых для первого показателя (точности раскрытия щели). Заметим, что вследствие полной компенсации некоторых погрешностей уменьшается также значение коэффициента Хн (для щелевой диафрагмы это приводит, например, к тому, что погрешность совмещения штриха с индексом из-за ограничения остроты зрения оператора может быть также отнесена к ничтожно малым). Расширение допуска на сильно влия- ющие погрешности после указанного уточнения производится двумя методами. Первый из них основан на некотором ужесточении допуска на слабо влияющие погрешности (например, изготовление детали не на экономическом, а на производственном уровне точности). В этом случае влияние данных погрешностей становится нйчтожно малым и они не учитываются при расчете уточненного значения Xg- к- у. Окончательные допуски находят по формуле (2.31), подставляя вме- сто Х“- к его уточненное значение. В щелевой диафрагме, например, можно ужесточить допуски на перекос барабанчика (до 5—8') и погрешность формы ползуна (до 2—2,5 мкм). Тогда учитывая, что погрешности 19, 20, 1, 5, 12 являются ничтожно малыми, получаем уточненное значение X*- к- у яй 3,5. Второй метод расширения допусков основан на проверочном расчете показателя качества по формуле (2.8), в которую подстав- ляют значения первичных погрешностей, полученных из выраже- ния (2.31). Поскольку суммарное влияние первичных погрешностей будет меньше, чем Дум (так как Хо’к < Xi), то допуски на некото- рые из них можно расширить. В некоторых случаях допуски пере- распределяются: сужаются на слабо влияющие (при этом их перевод 70
в ничтожно малые необзязателен) и расширяются на сильно влия- ющие погрешности. Применение этого метода определения допустимых значений первичных погрешностей и факторов, основанного на методике проект- ного расчета (с учетом компенсаторов) и'дальнейшим их перераспре- делением и уточнением на. основе проверочного расчета, следует, видимо, считать наиболее эффективным. 2.5. РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ДОПУСКА НА ПОКАЗАТЕЛЬ КАЧЕСТВА ОПТИЧЕСКОГО ПРИБОРА' МЕЖДУ ЕГО ФУНКЦИОНАЛЬНЫМИ УСТРОЙСТВАМИ Часто ОП представляет собой сложную систему, содержащую большое количество простых и сложных функциональных устройств, поэтому расчет компенсаторов целесообразно проводить отдельно для каждого функционального устройства, а не для всего прибора в це- лом. Это обусловлено тем, что на этапе проектирования конструкции отдельных узлов прибора бывают разработаны еще недостаточно (что затрудняет проведение расчетов всего прибора), а также тем, что в последнее время существует тенденция агрегатного проектирова- ния, когда прибор компонуется из отдельных функциональных законченных (иногда унифицированных) узлов. Для расчетов компенсаторов в функциональных устройствах не- обходимо распределить суммарный допуск на интересующий нас показатель качества прибора между ними. Это можно выполнить несколькими способами. . 1-й способ основан на предположении, что все функциональные устройства влияют случайно и одинаково на показатель качества &yvi = j/"S Af = At•/«» где Дг/0(г — допустимое значение показателя качества прибора (сум- марный допуск); п — число устройств; At — допуск на отдельное функциональное устройство. Тогда Д| — п. При таком рас- пределении допуска не учитывается то, что функциональные устрой- ства влияют на показатель качества неодинаково, а в соответствии с коэффициентом влияния. 2-й способ распределения основан на том, что суммарный допуск распределяется между влияниями функциональных устройств про- порционально их коэффициенту влияния [23]: • Аг/0(/ = kyvdKi S Ki + Ь-Уис/Кг Уи Kt 4~ 4~ At/odKn 2 Ki, | i | i I i /n Ki = Аг/г дг = i = &iKi (частичное) влияние отдельного функционального устрой- ства (Ai — допуск на устройство). ‘
Допуски на функциональные устройства также получаются ОДИ* наковыми (но с учетом их коэффициентов влияния) / п Ai = А2 = А; = tyvd I i При условии случайного влияния функциональных устройств имеем отсюда А/ — ^Dvd Равнозначное распределение, допуска между функциональными устройствами обладает тем недостатком, что в случае сильного влияния некоторых устройств допуск на все устройства получается жестким. Здесь суммарный допуск достигается за счет более точного изготовления слабовлияющих устройств. Так как затраты на выпол- нение допуска устройства аналогично затратам на выдерживание допусков деталей возрастают пропорционально квадратам допусков, то такой метод распределения не всегда эффективен. . 3-й способ распределения основан на том, что суммарный допуск распределяется равнозначно между частичными влияниями функ- циональных устройств А^ = S (АЛО2 = АЛ» /И, где Д^! = Д2/С2- = Ап/<п — частичные влияния функциональных, устройств. Следовательно, Дг = куыЦКл V п). В соответствии с различными значениями коэффициентов влияния допуски на функциональные устройства здесь получаются разными. Такое распределение более рационально, так как позволяет выделить устройства, влияющие наиболее сильно, и выдерживать допуск на них, применяя специальные, мероприятия: компенсацию погреш- ностей, использование специализированного оборудования, кон- трольно-юстировочных приспособлений. 4-й способ распределения суммарного допуска между функцио- нальными устройствами основан на учете затрат, связанных с вы- полнением допусков. Допуск распределяется так, чтобы с одной стороны обеспечить требуемый показатель качества ОП, а с другой,— наименьшую стоимость его изготовления: Z Е АШ = А^; Е CJА?₽ = min, t
где Ct — коэффициент пропорциональности для выражения допуска в единицах стоимости; р >0 — показатель степени. При решении этой системы (Сг = 1, р = 1) получим [13] Д/ — &yvd Ki. Распределение допусков на функциональные узлы 3-м и 4-м способами считается наиболее оптимальным. Вопрос о выборе того или иного способа распределения суммарного допуска зависит от вида устройства, степени унификации его, условий производства. Все перечисленные способы часто ис- g пользуют для распределения допусков на детали прибора (т. е. технологические пер- вичные погрешности). При этом следует, обратить внимание на то, что при распре- делении допуска 4-м способом обычно учитывают только затраты, связанные с изготовлением деталей. Затраты на их сборку или не учитывают или считают, что стоимость сборки обратно пропорцио- нальна квадратам дбпусков на погрешности сборки. Между допусками на изготовле- ние деталей и стоимостью их сборки имеется корреляционная зависимость. Для сборки многих деталей, особенно тех, ко- торые образуют размерную цепь с одина- ковыми коэффициентами влияния погреш- -Рис. 2.3. Зависимости стои- мости изготовления (/) и сборки (2) деталей от допус- ков на их изготовление (3 — суммарная стоимость) ностей (например, при /С = 1), затраты на сборку возрастают с рас- ширением допуска на погрешности изготовления собираемых деталей. На рис. 2.3 представлены зависимости стоимости В изготовления и сборки таких деталей от допусков Д<? на их изготовление [54]. Как видно из графиков, имеется оптимальная зона допусков на по- грешности изготовления деталей, учитывающая затраты и на изго- товление и на сборку. Это следует иметь в виду при распределении допусков с учетом затрат, связанных с их обеспечением. Заметим, что в случае применения компенсаторов стоимость сборки в меньшей степени зависит от погрешностей изготовления деталей и увеличи- вается с уменьшением допустимого значения недокомпенсации. Г л а в а 3 ОСНОВЫ КОМПЕНСАЦИИ ПОГРЕШНОСТЕЙ ОПТИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ При использовании компенсационного метода повышения качества ОП возникают вопросы, связанные с организацией про- цесса компенсации. К ним относятся разработка структурных схем и функциональных зависимостей, связывающих первичные погреш-
4 кости ОП и параметры компенсатора, выявление закономерностей и правил компенсации систематических и случайных погрешностей, рекомендации по расчету параметров компенсаторов и их практи- ческому выполнению. 3.1. СТРУКТУРНЫЕ СХЕМЫ КОМПЕНСАЦИИ ПОГРЕШНОСТЕЙ Представим процесс компенсации погрешностей ОП в виде струк- турной схемы (рис. 3.1), содержащей- объект (наблюдения, измере- ния, управления) /; оптический прибор 2;, компенсатор 3 [х, у — информативные параметры входного и выходного сигналов; qt — конструктивные параметры прибора; q'{ — влияющие факторы (рефрак- ция воздушных слоев, температура, вибрации и т. д.); f — функция, Рис. 3.1. Структурная схема процес- са компенсации погрешностей связывающая х и у, х0, уо, qto, qio, fo— расчетные (номинальные) значения, .перечисленных параметров; Дгк — корректирующий сигнал на компен- сатор; Дхк — коррекция, вырабаты- ваемая компенсатором, поступающая на вход прибора; Д//к — коррекция компенсатора, подаваемая на выход прибора (т. е. коррекция информа- тивного параметра выходного сиг- нала); Д<?гк — коррекция'" компенса- тора, изменяющая лгараметры при- бора]. Методические погрешности,’ инструментальные, погрешности ре- гистрации и погрешности, возникающие из-за изменения влияющих факторов, приводят к ухудшению качества прибора (Ду = у — у0). В зависимости от погрешностей прибора, входного или выходного информативного параметра, влияющих факторов компенсатор выра- батывает коррекционное воздействие, которое так изменяет пара- метры прибора либо его входной или выходной сигнал, что устра- няется (компенсируется) либо результат действия погрешности ,на тот или иной Показатель качества, либо сама погрешность. Для выработки коррекционного воздействия необходимо получить кор- рекционный сигнал на компенсатор (Дг^). В зависимости от способов получения коррекционного сигнала структурные схемы компенсации погрешностей ОП могут быть построены по методам, аналогичном методам компенсации погреш- ностей электроизмерительных приборов: вспомогательных измерений, образцовых сигналов, обратного преобразования 12, 121. Наиболь- шее распространение в оптических приборах получили первые два метода коррекции. Компенсация методом вспомогательных измерений (рис. 3.2) заключается в том, что погрешности параметров и изменения влия- ющих факторов (либо их частичные влияния) измеряются с помощью вспомогательных измерительных устройств. Их роль выполняют
Рис. 3.2. Схема процесса компенса- ции методом вспомогательных изме- рений: / — объект; 2 — оптический прибор (функциональное устройство); 3 — ком- пенсатор; ВИ У — вспомогательное из- мерительное устройство; В У — вычи- слительное устройство обычно контрольно-юстировочные приборы: измерительные микро- скопы, автоколлиматоры, приборы измерения линейных величин (индикаторы, оптиметры, интерферометры), датчики температуры и давления, лекальные' линейки, пробные стекла и т. д. •Измеренные значения поступают в вычислительное устройство, функции которого при автоматизированной коррекции выполняет процессор, а при неавтоматизированной коррекции — таблицы или графики. В вычислительном устройстве заложена зависимость ча- стичных показателей качества (Дуд?, д90 от первичных погреш- ностей И факторов — ^q't = = f (х,. у, q{, Lqt, kq'i), а также до- пустимые значения первичных по- грешностей и факторов (Д^-доп, Д^доп) и их влияний (ДуМ/Д0П, Дуд?'доп)- На основании сравнения измеренных погрешностей и факто- ров с их допустимыми значениями (либо действительного и допустимого влияний погрешностей) вычислитель- ное УСТРОЙСТВО при Ду4 > Д^доц, Дуд? > Дуд?г доп вырабатывает кор- рекционный сигнал на компенсатор Дгк. Коррекционный сигнал изменяет параметры компенсатора, в резуль- тате чего компенсатор воздействует на параметры прибора (Дук) либо на информативные параметры х, у (Дхк, Дук) с целью устранения са- мой погрешности или ее влияния на качество. . В некоторых случаях задачи вспомогательного измерительного и вычислительного устройств решают непосредственно компенса- торы, например, температурные компенсаторы расфокусировки и изменения диаметров линз и зеркал, представляющие собой набор деталей из материалов со специально подобранными коэффициентами линейного расширения. Методом вспомогательных измерений осуществляют компенсацию погрешностей в процессе регулировки и юстировки ‘приборов регу- лировочно-юстировочными компенсаторами. Типичными примерами является регулировка фокусных расстояний объективов, их фокуси- ровка, устранение наклона изображения, доводка направляющих поступательного и вращательного движения подвижных систем. Методом вспомогательных измерений производят также компенса- цию влияния перепада температуры, когда по измеренному ее зна- чению вводят поправки в результат (например, изменением цены .деления) или изменяют некоторые конструктивные параметры при- бора. Таким образом построена компенсация погрешностей в адап-
тивной оптике, где по измеренной деформаций волнового фронта, обусловленной турбулентностью воздушных слоев, с помощью процессора управляется адаптивный компенсатор (гибкое зер- кало). Метод вспомогательных измерений обладает следующими особен- ностями: • 1) корректируется не суммарный показатель качества (суммар- ная погрешность) прибора, а только его составляющие, обуслов- ленные отличием некоторых параметров у, и q'i от их номинальных значений; 2) для, измерения отклонения каждого параметра от его номи- нального значения (Ду,, ДуЭ необходимо иметь- отдельное ВИУ; Рис. 3.3. Схема процесса компенсации методом образ- цовых сигналов: 1 — объект образцовых сигна- лов; 2 — оптический прибор (функциональный узел); 3 — компенсатор; ОПП — образцо- вый прямой преобразователь; В У — вычислительное уст-' ройство 3) вычислительное устройство должно содержать либо допустимые значения пер- вичных погрешностей и факторов, либо допустимые значения их влияний; 4) результат коррекции в существенной мере зависит от качества ВИУ. Компенсация методом образцовых сиг- налов (рис. 3.3) основана на том, что об- разцовый сигнал (х0) подается 'на вход прибора (функционального устройства) или же в состав системы коррекции вхо- дит образцовый прямой преобразователь (ОПП). Образцовый сигнал позволяет по- лудить номинальное значение (ун) инфор- мативного параметра выходного сигнала путем расчета по номинальной функции прибора, а образцовый прямой преобразо- ватель — номинальным преобразованием . сигнала. Номинальное значение (ун) поступает в вычислительное устрой- ство, где вычисляется разность значения ув и действительного его значения (у), поступившего с выхода прибора (Ду ?= у — ув). Вы- числительное устройство на основании сравнения Ду с его допустимым значением (Дудоп) вырабатывает при Ду > Дудоп коррекционный сигнал на компенсатор. В качестве образцового сигнала используют волновой фронт эталонного источника светового излучения, эталоны угловых и линейных величин (шкалы, призмы, коллиматоры и т. п.), углы и расстояния между предметами, звездами, длины волн спек- тральных-линий. Образцовыми преобразователями могут быть эта- лонные приборы, объективы, оптические микрометры. Методом образцовых сигналов обычно производится компенсация погрешностей при окончательной юстировке прибора или его функ- циональных узлов. Например, компенсация комы объектива из-за децентрировки линз, когда по дифракционному изображению точки или изображению миры судят о наличии недопустимой комы ц устра- няют ее смещением (или разворотом-вокруг оси) определенной линзы. По такой схеме работают некоторые автоматические компенсаторы
Рис. 3.4. Схема процесса компенсации методом об- ратного преобразования: 1 — объект наблюдения; 2 — оптический прибор; 3 — компенсатор; ОПП — об- разцовый обратный преоб- ^зователь гнутии и расфокусировок телескопов, основанные на встроенных в них эталонных преобразователях. Метод образцовых сигналов обладает следующими особенностями: 1) корректируется суммарный показатель качества (суммарная погрешность) прибора (или узла), обусловленный действием всех упо- мянутых выше погрешностей; 2) необходимо наличие образцового информативного параметра входного сигнала х0 либо образцового прямого преобразователя .ОПП, осуществляющего номинальное преобразование; 3) коррекция производится в дискрет- ных точках диапазона работы прибора, со- ответствующих значениям образцового сиг- нала; 4) результат, коррекции в существенной мере зависит от качества образцового сигна- ла либо качества ’ОПП. " Компенсация методом обратного пре- образования основана на сравнении информа- тивного параметра входного сигнала (х) с его номинальным значением (хн), получен- ным с помощью преобразования информатив- ного параметра выходного сигнала (у) об- . разцовым обратным преобразователем ООП (рис 3.4). Входной сигнал х и его номиналь- ное значение хн поступают в’вычислительное устройство, где их разность сравнивается с ее допустимым значением. На основании этого сравнения вычислительное устройство вы- рабатывает сигнал AzK. В образцовом обратном преобразователе заложена номинальная функция обратного преобразования хн = = То' (у, qio, q'io)- Метод обратного преобразования наиболее часто используют в ОП совместно с методом образцовых сигналов. Метод обратного преобразования имеет следующие особенности:' 1) корректируется суммарный показатель качества (суммарная погрешность) прибора, обусловленный инструментальными погреш- - ностями, погрешностями регистрации и влияющими факторами (по- грешности, обусловленные допущениями относительно, объекта и канала учитываются только при наличии образцового входного сигнала х0 от объекта наблюдения); 2) необходимо наличие образцового обратного преобразователя ООП, от точности которого существенно зависит также точность коррекции. Процесс компенсации погрешностей ОП довольно часто строят по смешанной схеме: при поузловой сборке применяют метод вспо- могательных измерений, окончательную юстировку производят ме- тодом образцовых сигналов, а компенсацию эксплуатационных по- грешностей — одним из этих методов. Во всех случаях коррекционное
воздействие компенсатора на основании Лгк может быть направлено как на параметры прибора Д^в, так и на информативные параметры выходного (Дг/и) и входного (Дхв) сигналов. 3.2.' КОМПЕНСАЦИЯ СИСТЕМАТИЧЕСКИХ ПОГРЕШНОСТЕЙ Систематические погрешности оказывают наиболее сильное влия- ние на показатели качества приборов. Они (особенно систематические погрешности для партии приборов), как следует из выражений (2.16) и (2.30), определяют допуски на технологические первичные погрешности. Систематические погрешности прибора целесообразно С точки зрения их компенсации разделить на две группы: 1) оказывающие неслучайное влияние на качество всей партии приборов и 2) оказы- вающие неслучайное влияние на качество отдельного экземпляра. Компенсация влияния погрешности 1-й группы может быть осуще- ствлена компенсатором, параметры которого известны заранее и не требуют индивидуальной регулировки в различных экземплярах приборов, так как погрешность и ее влияние на качество всей партии приборов одинакова. Компенсация влияния погрешности 2-й группы требует регулировки параметров компенсаторов в каждом экземпляре прибора в зависимости от конкретного значения погрешности. При компенсации погрешностей как 1-й, так и 2-й групп, зада- чами, решаемыми при проектировании компенсатора являются: определение^метода компенсации, расчет параметров компенсатора и разработка методики практической реализации параметров, кото- рая при компенсации систематических погрешностей 2-й группы включает в себя- методику измерения конкретного значения погреш- ностей. Наиболее сложно решать эти задачи в том случае, когда влияние погрешности носит степенной, периодический или комбини- рованный характер. Рассмотрим некоторые способы решения задач при компенсации этих погрешностей. Графо-аналитический способ расчета параметров-компенсаторов основан на графо-аналитическом сравнении влияния компенсируе- мой погрешности с результатом коррекционного воздействия ком- пенсатора. Рассмотрим компенсацию- теоретической погрешности механизма тонкой наводки (типа Мейера) микроскопа, схема которого изображена на,рис. 3.5, а. На рис. 3.5, б, в представлены графики точной ут и приближенной уп зависимостей перемещения тубуса у от угла поворота а сектора, теоретической погрешности Д«/т, по- грешности от изменения длины плеча рычага Дг/Дг, недокомпенса- ции Аунк для случая полной компенсации теоретической погреш- ности в конце рабочего диапазона. На рис. 3.5, г, д представлены аналогичные графики у?, уП, &ут при равенстве недокомпенсации в конце и середине рабочего диапазона, а на рис. 3.5, е, ж при различном нормировании точности работы в начале и конце рабо- чего диапазона. Тубус (или стол) микроскопа перемещается на ве- личину у — ±1 мм. с помощью зубчато-рычажного механизма, име- 78
ющего следующие конструктивные параметры: г0 = 6,88 мм, а = = 8°, I = 15 мм. Теоретический закон передачи движения имеет вид уг = г0 sin а ± I (1 — cos Р) « го sin а ± r§«*/(8Z). Составляю- щая го®4/(8/)., учитывающая наклон шпильки, оказывает ничтожно малое влияние на закон движения (ввиду того, что Р С а), поэтому Рис. 3.5. Компенсация теоретической погрешности механизма тонкой фокусировки микроскопа^ Уч « г0 sin а. Так как угол поворота сектора мал, то в основу рат боты механизма положена приближенная зависимость уп « гоа. Появляющаяся теоретическая погрешность Д«/т = ут — уп « —г0а3/6 (см. рис. 3.5, в) достигает в конце диапазона значения 0,0035 мм. При допустимом значении суммарной погрешности механизма на всем диапазоне Дуой =* 5 мкм'теоретическая погрешность требует компенсации, так как имеется также большое количество техноло- гических погрешностей, не позволяющих получить требуемую точ- ность работы.
Анализ конструкции механизма показывает, что наиболее просто осуществить компенсацию, если изменить плечо рычага. и ввести коррекцию обратного знака. Однако теоретическая погрешность носит степенной характер, а погрешность из-за изменения длины рычага — мультипликативный характер (рис. 3.5, в). Это означает, что возможна только частичная компенсация, причем^ величина и знак недокомпенсации будут существенно зависеть от значения Дгк. Рассмотрим несколько вариантов компенсации. В том случае, когда теоретическая погрешность полностью компенсирована в конце диапазона движения (рис. 3.5, в), максимальное значение недоком- пенсации ДуНка, и соответствующие ей значения угла ai и Дгк находят следующим образом. Вначале определяют ах, приравнивая нулю производную от разности между теоретической (действитель- ной) и приближенной зависимостями: (Дг/нк a,)' = г cos a,t — го = О, откуда cos ax = r0/r. Так как в. конце диапазона движение ДуНи = = г sin агаах — roamax = О, то rJr — sinamax/amax. Следовательно, cos ах = sin ашах/ашах. Разложив в степенной ряд правую и левую части этого выраже- ния, получим ах — атЯу/тЛЗ. Максимальное значение недокомпен- сации (в точке ах) будет равно Д^нка, — г sin ai — 7о«1 = Го sin ai/cos ai — nyxi лг «roai/3 —(roamax/6)/2,6 = Дут/2,6, ' т. е. теоретическая погрешность уменьшается в 2,6 раза. Коррекцию плеча рычага подсчитываем по формуле Дгк = г — rQ — г0 (I/cos ax— — 1) = Го (1 — COS «1)/COS Cti « r0ai/2 = Го«тах/б. Другой вариант возможной компенсации основан на такой кор- рекции г, что значение .Дг/нк а, в начале диапазона движения равно по значению Дунк ашах, но обратно по знаку в конце этого рабочего диапазона (см. рис. 3.5, д). Угол а2, соответствующий максимальной недокомпенсации, найдем, если приравняем нулю производную от разности между ут'и уп- (Дг/нка2)' = г cos а2— /о ~ 0, откуда г0 — г cos а2. Так как значения недокомпенсации в начале и в конце диапазона движения равны, то г sin a2 —• r0«2 = —г sin amax + + Гостах- Преобразовав это выражение, получим r0 (а2 + атах) — = г (sin a2 + sin ашах), и после подстановки — cos a2 (a2 + amax) = •= sin a<, + sin «mat. Разложим функции синуса и косинуса в сте- пенной ряд, при этом ограничимся первыми двумя членами: (1 — П2/2) (®2 Ч- ОСтах) = ®2 ®г/6 Ч- ^тах Итах/6. После преобразования этого выражения получаем уравнение 2<Х2 Ч- ЗоЬ2ОЬтах — 05щах ~ (®2 Ч” ®тах) (2сс2 Ч* Пг^тах ®тах) О, откуда а2 = 0,5ашах. Максимальное значение недокомпенсации определим по формуле Л«/нка2 = Г sin a2 — r0«2 = r0 (tg a2 — a2)« гoa?/3 = foocmax/24 = At/»/4.
Таким образом, теоретическая погрешность уменьшилась в четыре раза. Следует однако заметить, что такое уменыпениё погрешности справедливо для случая, когда измерения начинаются, от а = 0. В случае произвольного выбора начала измерения мы можем про- изводить их из положения а2 и заканчивать, например, в положе- нии атах, тогда Az/HK тах = Го«фах/2, т. е. Дут уменьшится в два раза. Коррекцию плеча рычага определяют аналогично способу, рас- смотренному выше: Дгк « ro<4/2 = H)Oniax/8. Для угла а3 недоком- пенсация Дг/Нк а3 = 0, т. е. Го«з = г sin аз, откуда аз cos аг •= sin аз. Разложив в степенной ряд левую и правую части равенства, имеем: а3 (1 — <4/2) = аз — аз/6. Следовательно, За| = а3 и а3 = /"За2 — — 0,87атах. В тех случаях, когда точность работы этого механизма норми- руется по-разному на всем диапазоне движения, целесообразно применить третий вариант коррекции. Тогда изменение г (если измерения начинаются при а = 0) нужно осуществлять так, чтобы значение Д</Нка, в начале диапазона движения было меньше, чем в конце его (например, во столько раз, во сколько допустимая по- грешность в начале диапазона меньше погрешности в конце диапазона движения: Д«/нка4/Д^нкагаах = tydJAyd*, рис. 3.5, ж). Параметры а4, Дгк, Д«/Нка4, Д«/нкашах определяют аналогично. Заметим, что если в данном механизме осуществляется компен- сация только теоретической погрешности, то регулировать длину плеча в каждом экземпляре не нужно, т. е. коррекция может быть осуществлена исправлением размера г0 в чертеже детали на ве- личину Дгк. Расчет параметров компенсаторов по способу наименьших квадра- тов применяют обычно при необходимости аппроксимации экспери- ментальных данных для определения функциональной зависимости, которая наилучшим образом' описывает изменение интересующей нас величины (т. е. позволяет нам выбрать, какая, например, из прямых экспонент или полиномов может описать искомую зави- симость). Способ, наименьших квадратов может быть применен также для расчета компенсатора. Например, с его помощью можно решить предыдущую задачу по определению оптимальной коррек- ции рычага тонкой фокусировки микроскопа для уменьшения тео- ретической погрешности. 'Йаиболее-целесообразно этот метод исполь- зовать для определения параметров компенсатора по эксперимен- тальным данным о компенсируемом ^суммарном 'показателе ка- чества. Если в предыдущем примере плечо рычага г сделать регулируе- мым, то, измерив суммарную погрешность перемещения тубуса Цетола) микроскопа, обусловленную всеми систематическими погреш- ностями, можно по способу наименьших квадратов вычислить не- обходимое значение Дгк изменения г для оптимальной компен- сации.
Используем способ наименьших квадратов для определения параметров компенсатора в измерительном устройстве (линзовом? компенсаторе) дальномера (см. рис. 1.5). Суммарная погрешность измерения параллактического .угла у — = rjtpxlij'r^n), где /1, Га —длины плеч рычага; k, р — число захо- дов и шаг резьбы винта соответственно; х — угол поворота винта; f — фокусное расстояние подвижной линзы афокального объектива, обуславливается следующими погрешностями: фокусного расстоя- ния подвижной линзы Д/', длин плеч Рис. 3.6.- Компенсация суммар- ной погрешности ' линзового компенсатора дальномера: — суммарная погрешность; ау — сглаживающая прямая; Дг/Дг — коррекционное воз- действие компенсатора рычага (Дг!, Дг2), шага винта Др, форм ^опорных поверхностей рычагов Ahlt ДЛ2, осевым зазором в винтовой паре (данная погрешность компенсируется индивидуально с помощью разрезной гайки). Влияние перечисленных погреш- ностей столь велико, что в этом устройст- ве предусмотрена компенсация их дейст- вий регулировкой плеча Оптималь- ное значение коррекции плеча можно определить по методу наименьших квадратов, измерив суммарную погреш- ность устройства Ду2 в функции угла у (рис. 3.6). Измерение производится на установке, схема которой изображена на рис. 3.7 [40]. Проверяемый узел устанавливается между коллиматорной и зрительной трубами, предварительно выставленны- ми друг относительно друга. Вращением вала винта (на который устанавливают лимб для ввода углов х) добиваются нулевого отсчета по окулярному микрометру 3 (т. е. в этом положении у — 0). Затем изменением х устанавливают расчетные значения угла у на измерительном устройст- ве и с помощью окулярного микрометра зрительной трубы измеряют его действительные значения: уя = ///об, где I — перемещение изображения; /об — фокусное расстояние объектива зрительной трубы. По результатам измерений рассчитывают значение Дгк. Так как Дук ,= —ДуДг = —у&гк1г = —ау, где а = Дгк/г, то за- дача заключается в том, чтобы подобрать такое а, при котором сумма квадратов отклонений экспериментальной зависимости от сглажи- вающей прямой была бы минимальной: АР F = S (&У1 - ayt)2 = min, т. е. = 2 $ (byt - ayt) yt = 0. (П \ | I n \ S yt &yt) I I S yl), следовательно, i /1 \ i ) (n \ I / n S At/iVi) S I / I \ (
Величину недокомпенсации определяем из выражения Аг/нк £ == = — (Дгк/f) Уь . В некоторых приборах и устройствах имеется аддитивная со- ставляющая суммарной погрешности, в результате чего погрешность сглаживается прямой, имеющей уравнение вида \у = ау + Ь. В этом случае коэффициенты а и Ь находят из следующих урав- нений [10]: Рис. 3.7. Установка для измерения погрешности углов отклонения линзо- вого компенсатора: I — коллиматор: 2 — зрительная труба с окулярным винтовым микрометром 3 Если суммарная погрешность носит степенной или периодиче- ский характер, соответствующие коэффициенты сглаживающей кри- вой определяют путем решения системы т уравнений с т неиз- вестными: • " f 2 [д^ а> ь> с> ' m)i = °; i п а, Ь, с, I п 2 [д^ - Ж а’ ь> с> • • •> т)1 (£)< = °- Решить эту систему можно в том случае, если задать вид сгла- живающей функции на основании характера рассчитанной^ или измеренной погрешности. Коррекционное устройство таких погреш-
Ностей основано на кулачках или нелинейных механизмах, воспро- изводящих сглаживающую кривую (например, коррекцию приводов ОП, содержащих винтовые и зубчатые механизмы, с помощью ку- лачка). Выполнение или регулировка параметров компенсатора про- изводится в каждом экземпляре прибора индивидуально. 3.3. КОМПЕНСАЦИЯ ВЛИЯНИЯ СЛУЧАЙНЫХ ПОГРЕШНОСТЕЙ И ФАКТОРОВ Некоторые погрешности и факторы оказывают случайное влияние на качество как партии, так и отдельного экземпляра прибора. К ним относятся турбулентность воздушных слоев, нестабильность трения и нерегулярные биения в кинематических парах, внутренняя и внешняя’вибрации, случайные составляющие погрешности наведе- ния и снятия отсчетов, нестабильность источников питания, шумы приемников и электронных устройств, нерегулярные изменения внешней среды. Компенсировать сами погрешности не представляется возможным, поэтому стремятся лишь уменьшить влияние их на качество ОП. Компенсация влияния случайных погрешностей и факторов основана на одном из свойств случайных величин, исполь- зовании адаптивных компенсаторов, работающих в реальном мас- штабе времени, применении организационно-технических меро- приятий. Использование свойств случайных величин. Для компенсации влияния случайных погрешностей на точность функционирования ОП используют известное свойство уменьшения влияния случайной погрешности при увеличении числа повторных циклов функцио- нирования (измерений, наводок).. Сущность этого метода состоит в том, что среднее значение выходного информативного параметра п У yt/n имеет среднее квадратическое отклонение Од = t_____________________;_________ - = ('^’У "Ь (“п”)2 ’ тЬ ("ri')2 = о!]/~п меньшее примерно на значение корня квадратного из повторных циклов (п), чем о отдель- ного измерения или наводки. В связи с этим для уменьшения влия- ния случайных погрешностей на практике широко используют увеличение числа измерений одной и той же величины. Примерами - компенсации такого рода являются повторные измерения угла между объектами с помощью теодолита, многократные повторные наводки окулярного микрометра микроскопа на края измеряемого объекта, повторные измерения превышения высот при нивелировании. В некоторых ОП, содержащих фотоэлектрические датчики ли- нейных и угловых перемещений, результат повторных измерений регистрируется и обрабатывается с помощью используемых в них ЭВМ, что. позволяет существенно повысить экономическую эффек- тивность данного метода компенсации. На этом свойстве основаны также некоторые коррекционные устройства ОП, например, инте- грирующее устройство авиационногб секстанта, схема которого при- ведена на рис. 3.8. В авиационном секстанте высота .светила изме- 84
рйётся путём Поворота зёркаЛа при совмещении изображения светила с изображением пузырька уровня. Вследствие качки ко- рабля, дрожания рук оператора и неточностей совмещения погреш- ность измерения угла составляет 1—2°. Применение интегрирующего устройства (см. п. 4.7), позволяющего определить среднее значение высоты светила h за некоторое время, в течение которого оператор удерживает пузырек уровня и изображение светила, эта погрешность уменьшается до значения 2—3' [25]: т h=-^jadf, о где к — масштабный коэффициент; а — угол поворота угломерного барабана (угол поворота зеркала 3); t — время, в течение которого .1 — фокусный уровень; 2 — неподвижное зеркало; 3 — под- вижное зеркало; 4 — объектив производилось усреднение (границы интегрирования Т составляют 40, 120 или 200 с). Следует отметить, что при увеличении числа измерений можно уменьшить только влияние случайной погрешности, систематиче- ские же погрешности остаются при этом неизменными. Применение адаптивных компенсаторов. Параметры адаптивных компенсаторов изменяются в реальном масштабе времени в процессе функционирования прибора. Это значит, что они позволяют компен- сировать, влияние погрешности (или фактора) со скоростью, соиз- меримой со скоростью изменения погрешности. Запаздывание регу- лировки параметров компенсатора не должно нарушать требуемой точности компенсации. Для этого за время адаптации (коррекции) Д/к — ii — ti> в течение которой происходит измерение корректи- руемого влияния Ду/, либо самой погрешности или фактора, вы-
работка коррекционного воздействия на компенсатор AzK и измене- ние параметров компенсатора, создающих ‘Аук (рис. 3.9), изменение влияния погрешности (фактора) не должно быть больше максимально допустимого значения недокомпенсации, т. е. А«/<2 — А«/к < Дг/Нктах- Время адаптации компенсатора, работающего в автоматическом режиме по одной из схем 'коррекции (вспомогательных измерений, образцовых сигналов, обратного преобразования или смешанной), в зависимости от вида корректируемых погрешностей и факторов изменяется от нескольких часов до долей секунды. Наиболее сложно компенсировать изменяющихся с влияние случайных погрешностей и факторов, большой скоростью (например, влияние рефракций воздушных слоев). Известно - [1 ], что коррекция атмосфер- ной турбулентности требует быстродействия адаптивных компенсаторов телескопов и оптических систем связи, рав- ного примерно 0,01 с. Созда- ние таких систем привело к появлению нового перспек- тивного направления в физи- ке и технике — адаптивной ОПТИКИ; Под адаптивной оптикой понимают оптическую систе- му, позволяющую благодаря активному элементу (роль ко- торого выполняет чаще всего гибкое зеркало) компенсировать влия- ние турбулентности земной ’ атмосферы путем изменения формы вол- нового фронта. Адаптивные компенсаторы оптических систем могут быть использованы для компенсации погрешностей, обусловленных . вибрациями, перепадами температуры, нестабильностью трения и биениями в кинематйческих парах механизмов наведения. Рассмотрим схему и принцип работы экспериментального теле- скопа с адаптивным компенсатором атмосферных искажений [1, 49]. Пучок лучей от звезды или наземного излучения попадает Ha-главное зеркало телескопа 7 (рис. 3.10), которое с помощью диагональных зеркал 2 и 3 строит изображение перед проекционной линзой 4. Линза чере^ светоделительное зеркало 5 передает изображение на ’ . щели, установленные во втором фокусе перед фотоумножителями ФЭУ1 и ФЭУ2. Диагональное зеркало 2 установлено на пьезоэлек- трических колонках, позволяющих при подаче на них напряжения наклонять зеркало для центрировки изображения относительно щели анализатора. Управление зеркалом осуществляется фотоэлек- тронными умножителями ФЭУЗ и ФЭУ4, измеряющими поток от двух половин щели. Диагональное зеркало 3, являющееся основным •устройством адаптивной системы, состоит из шести подвижных эле- ментов (зеркал), перемещающихся перпендикулярно к плоскости зеркала для коррекции атмосферных искажений волнового фронта. 86
Перемещение осуществляется пьезоэлектрическими.цилиндрами на величину долей длины волны света всего за 0,06 мс. Максимальное перемещение (при подаче напряжения ± 1000 В) составляет ±2,5 мкм. Управление перемещением осуществляется ФЭУ2, анализирующим резкость изображения, и блоком программной логики, последова- тельно перемещающей элементы зеркала. Управляющее логическое устройство обеспечивает поиск таких положений элементов зеркал, которым соответствует максимальный сигнал с ФЭУ2. Фотоэлектри- ческий умножитель ФЭУ1 вместе со щелью перемещается поперек изображения и используется для его записи. На рис. 3.11, а, б Рис. 3.10. Схема телескопа с адаптивным компенсатором атмос- ферных искажений [49, 50] приведены результаты, испытаний этого телескопа в случае искусственной звезды (изображение лазерного источни- ка света, сформированное через 250-метровый слой турбулентной атмосферы, рис. 3.11, а) и естественной (изображение Сириуса, рис. 3.11, б). Как видйо из рисунков, применение адаптивного компенсатора позволяет существенно улучшить резкость изображения звезд, практически приближая его к дифракционному пределу качества изображения. К недостаткам адаптивных телескопов [1 ] относятся ограничения, связанные с немонохроматичностью излучения звезд (что мешает устранить влияние рефракций воздушных сЛоев для широкого диапазона длин волн, так как деформации на различных длинах волн могут оказаться в данный момент времени различными); получение идеального изображения на оси телескопа, но не по всему полю зрения; невозможность использования в некоторых случаях адаптивного телескопа из-за предельного быстродействия адаптив- ной системы. Применение организационно-технических мероприятий. Орга- низационно-технические мероприятия, позволяющие уменьшить влияние случайных погрешностей и факторов на качество прибора, заключаются в создании таких условий работы- прибора, которые
предотвращают появление или уменьшают погрешности. К л им можно отнести создание термостатированных помещений, уменьше- ние циркуляций воздушных слоев, создание постоянного давления, влажности, виброзащиты и т. д. Одним из эффективных методов является также улучшение качества изображения, создаваемого оптической системой, с помощью Углобые секунды , . Рис. 3.11. Изображения источников излучения, по- лученные с помощью телескопа апостериорного восстановления деталей объекта по его искаженному изображению. Для этого необходимо иметь данные об изменении оптической передаточной функции' и уровне отношения сигнал/шум для полученного изображения. Глава 4 ТИПОВЫЕ КОМПЕНСАТОРЫ ПОГРЕШНОСТЕЙ ОПТИЧЕСКИХ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ УСТРОЙСТВ В процессе^ функционирования ОП происходит преобра- зование- входного сигнала его функциональными устройствами. В зависимости от вида преобразований функциональные устройства принято подразделять на оптические, оптико-электронные, механи- ческие и др. В конструктивном отношении они представляют собой отдельные узлы или совокупность узлов, объединенных общим назначением. К оптическим функциональным устройствам относятся объек- тивы, зеркально-призменные системы, окулярные и оптические микрометры, преобразователи линейных и угловых перемещений- на основе шкал, лимбов, дифракционных решеток, оптические скани- рующие устройства и др. S3
От качества >этйх функциональных устройств зависят показатели качества всего ОП. Рассмотрим устройство, расчет и юстировку ти- повых компенсаторов погрешностей наиболее употребительных функ- циональных устройств? 4.1. ТЕРМОКОМПЕНСАТОРЫ При изменении температуры качество ОП может существенно ухудшиться йЗ-за возможной расфокусировки .оптической системы, децентрировок или пережатий оптических деталей, изменения фо- кусных расстояний, размеров и положения элементов конструкции. Наиболее значительное влияние оказывает изменение температуры на точность функциониро- вания ОП, качество изо- бражения, создаваемого оптической системой, и. надежность. Компенсаторы расфо- кусировки. Рассмотрим объектив, строящий изо- бражение на фотоприем- нике, установленном в его рис> 4j_ Конструкция узла объектива без кон- фокальной плоскости . пенсатора: (риС. 4.1). ОбъеКТИВ СО- 1 — объектив; 2 — корпус; 3 — фотоприемник стоит из двух склеенных компонентов. Изменение температуры приводит к изменению радиу- сов кривизны, показателей преломления и. толщины линз объек- тива. Из-за удлинения корпуса изменяется и расстояние между объективом и приемником. Для отдельной тонкой линзы (пренебрегая изменением ее тол- щины) изменение ее фокусного расстояния определим из выражения ДЙ - Ч'!лф41 = -/'2[^ф-(п-1)= >-Й[^ф^(«-1)«Д/^-?)-] = = —/'2 [(т4г — а) Ф Д*] = -7,!4<D М = —f'Vf Д/, (4.1) где Дпд< == рЛД/ — изменение показателя преломления при изме- нении температуры на величину Д£ (Рл — температурное приращение показателя преломления для длины волны света X); Дг1>2Д< = = rli2 aAt — изменение радиуса кривизны поверхности при из- менении температуры (а — коэффициент линейцого расширения материала линзы); Vt = fpx/(n—1) — а]—термооптическая по- стоянная. Для склейки из двух линз будем иметь . Д/Ц/ = -^(Ф1Уй + Ф2И2<)Д/. (4.2) Изменение фокусного (и вершинного фокусного) расстояния при- водит к расфокусировке системы, изменению масштаба. Термоопти-
ческие аберрации мы не учитываем, так как их значение, как пра- вило, невелико и может быть сведено к нулю специальным подбором марок стекол [21 ]. В том случае, если марки стекол подобраны так, чтобы фокусное расстояние оставалось неизменным при колебании, температуры, т. е. Д/э д/ = 0, что возможно при выполнении усло- вия = —Ф2У24 (т. е. при V2f = VzVlt/vlt так как для склейки обычно соблюдается соотношение Ox/vi = —<f>2/v2), расфокусировка будет иметь место из-за изменения длины корпуса. Компенсация расфокусировки оптической системы при колеба- ниях температуры является одной из часто встречающихся задач. Она осуществляется, как правило, подвижкой объектива, его компо- нента или приемника вдоль оптической оси. Движение производится 2(а,) Рис. 4.2. Компенсатор расфокусировки объектива: 1 — объектив; 2, 4 — кольца с различными коэффициен- тами линейного расширения; 3 — корпус; 5 — фотопри- емник; 6 — пружинное кольцо с помощью набора специальных деталей, имеющих определенное значение коэффициентов линейного расширения, жидкостных ре- зервуаров и электродвигателей. На рис. 4.2 изображен компенсатор расфокусировки, состоящий из двух цилиндрических колец, установленных между объективом и фотоприемником. Условие отсутствия расфокусировки имеет вид: А/э д< = Аб д/Н~ дб —/э2 (Ф1Уи + Фг^гО = /i<xi -|- /2^2- (4.3) Так как А + /2 « /э, то, выбрав материал, из которого будут' изготовлены кольца термокомпенсатора (т. е. при известных коэф- фициентах ах, а2, один из которых, как правило, больше, а другой меньше термооптических постоянных стекол), можно решить урав- нение (4.3) относительно неизвестных /х и /2: б = I-/;2 (Ф1У« + Ф2Ы - W/(ai - a2j. Первоначальная фокусировка объектива (при номинальной тем- пературе) в подобной конструкции осуществляется во время юсти- ровки системы подрезкой одного из колец термокомпенсатора либо подрезкой оправы приемника или оправы объектива. Пружинное кольцо должно производить надежное замыкание системы объектив— кольца — приемник при всех возможных ' колебаниях темпера- туры.
В том случае, когда термооптические постоянные стекол имеют значения, приводящие к уменьшению фокусного расстояния системы при увеличении температуры, термокомпенсатор должен уменьшать расстояния между объективом и .приемником. На рис. 4.3 изображен термокомпенсатор, позволяющий произ- водить перемещения приемника как влево, так и вправо вдоль опти- ческой оси при увеличении температуры путем подбора материалов цилиндрических колец термокомпенсатора. Условие отсутствия расфокусировки будет иметь вид Д/э д<== (^к®к + 4“ /2^2 — ^з®з) Д^, где ак, аь а2> аз — коэф- фициенты линейного рас- ширения корпуса и колец. Первоначальная фокуси- ровка может производить- ся с помощью резьбового кольца 4. Наиболее значительно влияет перепад температур на расфокусировку длин- нофокусных линзовых й зеркальных объективов. Для -того чтобы иметь представление о реальных значениях расфокусировки таких систем,( рассмотрим термокомпенсатор зеркала телескопа, рассчитанный и изготовленный объе- динением ЛОМО имени В. И. Ленина. На рис. 4.4 изображен компенсатор расфокуси- Рис. 4.3. Узел с компенсатором расфокусировки объектива: /—3 — набор колец с различными коэффициентами линейного расширения; 4'— резьбовое кольцо; 5 — пружинное кольцо Рис. 4.4. Компенсатор расфокусировки зеркала телескопа: / — зеркало: 2 — кольцо из стали: 3 — кольцо из инвара ровки зеркала телескопа, изготовленного из стекла пирекс (коэффициент линейного расшире- ния ар = 3-3-10"в 1/град) с радиусом’отражающей поверхности г = 4200 мм. Изображение строится в фокальной плоскости зерка- ла. С фокальной плоскостью сопряжена последующая* оптическая система либо плоскость фотоприемника. Фокусное расстояние зер- кала f — г!2 — 2100 мм. Согласно техническим условиям коле- бание температуры допускается на величину Д£ = ±30°. Возможная расфокусировка (без учета тубуса), возникающая из-за изменения фокусного расстояния зеркала равна Дг = Д/д/ — &Гы!2 = == гар Д//2 = /'ар Д< = ±0,2 мм.
Для компенсации расфокусировки тубус выполнен в виде набора цилиндров из стали (ас = 11,8-10”® 1/град) и инвара (аи — 1,6Х Х10”® 1/град). Определим длину стальных (Lo) и инваровых (£и) цилиндров. Условия отсутствия расфокусировки имеют вид: А/ д/ = ALC д< + А£и д< + А£н дь f'ap bi = Lcac bi + £иаи bt + LHap bi. Так как La = LT — Lo, to Lo = (fap — £Ta„ — LHap)/(ac — аи) = — 350 мм, откуда La = 1701,5 мм. Рис. 4.5. Компенсатор расфокусировки: 1 — юстировочный винт; 2, 3 — цилиндрические стаканы с чередующимися коэффициентами линейного расширения; 4,— замыкающая пружина; 5 — юстировочный винт; 6 — корпус средника; 7 — зеркало Для сокращения габаритных размеров такой термокомпенсатор выполняют в виде набора цилиндров, вставленных друг в друга и имеющих различные коэффициенты линейного расширения (рис. 4.5). Цилиндры должны быть изготовлены и собраны так, чтобы не было заклиниваний и заеданий. На их сопрягаемые поверхности наносят тонкий слой смазки. Первоначальная фокусировка зеркала 7 осу- ществляется подвижкой всего компенсатора относительно корпусной детали 6. В данной конструкции предусмотрена также центрировка зеркала. - В случае выполнения конструкции термокомпенсатора в виде набора цилиндров (см. также рис. 4.11) суммарное осевое перемеще- ние внутреннего цилиндра, связанного с зеркалом, относительно наружного,"связанного с корпусом, равно п т
где /х, ах и /2, а2 —* размеры и коэффициенты линейного расширения охватывающего (в осевом направлении) и охватываемого цилиндров соответственно; п, т — количество соответствующих цилиндров (обычно т = п, либо т — п ± 1). Охватывающие цилиндры вы- полняют из одного материала (например, стали с а « 12-10~® 1/град; титана с а л 8,5-10'® 1/град; инвара с а » 1,6-10”® 1/град), а охва- тываемые — из другого (например, алюминия, дур алюминия с а а? « (224-24) 10~® 1/град; латуни и нейзильбера са« 18-10'® 1/град; пластмасс с а « (20 4-100) 10”® 1/град), поэтому Д/2 = (ах/12 —• — аг4х) At где 4s, /22 — суммарная длина соответствующих ци- линдров. Для случая т = п и 1ц = /2{ = / получим Д/2 = = н1 (ах—а2) Д/. Часто наружное кольцо выполняют из того же материала, из которого изготовлен корпус (оправа) оптического элемента. Так как коэффициент линейного расширения стекла обычно меньше коэф- фициента материала, из которого изготовлен корпус, то для вну- тренних колец подбирают материал, имеющий коэффициент линей- ного расширения, больший коэффициента материала оправы а0 < При колебаниях температуры происходит также изменение диа- метров сопрягаемых цилиндров. Во избежание'заклинивания посадка в их сопряжении рассчитывается так, чтобы обеспечить при макси- мально возможном отклонении температуры от номинальной га- рантированный зазор ДСт1п — ДС0.т1п+ (ах — а2) ОД/гаах, где ДС0 тш — вероятный минимальный зазор при номинальной тем- пературе; D — диаметр ’ сопрягаемых элементов; Д/тах — макси- мальное отклонение температуры от номинальной. Когда для компенсации, возникающей при перепаде температур расфокусировки, требуется создать значительные (до 10 мм) переме- щения элементов оптической системы, термокомпенсаторы в виде набора цилиндров не применяют из-за большой массы и габаритных размеров. Компенсация расфокусировки в этом случае может быть осуществлена подвижкой элементов, например, с помощью-жидкост- ного резервуара, установленйбго на корпусе системы х. На рис. 4.6 изображена схема оправы объектива с жидкостным термокомпенса- тором, основанным на перемещении в корпусе / объектива оправы линзы 4 с помощью рычажного механизма 6 поршнем 7. Перемеще- ние поршня вызвано изменением объема жидкости резервуара 8 при изменении температуры.- Перемещение поршня с учетом измене- ния объема корпуса резервуара и площади самого поршня при из- менении температуры на Д/ равно Lx = ДУдх/Д = [Уо (Р — За) Д/]/[Д0 (1 + 2а Д/)1, где Vo — номинальный объем резервуара; р — коэффициент объем- ного расширения жидкости; Ао — номинальное сечение поршня. Если плоскость изображения смещается при изменении темпе- ратуры на величину Д5 (из-за изменения показателей преломления 1 А.с. 651290 (СССР).
стекол, радиусов кривизны, толщины линз и воздушных промежут- ков), то коррекционное перемещение линзы 4 будет равно L2 = — &.SIK, где К — коэффициент влияния перемещения линзы 4 на расфокусировку объектива. Отсюда получаем конструктивные данные для параметров термо- компенсатора (например, для соотношения длин плеч рычажного механизма) /1 = £i = У0(Р —За) МК 1% (1 2а А/) AS Как показали испытания этого термокомпенсатора, качество его работы существенно зависит от попадания воздуха в полости резер- Рис. 4.6. Жидкостный термокомпенсатор объектива: 1 — корпус; 2—5 — оправы элементов объектива; 6 — двуплечий рычаг; 7 — поршень; S — резервуар с жидкостью; 9 — замыкающая пружина вуара и поршня. Для устранения этого недостатка жидкость заклю- чается в резиновый сильфон (рис. 4.7). Широкое распространение получили также автоматические уст- ройства, основанные на различного рода системах выработки сигнала дефокусировки, управляющего приводом фокусирующего элемента. На рис. 4.8 изображена система \ содержащая выверитель фоку- сировки и компенсатор гнутий телескопа. Выверитель фокусировки содержит систему подсветки 1, 2 растровых марок 3, 4, автоколлима- ционный полупрозрачный отражатель 7, светоделительную призму — куб 21, пару клиньев 23, диссектор 24, электрически связанный через управляющий усилитель и контрольный индикатор 27 с при- водом 5 фокусировки кассетодержателя. В кассетодержателе 6 установлена кассета (фотоприемник или спектрограф), на которой строится изображение зеркалом 20 телескопа. При номинальной температуре выверитель фокусировки юсти- руется так, чтобы изображения растров проектировались через главное зеркало симметрично относительно фотокатода диссектора (кассета находится в фокальной плоскости зеркала). Амплитуды *V- с- 591791 (СССР).
Рис. 4.7. Жидкостный резервуар с резиновым сильфоном: 1 — корпус; 2 — резиновый сильфон; 3 — поршень; 4 — замыкающая пружина МодулйрОйаНйых сигналов изображений растровых марок *3 и 4 при этом одинаковы, напряжение на выходе усилителя 27 отсутствует и двигатель привода фокусировки кассетодержателя не работает. При изменении температуры появляется расфокусировка теле- скопа, приводящая к несимметричному изображению растров от- носительно плоскости фо- токатода диссектора. Амп- литуды сигналов будут различными (причем поря- док следования большей и меньшей амплитуд зависит от знака расфокусировки) и усилитель подаст напря- жение на двигатель при- вода кассетодержателя. Когда кассета займет по- ложение точной фокуси- ровки, изображения раст- ров займут симметричное расположение относительно диссектора и двигатель остановится. Наивысшей чувствительности выверитель расфокусировки до- стигает при максимальном изменении контраста в изображении 1 2 3 4 Рис. 4.8. Схема выверителя фокусировки и ком- пенсатора гнутий телескопа растров, которое обеспечивается при расположении растров на рас- стоянии d друг от друга d = 2,08^/{2лод [1 - Ац/(2оа)]} ,
Ьк 3 Рис. 4.9. Схема соединения объекти- ва с оправой: / оправа; 2 — объектив; 3 — термо- компенсатор Где 1 — рабочая длина волны света; о?д — Задний апертурный угол выверителя фокусировки; р — частота растра; k — коэффи- циент, зависящий от частотно-контрастной характеристики выве- рителя фокусировки с учетом свойств диссектора, k^l. Погрешность работы выверителя определяется точностью кон- троля фокусировки Д/ = АтА/пд, где А/й — пороговая чувствительность приемной системы к отно- сительному изменению освещенности. При Am = 1 • 10-3, Од = = 1/200, X = 0,5 мкм А/' = 0,02 мм. Клинья 23 образуют плоскопа- раллельную пластинку переменной толщины, которая вносит продольную расфокусировку изббражения раст- ров - на фотокатоде диссектора на величину AS, автоматически вводи- мую следящим приводом фокусиров- ки в положение кассетодержателя AS = - 1) (±/ tg 0), где Пд — коэффициент преломления стекла клиньев для рабочей длины волны света; ±/ — относительное встречное параллельное смещение клиньев; 0 — угол клина. Компенсаторы пережатий и зазо- ров объективов в оправах. Так как коэффициенты линейного расширения материалов оптических де- талей'и оправ, как’правило, различны, то при изменениях темпе- ратурыТвозникает^опасность недопустимых их пережатий или сме- щений в зазорах, v Особенно важно учитывать это при креплении крупногабаритных^зеркал и линз, работающих при значительных перепадах температуры. Для предупреждения этого между наруж- ным диаметром линзы (зеркала) и ее оправой устанавливают термо- компенсаторы. Расчет термокомпенсатора (рис. 4.9) производится на основании следующей зависимости: 2/.лосл А/ — DqCCq А/ /)лосл А/, где LK — размер компенсатора; Do — диаметр оправы; Д>л — диа- метр линзы; ак, а0, ал — коэффициенты линейного расширения ма- териалов компенсатора, оправы и линзы соответственно; А/ — изме- нение температуры. Так как Do = Da + 2Ln, то” ' == (®О а.1)/[2 («к (4.4) На практике получили распространение две конструкции таких термокомпенсаторов. На рис. 4.10 изображено устройство для креп- ления крупногабаритного объектива с термокомпенсаторами, состоя- щими из вкладышей 1, привинченных к накладкам 2, которые кре- 96
Пйтся болтами к оправе объектива. Вкладыш изготавливают из орг* стекла СОЛ (а » 9-Ю-6) или винипласта ВН (а « 7-10-5). В про- цессе сборки результативной обработкой вкладыша по Конкретному диаметру линзы (или с помощью прокладок и подшабривания кор- пуса) добиваются соединения линзы с термокомпенсатором без зазора (либо с небольшим зазором, равным 3—5 мкм). Для фиксаций линзы в отверстия термокомпенсаторов заливают герметик. Число компенсаторов по периметру линзы зависит от ее массы и достигает в крупногабаритных системах 12—16 и более. Рнс. 4.10. Крепление объектива с термокомпенса- торами: 1 — термокомпенсационный вкладыш; ? — накладка; 3 — линза; 4 — оправа ' На рис. 4711 изображен термокомпенсатор в сборе с зеркалом телескопа. Термокомпенсаторы установлены по периметру оправы (на рисунке приведена часть конструкции). Они представляют собой набор вставленных, друг в друга цилиндрических втулок, изготовлен*, ных из двух материалов с различными коэффициентами линейного расширения. Замыкание термокомпенсатора на поверхность зеркала осуществляется регулировкой винта 1 с последующей фиксацией. Сборка цилиндрических втулок осуществляется так, чтобы не воз- никали заклинивания и заедания. Ролик 2 обезжиривается, так как попадание смазки на поверхность зеркала недопустимо. , Известны также конструкции, где роль термокомпенсатора при небольших, отличиях коэффициентов линейного расширения оправы 4 Латыев С. М- 97
й материала Линзы выполняет Терметйк или норакрил €14]. При осу* ществленйи такого метода компенсации следует обратить внимание на то, что слишком тонкие слои-герметика («10 мкм) теряют свои эластичные свойства, т. е. эффективность компенсации снижается. Для устранения возможного затекания герметика в небольшие за-, зоры. (между линзой и оправой объектива) отверстия в корпусе оправы объектива под заливку герметика следует выполнять со специальными карманами (см. рис. 4.21); Рис. 4.11. Термокомпенсатор Зеркала объектива большого диаметра. В том случае, когда, оправа лийзы имеет существенное отличие коэффициента линейного расширения ‘материала (из-за стремления подобрать его близким по значению к коэффициенту линейного рас- ширения материала линзы) от аналогичного коэффициента корпус- ной детали, между ними также устанавливают термокомпенсатор, в качестве которого используют вкладыши, рассчитанные по формуле (4.4), либо гофрированные плоские пружины. На рис. 4.12 приве- дена часть конструкции объектива с такими термокомпенсаторами. Здесь' значения коэффициентов линейного расширения материалов „линзы 1 и оправы 2 мало отличается друг от друга. Небольшое относительное изменение их диаметров при перепаде температуры компенсируется упругими свойствами герметика 4, посредством которого линза связана с оправой. Коэффициент линейного расшире- ния материала корпуса ан существенно отличается от а0, так как
температуры возникает сбой он подобран в соответствии с значением а зеркала (на рисунке не показано), закрепленного в нем. Компенсация изменений диаметров оправы линзы и корпуса производится с помощью гофрированных упругих секторных пла- стин 7, зажатых между наружными 6 и внутренними ^кольцами, привинченными соответственно к корпусу и оправе. Компенсатор увода нуля градуировочной, кривой спектрального прибора. В спектральных приборах, использующих в' качестве диспергирующего элемента призменные системы, при изменении „шкалы. Эта погрешность обус- ВидА Рис. 4.12. Термокомпенсатор с сильфонными плоскими_пружи- - нами: “ / — линза; 2 — оправа линзы; 3 — корпус; 4 —’герметик; 5 — кольцо внутреннее; 6 — кольцо наружное; 7 — плоская гофрированная пру- жина ловлена главным образом 'изменением показателя преломления диспергирующей призмы и проявляется уже при изменении тем- пературы всего на несколько градусов. Рассмотрим термокомпенсатор, применяемый для коррекции та- кой погрешности в спектрофотометре СФ-16 (рис. 4.13); Шкала 1 прибора связана с диспергирующей кварцевой призмой 6, установ- ленной на поворотном столе 7 посредством кинематического привода,4 состоящего из зубчатых колес 2, 3, винтовой передачи 4 и рычага 5. Дисперсия мойохромауора от 185 до 1200 Нм, что осуществляется разворотом призмы на угол 5° 33' 57". При изменении температуры на ±5° от номинальной (что допу- скается условиями эксплуатации прибора) показатель преломления кварца изменяется (например, для линии е на величину Дпе = = pene At = 104 • 10-7 • 1,46028 • 5 = ±76 • 10-в): - Изменению показателя преломления на величину Дп соответ- ствует поворот призмы на угол dt [29 J d, = sin А Дп/y^l — и2 sin2 Д. где А — преломляющий угол призмы. 4* ' 1 99
Следовательно, на такой угол нужно автоматически доворачивать призму, чтобы компенсировать изменение ее показателя преломления при изменении температуры. При А/ = ±5° дополнительный пово- рот составляет 10". В качестве компенсатора используется биметал- лический'рычаг 5, изменение радиуса кривизны которого приведено на рис. 4.14 (а, б). При изменении температуры рычаг изгибается, доворачивая стол с диспергирующей призмой. Расчет рьнГага про- 360мм * метра изводится из условия, чтобы поворот его сечения при А/ = ±5° был равен ±10".. ♦ Если пластина 1 изготовлена из алюминия’(ах = 26-ДО-6) или латуни (ах f= 18,9-10"®), а пластина 2 — из стали (а2 = 12-10"®), то при увеличении температуры будет происходить изгиб рычага с вогнутостью со стороны стальной полосы (при уменьшении тем- пературы от номинальной — наоборот): Радиус кривизны такой балки [421 определим по формуле г ~ . 1 Г(2;86А§ + Л?) (Лх ± 2,86ft2) . Лх + ft21 (ах — а2)Д< [ 6 (ftx + ft2) 2,86Mi + 2 J ’ где 2,86 — коэффициент, равный отношению .модулей упругости стали и алюминия. При ftx = 6 мм, Л2 — 32 мм г — 1,3-10® мм. Тогда длина соединения пластин должна составлять L =э 2r di = =130 мм.
Так как показатель преломления призмы и его температурное приращение различны в спектральном диапазоне длин волны, а би- металлический рычаг рассчитывается для одного (среднего) зна- чения корректировочного угла поворота призмы, то недокомпенсация не может быть сведена к минимуму на всем диапазоне работы при- бора. Конструкция рычага спектрофотометра изображена на рис. 4.15. Основная пластина 4 рычага изготовлена из стали и имеет перемен- Рис. 4.15. Биметаллический рычаг спектрофотометра ное сечение для повышения жесткости. Вставка 3 припаивается или приклеивается к рычагу. Для изменения длины рычага предусмотрена возможность подвижки кронштейна 2, а регулировка его начального положения производится перемещением винта 1. 4.2. КОМПЕНСАЦИЯ ДЕЦЕНТРИРОВОК ЛИНЗ ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ Под децентрировкой линзы понимается смещенйе центров кри- визны ее оптических поверхностей е базовой оси [7]. На практике различает децентрировку первого и второго рода. Децентрировка первого .рода обусловлена наклоном, косиной линзы и равна-сме- щению центра’ кривизны поверхности с базовой оси на величину ДС^ » Rv Ду, где Rv — радиус кривизны поверхности; Ду — угод наклона линзы. Децентрировка второго рода вызвана поперечным смещением линзы с базовой оси и равна этому смещению'для обеих поверхностей: ДС^Р = ДС. Децентрировки возникают из-за погрешностей изготовления линз (разнотолщинность по краю, несовпадение центров кривизны с осью базового цилиндра), при склейке линз (клйновидность слоя клея, несовпадения оптических осей склеиваемых линз друг с другом и осью базового цилиндра), из-за погрешностей изготовления оправ (неперпендикулярности опорных торцев, эксцентриситетов посадоч- ных диаметров), а также вследствие сдвигов й наклонов линз и их оправ в зазорах соединений при сборке. Децентрировка линз при-
водит к появлению комы, хроматизма, астигматизма, наклону пло- скости изображения и другим аберрациям оптической системы. В бинокулярных приборах возникает непараллельность визирных осей. . Исходя из аберраций децентрированных оптических систем, при расчете определяют допуски на центрировку линз системы. При этом в связи с тем, что обеспечение вычисленных допусков часто является трудно осуществимой задачей, расчетчик вместе с конструктором и технологом решают вопрос о необходимости применения компен- саторов децентриро’вки', перераспределении -допусков и методике юстировки объектива. Прежде чем перейти к типовым компенсаторам децентрировок линз,-? следует отметить, что вопрос о допусках,на их центрировку в несложных оптических системах, необходимость введения компен- саторов и чувствительность подвижки могут быть решены исходя из упрощенных формул, связывающих децентрировку с допустимой комой и хроматизмом [21, 32, 37]. Для одиночной линзы допустимая децентрировка второго рода и ее наклон [32] определим па формуле ДСП = Ду = 2и Дак/[3 (п2 - 1) од фа - 1) где Др'С' — волновой допуск на угловой хроматизм; v — коэффи- циент дисперсии;, D — рабочий; диаметр линзы; Д<тк — допустимое значение угловой комы; п — показатель преломления; <Тд — апер- турный угол в пространстве изображения линзы; 0 — линейное увеличение линзы; W — угловое увеличение последующей системы. Допуск на децентрировку р-й поверхности линзы оптической системы [21 ] найдем из выражения ДСц, = 2/1у,Гц 6^и/[3 (/ip,.— 1) Лц,0|фц+1К где 6<7к — допустимое значение комы; гц — радиус кривизны по- верхности; — показатель преломления; —высота точки встречи луча с поверхностью; Оц — сходимость (обратная величина расстояния до изображения); рц+1 — линейное увеличение после- дующей системы.' z . Допуск на хроматизм и кому отдельной линзы или поверхности находят из суммарного допуска на эти аберрации системы его деле- нием на значение корня квадратного из числа линз или поверхностей либо с учетом коэффициента их влияния (см. п. 2.4). Суммарный допуск на визуальные оптические системь^ обычно принимают рав- 1 ным 0,1 мкм в волновой мере, либо радиусу первого дифракционного кольца [21, 32]. Типовая компенсация децентрировок линз оптических систем основана на результативной обработке оправ линз, смещении одной из линз (иногда двух и более) перпендикулярно к оптической оси, развороте и наклонах линз, устраняющих (уменьшающих) саму децентрировку, либо создающих аберрации, равные,, но с противо- положным знаком по сравненщо.с компенсируемыми аберрациями всей системы5 W2 • • ,
Результативная обработка оправ линз.. При сборке линз. воз- можную децентрировку их по отношению друг к другу уменьшают’ результативной отработкой оправ. При этом устраняется влияние погрешностей изготовления и сборки линзы и оправы. Этот техноло- гический метод компенсации достаточно подробно изложен в лите- ратуре [9]. Суть его заключается в том, что оправа линзы изготав- ливается с припуском и окончательно обрабатывается в размер (после сборки с линзой) от оптической оси. линзы. Обработка произ- -водится на токарном станке со специальным патроном, позволяющим совместить оптическую ось линзы с осью шпинделя станка (рис. 4.16). Перемещая часть патрона 2 перпендикулярно к оси'шпинделя стднка, Рис, 4.16. Схема устройства центрировочноЬэ патрона: , 1 —* часть- патрона, навинчиваемая на шпиндель станка; 2 —''смещаемая часть па» трона* 3 — поворачиваемая часть; 4 — переходник; 5 — оправа линзы совмещают центр кривизны поверхности Oi с осью шпинделя станка, наблюдая за ее биением в автоколлимационную центрировочную трубку Забелина (ЮС-13). Затем, поворачивая часть патрона 3 вокруг центра его сферы, приводят центр кривизны вторрй поверх- ности линзы О2 на ось шпинделя станка. Для того чтобы не сбивалась установка центра 01г он должен находиться в одной плоскости с цен- тром сферической части патрона. Это требование осуществляется с помощью сменных переходников 4. После совмещения оптической оси линзы с осью шпинделя станка базы оправы А,'В и С обрабаты- вают в номинальный размер. При этом компенсируется децентри- ровйа линзы, обусловленная зазором в посадке, перекосом’ опорного торца и собственным эксцентриситетом. Остаточная децентрировка линзы относительно базовой оси оправы определяется погрешностью совмещения центров её кривизны с осью шпинделя станка, биением шпинделя станка и деформацией патрона. ., ? - Особенно сильное влияние оказывают деформации патрона при больших размерах переходников и крупногабаритных линзах. В этом отношении лучшим является центрировочный патрон, пред- ставленный на рис. 4.17. Его достоинством является более высокая жесткость и возможность центрировки менисков с любым располо- . ' ~ 103
жениём их центров кривизны относительно сферической части па1 трона. Совмещение оптической оси линзы с осью шпинделя станка здесь производится поворотами частей патрона вокруг центров сферы неподвижной части (находится всегда на оси шпинделя) ОС1 и по- движной < части Ос2. Другим приемом, который можно отнести к рассматриваемому методу, является, совмещение оптической оси линзы с осью шпин- деля станка (с которой совпадает ось наружной, базовой поверх- ности оправы, имеющей номинальный размер) путем перемещения и наклонов линзы за счет зазора в посадке при ее завальцовке или приклеивании* При креплении крупногабаритных линз ответствен- Рис. 4.17. Центрировочный патрон,, разработанный ГОИ им. С И. Вавилова: % 1 — часть патрона, навинчиваемая на щпиндель станка; 2 — сферическая часть патрона; 3 — часть патрона, сое-,, диняемая с переходником; 4 — пружина; 5 -г- переход- ник; 6 — оправа линзы ных систем, результативная обработка оправы ведется по конкрет- ным, измеренным размерам линзы. Результативная обработка оправ линз позволяет обеспечить требуемое качество некоторых оптических систем. Однако из-за наличия остаточных эксцентриситетов, обусловленных неточным совмещением оптической оси линзы с осью шпинделя станка, бие-% нием шпинделя станка, а также из-за зазоров в посадках оправ линз в корпус и погрешностей самого корпуса качество многих систем (например, микрообъективов, работающих с большим увеличением и апертурой, кино- и фотообъективов) обеспечить, применяя только этот метод, не удается. В этом случае применяют конструктивные методы, компенсации децентрировок, Компенсация сдвигом линз. Для выполнения этого метода ком- пенсации необходимо предусмотреть возможность перемещения од- ной из линз перпендикулярно к оптической оси с одновременным контролем качества изображения оптической системы. Перемещение линзы обеспечивается созданием зазора между ее оправой и корпу- сом, установкой прокладок между линзой и оправой, либо специаль- ной конструкцией оправы линзы (см. рис. 1.21). Контроль качества изображения производится, как правило, по дифракционному-изобра- 104
жению точки или изображению миры, создаваемому корректируемой системой. В том случае, когда оптическая система имеет большое коли- чество линз, перемещение одной из них.создает аберрацию противо- положного' знака по отношению к суммарной аберрации других компонентов. При этом важное значение имеет правильный выбор линзы, с помощью которой будет производиться компенсация. Это объясняется тем, что компоненты системы оказывают различное влияние, на приращение аберрации при их смещении. Одни линзы практически нечувствительны к смещением и поэтому не могут создать Рис. 4.18. Конструкция микрообъектива, разработанного ГОИ им. С. И. Вавилова нужной компенсирующей аберрации, другие, наоборот, слишком чувствительны'- и требуют сложной, тщательной регулировки и фиксации. Выбор коррекционного элемента целесообразно' произ- водить на основе анализа влияния децентрировок линз системы на приращение аберрации. Такой анализ позволяет конструкторам не только выбрать коррекционную линзу разрабатываемой конструк- ции объектива, но и сделать его малорасстраивающимся при тряске и вибрации. На рис. 4.18 изображена схема конструкции аналогичного объ- ектива. Ниже приведены данные о влиянии децентрировки его эле- ментов на кому. 1 Номер элемента 1'2 3 4 5 6 7 Кома при ДС = . ' - = О,ОГ . . . . : 0,02 0,049 —0,105 0,086 0,074 -0,182 0,082 . Из приведенных данных видно, что аберрации 3- и 4-го элемен- тов, а также 5-, 6- и 7-го компенсируют друг друга, поэтому, связав оправы 3 и 4 (а также 5, 6 и 7) элементов друг с другом и зафикси- ровав их (например, с помощью герметика или цемента), получают конструкцию, устойчивую к децентрировкам. В качестве компенси- рующего выбран элемент 2, оправа которого посажена в корпус
с небольшим зазором и может смещаться с' помощью четырех шпи- лек, ввинчиваемых в корпус при юстировке. В некоторых объективах бывает иногда трудно найти одиночную линзу, позволяющую с нужной чувствительностью произвести кор- рекцию. В этом случае подбирают такие две линзы, как правило, с положительным и отрицательным влияниями,, которые конструк- тивно объединяют в один компонент, смещаемый перпендикулярно к оптической оси системы. Если оптическая система содержит два- три компонента, то смещением одного из них производится по сути Рис. 4.19. Центрировка линз анаморфотной насадки: /, .2 — цилиндрические линзы; 3, 4 —^компенсационные прокладки ее центрировка. Типичным примером этого является центрировка линз анаморфотной насадки (рис. 4.19) к кинопроекционному объек- тиву. Здесь бдоки 1 и 2 цилиндрических линз .вначале центрируются относительно своих оправ. Центрировка осуществляется с помощью изменения, размера прокладок 3 и 4. Нужный размер прокладок получают подбором или обработкой (шабрением). Вершина цилин- дрической линзы должна совпадать с осью наружной оправы. Кон- троль центрировки может осуществляться с помощью индикатора по равенству его минимального показания при повороте на 180° оправы с линзой, поджатой к призматическому или ножевидному упору (см. рис. 4.19, б). Контролируют качество изображения собран- ной насадки при рассмотрении в микроскоп изображения миры кол-
лиматора через юстируемую насадку и объектив. Если при выстав- ленных параллельно образующих цилиндров блоков 1 и 2 качество изображения миры будет неудовлетворительным, то производят, дополнительную центрировку одного из блоков., ' Еще одним примером может служить юстировка узла с тремя- последними линзами объектива «Агат-14» (рис.~ 4.20). Как было по- казано выше (см. табл. 1.1), именно децентрировки этих линз (осо- бенно последних двух) оказывают основное влияние на качество всего объектива. На практике центрировку этого узла осуществляют сдвигом оправы линзы 3 в пределах зазора в посадке (постукиванием), добиваясь качественного изображения дифракционной точки, созда- 1 - г з Рис. 4.20. Схема узла объек- тива «Агат-14» Рис. 4.21. Схема центрировки круп- ногабаритной линзы сДвигом с по- следующей фиксацией герметиком * ваемого этим узлом. Так как влияние децентрировки линзы 1 на поперечные аберрации существенно меньше, чем влияние линз 3 и 2, то по сути здесь производится центрирование линзы 3 по лин- зе 2. Весьма часто применяют сдвиг линз для центрировки крупно- габаритных объективов. Обычно такие линзы центрируют относи- тельно базовой оси оправы сдвигом, за счет зазора в посадке с по- следующей фиксацией герметиком или норакрилом'' (рис. 4.21). Линзу 1 смещают в зазоре винтами 4, добиваясь^совмещения ее оси с базовой осью оправы 2. После этого отверстия в оправе заполняют герметиком 3 и выдерживают некоторое, время, необходимое для его полимеризации. В том случае, когда значения коэффициентов линей- ного расширения материалов оправы и линзы существенно разли- чаются, между оправой и линзой помещают термокомпенсаторы (см. рис. 4т10). Тогда центрировка линзы производится за .счет за- зора между термокомпенсатором и линзо'й. Для фиксации положения линзы эффективным является применение норакрила-65 [14]. Недо- статком такого метода центрировки является деформация линзы из-за усадки клея при полимеризации и сильной адгезии к стеклуй Для устранения этого. недостатка на поверхность линзы помещают
фторопластовую пленку (толщиной около 50 мкм) или липкую ленту, которые устраняют адгезию клея к стеклу. Отметим, что чувствительность смещения корректировочных линз определяется допустимым значением остаточных аберраций (Д/п), т. е. допустимой нёдокомпенсацией и коэффициентом влияния К: ДСйп = Дт/К. Поперечным сдвигом линз оптических систем производят также юстировку параллельности оптических осей бинокулярных прибо- ров, осуществляют регулировку направления визирных осей отно- сительно баз. Типичными примерами такой коррекции являются смещения в двойной эксцентриковой оправе объективов биноклей Рис. 4.22. Сйещение объектива' зрительной трубки для установки визирной оси па- * раллельно базе (основанию) с помощью экцентриковых оправ' 1 и 2 для обеспечений параллельности оптических осей трубок, объекти- вов автоколлиматоров для обеспечения перпендикулярности визир- ной оси к торцу трубы, объективов прицелов, зрительных труб, коллиматоров для установки визирной .оси параллельно базовой поверхности. ' Чувствительность смещения объектива определяют допустимым значением непараллельности (неперпендикулярности) (рис. 4.22). ДСт1п *= f Ду. Эксцентриситеты оправ 1 и 2 обычно равны друг другу, а их значе- ние должно быть достаточным для компенсации максимально воз- можной погрешности. Перемещение узловой точки объектива воз- можно в любое положение относительно осей х и у в пределах двой- ного эксцентриситета оправ. На рис. 4.23 изображена схема установки для выставления па- раллельности оптических осей системы смены увеличения стереоско- пического микроскопа МССО. Система смены увеличения 1, состоя- щая из двух пар галилеевских трубок с увеличением 1,6х и 3х, смонтированных в цилиндрическом барабане, устанавливается на контрольно-юстировочное приспособление 2, содержащее коллима- тор 4 и. зрительную трубу 3. Вначале юстируют телескопичность 108 ’
трубок подвижкой вдоль оси отрицательных компонентов, доби- ваясь резкого изображения марки коллиматора. Затем подвижкой их перпендикулярно к оптической оси (в пределах зазора посадки) устанавливают оптические оси трубы параллельно друг другу и перпендикулярно к оси вращения, контролируя отсутствие двоения изображения марки коллиматора и ее смещение с марки (перекре- Рис. 4.23. Схема установки для юстировки системы смены увеличения стия) сетки трубы. Так’ как допуск на параллельность осей пучков лучей, исходящих из одной точки, для бинокулярной насадки ра- вен 15' (в вертикальной плоскостр), то чувствительность подвижки . ACmin ~ /Г, где f — фокусное расстояние смещаемого компонента системы смены увеличения; Г — увеличение последующей системы бинокулярной насадки. При Г = 8х, /' .= 20 мм АС « 0,012 мм. Компенсация погрешностей посредством разворота линз. В связи" с тем, что децентрировки линз представляют собой векторные вели- чины, то, разворачивая линзу или несколько линз оптической си-
етемы вокруг базовой оси, можно компенсировать влияние их децён- трировок. Этот прием используется при сборке объективов теодоли- тов [11 ], фотограмметрических [27 ] и крупногабаритных объективов. Компенсация происходит также благодаря улучшению взаимного центрирования компонентов, либо изменением знака аберраций отдельных составляющих. Эффективность компенсации в существен- ной мере зависит от его конструкторской и технологической под- готовки. . . - В качестве примера обоснованной подготовки этого метода рас- смотрим компенсацию тангенциальной -дисторсий* фотограмметриче- ского объектива [27]. Тангенциальная дисторсия отдельного эле- мента объектива .зависит от вектора его децентрировки и является Рис. 4.24. 'Юстировка фотограмметрического объектива для устранения тангенциальной дисторсии: а —схема конструкции объектива;, б — •векторы децентрировок компонентов (ДС2 — основного; ДСХ, ДС3 — юстировочных;’ДС2 — суммарный вектор) векторной величиной, поэтому суммарный вектор тангенциальной дисторсии всего объектива будет определяться направлением векто- ров децентрировкй его компонентов. Следовательно, разворачивая линзы объектива, можно найти такие направления их децентрировок, что суммарный вектор танген- циальной дисторсии будет равен нулю. Задача поиска этих направле- ний может быть упрощена при конструктивном группировании ком- понентов объектива в три элемента (рис. 4.24, а): основной (2) и два юстировочных (1 и 3). Такое решение обусловлено известным свой- ством трёх векторов: если модуль одного вектора эквивалентной децентрировки одного из них не больше суммы модулей дйух других, то всегда можно найти такие их направления, что суммарный вектор будет равен нулю (рис. 4.24Г б). Для обеспечения возможности контроля положения этих элементов наносят риски на их оправах и метку на корпусе объектива. Юстировка производится на оптиче- ской скамье, либо'на специальной установке путем измерения век- ' тора-максимальной тангенциальной дисторсии объектива при раз- . воротах юстировочных элементов. Установка содержит измеритель- ную сетку (с рядом радиусов-векторов), установленную в фокальной плоскости объектива, и зрительную трубу с . окулярным микроме- тром. Окончательное положение элементов объектива, позволя- ющее компенсировать тангенциальную дисторсию, определяют непо- средственным измерением на векторной схеме, которую строят по ПО •
результатам'измерения, либо вычислением по координатам векто-' ров. . ' ! Другим примером такого метода центрировки служит юстировка объектива «Мезон-2А»х. На рис. 4.25 изображен узел крепления первых двух линз этого объектива, спроектированный с возмож- ностью компенсации поперечных аберраций От децентрйровки по- верхностей линз путем их^разворрта. Компенсация основана на том, Рис. 4.25. Схема центрирования линз объектива что значения коэффициентов влияния децентрировок оптических поверхностей на аберрации примерно равны, но противоположны по знаку. В связи с этим,, если центры кривизны таких поверхностей будут приблизительно. совпадать, то , суммарная аберрация из-за децентрировки, не. превысит допуска. Для этого линзы устанавливают в оправах так, чтобы децентрировка поверхностей 1 и 4 относительно сборочных баз А, Б, В, .Г не превышала допуска, а децентрйровка поверхностей 2 и 3 (размеры Ь2 и Ь3) отличалась друг от друга не более, чем на величину А&, равную сумме расчетных допусков на децентрировку этих поверхностей. После этого, соединяя оправы,1 разворачивают их так, чтобы направления децентрйровок совпадали.- Контроль осуществляют с помощью автоколлимационной трубки 1 А. с. 539285 (СССР).
Забелина, по сетке которой определяют расстояние между центрами кривизны поверхностей. Компенсация наклоном линз. Этот метод компенсации-применяют на практике реже, так как для своей реализации он требует более сложных конструкторских решений и устройств, а также обеспече- ния высокой чувствительности наклона линз, вызывающей смешение центров кривизны поверхностей линзы с базовой оси на величину ДС1 » ДуТ?. Чаще всего наклоны элементов используют при центрировке зеркальных и зеркально-линзовых объективов. На рис. 4.26 пред- Рис. 4.26. Схема центрйровки зеркально-линзового объектива по- средством наклона линз ставлена конструкция зеркально-линзового объектива, центрировка которого осуществляется наклонами мениска 1 и компенсатора аберраций 2z сферического зеркала 3 [4]. Сначала центрируют компенсатор аберраций относительно базовых поверхностей G, R и внутреннего диаметра ФИ корпуса 4. Совмещение вершины В конической поверхности компенсатора с осью внутреннего цилиндра корпуса осуществляется разворотом эксцентриковых втулок 8 и 9, а установка параллельности поверхностей D и G — наклоном ком? пенсатора с помощью прокладок 7 (грубо) и 10, 11 (точно). Центри- ровка зеркала 3 обеспечивается технологическими допусками на перпендикулярность торца Е к его оси перпендикулярностью трех опорных выступов Р кольца 6 и при необходимости прокладками 5. Мениск центрируют наклонами его оправы с помощью винтов 12 и перемещением в оправе прокладками 13. Чувствительность накло- нов (например, для мениска) определяют исходя из допустимого значения несовпадения центра его кривизны (ДС^) с точкой В ком- пенсатора Д?т1п .№#/(!% О, ш
где R. — расстояние от поверхности мениска до центра его кривизны; I — расстояние от точки поворота оправы мениска до его поверх- ности. ' На рис. 4.5 представлен пример крепления сферического зеркала телескопа в оправе с обеспечением центрировки путем его сдвигов оправы винтами 1 и наклонов винтами 5. Наклонами относительно оправы центрируют плоско-выпуклые крупногабаритные линзы (рис. 4.27). Центрировка заключается в том, линзы устанавливают юстировочными 4 5 6t винтами 3 параллельно базовой поверхности опра- вы (либо перпендикулярно к оси наружного цилинд- ра), наклоняя ее вокруг центра сферической по- верхности. Отцентрирован- ную таким образом линзу фиксируют герметиком. Для повышения надеж- ности крепления смещение линзы вдоль оси ограни- чивают резьбовым коль- цом. Резьбовое кольцо в случае опоры на поверх- ность линзы может нару- Рис. 4.'27. Схема центрировки плоско-выпуклой крупногабаритной линзы посредством наклонов относительно оправы: / — линза; 2 — оправа; 13 — юстировочный винт; 4 — резьбовое кольцо; 5 — герметик; 6 — прокладка шить ее центрировку, поэтому его затягивают на буртик оправы. Прокладка 6 обеспечивает минимальный осевой зазор (или незначи- тельный натяг) соединения. । 4.3. КОМПЕНСАЦИЯ ПОГРЕШНОСТЕЙ *. ФОКУСНЫХ РАССТОЯНИЙ ОБЪЕКТИВОВ, ФОКУСИРОВКА ИЗОБРАЖЕНИЯ Погрешность фокусных расстояний объективов, окуляров и дру- гих силовых элементов оптических систем, а также погрешности их расположения* вдоль оптической оси приводят к появлению расфо- кусировки,' параллаксу, непараллельности визирных осей биноку- лярных приборов, погрешности масштаба изображения. На этапе проектирования прибора в зависимости от предъявляе- мых требований к.точности его функционирования и качеству изобра- жения, создаваемого оптической системой, рассчитывают -допуски на погрешность фокусных расстояний силовых элементов и пргреш- ность их расположения. Этот расчет выполняют для определения возможности обеспечения указанных допусков технологическим пу- тем или необходимости применения компенсаторов и требований к ним. Погрешность фокусного расстояния силового элемента оптиче- ской системы зависит от отклонения показателей преломления сте- кол, погрешностей изготовления и сборки. Влияние каждой первич- ной погрешности на фокусное расстояние линзы находят дифферен-
цированием выражения для силы одиночной линзы, граничащей с воздухом: ' ' . . ' • V ’ \ rt ra J 1 ' ПГаГа L '1 r2 ™'lr2 J n— I = -f2 дфдп+ ^=^-a] Дп L *1 nr lr2 J ^(д-ЦДг, ])4W1/O;. Д/;„ _ -f" ДфД = f! [-^ + ^=A’] Дг, ~ L • 2 fU г 2 J , « -Г2(П -1)Дг2 _f,2 _ 2) 4XJV2/D2. *2 J Д/д4 = -Г2ДФд« = -Г2(П-1)5ДЙ/(ПГ1Г2), , где Ф — оптическая сила линзы; n, r1( r2, d, Дп, Дгъ Дг2, Ad — кон- структивные параметры линзы; показатель преломления материала, радиусы кривизны, толщина по оси и их погрешности соответственно; N — отступление радиусов кривизны поверхностей от номинала в числе колец-(полос) Ньютона; X — Длина волны света при контроле - по пробному стеклу (погрешность пробного стекла не учтена); D — световой Диаметр линзы. ... - На этапе проектирования все'первичные поГрешндсти должны быт!> отнесены к случайным (за исключением Дп, если заранее из- вестно, из стекля какой плавки будут изготовлены детали), поэтому .суммарное отклонение фокусного расстояния тонкой линзы опреде- лим из выражения где 6пь б/i, 6г2 — половина поля рассеяния соответствующей пер- вичной погрешности. Для одиночного сферического зеркала с. наружным отражением фокусное расстояние равно половине радиуса,кривизны, поэтому . Д/;г = Дг/2 = ГДг/г^4/7ХУ/В2^8/'2ЛТОЛ - Для склейки из двух тонких линз, учитывая условие ахромати- зации vif{ — —vzjz и слабое влияние погрешностей радиусов кри- визны склеиваемых поверхностей, получим Фэ = 1//э = + Ф2 = Ф1 (1 — V2/V2); ад ~ V (^гГ «»+[-(^МУ+ ’ * • Г г'2 / ,\ 12 ’ Г ,,2/ Л -|2. + [ ] бг? + 6/1 ’
Где Фх, Ф2, Фэ — оптические силы 1-й и 2-й линз и склейки соответ- ственно; vx, v2, пх, riz — коэффициенты средней дисперсии и показа- тели преломления стекол соответственно; г1ггл — радиусы кривизны поверхностей, граничащих с воздухом. . ' ' Оптическая сила системы, состоящей из п тонких линз, нахо- дящихся в воздухе, равна где Лх, hi — высота точки падения луча на первую и i-ю линзы. Погрешность фокусного расстояния такой системы имеет вид ^Оптическая сила двух линз или системы линз, состоящей из двух 'компонентов, расположенных на расстоянии d друг от друга, равна . . ’ Фэ = Фх + Ф2 — ФхФ2а. (4.6) В связи с этим погрешность d или его изменение на величину Ad приводит к погрешности или изменению фокусного расстояния си- стемы на величину . '(4.7) Приведенные формулы используют для определения возможной погрешности фокусного расстояния системы, и для рёшения вопроса о необходимости и диапазоне работы компенсаторов погрешности фокусного расстояния и расфокусировки (с учетом возможной по- грешности расположения самой системы вдоль оптической оси). Компенсацию погрешности фокусного расстояния системы обычно Производят изменением воздушного промежутка между его компо- нентами или с помощью селекции элементов (см. п. 1.4). Точность компенсации при изменении воздушного промежутка определяют чувствительностью изменения воздушного- промежутка [формула (4.7)] и погрешностью измерения фокусного расстояния системы (погрешностью контроля результатов корректировки). При компенсации с помощью селекции элементов недбкомпен- сацию погрешностей комплектуемых систем определяют зна- . чением . рассеяния их фокусных расстояний в - соответствующих группах (см. рис. 1.15). Фокусировка 1 изображения производится Продольными смеще- ниями фокусных или других элементов оптической системы. Макси- мальное -перемещение определяют с помощью вышеприведенных формул, а чувствительность — чувствительностью, глаза к_продоль- 1 Здесь мы. рассматриваем расфокусировку, возникающую только из-за погреш- ностей изготовления и сборки элементов прибора, а'также эксплуатационных по- грешностей.
йым йаводкам, допустимым значением параллакса или глубиной резкости. ’ ' Чувствительность глаза к продольным наводкам, мкм, равна [32 ] ДТ^0,2/оа, (4.8) где Од — задний апертурный угол фокусируемой системы. Допусти- мый Ттродольный параллакс Др (расстояние между изображением и маркой сетки) можно определить для телескопической системы и отсчетного микроскопа по следующим зависимостям: . , ' Др = /'250 Д«/Др/(/Гок); . (4.9) Др = р 250 Дг/Др/(/Гок), ’ (4.10) где р — линейное увеличение микрообъектива; Гок — увеличение окуляра; t — сдйиг глаза в поперечном направлении; Дрдр — до- пустимая погрешность • измерений из-за параллакса. Различают дифракционную, геометрическую и аккомодационную глубины резкости, одна из которых в зависимости от назначения фокусной системы и определяет искомую чувствительность наводки. Дифракционную глубину резкости изображаемого пространства определяют для объективов, работающих на конечном расстоянии, из выражения ' . . Тд^Х/(2о1), (4.11) где А, — длина волны света; о а — передний апертурный угол. В пространстве изображений Т'л « А/(2о,а)- Геометрическую глу- бину резкости изображения и изображаемого пространства опреде- ляют из условия, чтобы кружок рассеяния казался наблюдателю под углом, не большим разрешающей способности глаза: • . Тг = ±£л|У(йаР); ’Г^ = ±Ьф/од, (4.12) где L — расстояние от наблюдателя до изображения (экрана, пленки); ф — разрешающая способность глаза (колеблется в зави- симости от условий наблюдения от 1 до 10'). Для лупы и окуляра геометрическая глубина резкости будет равна [37] - Тг. л = 2ф25о7(аг*к),«? 12,5/ГоК, (4.13) где d — диаметр, зрачка глаза. Для проекционного объектива геометрическая глубина резкости проецируемого к^дра имеет вид [19]: Тг. п = ±f'Vmln/[(p' - 2f)DBX]. ч (4.14) где Lmln — минимальное расстояние от наблюдателя до изображе- ния; р’ — расстояние от выходного зрачка до экрана; DBX — диа- метр входного зрачка объектива. Аккомодационную глубину резкости для лупы и окуляра опре- делим по формуле [37] < Так«250/Г*к. . (4.15)
В литературе [37 ] встречаются рекомендации суммировать зна- чения Тд, Тг, Так при нахождении глубины резкости изображения (или изображаемого пространства). На наш взгляд, этого делать не следует, так как эти глубины резкости имеют различную физическую природу, перекрывают друг друга и не могут суммироваться. Таким образом, чувствительность компенсатора расфокусировки должна обеспечивать изменение продольных расстояний между изображе- ниями и сеткой (экраном, фокальной плоскостью . последующей системы) в пределах от ДТ (нижняя граница), до геометрической или волновой глубины резкости'(верхняя граница).. Для.лупы верх- ней "границей является аккомодационная глубина резкости. Рис. 4.28. Схема проекционного автоколлиматора В том случае,ф когда фокусировку осуществляют продольным пе- ремещением объектива, для определения чувствительности его пере- мещения пользуются приближенными формулами, связывающими его перемещение Дх с перемещением изображения Д/ [32 ] — для систем с Р < 1, Р > 111 и р = 111 соответственно: Д/~ Дх; М « —р2 Дх; Д/ Дх2//'. (4.16) Рассмотрим примеры компенсации вышеперечисленных погреш- ностей. Пример. На рис. 4.28 изображена схема проекционного автоколлиматора, разработанного в ЛИТМО, в котором требуется произвести фокусировку и регули- ровку фокусного расстояния объектива для обеспечения расчетной цены деления. Автоколлиматор содержит телеобъектив 10, зеркало с отверстием (либо призму- куб) 9, матовый (восковой) экран 4 с биштрихом, конденсор-сетку 8> Малогаба- ритный индикатор 2, защитную, лупу <?, источник света 7, винто-рычажный при- вод 5, 6. При повороте отражающего зеркала 1 на некоторый .угол а автоколли- мационное изображение штриха, нанесенного на плоскую поверхность линзы-кон- денсора, проектируемого телеобъективом на матовый экран, сместится на рас-
Стояние I = /' tg 2a 2/'a, где /'“515,46 мм. Измерив это перемещение с помощью индикатора (при совмещении винто-рычажным приводом бйштрих эк- рана с автоколлимйционным штрихом), бпределяем искомое значение a: a = = = nAl(2f') — nA", где п число- отсчитанных делений индикатора; А = = 10 мкм —• цена деления индикатора в линейной мере; А" = 2" — цена деле- ния шкалы индикатора в угловой мере. Погрешность измерения а из-за погрешности фокусного расстояния равна Д«д7 = -I Л//(2/'2) = -а Д/7/' • Если допустить, что величина Аад^ не более одного деления на всем диапазоне измерений (qmax = 30'), получим Af' = Аад^/'/аШаХ = 2"-515,46/30' = 0,57 мм. Регулировку фокусного расстояния телеобъектива производим перемеще- нием вдоль оси его отрицательного компонента. Используя формулу (4.7), находим чувствительность перемещения этого компонента Ad = А/'4(/'2Ф1Ф2) « 2,2 мкм. * . Здесь Ф1 = 1/86,13; Ф2 = — 1/11,37—оптические силы положительного и отрица- тельного компонентов соответственно. Чувствительность перемещения компонента, Рис. 4.29. Схема углоизмерительной проекционной головки равную .2,2 мкм, обеспечить смещением его оправы от руки (что было заложено в конструкции первой партии автоколлиматоров) весьма трудно, поэтому оно должнд осуществляться специальным регулировочным устройством, например, с помощью резьбового (с мелким шагом) соединения оправы с корпусом.^Для умень- шения децентрировки оправа имеет центрирующую' цилиндрическую поверхность. Диапазон перемещения определяется дифференцированием выражения (4.6) с учетом (4.5) и составляет примерно 1 мм. Чувствительность фокусировки этого объектива определяется как АТ = 0,2/0'/ = 0,2/0,0262 = 0,28 мм. Такое переме- щение можно осуществить подвижкой всего объектива от руки без применения специальных фокусирующих устройств. Пример. На рис. 4.29 изображена схема углоизмерительной проекционной головки прибора'для измерения мертвого хода редукторов. Здесь требуется произ- вести фокусировку проекционного микрообъектива 1 (МЩ 40X0,65; /' = 4,35), •работающего с апертурой од = 0,4 и увеличением 77,1^ на лимб 2 и устранить разномасштабность изображения интервала (у = 0\7 мм), его шкалы с нониусной шкалой, нанесенной на матовом экране 8 (у' = 54 мм) (Определим, с какой чувствительностью нужно перемещать микрооб^^ктив при его^фокусировке. Эту величину можно найти, связав геометрическую глубину рез- кости изображения штрихов лимба на экране с перемещением микрообъектива.
' Геометрическую глубину резкости изображения найдем из условия, что кру- жок рассеяния наблюдатель видит под углом Г: Тг = 250ф/о{д = 250-0,0003/0,0051 « 15 мм. Тогда, согласно формуле (4.16) чувствительность перемещения объектива Ах = = Д//Р2 = Тг/ра == 2,5 мкм. Полученное значение является верхней границей чувствительности фокусировки. Нижнюю границу найдем по формуле (4.8): &Т— = 0,2/0,42 == 1,25 мкм. Чувствительность фокусировки микрообъектива в указан- ных пределах в отличие от предыдущего примера можно обеспечить только с помо- щью специальных устройств. Так как система подсветкй 3—5, построенная по Кел- леру, обеспечивает в пространстве предметов телецентрический ход лучей, то рен можно устранить только регулировкой фокусного расстояния проекционного объ- ектива либо смещением экрана вдоль оси [32 ]. В связи с тем, что в качестве проек- ционного объектива выбран стандартный микрооб^ектив,. устранить рен можно только смещением экрана вдоль оси. «3 | Определим, с какой чувствительностью нужно перемещать экран, если допусти- мая разномасштабность составляет 0,1 мм. При телецентрическом ходе лучей масштаб изображения равен [32] y'ly = z'lf', где 2' —расстояние от фокальной плоскости проекционного объектива до экрана. Продифференцировав по у', по- лучим искомую чувствительность подвижки: dz' = f'dy'ly = 4,35-0,1/0,7 = 0,6 мм. Это смещение достигается подвижной от руки оправы экрана вдоль бобовидных пазов. Рассчитаем максимальное значение подвижки. Причинами разномасштаб- ности являются погрешности, расположения оптических элементов и погрешность фокусного расстояния объектива. Погрешность расположения не превосходит долей, миллиметра. Погрешность же фокусного расстояния достигает 2—3 % его значения и приводит к существенному изменению масштаба и, следовательно, к зна- чительным Перемещениям экрана: ДЗд^ = 'dc.yf ly = zfcP Д/х = -4-77.1-0,12 = 4-9, мм. Пример. В винтовом окулярном микрометре (см. рис. 1.9, а) требуется одно- временно резко видеть марку, нанесенную на подвижной сетке, шкалу грубого отсчета (либо,индекса) и изображенио-объекта наблюдения, создаваемого объекти- вом. Так как глаз аккомодируется на сетку, то глубина резкости определяется выражением (4.13) и составляет, например, для окуляра сГ = 15х 0,05 мм. В пределах этой глубины резкости может возникнуть продольный параллакс ме- жду маркой подвижной сетки и изображением объекта, с которым она совмещается. Таким образом, при сборке' нужно обеспечить’регулировку расстояния между подвижной и неподвижной сетками с чувствительностью не менее 0,05 мм и фоку- сировку изображения на подвижную сетку с чувствительностью, определяемой допу- стимым- значением продольного параллакса (если допуск на него не меньше 0,05 мм). Например, для автоколлиматора с окулярным микрометром (см. рис. 2.1) в случае, если допустимое значение погрешности измерения из-за параллакса равно Д#др = 0,2*, = 343,6 мм, t= 0,5 мм, Г = 15х, то по формуле (4.9) с учетом автоколлимации получим Др == 0,023 мм. Пример. В некоторых оптических приборах для компенсации расфокусировки, возникающей в процессе эксплуатации, применяют системы автофокусировки. Отдельные схемы таких»устройств были рассмотрены в пп. 1.4 и 4.1. ' Рассмотрим устройство коррекции расфокусировки кадра, современного диа- проектора. На рис. 4.30 изображена схема устройства^ подфокусировки изобра- жения диапроектора, компенсирующего различие толщины диапозитивных ра- мок, прогиб пленки, температурные деформации корпуса прибора. Оно представляет собой съемный автономный узел, построенный по схеме дврйного микроскопа Лин- ника и содержит источник света /, линзу 2, строящую изображение нити лампы на поверхности пленки 5, линзу 7, переносящую изображение нити в плоскость позиционно-чувствительного фотоприемника Р, теплофильтр 8, При смещении плоскости пленки от номинального положения на величину Т изображение нити лампы сместится относительно равносигнальной зоны дифференциального фото- диода на величину у': у’ = 2Тра sin (а/2) = Т /20г. (4.17)
где р2 — увелйчение линзы 7; а = 90°— угол между осями двойного микроскопа. Обычно = где — размер фоточувствйтельной площадки приемника. В результате возникает сигнал рассогласования, который через усилитель 6 уп- равляет двигателем 5, приводящим диапозитив с помощью' зубчатого редуктора и кулачка 4 в номинальное положение. Задавая возможные смещения пленки из номинального положения 7тах, размеры чувствительных площадок фотопри- емника и размеры нити лампы dt определяют по формуле (4.17) увеличение линз 7 (Ра) и 2 (Pi): . р2 = £>/(27\пах К2); ₽I = WW. Характеристики основного проекционного объектива позволяют определить требу- емую точность коррекции исходя из глубины его резкости. Для проекционного объектива глубину резкости определяют по формуле (4.14), Приняв для диа- Рис. 4.30. Схема устройства подфокусиро- вки кадра диапроектора проектора, что минимальное расстоя- ние от наблюдателя до экрана при- мерно равно расстоянию от диапроек- тора до экрана, т. e..Lmm ~ (р' — получим Тг, п & ГфЛ, где Л — отно- сительное отверстие объектива. Для типового проекционного объектива типа «Триплет» с f =. 100 мм, А = ~ 1 : 2,8 получим (с учетом того, что разрешаемая способность глаза для условий наблюдения диафильма ф = = 5—6'): Тг. п = ±100-5'-3-10~4 X X 0,357 = ±54 мкм. Это значение в свою очередь позволяет получить до- пуски на чувствительность и точность работы электронной части и привода. Данная схема автофокусировки в некоторой степени чувствительна к наклону кадра вокруг'оси Y, йоэтому при его подвижках следует обеспечить отсутствие наклонов как вокруг оси У, так и вокруг оси X (поворот кадра вокруг оси X не приводит к срабаты- ванию следящей системы, но может вызвать расфокусировку изображения на краях). Допустимое значение на- клонов Ду вокруг произвольной оси можно оценить соотношением Ду < 2ТГ. п//, где / — размер кадра по диагонали. Юстировка узла подфокусировки производится в следующем порядке. Вначале настраивают на резкость проекционный объектив по эталонному кадру. Затем осевым смещением узла с линзой 2 добиваются проекции нити лампы на пло- скость фотопленки. Перемещением узла с линзой 7 осуществляют перенос изоб- ражения в плоскость чувствительных площадок фотоприемника. Подвижками и разворотом фотоприемника (при необходимости сдвигами лампы) добиваются от- сутствия сигнала рассогласования, что будет при параллельном и симметричном расположении изображения нити лампы относительно границы между фоточув- ттвительными площадками. - 4.4. ПЕРЕСЧЕТ ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ НА ПЛАВКИ СТЕКОЛ И КОМПЛЕКТАЦИЯ ЛИНЗ Пересчет оптических систем на плавки стекол и комплектацию динз по толщинам широко применяют для повышения качества , изображения,, создаваемого системой, и ‘расширения допусков на 120 5
.оптические константы стёкол, толщину линз и погрешности радиусов кривизны эталонных стекол, используемых для контроля. Этот способ компенсации основан на том, что упомянутые по- грешности являются случайными только на этапе расчета оптической системы. Когда же будет известно конкретное значение оптических констант (пе, пР —пс) заготбвок стекол, будут изготовлены линзы и определен набор эталонных стекол, эти погрешности перейдут в разряд систематических. Влияние систематических погрешностей может быть существенно ослаблено следующим образом. Перед запуском оптических элемен- тов в производство расчетчик на основании результатов обмера радиусов эталонных стекол и данных о пе и nF — пс паспорта завода оптического стекла на стекла конкретных плавок либо на основании лабораторных измерений этих констант производит перерасчет (коррекцию) оптической системы. Пересчет производится на ЭВМ или с помощью таблицы влияния указанных параметров на измене- ния фокусного и вершинного фокусного расстояний, хроматизма положения и увеличения, сферической аберрации, астигматизма, дисторсии и других аберраций. Результатом пересчета являются изменения воздушных проме- жутков и толщин некоторых линз, обеспечивающие требуемое ка- чество системы. В некоторых случаях изменяют радиусы кривизны' линз (для коррекции хроматических аберраций изменением радиусов склейки), что является нежелательным, так как может повлечь изменение радиусов шлифовальников и эталонных стекол. Указан- ный пересчет системы выполняют независимо от ее серийности. В процессе изготовления линз возникают погрешности их тол- щин, которые могут ухудшить качество системы. Для компенсации их влияния линзы комплектуют по толщинам, так, чтобы отклоне- ния толщин одних компенсировали отклонения других. Этот метод применяют в основном в крупносерийном и массовом производстве, где можно подобрать комплект линз с нужной толщиной, так как ; погрешность толщин отдельных линз распределяется по закону ГауСса с небольшим смещением центра группирования в плюс от номинала, из-за стремления оптика иметь исправимые возможные брак и дефекты (царапины, следы пузырей, отступление от пробного стекла). Комплектация линз производится перед,.склейкой компо- нентов и сборкой системы. Толщины склеиваемых линз Подбирают таким образом, чтобы толщина склеиваемого блока была номинальной. Особенно тщательно, с обязательным учетом толщины слоя клея, следует комплектовать системы, чувствительные к погрешности толщин (например, линзы фотограмметрических объективов). Перед сборкой системы линзы на основе таблиц влияния их тол- щин на качество подбираются в комплект так, чтобы погрешность изготовления толщин одних компенсировала влияние погрешностей других. Подобранный в оптическом цехе Комплект линз маркируют и отправляют в сборочный цех. В случае единичного и мелкосерий- ного производства комплектовать линзы по толщинам перед склей-
Кой и сборкой не представляется возможным, Поэтому компенсацию влияния погрешностей их толщин производят изменением воздуш- ных промежутков. Для этого измеряют погрешности толщин ком- плекта всех линз, входящих в систему, и по таблицам влияния (либо пересчетом на ЭВМ) определяют, необходимое изменение не- которых воздушных промежутков. Комплект оптики, для которого сделан пересчет воздушных промежутков, маркируют,- снабжают таблицей толщин и откорректированных воздушных промежут- ков, которые выдерживаются при сборке. Так как допуски на первичные погрешности оптической* системы назначаются перераспределением суммарного допуска на-ее качество между первичными погрешностями, то применение метода пересчета на плавки стекол и комплектация линз по'толщинам позволяет расширить допуски не только на' те погрешности, которые компен- сируются- при этом методе, но и на другие (например, радиусов кривизны поверхностей линз, выдерживания воздушных промежут- ков, центрировки)^ Более подробно метод пересчета на плавки из- ложен в работе [21 ]. . 4.5. КОМПЕНСАЦИЯ ПОГРЕШНОСТЕЙ РАСПОЛОЖЕНИЯ ЗЕРКАЛЬНО-ПРИЗМЕННЫХ СИСТЕМ Зеркально-призменные системы (ЗПС) требуют - весьма строгой ориентировки относительно других - элементов оптической схемы. Погрешности расположения неподвижных ЗПС в сходящемся ходе лучей приводят к децентрировкам, наклону и перекосу изображения, срезанию поля зрения и зрачков, расфокусировке. Погрешности расположения неподвижных ЗПС в параллельном ходе лучей ока- зывают меньшее влияние на качество изображения, однако часто требуется их строгая угловая установка относительно некоторых баз прибора. Погрешность расположения подвижных ЗПС приводит к погреш- ности функционирования прибора, ухудшению качества- изображе- ния и другим дефектам. Рассмотрим влияние погрешностей располо- жения простеющих ЗПС, являющихся эквивалентами большого. ряда более сложных ЗПС, на некоторые характеристики качества прибора. * 'ЗПС в сходящемся ходе лучей. Пусть зеркало 1 установлено в сходящемся ходе лучей между объективом 2 и-матовым экраном 3, на котором строится изображение (рис. 4.31). Свяжем с номиналь- ным положением зеркала неподвижную координатную систему х, у, г, а с экраном — хэ, уа, гв. При установке зеркала возможны его линейные и угловые сме- щения (погрешности) относительно номинального положения. Не- большие смещения зеркала вдоль осей х и у недейственны (так как световой диаметр зеркала обычно выполняется с запасом для устра- нения срезания светового пучка). Смещение зеркала из.номинального положения вдоль оси z на величину Да вызывает параллельный сдвиг отраженного пучка лучей, т. е. сдвиг изображения на экране 122
(&уэ), расфокусировку (Дгэ), погрешность -размера изображения (V): ' ' Д//э — 2.sin в Дг; Дхэ = 2 cos 8 Дз; (4.18) 6z/' = (4 cos ъу'IL) кг,'. где 8 — угол падения осевого луча- на зеркало; у' — половина размера изображения на экране; L-—расстояние от плоскости выходного зрачка объектива до экрана. Поворот зеркала вокруг оси г неопасен. При повороте зеркала вокруг оси х на угол Д<рж происходят следующие явления [33]: Рис. 4.31. Плоское зеркало в сходящемся пучке лучей 1) сдвиг изображения по оси уэ — &у.д — -21 Д<рж, где I — рас стояние от точки падения осевого луча на зеркало до экрана; 2) наклон плоскости изображения на величину Дсрэ = 2Д<рх (разворот относительно оси хэ); 3) погрешность размера (масштаба) изображения по оси у за счет наклона плоскости изображения — 6г/' « 2у'‘ &yxIL\ . 4) расфокусировка на оси (Дг8.0) и на краях (Дгэ.к)' изобра- жения — Дгэ. о « I Дф«; Дгэ. к « 2у' Дфх. ± I Дф5. Знак зависит от направления -поворота зеркала. При повороте зеркала вокруг оси у на угол Дфу происходят сле- дующие явления" [33]: 1) сдвиг изображения по оси хэ — Дхэ = 21 cos 8 Дер/ 2) разворот изображения вокруг оси хэ — Дфгэ = 2 sin 8 Дфй; - (4.19) 3) наклон изображения относительно оси уэ — ДфЙЭ =s — 2 COS 8 Дфй; 4) погрешность масштаба изображения по оси xs 6у'х = = (2у'х cos s/L) Дф^э гдё у'х — половина размера изображения на экране по оси хэ; 5) расфокусировка на- оси (Д?э. 0) и краях Д?э. к — о = I cos е-Д<р|; Д4. к = 2r/x cos# Д<р? ± Z CQS е Дф^. (4.20)
Если вместо зеркала перед экраном будет установлена призма с одним отражением (эквивалентная- плоскому зеркалу и плоско- параллельной пластине), то тогда ее поворот вокруг оси х при- ведет к наклонной развертке призмы в плоскопараллельную пре- ломляющую пластину, вносящую приращение хроматизма (бу^-с), астигматизма изображения (6а) и других аберраций [37]: §qp-c 1/Пр)d Д<рж; 6а та [2 (а2 — 1) dco/n3] Д<рж, где п — показатель преломления стекла для линий е, F, С', d — тол- щина развертки призмы; со — угол наклона главного луча. К изменению аберраций приводит поворот призмы также вокруг осей у и z. Рассмотрим случай, когда между объективом и экраном уста- новлено угловое зеркало (рис. 4.32). Известно, что Для углового зеркала .недейственными являются смещения вдоль ребра (вдоль оси z) и поворот вокруг него (вокруг оси z). Смещение зеркала парал- лельно оси х, направленной по биссектрисе угла между зеркалами о, приводит только к расфокусировке и погрешности размера изобра- жения: Даэ = 2 sin а. Дх; Ьу' = (4 sin ay'lL) Ах. Смещение углового зеркала перпендикулярно к его ребру по осй у (параллельно биссектрисе угла между падающим и выходя- щим лучами) приводит только к сдвигу изображения (децентрировка второго рода) вдоль оси уэ &у3 = 2 sin о Ду. Эти свойства углового зеркала при его смещении вдоль указанных направлений широко используют при юстировке для сдвига и фоку- сировки изображения, центрировки элементов системы. Поворот зеркала вокруг оси х приводит к развороту изображения вокруг оси z9: t Д<рн = 2 sin о Д<рк,
Рис. 4.33. Опреде- ление заметного на глаз угла разворо- та изображения штриха Наиболее опасным является поворот углового зеркала вокруг оси у, вызывающий сдвиг и наклон изображения, расфокусировку на о.си и краях, разномасштабность изображения [37]: Д гэ = 21 sin о Дф/, Дф(,э = 2 sin о Дфу; * Дгэ. о = I sin п Д<р£; Дгэ. к = 2 sin оух Афу ± I sin о Дф^; Ьу'х = (2yi2sin a IL) Дфу, . где I — расстояние от ребра углового зеркала до экрана; L — рас- стояние от выходного зрачка объектива до экрана; ух — половина изображения на экране по оси х. При установке вместо углового зеркала призмы с двумя отраже- ниями (например, БП-9О0) ее развороты вокруг осей х, у, а также xz вызывают, кроме перечисленных дефектов, при- > ращение аберраций, так как ее развертка в виде толстой плоскопараллельной пластинки будет на- клонена к оптической оси. Рассмотрим примеры расчета компенсаторов погреш- ностей расположения ЗПС. В углоизмерительной головке прибора ПМХ (см. рис. 4.29) из-за технологических погреш- ностей, приводящих к наклонам зеркал, б, 9, 10 и призмы 7 вокруг оси у возникает разворот изображения штрихов лимба относительно штрихов нониуса экрана. Этот разворот ком- пенсируется поворотом зеркала 9 вокруг оси у. Рассчйтаем пороговую чувствительность поворота зеркала исходя из усло- вия, чтобы не было заметно на глаз разворота изображения. Определим, какой угол разворота изображения штриха относительно штриха нониуса не заметен на глаз. <Цри'этом будем исходить из того, что разворот (Ду) будет заметен тогда, когда разность (d) между расстоянием по верхним (с) и нижним (а) концам штрихов (рис. 4.33) будет равна в линейной мере разре- шающей способности глаза: d = 250* Ф = 250* Г *0,0003 = 0,075 мм, следовательно, A<pz = Ду = d/B = 0,075/5 = 50'. По формуле (4.19) определим искомую чувствительность поворота зеркал®: Дф^ == Дф/(2 sin е) = 507(2 sin 50°) «327 Такая чувствительность может быТь достигнута довольно легко (например, с помощью прокладок, устанавливаемых под оправу зеркала). Толщина прокладки будет определяться базой I оправы t = = I Дфр = 0,2 мм. Еще один пример связан с определением необходимости компенсации возмож- ного поворота светоделительного зеркала 9 вокруг оси у автоколлиматора из-за технолорических погрешностей (см. рис. 4.28). При таком повороте без учета дефектов второго порядка малости опасными являются расфокусировка на краях, сдвиг и разворот изображения. Допуская расфокусировку на краях не более глу- бины резкости телеобъектива либо даже не более чувствительности продольных наводок, равную 0,28 мм [см. формулу (4.8)], получаем из (4.20) Аф^« « Ьгэ1(Ъу cos е) = 0,28/(2* 2,5 cos 45°) = 4',5®. Такой допуск легко выдержать технологически. Допустимый сдвиг изображения, определяемый геометрическими размерами автоколлимационной марки и биштриха экрана, равен ±1 мм. Отсюда Дф» = = Ахэ/(2/ cos 8) = 1/(2*2,5 cos 45°) == 1,6°. 'Этот допуск также выдерживается технологически. Незаметный на глаз разворот изображения автоколлимационного штриха отно- сительно биштриха экрана составляет (при размере меньшего из штрихов 5 мм) 50', следовательно, допустимый наклон зеркал из выражения (4.19) будет равен Дфу = Дфг/(2 sin 8 max) = 50/(2 sin 55°) = 30'. Этот допуск наиболее жесткий из > рассмотренных,, но и он может быть выдержан технологически без применения
компенсатора йаклона. В том случае, если проецируемая марка при юстировке автоколлиматора может поворачиваться для установки ее изображения параллельно биштриху экрана, то при этом компенсируется разворот изображения из-за наклона светоделитёльного зеркала. Допуск на этот йаклон будет определяться разворотом изображения^ из-за изменения угла падения осевого луча на зеркаЛо: Aqfy = = A<pz/ [2 (sin 8max— sin eraln) ] ® 50' [2 (sin 55° — sin 35°)] = 1,7°. Таким образом, наличия компенсатора поворота зеркала вокруг оси у не требуется. На рис. 4.34 йЬображено зеркало 1, расположенное в сходящемся пучке лучей между положительным 2 и отрицательным 3 компонен- тами телеобъектива, строящего изображение на экране 4. В этой системе допуски на погрешности положения зеркала вдоль оси Z Рис. 4.34. Плоское зеркало, расположенное между компонентами телеобъектива И углы его поворота вокруг осей X и Y определяются.допустимыми значениями хроматизма или комы, возникающих из-за децентри- ровок 1-го и 2-го рода компонентов телеобъектива, обусловленных погрешностями положения зеркала. Если, например, задать волновой допуск на хроматизм Д^с =_ = 0,1 мкм, а допустимое значение комы, равным радиусу первого дифракционного кольца, то по формулам для ДС“ и Ду получаем допустимое смещение зеркала вдоль оси Z: Дг » 10 мкм, а наклон относительно .осей X и Y: Дфх.у « 2'. Такие допуски выдержать технологически трудно, поэтому с учетом возможной необходимости компенсации- децентрировок компонентов, возникающих при креп- лении в оправах, целесообразно предусмотреть результативную обработку оправы зеркала либо его соответствующие подвижки. Результативная обработка базовых поверхностей оправы произ- водится после сборки узла зеркала на токарно-арматурном (либо фрезерном) станке с помощью контрольно-юстировочного приспособ- ления, содержащего автоколлимационную трубку. Приспособление позволяет ориентировать зеркало перпендикулярно к шпинделю станка, Угловая погрешность отражающей поверхности зеркала 126
относительно базы после результативной обработки обычно не пре- восходит Г. Конструктивные подвижки зеркала с высокой чувствительностью осуществляются проектированием -специальных оправ. Одно из возможных решений изображено на рис. 4.34. Здесь смещение зеркала вдоль оси Z осуществляется винтом 5 и пружиной 6. Пово- роты вокруг осей X и Y — винтами 7 и 9. Для обеспечения большей независимости юстировок центр сферы винта 5 должен совпадать с отражающей поверхностью зеркала, а винты 7—9 — образовывать прямой угол. Подвижное зеркало в параллельном ходе лучей. Рассмотрим влия- „ ние погрешностей положения головного качающегося зеркала пе- Рис. 4.35. Погрешности головного зеркала перископического визира: а — схема визира; б, в, г — схемы погрешн<4стей рископического визира на точность визирования и измерения (или ввода) горизонтальных и вертикальных углов; Упрощенная схема * прибора представлена на рис. 4.35, а. Здесь: 1 — качающееся в’пре- делах от —5 до. -Н20° головное зеркало, 2 — неподвижное -зеркало, 3----объектив, 4 — сетка, 5 — окуляр. На точность визирования и измерения горизонтальных и вертикальных углов по сетке визира влияют следующие погрешности положения головного зеркала: 1) коллимационная ошибка ДК — неперпендикулярность ’ нор- мали, отражающей поверхности зеркала к оси качания (рис. 4.35, б); 2) наклон Д<рг оси качания (наклон оси цапф) относительно горизонтальной плоскости (поворот вокруг оси У) (рис. 4.35, в); 3) разворот A<pz оси качания вокруг вертикальной осц Z (будем считать, что последующая система отъюстирована так, что визирная ось параллельна оси Z (рис. 4.35, а). Коллимационная ошибка приводит к тому, что при качании зер- кала его нормаль описывает не плоскость начального меридиана, а поверхность конуса. Траектория следа нормали на сферу будет отстоять от начального меридиана на величину Д/С, а след визирной линии будет проходить через зенит й отстоять от надира на вели- чину 2ДК. ' _
Для определёйий погрешности визирования й измерения гори- зонтальных и вертикальных углов найдем направление орта отра- женного луча в случае, когда зеркало имеет коллимационную по- грешность /1—2 sin2 е cos2 &К Д' = Л4'Л = | 2 sin 8 cos ДК sin ДК \2 sin е cos2 Д7< cos е 2 sin е cos ДК sin ДК 1 — 2 sin2AK 2 sin Д/( cos Д/Ccos в 2 sin 8 cos2 Д/С cos 8 \ / 0 \ / sin 2e cos2 Д/С ' \ 2 cos e cos Д/< sin Д/<1 г 0 1 = 1 2 cos &cbs ДК sin ДК |, (4.21) 1 — 2cos28cos2A/< /\1/ \ 1 — 2cos28cos2Д/< / . ,где A' — орт ’отраженного луча; А — орт падающего луча;. М’ — матрица действия плоского зеркала; 8 — угол падения луча на зеркало. Из выражения (4.21) следует, что коллимацй&нная погрешность вызывает ошибку визирования и измерения горизонтальных углов (Д6дК) первого порядка, а вертикальных Дгд/< — второго порядка малости: Дбдк = 2 cos 8 cos АК sin &К as 2 cos е Д/<; Д1’дя=1 — 2 cos2 е cos2 ДК— 1 +2c0s28 = = 2 cos2 8(1 — cos2 Д/<)as 2 cos2 в Д/<2 = Двдк/2.. (4.22). Наклон оси качания приводит к тому, что нормаль-зеркала описывает дугу большого круга, наклонную к начальному меридиану. Траек- тория следа визирной оси также проходит через зенит и отстоит от » надира на 2Дфу. Найдем направление орта отраженного луча при наличии этой погрешности / 1 — 2 sin2 8 • 2 sin е cos е sin Дфу А' = М'А — I 2 sin е cos 8 sin Дфу 1 — 2 cos2 е sin2 Дфу \ 2 Sin 8 COS 8 COS Дфу 2 COS2 8 Sin Дфу COS Дфу 2 Sin 8 COS 8 COS Дфу \/0 2 cos2 8 cos Дфу sin Aq у 11 0 1 — 2 COS2 8 COS2 Дфу /-\ 1 / sin 2e cos Дфу ’ ’ cos2 e sin 2 Дфу \ 1 — 2 COS 8 COS2 Дфу, Следовательно, наклон оси цапф также приводит к погрешности первого порядка при визировании и измерении горизонтальных углов и второго порядка— вертикальных углов: Дбд<ру = cos2 е sin 2 Дфу as 2 cos2 8 Дфу; 1 ; л - о 2 а 2 - (4-23) Ai&vy = 2 cos2 8 Дфу. J v ’ При развороте оси качания вокруг вертикальной оси нормаль зер- кала и визирная линия выходят из плоскости начального меридиана (нулевой плоскости визира) й описывают дугу большего круга, отстоящую от него в плоскости горизонта на Дф2. Для нахождения ошибок визирования и измерения произвольного значения угла 128
Мёста бПрёдёЛйм Направление орта отраженного Луча при наЛйЧйй этой погрешности: (1 — 2 sin2 е cos2 Афг 2 sin2 е cos Аф/ sin Дф2 2 sin2 e cos A<pz sin Дф2 1 — 2 sin2 e sin2 Acpz 2 sine cos Дф2cos 8 2 sin e sin A<pz cos e 2 sin 8 cos A(pz cos 8 \ / 0 \ /—sin 2e cos АфД 2 sin 8 cos e sin A<pz j I 0 j = I sin 2e sin A<pz j. 1 — 2 cos2 8 / \ 1 J \ 1—2 cos2 8 / Погрешность визирования и измерения горизонтальных и вер.- тикальных углов, таким образом, будет равна: АбдФг = sin 2е sin Дфг л; sin 2е Дф2; Azaq^ = (1 — 2 cos2 е) — (1 — 2’cos2 в) — 0. (4.24) Перечисленные первичные погрешности положения качающегося зеркала обычно устраняют при юстировке данного узла. Для этого конструкция крепления заркала должна обеспечить возможность компенсации коллимационной погрешности, а конструкция узла оси качания — ее наклон и разворот. Анализ формул (4.22)—(4.24) показывает, что влияние данных погрешностей может быть частично взаимно скомпенсировано, при- чем недокомпенсация (особенно с учетом того, что отрицательные углы места невелики) может оказаться незначительной. Следова- тельно, отпадает необходимость компенсировать каждую первичную погрешность, достаточно оставить только один компенсатор, позво- ляющий уменьшить влияние других погрешностей. Использование этого в некоторых случаях позволяет существенно упростить кон- струкцию узла зеркала и облегчить его юстировку. На рис. 4.36 изображена конструкция такого узла. Здесь 3 — головное зеркало, приводимое в движение рычагом 6; 2, 4 — цапфы оси качания; 1 — корпус узла. Так' как имеется возможность компенсации колли- мационной погрешности зеркала, то оно крепится к цапфам приклеи- ванием полиуретановым клеем ПУ-2 РТМ 3-60—70. Соосность цапф 4 и 2 выдерживается при этом технологически путем задания соот- ветствующих допусков на зеркало и цапфы, а также с помощью специального приспособления для приклеивания. Компенсация наклона оси цапф из-за их непараллельности основанию корпуса специальным устройством здесь также может быть не предусмотрена. . Компенсация коллимационной погрешности и наклона оси цапф осуществляется разворотом корпуса узла, что достигается смеще- нием фиксатора 5. Полная компенсация может быть осуществлена при. этом только для одного значения угла места, например, в го- ризонтальной плоскости (t = 0). Необходимое значение угла поворота корпуса (A<pz) определя- ется при этом из уравнения 2ДК cos 45е + 2 cos2 45° Дфг + + sin 90° Афг = 0, откуда Д<р2 = — (i<2AK + Дфг). Наибольшее значение недокомпенсации (А6НК) будет соответствовать при этом 5 Латыев С. М. 129
Максимальному уСлу мёста (i = 40е)! ASHKmak = 2ДК cos 65s 4* + 2 cos2 65° Дфг — (/ЗДХ 4 Дфу) sin 130°. Например, для легко выполняемых технологически допусков на ДЛ и Дфу в 10' и небла- гоприятном (одинаковом) сочетании их знаков значение недохомпен- сации равно Дбн»шах « 6'. Если такое значение недокомпенсации погрешности недопустимо, то следует ужесточить допуски на Д/(, Рис. 4.36. Головное зеркало визира Дфу (или допуск на одну из них), либо ввести второй компенсатор. В данной конструкции можно предусмотреть, например, регули- ровку наклона оси цапф путем смещения стаканов подшипников относительно корпуса в пределах зазора в посадке. 4.6. КОМПЕНСАЦИЯ ПОГРЕШНОСТЕЙ ЛИМБОВ Лимбы являются мерой угла углоизмерительных приборов го- ниометрического типа. От точности изготовления и сборки лимбов в существенной степени зависит точность работы этих приборов. Различают следующие догрешности лимбов: погрешность деления., установочный эксцентриситет, разноширинность штрихов,„относи- тельную погрешность, светрпропускания^ погрежш>£ть...фррмы.цен- трировоннрй. окружности, торцевое .бдение. Основными из них являются установочный эксцентриситет и погрешность деления. В прецизионных углоизмерительных приборах производят компен- сацию этих погрешностей. Компенсация эксцентриситета лимба. Эксцентриситет (Де) — несовпадение оси вращения с центром делений О2 — приводит 130
к появлению погрешности отсчета по лимбу, т. е. к погрешности его положения (рис. 4.37, а): Дф0 = —sin вДе/jR, где 0 — направление эксцентриситета; R —. рабочий радиус лимба. Погрешность измерения угла поворота лимба определим как Дфде = — (sin 0Т — sin 0H) &e/R = [sin 0Н — sin (<р + 0Н)] Де/₽, где 0Н, 0т — начальное и текущее направления эксцентриситета соответственно; ф — угол поворота лимба от начального до теку- щего положения. График’этой погрешности зависит от 'начальной фазы вектора эксцентриситета и имеет период, равный 2 л лимба: а —“схема образования погрешности отсчета; б — графи- ки погрешности в“ зависимости от начальной фазы вектора экс- центриситета •• * (рис. 4.37, б). Как видно из графиков, только в частном случае, jKorfla 0И = 0 илщ 0Н = 180°, погрешность представляет <юбой--еи- нусоидуТ в Ъстальных случаях графики погрешности заключены между функциявпг(соТф"— ГГи ГГ~^~соГф^Это необходимо учи- тывать прТ'выявлении гармоничёскЫГсбставлдющей погрешности от эксцентриситета, лимба по экспериментальному графику суммар- ной погрешности устройства и при ее коррекции. различают следующие способы компенсации влияния эксцентри- ситету: * центрирование лимба; 2) работа~'на диаметрально противоположных участках лимба (двойной отсчёт); ‘ ’ - - — - -.... 3). смешение,изображения. Центрирование лимба-производится по его7 геометрическим эле- ментам или путем измерения составляющей погрешности, обуслов- ленной эксцентриситетом. Центрирование по геометрическим эле- ментам осуществляется обычно по центрировочной окружности, которая наносится на.димйд1р,ц..его делении. Иногда Центрирование S" зоизводят по специальным^меткам или...крдцам^рабочих штрихов. ля устранения эксцентриситета лимб должен,.имет,Ь_1рзможность перемещаться (перпендикулярно к бей) относительно оправы или .91й вращения, ТГри центрировке б* . 131
ось с лимбом вращают в центрах, на призме, либо в штатных под- шипниках, наблюдая в микроскоп за биением изображения центри- ровочной окружности (илижонцов штрихов) относительно биштриха (штриха) £етки микроскопа- (рис. 4.38)^ Биение устраняется легким постукиванием по лимбу^Г при неза- тянутых окончательнб'кр^пяЩих~вийтаХ О ибо сдвигом его оправы 3 1 wA ' w/WzA Рис. 4.38. Схема центрирования лимба по центрировочной окружности центрировочными винтами 2. После устранения, эксцентриситета лимб закрепляют окончательно,, фиксируя при необходимости его положение герметиком или глетоглицериновым цементом. ~ Рис. 4.39. Схема центрирования лимба по четырем штрихам с помощью двух микроскопов Остаточная погрешность центрировки при таком методе, обуслов- лена некруглостью* центрировочнрй р иски, погрешностью совмеше- ния"^ёТ!зс®р^Жн^с'ма^к61Е“сётки микроскопа (из-за параллакса, ограниченной" остроты зрения оператора и ограниченной чувстви- тельности смещения лимба), влиянием погрешности опор вращения оси. Обычно погрешность, центрирования составляет^—3 мкм, что может приверти к погрешности измерения угла по лимбу диа- метром 100 мм до 10—15". Более высокую точность центрирования .можно-получить при центрированиилимба по четырем диаметрально противоположным штрихам с помощью двух микроскопов (рис. 4,39). Вращением лимба 132 / '
совмещают изображение одного из штрихов.с.биштрихом сетки мик- роскопа .ТИ^тГрГТфХ^^рпбложный.' штрих, наводят микроскоп Л4а. Микроскоп Мг для удобства работы снабжается окуляр-микро- метром. Затем, повернув лимб на 180°, совмещают с биштрихом сетки микроскопа изображение противоположного штриха. Тогда,.как видно^из рисунка, положение" цудевогр штриха относи- тельно микроскопа 7И2 будет отстоять на удвоенную величину проек- циивектора эксцентриситета на ось U. Сдвинув лимб вдоль этой оси на’половину измеренной величины, производят частичную, компен- Рис. 4.40. Схема центрирования лимба по измеренной погрешно- сти угла поворота сацию эксцентриситета. Окончательную компенсацию производят выполнением подобных рцераций для пары штрихов, расположен- ных под углом 90е к первым двум штрихам. . Так как при этом сдвиг лимба может производиться не строго .параллельно оси U и отличаться от расчетного, то эти операции при необходимости повторяют. При такомметодецентрирования частично компенсируют такжепервую, гармонику погрешности деления лимба. Еще один метод,центрирования основан на измерениипогреш- Ностй"угла~поворота^.определяемого по лимбу. Измерения произво- дят сравнением угла поворота оси, задаваемого с помощью.эталон- ного зеркального полигона / и автоколлиматора 2,_с углом, изме- ренным по лимбу 3 к отсчетному .микроскопу 4 (рис7Т40)Т “Ио графику измеренной погрешности. (рис. 4.41) выявляют ее составляющую,. „.обусловленную..установочным эксцентриситетом лимба^и_пер_врй гармоникой погрешности деления.t Эта составля-
но го- вектора эксцентриситета Ле2, численное значение ц. надравле- После вычисления Де2 «» Д<ртах д»2/(2£), где 7? — рабочий ра- диус лимба, й дпрёделенйя его фаЗьГВи~смёщают лимб на велич'ину tAgs .—. Ag^ в сторону, противоположную Де2, создавая этим кор- рекционноё воздействие^ДфкТ^находяцгеёся в противофазе с Афде2. Измерение повторно юставЩейся погрешности Афост лозволяет_су- • дить о качестве проведенной, коррекции. При правильном ее выпол- нении, гдрдоникаг х. периодом«^ДГ4.должна отсутствовать. данный метод более трудоемкий, но позволяет получить’ высокую точности работы лимба, так как компенсируется не только эксцентриситет установки лимба, но и первая гармоника погрещнрсти его деления. , .. Рассмотрим способы центрирования лимбов фо-, трэлектрических датчиков те, /О Он . Щст Зб7 Рис. 4.41. Графики измеренных погрешностей угла поворота_лимба: Д<ра — суммарная погреш- ность; Дфде —составляющая погрешности, 2 обусловленная эксцентриситетом; А<рк — коррек- ционное воздействие; Афост — остаточная’ по- грешность угловых . имеющие перемещении, диаметрально f „ располод{еннь1е.,считываю- даехййшы. При наличии эксцентриситета лимба, а также из-за первой гар- ‘ монической составляющей погрешности деления’лим- ба электрические сигналы, ры^Эатащ^че^^рчдты-. вающими системами, будут йметьТ. лер.иодические ,(с периодом 2л) погрешности положения, находящиеся в пр,о1цвофазеА, Измерив.,сдвиг.,фаэ^тих- ёнгЫ^в^амлощью фазо- метра, можно судить обэксцёнтриситете. лимба, его направлении и использовать ёгб Ж^ц^ри^Шлймб'а^ .............. Для выявления суммарного эксцентриситета лимба в подобных датчиках можно использовать обычный осциллограф. Для этого на вход осциллографа подают сигналы с обеих считывающих систем, причем с одной из них сигнал должен иметь синусоидальную (пило- образную) форму (такой вид имеет сигнал, полученный с фотоприем- ника), а с другой системы сигнал должен иметь форму узкого прямо- угольного импульса (такой вид имеет сигнал после электронного формирователя). На экране осциллографа при этом будет наблю- даться синусоида и вертикальный штрих, взаимное смещение ко- торых будет свидетельствовать о наличии эксцентриситета лимба. Оценив его, сдвигают лимб перпендикулярно к оси вращения, до- биваясь отсутствия взаимного смещения сигналов, что произойдет при устранении выявленного эксцентриситета. Этот, способ благодаря высокой чувствительности и тому, что центрировка производится в рабочем состоянии датчика, позволяет существенно повысить точность центрировки лимбов с малым шагом
штрихов по сравнению с их' центрированием по кольцевой риске (относительное смещение сигналов на экране осциллографа соот- ветствует учетверенному значению эксцентриситета). Работа на диаметрально противоположных участках лимба основана на..шшменениив приборе-двух-^^счеадыК-Хиетш^раб.^ маемыи^гю одному из отсчетных устройств (см. ргцс,. 4,39), будет уве- личен на погрешность от'эксцё^рисйтёта лимба, а отсчёт по другому уст^тетву ” ох = о + IWJR-, О2 = 180° - 'bU/JR. Рис. 4.42. Компенсация эксцентриситета лимба фотоэлектрического датчика угловых перемещений: а — схема датчика; б — схема пространственного расположения электрических импульсов При измерении некоторого угла <р0 по первому отсчетному устрой- ству .ПОЛУЧИМ . Ф1_.= Фп + Дфле, по. ВТОрЖУ,—= фо_— .Афдел.. Это позволяет получить значенйё угла без погрешности отэксцентри- ситета^ димба: фй = (ф1 + фа)/^. Очевидно, что при двойном отсчете происходат.компенсация ‘первой лхсехнечетных гармоник. погреш- ..ностей деления лимба.. Так как большой эксцентриситет лимба при- водит к изменению цены деления отсчетного микроскопа [11], то при сборке лимб обычно центрируют одним из вышеописанных способов. * Данный метод компенсации получил широкое распространение й в фотоэлектрических угловых датчиках, основанных на растро- вых лимбах. На рис. 4.42, а изображена схема фотоэлектрического Датчика, преобразующего угол поворота вала с лимбом в серию по- следовательных электрических сигналов (вырабатываемых фото- приемниками /, 3), определяющих его пространственное положе- ние.
Наличие эксцентриситета приводит к Тому, что на одном конце лимба изображение светящейся щели 5, создаваемой осветительной б и проекционной 4 системами в плоскости штрихов лимба, начинает модулироваться раньше, а на противоположном конце — позже (рис. 4.42, б). В случае одностороннего считывания это приводит к погрешности измерения угла, так как формируемые электронной системой обработки сигнала по некоторому пороговому напряжению £7пор импульсы, являющиеся, мерой угла, будут смещены. При двухстороннем считывании и суммировании сигналов с фо- топриемников на некотором сопротивлении происходит взаимо- компенсация погрешностей их расположения. В результате этого Рис. 4.43. Схема фотоэлектрического углового датчика импульсы, формируемые системой 2 по переднему фронту суммар- ного сигнала, не претерпевают смещения из-за эксцентриситета лимба. Из рис. 4.42, б видно, что полная компенсация произойдет в том случае, когда сигналы с фотоприемников будут сбгласованы по фазе и равны. В работе [6] показано, что в подобных системах погрешность компенсации существенно зависит от разности свето- вых потоков в отсчетных ветвях и определяется выражением • Д<рнк = sin 0ДеДФ/(2/?Ф), где ДФ — разность световых потоков. Кроме того, на разность сигналов с фотоприемников будут влиять разность их чувствительностей и качество юстировки проекционных систем и фотоприемников (разворот изображения и расфокусировка светящегося штриха относительно штрихов лимба, перекос торца чувствительной площадки фотоприемника). Вследствие этого дан- ная система компенсации работает тем лучше, чем меньше сборочный эксцентриситет лимба и его торцевое биение. Поэтому при сборке необходимо производить его предварительное центрирование и'ни- велировку. Еще одним примером рассматриваемого способа компенсации может служить схема компенсации эксцентриситета путем переноса изображения освещенного штриха лимба с одного участка на проти- воположный. Благодаря трму что проекционная система, состоящая из объективов 2, 3 (рис. 4.43), прямоугольных призм 1, 4 и призмы 136
с крышей 5 создает увеличение р = Iх, изображение светящейся щели, движущееся навстречу модулирующим его штрихам противо- положного участка лимба, перемещается из-за влияния эксцентри- ситета лимба на величину у' = (sin 0Де) р = Д{/Де, равную пере- мещению вдоль этой оси нижней части лимба. В результате не воз- никает погрешности взаимного расположения электрических импуль- сов, определяющих угол поворота лимба. Смещение изображения, создаваемого, оптической системой, при- меняют в^рвязи. С-тем, что производительность работы визуальных углоизмёрительных приборов с лвойным/отсчётом ниже., чем, прибо- ров с одни^отсчегом.'“Суть этого'способа состоит в том, что если Го^дагЕ^пёрёмет^ие индекса, по которбму про®^дит,ся...отсчет, на величину Д{/дд йлц,. наоборот, сместить изображение шкалы на 'ДЩ^тоГнесмотря "на наличие эксцентриситета, погрешности отсчета не 'возникает" (см. рис" 4.37, а). • В некоторых приборах этот способ компенсации реализуется посрё^№ом?~сжшнйя индекса," в качестве которого используют изображение кольцевой, риски, лимба. Такое решение позволяет 'упростить конструкцию и юстировку’ прибора. На рис. 4.44 приве- дена схема"оптического угломерного стола, в котором изображение кольцевой риски 1 лимба 2 проектируется /увеличением 1* объек- тивом 4 и системой призм в плоскость его бцщтрихов. Затем, изобра- жение участка" риски" и бйштрйхов' проектируется объективом 3 да Экран“£ЭВ этом Случае-сдвигпроектируемого, элемента . риски и его изображения (при отсутствии ошибки рен) вдоль оси U из-за влиянияэксцёнтриситета .лимба равен сдвигу совмещаемого с ним бищтрих'а, поэтому влияние эксцентриситета автоматически исклю- чшетсд_[22]. /Другим вариантом рассматриваемого способа компенсации яв- ляется перемещение,.дзрбражения_штриха лимба относительно не- подвижного индекса.ллищелиганализаторё на вёлйчинуГ'компенси- рующу^о влиян.ие^сдвига‘ лимба, из-за влияния''ЖЦёЯтрйсйтёта'. Это” смещение" осуществляется чаще всего с помощью наклонной плоскопараллельной стеклянной пластинки, введенной в "отсчет- ную систему. На рис. 4.45 изображена схема устройства для кон- троля кодовых дисков /При повороте вала 1 с лимбом 2 происходит .наклон плоскопараллельной пластины 8 посредством, зубчатых колес. 4./ЗГЭмёющих передаточное числол равное^ эксцентрика»# и рычага 6. При’дёббльщих углах наклона/пластинки изображение штриха лимба будет смещено относительно щели-анализатора 7 на величину Д£к « (п — 1) d. sin (g> -|- 0КН) Дек/(и7?)^ где п, d —- показатель преломления стекла пластины и ее толщина соответственно; <р — угол поворота лимба; 0КН, Дек.— начальная фаза и численное значение вектора эксцентриситета эксцентрика; R — длина рычага. . ' 1 А. с. 158106 (СССР).
С другой стороны, смещение изображения штриха из-за влияния эксцентриситета лимба равно Л£де = ₽ (sin ф + 0tH) Де, где 0 — линейное увеличение проекционного объектива 9; 0ен, Де — начальная фаза и численное значение вектора эксцентриситета лимба. Для компенсации-необххыимсгобейпечить условие AL„ — — В.СВЯЗ^С^ЭТИМ^ ровку Дек и Ок» по конкретным значениям Де и 0ен либо вместо эксцентрика поставить кулачок, профилированный по измеренной _ п|Гщт> л л мт и*1"*1"1 ~~чг 1 wnrr^ •- — >**<* v л^.-- л . _ - . «г,»-, i. - ’ .V ’ Рис. 4.44. Схема углоизмери- Ри$. 4.45. Схема устройства для кон- • тельного стола троля кодовых дисков погрешности лимба. Из-за сложносдиишЬстиУЖЦии_и.трудоемкости юстировки подобные устррйства^приждцдйх ЛРРРДЬЯО. «редко. ——КомтгенсНЦйЯТ1дгрешностей деления лимба. Погрешность, положе- ния штрихов при делении лимба возникает вследствие многих при- чин: погрешностей привода стола делительной машины, установки заготовки лимба, наладки машины, резцового инструмента, погреш- ностей, возникающих из-за колебаний температуры, давления, сил трения, вибраций. При получении фотокопий к этим погрешностям - добавляются погрешности из-за неравномерной засветки участков лимба, аберраций проекционной системы, неправильного ориенти- рования заготовки копии относительно оригинала и другие. В ре- зультате погрешность положения штрихов представляет собой пе- ременную нерегулярную величину (см. рис. 1.16, б). Лимб является замкнутой системой штрихов, поэтому сумма полных погрешностей всех N его штрихов равна нулю [81: N , N S Дфг = S (Дфн + Дф»г) = 0, (4.25) 1=1 1=1
где Дфс, Д<р0 — систематическая и случайная составляющие по- грешности положения штрихов соответственно. Систематическая составляющая может быть представлена следующим рядом Фурье, имеющим четные и. нечетные члены разложения: N т k ' Дф2С= S Дфсг = S ansinn<p =£ a2n+1 sin (2п 1)ф + i п=0 п=0 + J] ап sin 2пф, (4.26) , п==0 где а — амплитуда; т — k + I — число членов разложения, не- четных (/г) и четных (/);-п — 0, 1, 2, ..., т. Случайная составляющая подчиняется закону Гаусса, причем N Дф2о= £ Дф|О = 0. ' (4.27) Г=1 Компенсация систематической.составляющей погрешности деле- ния основана на увеличении числа считывающих систем. Рассмотрим, чему равна погрешность недокомпенсации этой составляющей при применении двух диаметрально противоположных отсчетных уст- ройств (см. рис. 4.39). Измеряемый угол определяем при этом как полусумму его значений по одному и другому’устройствам (сумми- руем и усредняём погрешности' положения диаметрально противо- положных штрихов лимба). Систематическая составляющая погреш- ности одного из них может быть записана согласно выражению (4.26) т в виде Дфс{ = S ап sin ифг, а для противоположного штриха п==0 т Дфс <£4-х8о°) — 2] йп sin п (фг + 160°). При их суммировании и ус- п=0 реднении с учетом того, что нечетные члены разложения нахо- дятся в противофазах, а четные — в фазе, получим недокомпенса- цию погрешностей среднего из двух отсчетов: Афе НК.- k 1 * t S ^n+1 sin (2n + 1) ф£ + 2] an sin 2пфг П=0 - Zl-^0 - k • I Zj я2п+1 sin (2n -|- 1) (Ф? + 180°) -f- un sin 2n (ф4- 4^ 180°) _ n=0 n=0 I = S °2n Sin 2пфг. n=0 - (4.28) Таким образом, при двойном (визуальном или фотографическом) отсчете компенсируются только нечетные гармоники системати- ческой составляющей погрешности деления лимба. Для компенсации чётных гармоник обычно устанавливают две считывающие системы, расположенные под углом 90е по отношению к первым двум систе- мам. Однако, как показано в работе (8], при этом происходит ком- пенсация не всех четных гармоник.
Действительно, для новой системы мы также имеем недокомйей- сацию, равную i Дфсвк = S Я2п Sin2/iq>i4-90°. (4.29) п — 0 Суммируем и усредняем выражения (4.28) и (4.29), получаем значе- ние недокомпенсации погрешностей среднего из четырех отсчетов: AjPS+HK = 4-) S а2п Sin 2пц>1 + S ОзпЗтг/МрН + • Z I \л=1, 3, ... П~2, 4, ... ) Г Z/2 1/2 -П + S a2n sin 2га (<рг + 90°) + S а2п81п2/г(фг 4- 90°) = |_п=1, 3, ... п=2,4, ... JJ Ц2 ' - = J] . а2п$1п2«фг. (4.30) П=2, 4, ... « Следовательно, при применении четырех отсчетных систем не ком- пенсируются, начиная с четвертой, гармоники, кратные четырем. Так как с увеличением номера гармоники йе обязательно происхо- дит уменьшение ее амплитуды, то применение только двух отсчетных систем не может считаться достаточным для компенсации система- тической составляющей погрешности деления. Применение четырех отсчетных систем позволяет осуществить эту компенсацию более полно, причём в зависимости от наличия или отсутствия гармоник той или иной частоты в используемом лимбе и их амплитуд угол между парами отсчетных систем изменяется для осуществления ком- пенсации наиболее сильно влияющей гармоники. Например, из выражения (4.30)^видно, что, установив угол, равный 45 , получим компенсацию 4-й, 12-й и других гармоник. При применении восьми считывающих систем систематическая составляющая практически полностью компенсируется. Компенсация случайной составляющей погрешности деления мо- жет быть осуществлена путем повторных измерений одного и того же угла на различных участках лимба (см. п. 1.4). Этот прием позво- ляет уменьшить погрешность примерно на значение корня квадрат- ного из числа повторных измерений, однако он весьма трудоемок. ИспЪльзование двух и большего числа отсчетных систем для компен- сации систематической составляющей позволяет на столько же уменьшить случайную составляющую. Еще больший эффект дает использование частичного или пол- ного интегрального считывания, применяемый в фотоэлектрических угловых датчиках. Суть его состоит в том, что считывающая система работает не по одному, а по п штрихов лимба или по всем штрихам одновременно. При частичном интегрировании для этого на лимб проектируется не одна светящаяся щель (см. рис. 4.42, а), а сетка с п освещенными штрихами. При этом размер и шаг штрихов сетки, а также увеличение проекционной системы подбирают так, чтобы ее изображение было подобно шкале лимба.
На рис. 4.46 приведена схема фотоэлектрического углового да?* чика с частичным интегральным считыванием, в котором для этих целей используют сетки 3 (или. неподвижный лимб), установленные вблизи подвижного лимба 2, модулирующего пучок света, проходя- щий через п прозрачных штрихов на фотоприемник 1. При суммиро- вании и усреднении сигналов на фотоприемнике от п штрихов по- грешность положения импульса,, выработанного по суммарному сигналу, согласно теореме Чебышева будет иметь среднее значение, равное систематической составляющей погрешности этого участка лимба (Дфсг-)> и дисперсию = Dt/n, где Di — дисперсия случайной погрешности штрихов лймба. Таким образом, при достаточно большом п погрешность положения лимба существенно уменьшается и определяется в основном его систематическими состав- ляющими. Рассмотрим теперь, как влияет погреш- ность шага штрихов неподвижной сетки или элемента неподвижного лимба на точность компенсации. Случайная по- грешность п штрихов используемого эле- мента лимба или сетки имеет математиче- ское ожидание М (Дф„), равное система- тической погрешности шага4штрихов этого элемента (Д<рс/), и дисперсию Dj. - При суммировании в случае отсутст- вия корреляции между погрешностями штрихов лимба и сетки имеем Рис. 4.46. Схема фотоэлек- трического углового датчика с частичным интегральным считыванием • Дф2а/=Л4(Д<ррг) + Л4(Дфр/)=‘ ' = Дфс1- + Дфс/; DSif = (Dt-\-Dj)/n. , Следовательно, компенсация случайной составляющей ухудшается на величину Djln. Систематическая составляющая погрешности положения лимба (A<pScfj) в этом случае является переменной ве- личиной и не может быть сведена к нулю, так как величина Дф^ — также переменная (на разных участках). Для одних положений лимба может оказаться, что Дф2с^ < Дфсг вследствие взаимокомпенсации Дфа и Дф^-, а для других — Дф2 cij > Дфа. Это указывает н^ необ* ходимость предъявлять высокие требования и к точности неподвиж- ных сеток. При полном интегральном считывании угловое положение лимба определяют по.суммарному сигналу, поступающему на фотоприем- ник от всех W штрихов лимба. Для этого штрихи вращаемого и по- добного ему неподвижного лимба освещают кольцевым источником света, а прошедший поток воспринимают кольцевым фотоприемни- ком (либо применяют оптические системы, позволяющие использо-
Вйййё обычных источников й йрйёМйиков света). На рйс. 4.4? изобра- жена схема углового датчика с полным интегральным съемом \ основанного на применении кольцевого источника света 2 и кольце- вого фотоприемника 5. При вращении вала 1 с укрепленным на нем лимбом 4 происходит модуляция светового потока, прошедшего че- рез все N его штрихов и штрихов подобного ему неподвижного лимба 3, на кольцевой фотоприемник. На рис. 4.48 изображена схема фотоэлектрического датчика 1 2 с полным интегральным считыванием, использующим обычные источники и приемники излучения. Он состоит из источника света 1, находящегося в фокусе кон- денсора 2, кольцевых отра- жающих конусов 3 и 8, под- вижного и неподвижного лим- бов б и 7, объектива 5 и Рис. 4.48. Схема фотоэлектрического углового датчика с полным интеграль- ным считыванием ' „ Рис. 4.47. Схема фотоэлектри- ческого углового датчика с пол- ным интегральным считыванием на основе кольцевых источника и приемника излучения фотоприемника 4. При вращении лимба 6 световой поток модули- руется одновременно всеми щелями и собирается на фотоприем- нике, пространственное положение суммарного импульса которого определяет угловое положение, лимба. Так как сумма полных погрешностей всех. N штрихов лимба равна нулю, то часто считается, что при полном интегрировании удается избавиться от всех погрешностей его изготовления и сборки. Очевидно, что такая полная компенсация ’ погрешностей может произойти при выполнении по крайней мере двух условий: равно- мерности освещения рабочей поверхности по периметру и отсутствии погрешностей деления неподвижного (либо подвижного) лимба. Равномерность освещения зависит от качества источника света, аберраций конденсора, децентрировок первого и второго рода вну- треннего и наружного отражающих конусов и т. д. Но даже при удовлетворительной равномерности освещения из-за невозможности 1 А. с. 696280 (СССР). 2 А. с. 355493 (СССР).
выполнения второго условия (отсутствие погрешностей) Следует считать, что дисперсия погрешности, углового положения лимба будет равна 'DSN = (Dt 4- Dj)/N. Следовательно, полной компен- сации погрешностей при интегральном считывании достичь не удается. ’ — 4.7. КОМПЕНСАЦИЯ ПОГРЕШНОСТЕЙ v НАВЕДЕНИЯ И СЧИТЫВАНИЯ ч • ' • В основу функционирования многих оптических приборов (тео- ' долитов, автоколлиматоров, измерительных микроскопов) поло- жена операция совмещения изображения и марки, наблюдаемых оператором с последующим снятием отсчета по шкалам. При этом - из-за ограниченной остроты зрения и других причин [341 оператор не может абсолютно правильно расположить изображение относи- тельно марки и оценить , на глаз расстояние от штриха до индекса (т. е. долю деления шкалы). Возникают так называемые погрешности наведения (совмещения) и считывания, которые оказывают сильное влияние на точность работы этих приборов. Погрешность поперечных наводок. Вследствие того, что дифрак- ционное изображение объекта в продольном направлении гораздо больше, чем в поперечном, а также -из-за аккомодационных свойств глаз точность продольных наводок гораздо ниже, чем поперечных. Этим объясняется преимущественное использование в оптических приборах поперечных наводок. Точность поперечных наводок ха- рактеризуется- погрешностью расположения .(изображения) объекта ~д-совмещаемой маркой. Эта погрешность„обусловлена следующими' .причинами^ плохим качеством механизма управления, пороговой чувствительностью движения органа (рукоятки) управления, огра- ниченной остротой зренця оператора, параллаксом. Качество механизма управления определяется плавностью дви- жения механизма, управления (т. е. колебанием момента или силы сопротивления на органе управления), жесткостью и инерцион- ностью его звеньев. Пороговая,чувствительность движения обуслов- лена ограниченными психофизиологическими возможностями опе- ратора в осуществлении малых (тонких) перемещений органа управ- ления. Она зависит от размеров и формы органа управления, мо- мента сопротивления движению, тренированности оператора и ха- рактера контроля за совершаемым движением. На рис. 4.49 представлены графики, характеризующие зависи- мость пороговой чувствительности движения (минимального угла поворота) рукоятки (маховичка) с накаткой для нетренированного оператора в зависимости от момента сопротивления движению и. диаметра рукоятки при зрительном контроле за совершаемым дви- жением. Как видно из графиков, наилучшая чувствительность дви- жения достигается при моментах сопротивления движению от 1 до 2 Н-см и диаметре рукоятки от 40 до 60 мм. Качество механизма и пороговая чувствительность органа управ- ления определяют пороговую чувствительность движения всего < КЗ
механизма (привода) и, в конечном счете, степень возможности и- быстроту совмещения изображения и марки. При проектировании привода управления должны быть обеспечены его жесткость, плав- ность движения, оптимальные моменты сопротивления движению, размеры органа управления и передаточное отношение от органа управления до перемещаемого объекта. Это позволит получить до- статочную чувствительность, не влияющую на погрешность совмеще- ния изображения и марки. В этом случае погрешность наводки будет определяться ограниченной остротой зрения оператора и ’ параллаксом. Известно, что погрешность наводки_завд£ШЮТ-Вида cobS мещаемых..марок,,.д, их, кон- структивных -характеристик, типа светофильтров, кон- трастности , изображения^ аберраций оптической систе- мы, психофизиологических -данных оператора,.Для рас- %25Нсм чета и компенсации погреш- озн-см ности наводки необходимо знать закон ее рассеяния, на- личие систематических со- ]Нсм ставляющих. и их причины, факторы, изменяющие по- грешность при эксплуатации прибора. Для получения этих дан- ных автором совместно с А. Соловьевой были прове- Рис. 4.49. Графики порога чувствительности движения для рукояток с накаткой в случае зрительного контроля за результатом движе- ния • дены исследования погреш- ности совмещения изображения штриха с биштрихом — одного из наибблее часто используемых на практике вида совмещаемых марок. Исследования проводились на установке, изображенной на рис. 4.50. Погрешность совмещения изображения штриха сетки 4 с биштри- хом экрана 6 измерялась микронным индикатором при многократ- ных наводках, осуществляемых винто-рычажным приводом. Для, оценки влияния на результат исследований мертвого хода индика- тора он был измерен в десяти точках рабочего диапазона и не превосходил 1,5 мкм. Определение числовых характеристик и зако- на рассеяния производилось по результатам из 50—200 совмещений, выполняемых с разных направлений (слева направо и справа на- лево). Роль влияющих факторов определялась по изменению чи- словых характеристик погрешности при изменении типа светофильт- ров, освещенности, положения предмета наблюдения в поле зрения проекционного объектива и замене проекционного объектива. На рис. 4.51 представлены полигоны рассеяния погрешности совмещения для случая наводок на матовом экране без светофиль-
тров (объем выборки — 200), которые являются типичными и для других условий наблюдения. Проверка законов рассеяния по кри- терию согласия Пирсона показала, что они подчиняются композиции 3 s Рис. 4.50. Схема установки для исследования [погрешностей поперечных наводок: 1—3 — осветительная система (по Келеру); 4 — сменная сетка с тремя темными штрихами; 5 — проекци- онный сменный микрообъектив 40X0.65; 6 — матовый экран с тре- мя биштрихами; 7 — индикатор с ценой деления 1 мкм; 8t 9 — смен- ные светофильтры закона Гаусса и равной вероятности, либо (что получалось реже) закону Гаусса. Такое сочетание законов рассеяния объясняется тем, что существует некоторая зона е, ограниченная линиями а Рис. 4.51. Полигоны рассеяния положений марки экра- на при повторных совмещениях с изображением штриха- 1—2 — для надодок слева и справа соответственно и Ь (рис. 4.52), при нахождении в которой изображения штриха опе- ратор не замечает неравенства отрезков end. Этой зоне соответствует закон равной вероятности рассеяний положения биштриха относи-
тельно штриха при повторных наводках. Если же край штриха вы- ходит за линию а или Ь, но не переходит линии а' или Ь', то он по- падает в зону, которую условно можно назвать зоной неустойчивой . чувствительности: оператору начинает казаться, что отрезки end не равны, причем уверенность в этом возрастает при приближении к границе а' или Ь'. Этой зоне соответствует закон Гаусса. Если же край штриха выходит за линию а' или Ь', то опера- И е а’ ъ' с IftI d Рис.' 4.52. Схе- ма образования . рассеяний при совмещении штриха с би- штрихом а тор уверенно замечает неравенство отрезков и при- водит изображение в зону е'. , Величина и соотношение зон е и е' зависят от многих факторов: размеров h и Н, апертуры объек- тива, контраста, освещенности, длины волны света, величины и вида аберраций, вида наводок (нониаль- ное, с биштрихом, наложением), остроты зрения оператора. Эти зоны определяют поле рассеяния положений изображения 28у =е'—h =cmax—dmin. При расчетах полей. вероятных значений погреш- ности важно знать возможные соотношения между зонами е и ё' (строго говоря, соотношение между законами Гаусса и равной вероятности), так как они могут быть найдены умножением средней квадрати- ческой. погрешности на значения соответствующих коэффициентов. В проведенных нами исследова-. ниях, носивших ограниченный характер, получены соотношения между е и е' от 0 до 0,5. * Необходимо заметить, что на практике часто смешивают понятия погрешность и чувствительность поперечных наводок, принимая в качестве послед- ней среднюю квадратическую погрешность наведе- ния (равную для случая совмещения с биштрихом . 6—8", при нониальном совмещении 10—15" и при наложении 30—60"). Под чувствительностью (более правильно — порогом чувствительности), следует понимать то минимальное угловое или линейное сме- щение изображения, которое может быть замечено оператором. Известно, что оператор благодаря дифракционному перераспределению энергии в изображении способен замечать очень малые перемещения, равные в среднем 1/6—1/10 разрешающей способности глаза, но оценить с такой точностью неравенство от-' резков с и d он не может. В результате поле рассеяния положений ‘ изображения штриха 28у много больше порога чувствительности наводок даже в случае, когда другие составляющие погрешности совмещения (качество привода, пороговая чувствительность движе- ния органа управления) оказывают ничтожное влияние. В наших исследованиях значение 28у в среднем было равно 0,6—1,0 разрешающей способности, а зона е (без учета /г) — 1,5—2,0 значениям порога чувствительности. Вопрос о соотношении между порогом чувствительности и зо- нами е и е' имеет важное значение и нуждается в проведении спе-
циалЬйЫХ иселёДбВайий. Как видно из рис. 4.51. при ичмрнрнци волки смешается центр группирования полей рас- сеяния, что говорит о наличии систематической составляющей по-, грешности надедения. ^^очевда^^^лЯЖа^Жад^ческой дЩЙбйЬиоператора^заключающейся. в том, что он, боясь перевести '"^ЙлиТнаоборот, недовести) изображение за центр биштриха, непро- извольно его не доводит, т. е. .оказывается чаще у границы а при ' движении слева направо и у границы Ь .при движении справа на- лево. Значение этой погрешности зависит в первую очередь от опе- ратора, а также от размера зоны ё. Значение Av = ~уг — уг для дяти операторов, участвовавших в исследованиях, достигало зна- чений от 5 до 30 мкм, Т а'б л и ц а 4.1 Условия наведения Числовые характерис- ‘ тики рассеяния поло- жений биштриха, мм Номер объектива Светофильтр У 1 Красный КС-11 Оранжевый ОС-12 Зеленый ЗС-2 Сине-зеленый СЗС-8 0,531 0,568 0,607 0,594 0,015 0,012 0,013 0,010 1 Без свето- фильтра Наводка по центрально- му штриху Наводка по крайнему штриху — 0,014 0,017 2 Без светофильтра, наводка по цен- тральному штриху — 0,008 3 — 0,014 4 —- 0,009 л-Ддя.,исключения появления этой составляющей погрешности наведения слеДугт--^феиэводить^гаводстг~-чга: ибьек'1""наблюдбй~й,я > -е -одной стороньт, -неемотр» -на-'отеу1^вие-^иертвтптг^ода’в~кинеиа;' „тической- цепи отсчетной системы. . Исследованиядопоенных. лаводощ., выполняемых при включе- ний различных ’светофильтров, показали, что, изменяется' нётолекб средняя квадратическая погрешность (а9), но и смещается центр ...группирования (табл. 4.1). Изменение величины о„ обусловлено '^лаййЫм' ббразом р'азличньщи^пёктпал^^«Ч¥вст^тельностЬ|1<£ зре- ВДЯамерахор^Оонтрастом из6браж^.ния--Наименьшая погрешность цолучена . дли сине-зелёного ‘ светофильтра* создающего',’ ’видимо, оптимальное соотношение между упомянутыми факторами,' что под- тверждает рекомендации, изложенные в работе [211. .Смешение, центра группирования обусловлено изменением центра симметрии
Изображения (йапример, йз-За изменеййя кроматйзма увелйчейия). Для предотвращения появления-данной составляющей погрешности . наведения “не “следует производить переключение светофильтров, не закончив цикла измерений. При замене проекционного объектива (на аналогичный)., и при работе на 2Ьа§лич:;т.\удаст«ах..додя>.зренш1 -погрешность- попереч- 1шй\н^аводак.£ущестненн,о1 изменялась (см. табл. 4.1), что обуслов^ лено изменением величины и вида аберраций. ........ •’ ' Нг рис.- 4y53- приведена - зависимость ” средней квадратической погрешности наведения от освещенности. Как видно из рисунка, погрешность увеличивается не только при малых освещенностях (из-за уменьшения контраста и чувствительности глаз), но и при слишком больших, создающих ослепляющее действие, приво- дящее к быстрому утомлений оператора. Заметим, что осве- щенность экранов, работающих на просвет, много меньше осве- щенности, рекомендуемой для создания на рабочем месте (50— 250 лк). Расчет вероятного поля рас- сеяния погрешности наведения при выполнении поперечных наводок из-за ограниченной остроты зрения оператора следует про- изводить по формуле Ьу" = ka"/r, где 8у” — половина вероятного поля рассеяния; k — коэффициент, учитывающий доверительную вероятность и соотношение зон е и е' (для практически предельного значения погрешности k — — 2,5-г-З); о" — среднее квадратическое значение погрешности сов- мещения в угловой мере; Г — видимое увеличение, при котором производится наблюдение совмещаемых объектов (марок). В линейной мере бу = /^<т"5-10-в/Г, где I — расстояние от оператора до наблюдаемых марок. Для отсчетного микроскопа погрешность наведения вызывает погрешность положения предмета бу =250£о"5-10-«/Г, где Г — видимое увеличение микроскопа. Для телескопической системы погрешность положения объекта будет иметь вид: бу’ =&г7Гт; бу = Ua“5-10-e/rT, где Гт — увеличение телескопической системы; L — расстояние от системы до объекта наблюдения. Рис. 4.53. [Зависимость среднеквадрати- ческой погрешности наведения от осве- щенности
При несовпадении по глубине плоскости изображения й маркй возникает параллакс -- сдвиг изображения предмета относительно марки при поперечных смещениях глаза оператора. Так как смещение глаза оператора в пределах некоторой зоны (например, выходного зрачка системы) является случайной величиной, то погрешность наводок из-за параллакса также случайна. Максимальная погрешность из-за параллакса определяется наи- большим возможным смещением, глаза оператора: при наблюдении невооруженным глазом: Ay = t^ptnaJa, (4.32) где Др — расстояние между изображением предмета и маркой (про- дольный параллакс); /шах — максимальное смещение глаз ойератора; а — расстояние от оператора до марки.'(а =250 мм); при наблюдении через окуляр (лупу) At/ = => Др/тахГ/250; для отсчетного микроскопа Др = Др/шахГ/(250Р), где р — увеличение микрообъектива; для телескопической системы Др" = Др/шахГ206 265/(250/"); Др = £Др/шахГ/(250/'). Погрешность наведения из-за параллакса может быть суще- ственно уменьшена устранением его при юстировке прибора. Это достигается взаимным смещением сетки или объектива либо ре- зультативной обработкой их оправ. Погрешность считывания до шкалам; При снятии отсчета по шкале оператор оценивает на глаз долю ре деления. Погрешность такой оценки обусловлена ограниченными психофизиологическими возможностями оператора и параллаксом штрихов шкалы и индекса. Даже при отсутствии параллакса точность глазомерной оценки весьма невысока (не более 0,1—0,05 деления шкалы). Поэтому в том случае, когда необходимо снимать отсчеты с точностью до 0,1. деления и выше, применяют специальные устройства (нониусы, микрометры). Как известно, погрешность отсчитывания по шкалам зависит от интервала, толщины, освещенности, контрастности штрихов шкалы и содержит как систематическую, так и случайную составляющие. Систематическая составляющая погрешности оценки долей деления постоянна для каждого оператора (но различна для отдельных опе- раторов) и заключается в том, что он приписывает отсчету всегда большее (либо меньшее) значение, чем имеется на самом деле, причем величина этой погрешности переменна в зависимости от значения оцениваемой доли интервала. При расчетах погрешность считывания целиком относят к слу- чайным (так как систематические погрешности операторов различны
и заранее неизвестны). Наибольшее значение погрешности отсчета находится по формуле , &Ур max ~ "О > ^А > где А — цена деления; An = 1; 0,5; (0,25); 0,2; 0,1 —оцениваемая на глаз доля деления шкалы. Расчет максимальной погрешности отсчитывания из-за парал- лакса производят по формуле, аналогичной (4.32) = «Д^шах \ где п — интервал деления. г=58-}т-о,$ ^116^0^5 13 т-О,5 Z-30;t-2t5 Ь=2,5;К~2}Лебыц 1 оборот^ °поборота линии бизиробания Z-30-,m*0,5 Рис. 4.54. Кинематическая схема ос- реднителя: 1 — кнопка пуска часового механизма; 2 — рукоятка управления; 3 — шкала секстан- та в градусах и минутах; 4 — часовой ме- ханизм; 5 — каретка; 6 — вилка; 7 — ро- лик осреднителя; 8 —- углоизмерительный валик осреднителя; 9 — рамка; 10 — гру- бая шкала осреднителя (один оборот — 8°); И — точная шкала осреднителя (один оборот — 1°); 12 — грубая шкала отсчета углов секстанта; 13 — ограничитель пово- рота z=24;m=1 &60;тч 2‘13;т-О£ г’2в->т*0. 10-, г=72>пго,3 z=10;m=0,3 &18;тп-0>5 t ' Интегрирующие устройства. Случайные составляющие погрешно- стей наведения и считывания на практике .часто компенсируют пу- тем увеличения числа повторных циклов функционирования при- бора. В связи с широким применением в оптических приборах фо- тоэлектрических отсчетных систем и микро-ЭВМ, позволяющих автоматизировать процесс отсчитывания и обработки результатов, трудоемкость такого метода компенсации может быть существенно снижена. Примером коррекции погрешности наведения могут слу- жить двух- и трехкоординатные измерительные машины (микро- - скопы), фотоэлектрический окулярный микрометр, фотоэлек- 150
А-А Рис. 4.55. Устройство узла осреднителя: 1 — ролик; 2 — валик осреднителя; 3 —.грубая шкала осреднителя; 4 — точ- ная шкала осреднителя; 5 — грубая шкала секстанта; 6 — защитное стекло
трические теодолиты, в микро-ЭВМ которых предусмотрена про- грамма вычисления среднего значения результата многократ- ного наведения прибора на объект наблюдения. Хорошие результаты- коррекции погрешности наведения полу- чают также с помощью механических интегрирующих устройств, используемых, например, в авиационных секстантах, секстантах навигационных перископов, работающих в сложных условиях наводки из-за качки судна, вибраций и дрожания рук оператора. Эти устройства позволяют вместо одиночного измерения высоты светила производить непрерывное измерение, в течение некоторого промежутка времени (обычно 40, 120 или 200 с), во время которого оператор удерживает изображение светила в центре марки. При . этом на угломерном барабане осреднителя отсчеты углов будут то уменьшаться, то увеличиваться (алгебраически суммироваться). На рис. 4.54 изображена кинематическая схема осреднителя одного из таких секстантов. t Ролик 7 и валик 8 осреднителя находятся во фрикционном соеди- нении друг с другом. В -нейтральном положении их оси перпенди- кулярны друг к другу. При пуске часового механизма рамка 9, не- сущая валик, с помощью реечной передачи перемещается посту- пательно с равномерной скоростью в шариковых направляющих. Повороты рукоятки 2 управления секстантом, выполняемые опера- тором для совмещения изображения светила с маркой, приводят «" к перемещению каретки .5 и развороту ролика осреднителя. Перпен- дикулярность между осями валика и ролика нарушается и к посту- пательному движению валика добавляется под действием ролика вращательное движение. Переместившись на рабочий ход I, валик развернется на некоторый угол <р, представляющий собой суммар- . ное значение всех его положительных и отрицательных поворотов за время работы часового механизма z Ф = j tg a dl/r, о где а — угол поворота оси ролика от номинального положения в некоторый момент времени; dl — перемещение валика; г — ра- диус валика. Конструктивно данный осреднитель выполнен в виде автономного узла (рис. 4.55). 4.8. КОМПЕНСАТОРЫ НИВЕЛИРОВ С САМОУСТАНАВЛ И БАЮЩЕЙСЯ ЛИНИЕЙ ВИЗИРОВАНИЯ Для повышения производительности и точности работ современ- ных нивелиров применяют специальные устройства (компенсаторы), автоматически устанавливающие визирную линию в горизонтальное положение. Принцип работы этих компенсаторов основан на том, что при наклонах нивелира, обусловленных погрешностью его выставки или нестабильностью основания (грунта), они изменяют 15?
ЯбД визирной оси В приборе дЛя создания горизонтальной линий визирования в пространстве предметов. Достигается это смещением сетки либо поворотом или переносом визирной оси. На рис. 4.66, а—г представлены схемы способов компенсации угла наклона зрительной трубы нивелира [17]: компенсация угла наклона благодаря перемещению Сетки нивелира при его наклоне на угол е из положения Z в положение Zo рычагом с плечом S, по- ворачиваемым в точке Р на угол е' (рис. 4.56, б); если точка Р совпа- дает с узловой точкой объектива,,то S = а г' = в; компенсация угла наклона поворотом визирной оси с помощью зеркала, призмы или лин- зы, установленной в точ- ке Р (рис. 4.56, в) й ком- пенсация переносом ви- зирной оси с помощью зеркально-призменной си- стемы (рис. 4.56, г). Для первых двух схем компенсации угла наклона (б и в) должно выполнять- ся условие: f'e = Sb', а для третьей схемы (а) — f'e = knS&, где S — длина рычага или длина хода оси визирования от точки ее падения на зер- кало . илй призму компен- сатора до сетки; 1гл — коэф- фициент, зависящий от числа отражений визир- ного луча в зеркально- призменной системе ком- пенсатора. Из этих равенств вытекает основное уравнение компенсаторов, расположенных за объективом нивелира: f'/S = — k, где & — коэффициент компенсации. Обычно компенсатор представляет собой механический или гидромеханический маятник. Для получения необходимого значения коэффициента компенсации подвеску маят- ника рассчитывают так, чтобы при наклоне визирной трубы на угол в компенсатор отклонял визирный луч на угол в7 = ke.. Необ- ходимое значение коэффициента k достигается механическими, оптическими или оптико-механическими средствами. Компенсаторы могут быть установлены в сходящемся и в параллельном пучке лу- чей перед объективом зрительной трубы нивелира. Основными факторами, влияющими на погрешность стабилиза- ции линии визирования компенсаторами, являются: 1. Нарушение уравнение компенсации из-за изменения экви- валентного фокусного расстояния или расстояния S при перефоку-
сировке зрительной трубы на разноудаленные объекты наблюде- ния. Для исключения этой погрешности применяют объективы, фокусное расстояние которых не изменяется при перефокусировке, либо компенсаторы, обеспечивающие соответствующее изменение значений S или k. Нечувствительными к погрешности из-за перефокусировки являются компенсаторы, установленные пе- ред объективом (например,' компенсатор нивелиров Nt—D1, ТНЗ). ' 2. Изменение высоты узловой точки объектива при наклонах нивелира. Эту погрешность можно уменьшить, если уменьшить расстояние (вылет) от объектива до центра его поворота; если изме- рить наклон нивелира (например с помощью уровня), то можно такзке ввести поправки в отсчет на эту погрешность. 3. Ограниченная чувствительность маятниковой системы, обу- словленная силами трения в точке подвеса, Явлениями гистерезиса, качеством демпфирования. Для повышения чувствительности маят- никовой системы применяют, например, высокочувствительные двой- ные И тройные шарикоподшипниковые подвески [30], комбинацию шарикоподшипниковой и нитяной подвесок, стабильные магнито- индукционные и воздушные демпферы. 4. Перепад температур, приводящий к изменению фокусного расстояния объектива и линейных размеров элементов, входящих в уравнение компенсации, а также к ухудшению чувствительности подвески. Для уменьшения влияния этого фактора применяют термо- компенсаторы, а также используют малочувствительные к измене- нию температуры подвески. 5. Погрешности юстировки компенсатора, приводящие к нару- шению соотношений уравнения стабилизации, для устранения которых следует выявить факторы (первичные погрешности) техно- логического характера, влияющие; на точность стабилизации, опре- делить допуски на них и составить обоснованную методику юсти- ровки компенсатора. Применение, устройство и исследование нивелиров с компенса- торами подробно’описаны в работах [17, 47]. Остановимся под- робнее на расчете допусков на погрешности юстировки и рекомен- дациях по ее выполнению. Рассмотрим это на примере юстировки компенсаторов авторедукционных • нивелиров ТНЗ1 и ТН7 126]. Юстировка компенсаторов. На рис. 4.57 приведена схема техни- ческого нивелира ТНЗ с самоустанавливающейся линией визиро- вания. В этом нивелире компенсация влияния углов наклона про- изводится с помощью прямоугольной призмы 2, подвешенной как маятник к горизонтальной оси качания. Ось качания смонтирована на малогабаритных сверхлегких шарикоподшипниках. Колебания призмы гасятся магнитоиндукционным демпфером. Диапазон ста- билизации, равный ±45', ограничивается взаимным наклоном изоб- х А. с. 203936 (СССР).
ражения рейки и горизонтального штриха сетки при наклонах ни- велира. При наклоне нивелира относительно оси Y возникает разворот сетки, а при -наклонах относительно оси ,Х — разворот изображения рейки. Клин 1 служит для выставки линии визирова- ния в горизонтальную плоскость и выполняет роль защитного стекла. В правильно отъюстированной системе визирная ось трубы парал- лельна оСи качания призмы и направлена противоположно оси X по орту Ло. Нормаль отражающей грани находится в плоскости горизонта и направлена по орту Na под углом 45° к оси качания. Визирная ось в пространстве предметов находится в плоскости горизонта и направлена по орту Ло вдоль оси Y. Рис. 4.57. Схема ниве- лира ТНЗ: 1 юстировочный клин; 2 — призма-компенсатор; 3 — объектив; 4 — приз- ма; б — фокусирующая линза; 6 — сетка; 7 — окуляр На погрешность стабилизации линии визирования влияют сле- дующие погрешности юстировки компенсатора: 1) отклонение угла между осью качания призмы и ее нормалью к отражающей грани от номинального значения (45°) на величину Д6; 2) непараллельность оси визира по.отношению к оси качания призмы в горизонтальной плоскости на угол Ду и в вертикальной.— на угол Д0; 3) непа- раллельность нормали призмы горизонтальной плоскости неот- весность отражающей грани) на величину Дф; 4) дестабилизирующее действие юстировочного клина. Рассмотрим влияние указанных погрешностей на погрешность стабилизации линии визирования, т. е. отклонение линии визиро- вания в пространстве предметов из горизонтальной плоскости. Для этого следует определить проекцию орта линии визирования в про- странстве предметов от каждой погрешности при наклонах ниве- ’лира вокруг осей К и У на углычх и <р,
Запишем вектор нормали к отражающей грани призмы с учетом Аб в виде sin (45е + Дб) cos (45° + Дб) О -О- cos Дб + sin Дб -О- cos Дб —О- sin Дб Л £ о ~ Г2 2 /2 2 --^Дб /1\ Орт падающего луча Ао= I 0 ). Погрешность Дб вызывает \0/ ‘ отклонение линии визирования при наклонах нивелира вокруг оси Y. Тогда Aqi = Sq)A = СОБф О —Sin ф /2 , /2 Ле COS ф -тр + COS ф -тр Дб где Sq> — матрица поворота системы координат. —COS ф\ О I. На- sin ф / правление орта линии визирования с учетом Дб и ф находится умно- жением матрицы плоского зеркала (At') на А* [32]: А' = АГ'Л*. Так как нас интересует только проекция орта на ось г, то А'г = = т31Ах + + т33Аг . = —cos2 ф sin ф —2 cos2 ф sin фДб —
— cos2 ф sin фД62 + cos2 ф sin ф + 2 sin3 фД6 + sin3 фД62. Сокра- щая и учитывая малость угла ф (ограничиваемого диапазоном ста- билизации), получаем: Лг» —2ф Д6. (4.33) При наличии Ду орты нормали отражающей грани призмы до и после поворота соответственно равны: 1Л2 С08ф -у- а ‘орты вектора падающего луча: ' Проекция орта линии визирования на ось Z равна А'г = —cos2 ф sin ф — sin ф Ду + cos2 ф sin ф «—ф Ду. (4.34) В том случае, когда ось визира непараллельна оси качания призмы в вертикальной плоскости на угол Др, аналогично преды- дущему можно записать: /2 созф -Ч- /2 —ЗШфАр (—cos ф-|“ sin ф Др\ О 1> sin Ф + cos ф др / Проекция орта линии визирования на ось Z А'г = —COS2 ф Sin ф + COS ф Sin2 ф Др + COS2 ф Sin ф + + cos? ф Др « cos ф Др. (4.35) Отсюда следует, что влияние этой погрешности практически по- стоянно и изменяется при наклоне нивелира от 0 до ф на величину второго порядка малости: - > </Л; = (1 — созф) Др » ф2 Др/21’ • (4.36)
В случае неотвесности отражающей грани-призмы на величину Дф ролучим: ~ /2 ~ 2 К2 ; 2 _ Дф _ i/*2 eos ф -=$—|- sin ф Дф ZL 2 V2 , . . —Sin ф -J-s-Ь COS ф Дф ' Л (СОЭф \ 0 Г —sin ф/ Проекция орта линии визирования на ось Z имеет вид A'z — —sin2 ф COS ф -/2 Дф — cos3 ф ~\/~2 Дф «1/^2 cos ф Дф. (4.37) Влияние этой погрешности также постоянно и изменяется на ве- личину второго порядка малости dA'z — (1 — cos ф) т/2 Дф « ф2 Дф/уТ?. (4.38) Наиболее сильно дестабилизирующее действие юстировочного клина происходит также при наклоне нивелира вокруг оси Y. Как известно, вращение клина вокруг оси падающего пучка приводит к вращению пучка за ребром клина. Относительно верти- кальной оси пучок будет отклоняться по зависимости А'г = a sin ф, где о — отклонение пучка лучей клином; ф — угол между перпен- дикуляром к ребру, клина и горизонтальной плоскостью. При юстировке ребро клина может принять любое положение, • в зависимости от которого будет изменяться дестабилизация- вслед- ствие изменения ф при работе нивелира , dA‘z = о cos ф dtp. (4.39) В случае, когда ребро кдина перпендикулярно к плоскости гори- зонта (ф = 0), получим dAi = ad<p, (4.40) где dq> изменяется от 0 до величины, определяемой диапазоном ра- боты компенсатора. Для технических нивелиров с самоустанавливающейся' линией визирования погрешность ее самоустановки не должна превышать •<4z«d — 5". Найдем допуски Д/ на указанные погрешности по сле- дующей формуле (см. п. 2.4) Д; = byvdl(Kt ~/п), где Ду0£2 — допустимое значение показателя качества; Kt — пере- даточный коэффициент погрешности; п — число погрешностей. Допустимое значение отклонения нормали отражающей грани от 45° равно 158 -
= Л^/(2ф /п) = 5* -S. 1 б-«/(2 • 45' • 3 • 10"4 /4) = 4,6 • IO"4« 1,5/. Допустимые значения остальных погрешностей равны соответ- ственно: А Ъ<1 = A’ivd! (<р /п) = 3'; Дро</ = 4zvd/(cos ф i/n) = 2,5"; A^Od = Az„dl С/2 cos ф j/n) = 1,8"; t//4zud ^zvd!^ft ~~~ 2,5 . Небольшой диапазон стабилизации позволяет обеспечить послед- • ний допуск (при а = 3', dtp = 45' йЛгшах = ot/ф = 2,4"). Осталь- ные допуски технологически обеспечить невозможно и при^юсти- • ровке нивелира требуется их компенсация. Из выражений (4.35) и (4.37) видно, что погрешности ДР и Дф могут компенсировать, друг другр. Условием взаимокомпенсации является выражение Дф = —Др у42. Влияние данных погрешностей может быть компенсировано также разворотом юстировочного клина. В обоих случаях недокомпенсация их влияния при работе нивелира второго порядка малости, определяемая выражениями (4.36) и (4-.38), позволяет расширить технологический допуск на эти погрешности до экономического уровня. Так как погрешность Дб не приводит к погрешности стабилизации линии визирования при наклонах нивелира относительно оси X, то взаимокомпенсация влияния по- грешностей Дб и Ду в общем случае невозможна. Следовательно, при юстировке инструмента необходима отдель- ная компенсация каждой погрешности. Для этого в конструкции узла качания призмы должна быть предусмотрена возможность ее разворота относительно оси. Сама ось качания (либо визирная ось трубы) должна иметь возможность поворотов • в горизонтальной плоскости. На рис. 4.58 приведена схема'нивелира ТН7, который отличается от нивелира ТНЗ большим диапазоном пределов работы компенса- тора, равным ±6°, что позволяет производить установку нивелира в горизонт на глаз. Компенсация влияния углов наклона нивелира производится здесь плоским зеркалом 2, подвешенным как маятник , в двойной шарикоподшипниковой подвеске. Для устранения разво- ротов марки сетки, приклеенной к объективу, объектив установлен в оправу, подвешенную на двух осях, одна из которых параллельна оси качания зеркала, а другая совпадает с визирной осью. Коле- бания подвижных систем гасятся магнитоиндукционными демпфе- рами. Визирная ось нивелира образуется узловой точкой объек- тива и изображением центра (перекрестия) марки сетки в зеркале 2. На погрешность стабилизации линии визирования влияют анало- гичные первичные ошибки: 1) коллимационная ошибка — непер- пендикуляркость нормали зеркала к оси его качания (Д/с); 2) непер- пендикулярность визирной оси к плоскости зеркала вследствие децентрировки марки сетки относительно узловой точки объектива
(Ac); 3) нёотвесность отражающей плоскости зеркала (Дф); 4) деста- билизирующее действие клина. Как показано в работе [3], первые три первичные погрешности вызывают отклонение линии визирования из горизонта при наклоне нивелира на угол у вокруг произвольно направленной оси, лежащей в плоскости горизонта, на величину х Лг = sin 9 Де//об — ycoswAfc — Аф, (4.41) где 0 — направление эксцентриситета сетки; <о — угол между осью поворота нивелира и осью X, направленной вдоль визирной линии. Наибольшая погрешность стабилизации линии визирования воз- Рис. 4.58. Схема нивелира ТН7: 1 — объектив; 2 — плоское зеркало-компенсатор; 3 — сетка; 4—10 — наблюдательная система; И — юстиро- вочный клин никает при наклонах нивелира вокруг оси X (<в = 0) и вертикаль- ном направлении вектора децентрировки (0 = 90°). Дестабилизирующее действие юстировочного клина также равно dA'z = a cos <рДр. Исходя из того же допуска на погрешность ста- билизации линии визирования, .найдем предельные значения до- пусков на первичные погрешности. Допустимые значения коллимационной ошибки, децентрировки сетки, неотвесности зеркала и деталибиз'ации клина будут равны: Akvd = А’шКу cos и /п) = 5'• 5 • 10"6/(6° • 0,0174 • 1 • /4) « 24'; Aevd = A'zvdf'ocl(sin 0 j/n) = 5" • 5 • 10“® • 162/( 1 • j/4) « 2 мкм; Афей = Azvdlv^n = 2,5 ; dAfvd — Adpd/2,5 * Так как здесь стабилизирующий угол наклона больше, чем в ниве- лире ТНЗ, то при о = 3' иДр = 6° дестабилизация клина будет
раЬйа dAz max « 20". Указанные допуски выдержать технологи* чески невозможно. ' ' Анализ выражения (4.41) показывает, что погрешности Де и Дф вызывают постоянное отклонение линии визирования и могут ском- пенсировать друг друга. Условием компенсации является выраже- ние Дф = sin 0Де//об- Следовательно, допуск на Де может быть расширен до экономического уровня. В конструкции крепления зеркала должна быть предусмотрена возможность устранения его коллимационной ошибки. Максималь- ное значение недокомпенсации с .учетом других действующих по- грешностей составляет не более 10—15". Применение юстировочного клина (даже с малыми углами) в ши- рокодиапазонном нивелире нецелесообразно. Из выражения (4.39)' следует, что в нашем случае для обеспечения dA'ZVd = 2,5" его ребро должно быть параллельно грризонтальной плоскости (<р — 90°) и отклоняться Ъри юстировке не больше, чем . на угол ф' = = ±arcsin (dA'zvd/adq>) « ±7°. 4.9. АДАПТИВНЫЕ КОМПЕНСАТОРЫ Все компенсаторы погрешностей .в' широком смысле являются адаптивными, так как их параметры приспосабливаются под кон- кретные значения корректируемых погрешностей. Условимся под адаптивными компенсаторами понимать такие, которые исполь- зуются в адаптивной оптике. Таким образом, адаптивным компенсатором будем называть активный элемент оптической системы, параметры которого изме- няются в реальном масштабе времени с целью коррекции погреш- ностей оптического сигнала (изображения). Управление таким ком? пенсатором, являющимся компонентой замкнутой следящей системы, осуществляется с помощью анализатора изображения (или волно- вого фронта) и ЭВМ. Анализ изображения или измерение деформа- ций волнового фронта является главным моментом этого управления. Различают три метода решения этой проблемы [11. Первый состоит в том, что производят прямые измерения фазы волнового фронта по апертуре с помощью гетеродинных детекторов. Этот метод применяют в том случае, когда принимаемый сигнал приходит от точечного монохроматического источника (например, лазера). Вто- рой метод основан на измерении.энергии сигнала от источника излу- чения в фокальной плоскости объектива, третий — на измерении разности фаз между соседними участками волнового фронта (напри- мер, с помощью интерферометра сдвига). Наибольшее распростра- нение в адаптивных системах получил метод управления, основан- ный на максимизации энергии сигнала от источника излучения. По такой схеме работают, например, адаптивные оптические системы, изображенные на рис. 1.31 и 3.10. Адаптивные компенсаторы можно использовать для коррекции как погрешностей, обусловленных влияющими факторами (рефрак: цией воздушных слоев, изменением температуры, вибрациями, изме-
йёниём нагрузок), Тай й технологических погрешностей изготовле- ния и сборки элементов оптической системы. Примером использования адаптивной системы для юстировки и коррекции погрешностей из-за температурных и силовых деформа- ций может служить.схема телескопа с составным зеркалом (рис. 4.59). Здесь юстировка составного зеркала и коррекция погрешностей производится с помощью системы управления элементами, содержа- Рис. 4.59. Схема юстировки составного телескопа: 1 — осветитель; 2 — вторичное зеркало; 3 — уголковый отража- тель; 4 — пьезопривод; 5 — составное главное зеркало; 6 — анали- затор* щей осветитель, уголковый отражатель, анализатор изображения и систему управления пьезоприводом. Принцип ее работы заклю- чается в том, что лазерным источником освещения, расположенным в фокусе телескопа, и уголковым отражателем последовательно освещаются участки поверхностей соседних элементарных зеркал. Свет собирается в исходной точке при отсутствии рассогласования элементов 'зеркал относительно элемента, являющегося базовым. Анализатор изображения определял величину этого рассогласо- вания и управляет пьезоприводом контролируемого элемента [24]. В настоящее время адаптивные компенсаторы используют в теле- скопах и системах лазерной связи главным образом для компенса- 162
ции влияния турбулентности земной атмосферы, поэтому их управ- ление выполняется с частотой порядка килогерц. Такое быстродей- ствие изменения параметров обеспечивают так называемые «гибкие» зеркала, управляемые пьезоэлектрическими приводами либо элек- тростатическим полем. Гибкими пьезоэлектрическими зеркалами называют такие, по- верхность которых изменяется (деформируется) с помощью пьезо- электрических приводов. Работа этих приводов основана на обра'т- Рис. 4.60. Конструкция составного зеркала: / — стеклянное алюминированное зеркало; 2 — цилиндр из пьезокерамики; 3 — основание; 4 — юстировочный винт; 5 — электрод [1, 49] I ном ' пьезоэлектрическом эффекте — изменении размеров пьезоке- рамики при подаче на нее электрического напряжения. Известны [1 ] два типа таких зеркал: составные и монолитные. Составное (иногда его называют поршневым) зеркало выполняется из некоторого числа не более 20—30 небольших зеркал, уголковых отражателей или триппель призм. Каждое из них имеет индивидуальный привод управления. Схематично конструкция одного из таких зеркал, со- стоящего из шести элементов, представлена на рис. „ 4.60. Ци- линдр 2 изготовлен из пьезоэлектрической керамики ЦТС либо МНС, обладающей большей деформацией и отсутствием гистерезиса по сравнению с ЦТС [60]. Крепление пьезоэлектрических цилин- дров к основанию и зеркал к цилиндрам осуществляется приклеива- нием эпоксидной смолой. Коллинеарность и компланарность поверхностей элементарных зеркал обеспечивается их совместной полировкой после' приклеива- ния, либо параллельность — с помощью юстировочных винтов, а компланарность — подачей напряжения смещения на пьезокера- мику. Компенсация деформации волнового фронта производится 6* ' 163
поступательным (параллельным) перемещением элементарных зер- кал пьезоэлектрическими -цилиндрами, изменяющими свой размер при подаче на них управляющего напряжения. Каждый цилиндр находится при нейтральном положении в предварительно напря- женном состоянии. В некоторых конструкциях составных зеркал вместо элементар- ных зеркал используются уголковые отражатели и триппель призмы, позволяющие-улучшить некоторые характеристики корректора [59]. Рис. 4.61. Конструкция монолитного зеркала: 1 — зеркало; 2 — блок пьезоэлектриче* ской керамики [1, 63] Существуют конструкции состав- ных зеркал, в которых элементар- ные зеркала наклоняются. Обычно для -этого каждое- из них имеет три пьёзопривода. Монолитное зеркало выпол- няют в виде сплошной тонкой от? ражающей поверхности, соедййен- ной либо с единым блоком пьезо- электрической керамики, либо с^ некоторым числом цилиндров, вы- полненных из пьезоэлектрической керамики. Цилиндры (или единый блок керамики, к которому под- соединена решетка с-необходимым числом электродов) осуществляют локальную деформацию отражаю- щей поверхности зеркала. Зерка- ло изготовляют из стекла, молиб- дена, бериллия и других материа- лов, значения коэффициента расширения которых близки к значению коэффициента расшире- ния пьезокерамики. На рис. 4.61 изображена конструкция монолитного зеркала, имеющего 21 зону локальной деформации. Сплошное алюминиро- ванное зеркало приклеено к блоку пьезокерамики, имеющей диа- метр 50 мм и толщину 12 мм. На верхней поверхности блока поме- щена решетка электродов, расположение которых показано на ри- сунке. К нижней поверхности подсоединен общий электрод. Прикладывая к решетке биполярные напряжения относительно общего электрода, поверхность зеркала деформируют селективно в зависимости от приложенного напряжения (деформация состав- ляет от долей до нескольких длин волн). Частотная характеристика такого зеркала от 0 до 10 кГц. Влияние зоны локальной деформации на соседние участки зеркала незначительно, что считается преиму- ществом по сравнению с мембранными адаптивнйми зеркалами. На рис. 4.62 представлена схема управления гибким мембран-; ным зеркалом. Отражающим элементом этих зеркал является' мембрана, поверхность которой деформируется-под действием элек.-. тростатических полей (приводов). Отражающая мембрана выпол-. 164:
на управляющих электродах, поверх- П1ПШ . Рис. 4.62. Схема управления гибким мембран- ным зеркалом! 1 — прозрачный электрод; 2 — мембрана; 3-~- управляющие электроды йена из титана, ье толщина составляет обычно 0,5—1,5 мкм, диа- метр— до. 150 мм. Мембрана помещается между прозрачным и управляющим электродами на расстоянии 50—100 мкм. Конструкция мембранного зеркала приведена на рис. 4.63. Про- зрачный электрод представляет собой токопроводящее покрытие, нанесенное на внутреннюю поверхность защитного окна. К электроду приложено некоторое напряжение смещения Г/о> а к электродам платы 4 — Uo ± Us, где Us управляющее напряжение. При отсутствии напряжения Us ность мембраны плоская (среднеквадратическое откло- нение от плоскости не более 1/20). При подаче управляю- щего напряжения суммарное усилие, действующее на мем- брану, 'становится отличным от нуля и. мембрана деформи- руется, причем центр дефор- мации локализуется над тем электродом, к которому по- дано напряжение. Неболь- шая масса мембраны способ- ствует тому, что управляю- щее напряжение несколько ниже,- чем в пьезоэлектри- ческих зеркалах. Обычно напряжению ±160 В соответ- ствует прогиб мембраны ±0,5%. Демпфирование мембраны осуществ- ляется воздушной средой. Управление демпфированием с целью по- лучения наилучших частотных характеристик (>5 кГц) произво- дится посредством изменения давления воздуха между мембраной и электродами. Система управляющих электродов выполнена в виде печатной схемы. Диаметр мембраны равен 50 мм, активная (управляе- мая) зона расположен^ на диаметре 25 мм. Количество управляющих электродов на рабочем диаметре равно 53, что объясняется их тесным расположением и исполнением в виде гексагональной решетки. Для получения наилучших частотных характеристик в конструк- ции предусмотрено устройство контроля давления; При использо- вании как пьезоэлектрических, так и мембранных зеркал возникает вопрос о необходимом числе управляющих приводов (АГ), частоте управления (BW) и максимальном смещении его элементов (мак- симальном смещении фазы A<pmaT). В случае компенсации атмосфер- ной турбулентности указанные требования к корректирующему зеркалу можно найти из рекомендаций, изложенных в работе [58]: Л/= (0,05l^ZD?/3/ln (1/57?)6/б; BW = 0,65V (£2C^Z)3/S; ' д<ртах-о,57^(сЖ/3)1/2г /
где k = 2л/% — оптическое волновое число; См — постоянная структуры атмосферы; Z — расстояние распространения излуче- ния; DT —: диаметр передающей системы; SR — фактор Штрелй (отношение действительной максимальной интенсивности излучения в фокальной плоскости к максимальной интенсивности излучения, ограниченной дифракцией); V — скорость бокового ветра. Число 1 2 6 Рис. 4.63. Конструкция гибкого мембранного зеркала: 1 — защитное стекло; 2 — мембрана; 3 — оправа мембраны; 4 — печатная плата; 5 — кабель; 6 — устройство контроля дав- ления [1, 52] управляющих приводов можно определить также в соответствии с рекомендациями, изложенными в статье В. Г. Тараненко «При- менение активного деформируемого зеркала для коррекции слу- 'чайных искажений фазового фронта» — ОМП, 1983, № 2. 4.10. КОМПЕНСАТОРЫ ГНУТИЙ ТЕЛЕСКОПОВ В процессе работы астрономических телескопов возможны появ- ления смещений его элементов относительно друг друга из-за' изме- нения нормальных составляющих сил веса при наблюдении объек- тов с различными зенитными расстояниями и температурных де- формаций. Они приводят, например, к смещению кассеты относи- тельно изображения светила, дифференциальному изгибу (рассогла- сованию оптических осей) телескопа и гида и т. п. Эти механические и температурные деформации, называемые обычно гнутиями теле- скопа, существенно ухудшают качество прямых фотографий небес- ных светил, полевых спектрограмм и фотометрических измерений. 16в ' *
Для компенсации ВЛийний гйутий телескопа в его состав вклю- чают специальные устройства — компенсаторы гнутий. На рис. 4.64 приведена схема автоматизированного устройства — компенсатора гнутий, использующегося в телескопе ЗТШ-2,6 м Крымской астро- физической обсерватории АН СССР х. Устройство содержит выве- рочную марку 5, расположенную в фокальной плоскости главного зеркала 6, зеркально-призменный мостик 3, состоящий из плоского зеркала 2 и крышевидной призмы 4, следящую систему 7, 8, 10, 14, сопряженную с гидом, снабженным окулярами 9 и 12, находя- щимися на едином суппорте. Пучок света от выверочной марки попадает через главное зеркало и призменный мос- тик на объектив 1 гида, который строит изображе- ние марки в своей фо- кальной плоскости. В этой плоскости находится так- же изображение 13 наблю- даемой звезды. Зеркально-призменный мостик эквивалентен трип- пель призме, поэтому лучи света, выходящие из него, параллельны входящим, независимо от пространст- венных поворотов мости- ка. В результате любое смещение элементов опти- ческой системы телескопа вызывает смещение изображения выверочной марки ’в фокальной плоскости'гида относительно изображения звезды. Устранение смещения изображения марки производится с по- мощью наклонов в двух взаимно перпендикулярных направлениях плоскопараллельной пластинки 14. Изображение звезды в поле зрения телескопа возвращается в исходное положение экспониро- вания поворотом всего телескопа. Окуляр 9 служит для визуального дублирования модулятора 10 фотоэлектрического канала. Недо- статком данного компенсатора гнутий является то, что он конструк- тивно не сопряжен с выверителем фокусировки (это не позволяет превратить их в единую автоматически работающую систему^ а также жесткие требования к точности выполнения двухгранного прямого угла крыши призмы, допуск на который составляет 0,1— 0,2" (не должно иметь места двоение изображения выверочной марки, которое вызывает снижение точности работы визуального и фотоэлектрического каналов компенсатора гнутий^ Для устранения недо'статков и повышения точности работы со- трудниками ЛОМО им. В. И. Ленина была разработана единая * А. с. 161537 (СССР).
система для компенсации гнутий и фокусировки телескопа \ схема которой была изображена на рис. 4.8. Работа ее при компенсации расфокусировки была описана выше. Рассмотрим, как производится здесь компенсация гнутий телескопа. Кцйал компенсации, гнутий содержит выверочную марку, нанесенную на деталь 4, зеркально- призменный мостик 9, состоящий из призмы с крышей 8 и плоского зеркала 10, плоскопараллельную пластинку 13, которая качается в двух взаимно перпендикулярных направлениях с помощью при- вода /4,-^фотоприемник 18, подключенный через управляющий уси- литель 17 к двигателю привода. При работе телескопа по звезде.ее изображение проектируется зеркалом телескопа (например, на фо- топластинку, установленную в его фокусе). Гидированиё произво- дится по той же звезде, изображение которой проецируется объек- тивом 11 гида в центр перекрестия визирной сетки окуляра 16 и центр фотоприемника фотогида 15. Выверочная марка проецируется объективом гида в центр фото- приемника 18. При появлении гнутий телескопа исходная точка экспонирования изображения звезды на фотопластинке сдвигается. Одновременно сдвигается изображение выверочной марки с центра поля фотоприемника 18, что приводит к появленю сигнала рассогла- сования, управляющего через усилитель приводом качания плоско- параллельной пластинки. Наклонами пластинки изображение вновь приводится в центр фотоприемника, однако при этом будет смещено изображение звезды с центра перекрестия визирной сетки и центра фотоприемника 15 гида. Поворотом всего телескопа от системы фотоэлектрического или визуального гидирования изображение звезды возвращают в исход- ное положение. При этом изображение звезды на фотопластинке займет исходную точку экспонирования. Для того чтобы предотвра- тить взаимное влияние каналов выверителя фокусировки и компен- сатора гнутий друг на друга, перед растровыми марками 3, 4 и дис- сектором 24 установлены поляризаторы 22, 26 (одинакового направ- ления), плоскость поляризации которых перпендикулярная к пло- скости поляризаторов 25, 19 (также одинакового направления), уста- новленных перед выверочной маркой и фотоприемником компенса- тора гнутий. Для устранения эллиптической поляризации сйета при отражении в призме в поляризаторы 25, 19 введены компенси- рующие пластинки. . , . Допуск на прямой угол крыши призмы 8 в данной системе рас- ширен благодаря сдвигу входной и выходной диафрагм в разные стороны от ребра крыши. Еще одним примером системы комплексной компенсации гнутий, расфокусировки и рассогласований элементарных зеркал может служить схема, составного телескопа 1 2, изображенная на рис. 4.65. Главное зеркало телескопа образовано шестью элементарными зер- калами 5, согласование которых осуществляется с помощью теле- 1 А. с. 591791 (СССР). « А. с. 940122 (СССР).
скопа согласователя, содержащего шесть. триппель-мостиков 8 (конструкция их рассмотрена в предыдущем примере), первичное зеркало согласующего телескопа, нанесенное на внутреннюю по- верхность вторичного зеркала 7 телескопа, и вторичное зеркало 9. Компенсатор гнутий содержит выверочную марку (диафрагму) 1, триппёль-мостик 11, плоскопараллельную стеклянную пластинку 16, которая качается' в двух взаимно перпендикулярных направлениях приводом 17, линзу Фабри с пирамидой 22, квадрантный фото- приемник 21. Выверитель фокусировки содержит марку Г, пента- призмы 6, 12, линзу Фабри с призмой 18, однокоординатный фото- приемник 19, привод 10, производящий фокусировку телескопа осевой подвижкой вторичного зеркала.
Канал согласования элементарных зеркал работает следующим образом. Лучи света (обозначенные на рисунке'тремя стрелками) от марки 1, освещаемой лазерным, источником и установленной в фо- кальной плоскости телескопа и телескопа согласования, проходят последовательно телескоп согласователь, триппель-мостики 8, те- лескоп и попадают на линзу Фабри с пирамидой 23. Линза Фабри и пирамида строят четыре изображения зрачков вывода телескопа, в каждом из которых находятся шесть изображений зрачков выхода системы согласований. Последние переносятся .световодами на матрицу из шести квадрантный фотоприемников, причем изобра- жения, построенные отдельным элементом главного зеркала, соби- раются на соответствующих площадках одного фотоприемника, так чтобы определить направление наклонов зеркала вокруг двух взаимно перпендикулярных осей у, х, приводящих к перераспределе- нию энергии в изображениях зрачков. Сигналы рассогласования с фотоприемника управляют соответ- ствующими приводами 3,4 наклонов элементарного'зеркала вокруг осей у и х. Отсутствие управляющего сигнала соответствует поло- жению зеркала, при котором изображение контрольной марки за- нимает строго симметричное положение относительно вершины пирамиды. В канале компенсатора гнутий изображение марки 1 (лучи света обозначены одинарной стрелкой) строится телескопом, триппёль-мостиком 11 и объективом гида 13 в его фокальной пло- скости, где находится линза Фабри с пирамидой. Линза Фабри и пирамида строят четыре изображения зрачка выхода системы ком- пенсации гнутий на соответствующих площадках квадрантного фото- приемника 21. При наличии гнутия телескопа изображение марки смещается и происходит перераспределение энергии в изображениях зрачка, что приводит к появлению напряжения, управляющего приводом 17. Привод наклоняет пластинку 16, возвращая изобра- жение марки в исходное положение. При этом в фокальной плоскости объектива гида происходит сдвиг изображения объекта наблюде- ния (звезды, Луны и т. п.). Поворотом всего телескопа от системы фотоэлектрического или визуального гидирования 20 возвращают изображение объекта в исходное положение. Изображение, образо- ванное главным и вторичным зеркалами телескопа, возвращается в исходную точку на регистраторе сигнала 2. Изображение кон- трольной марки 1 в канале выверителя фокусировки (лучи света обозначены двойными стрелками) также расположено в фокальной плоскости объектива гида. Линза Фабри с призмой 18 строят два изображения зрачка выхода системы фокусировки на площадках однокоординатного фотоприемника 19. При появлении расфокусировки происходит перераспределение энергии в изображениях .зрачков на фотоприемнике, вызывающее управляющее приводом 10 напряжение. Привод перемещает вторич- ное зеркало и телескоп-согласователь вдоль оси до момента компен- сации расфокусировки. Так как канал расфокусировки чувствите- лен к гнутиям телескопа, то привод коррекции гнутия должен иметь скорость отработки сигнала в несколько раз большую скорости 170
привода фокусировки. Для расширений - возможностей телескоп имеет лазерный осветитель объекта наблюдения. 25, а его гид — устройство 14, 15 для введения полевых поправок при гидировании от ЭВМ. Глава 5 ТИПОВЫЕ КОМПЕНСАТОРЫ ПОГРЕШНОСТЕЙ МЕХАНИЧЕСКИХ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ УСТРОЙСТВ Для оптических приборов характерным является широкое применение механических функциональных устройств. Они исполь- • зуются в качестве несущих систем, систем настройки и управления прибором, для непосредственного преобразования информативных параметров входного сигнала. Наиболее высокие требования обычно предъявляются к механическим системам последней группы — меха- низмам и направляющим поступательного и вращательного движе- ния. Рассмотрим компенсаторы погрешностей некоторых наиболее употребительных в оптических приборах элементарных механизмов и направляющих. 5.1. КОМПЕНСАТОРЫ ПОГРЕШНОСТЕЙ ЗУБЧАТЫХ ПЕРЕДАЧ Зубчатые, передачи используются в оптических приборах и тех- нологическом оборудовании оптического производства, для точной передачи углового движения (например, в стереотрубах, пано- рамах Герца, делительных машинах). Точностными характери- стиками зубчатой передачи является кинематическая погреш-, ность — разность между действительным и расчетным углами пово- рота ведомого колеса и холостое вращение (мертвый ход) ведущего колеса, возникающее при реверсирований движения. В том случае, когда зубчатая передача является отсчетной, стараются уменьшить как кинематическую погрешность, так и мертвый ход, который также приводит к погрешности передачи движения. В зубчатых передачах, используемых в системах точного позиционирования (наведения) и следящих приводах, уменьшают в первую очередь мертвый ход, влияющий на качество выполняемого управления. Компенсация мертвого хода передачи в случае, когда его значе- ние больше допустимого-, осуществляется с помощью силового замы- кания, регулировки боковых зазоров и другими известными мето- дами [48], не вызывающими трудностей при их осуществлении. Трудность компенсации кинематической погрешности обуслов- лена тем, что она является переменной нерегулярной величиной, имеющей различную амплитуду и фазу в каждой конкретной пере- даче. На рис. 5.1, а изображен типовой график кинематической по-
грешности (Д<р) зубчатой передачи в функции угла поворота (<р) ве- домого колеса. Как видно из графика, кинематическая погрешность содержит низкочастотную (рис. 5.1, б) и высокочастотную (цикличе- скую) составляющие (рис. 5.1, в). Главными причинами низкочастот- ной составляющей (синусоидальной гармоники с периодом 2л) яв- ляется с суммарный (геометрический плюс кинематический) экс- центриситет ведомого колеса. Причинами высокочастотной состав- ляющей являются эксцентриситеты ведущих колес '(червяков), по- грешности шагов и профиля зубьев ведомого и ведущих колес и т. п. 3) Рис. 5.1. Графики кинематической погрешности зубча- той передачи: а^- суммарной погрешности; б, в — низ- кочастотной и циклической составляющих Общая суммарная погрешность передачи является результатом суммирования ошибок каждого колеса, передаваемых на выход с преобразованием амплитуд .и частот в соответствии с передаточным отношением от конкретного колеса до ведомого, и может быть пред- ставлена рядом синусоидальных гармоник, имеющих различную амплитуду (Л), частоту (р) и фазу (0): Дф = Е A sin (ptcp + 0г). ~ (5.1) Низкочастотная погрешность является доминирующей (обычно она составляет 50—80 % кинематической погрешности передачи) и может быть выражена формулой Дфдв2 == [sin (ф 4- 0о) — sin0О] ДМГ cos«)» (5.2) • где Де2 — величина суммарного эксцентриситета ведомого колеса; <р — угол поворота колеса; 0О — начальная фаза суммарного экс-
цейтрйситета; г — радиус делительной окружности ведомого колеса; а — угол зацепления. Компенсация этой составляющей возможна путем фазовой взаи- мокомпенсации геометрического и кинематического эксцентриси- тетов, компенсации геометрического эксцентриситета при сборке либо с помощью коррекционных устройств. Высокочастотная составляющая погрешности передачи, как пра- вило, в несколько раз меньше низкочастотной, поэтому ее компенси- руют весьма редко. Компенсация осуществляется с помощью коррек- ционных устройств, имеющих профильный кулачок [20]. Взаимокомпенсация влияния геометрического и кинематического эксцентриситетов зубчатого колеса. Геометрический эксцентриси- тет возникает за счет смещения зубчатого венца относительно оси посадочного элемента колеса при его изготовлении и сборке. Кинема- тический эксцентриситет возникает вследствие неравномерности Вращения делительного стола зубофрезерного станка, обусловлен- ной эксцентриситетом червячного колеса делительной цейи. Кине- матический эксцентриситет для колес, изготовленных на одном стан- ке, может быть найден из выражения Дек « г ke^R, (5.3) где R — радиус делительной окружности; Де& — эксцентриситет червячного колеса станка. Погрешность положения 1 колеса от этого эксцентриситета может быть выражена по формуле Афдек = [sin (<р 4- 60н)] &eK/(r cos а). (5.4) где 0Ок — начальный фазовый угол. Определим влияние геометрического эксцентриситета колеса на точность его работы. Для этого рассмотрим образование погрешно- стей положения зубчатого колеса /, имеющего геометрический экс- центриситет Дег при зацеплении его с ведущим колесом 2 (рис. 5.2, а). Примем вращение колеса 1 против часовой стрелки за положитель- ное направление, а по часовой — за отрицательное. Эксцентриситет приводит к дополнительному повороту колеса против часовой стрелки при контакте по правым и левым профилям йа углы: Афп Дег — ДЯд,г Ло = Лег cos [90° — (0ОГ + а)]/г0 = = sin (0ОГ + а) kejir cos а); Дфл Дсг == о := ДСр COS [90 (0#г ®)1/Го == С = sin(0or — а) Aer/(rcosa), (5.5) где А/7дег, АЛдег — проекции эксцентриситета на правую и левую линии зацепления; г0, г — радиусы основной и делительной окруж- ности колеса. 1 Переход от погрешности положения колеса к кинематической погрешности (погрешности перемещения) осуществляется по формуле,. аналогичной (5.2).
На рис^.5.2, б изображены графики погрешностей положения колеса в функции фазового угла б при вращении колеса в разные сто- роны (графики построены без учета влияния бокового зазора). Из формул (5.5) следует, что максимальные значения ошибок положе- ния соответствуют фазовым углам: для левого профиля 0Л = л/2 4- а, для правого — 0П = л/2 — а, следовательно, фазы равного влияния геометрического эксцентриситета колеса при различных направле Рис. 5.27 Взаимокомпенсация влияний гео- метрического и кинематического эксцентри- ситетов колес (Дфдду Дфпдег—погрешно- сти положения колеса из-за геометрического эксцентриситета по левому и правому про- филям; ДфДе — погрешность из-за кинема- тического эксцентриситета) ниях движения сдвинуты от- носительно друг друга на угол- Д0 = 0Л — 0Д = 2а. Заметим, что в работе [411 приводится ошибочный ре- зультат: Д0 = л — 2а, при- чиной которого является не- правильный выбор - системы отсчета для ошибок положе- ния колеса. Из выражений (5.4) и (5.5) видно, что погрешности, обу- словленные кинематическим и геометрическим эксцентри- / ситетами колеса, имеют оди- 9 наковый период, следова- тельно, возможна их фазовая взаимокомпенсация соответ-, ствующим изменением 0Ог (либо 0Ок). Учитывая, что угловая погрешность положе- нейшим для передач, работающих в ния колеса от геометриче- ского эксцентриситета имеет сдвиг фаз равного влияния на 2а по левым и правым профилям, а для кинематиче- ского эксцентриситета сдвиг фаз отсутствует, наивыгод- отсчетном режиме при обоих направлениях движения, является прямо противоположное направ- ление векторов геометрического и кинематического эксцентрисите- тов (см. рис. 5.2, б). При этом происходит взаимокомпенсация влия- ния эксцентриситетов на погрешность положения (и стало быть и кинематическую погрешность) при любых их численных значениях, достигающая минимума недокомпенсации при Дгг = Дек cos а, т. е. практически при равенстве эксцентриситетов. Значение недоком- пенсации для левого (л) и правого (п) профиля одинакова и мо- жет быть найдена из выражений (5.4) и (5.5): Дфк. П. л = Дфде. — Дфде„ = 77^7 ТЛДвг + Дбк — 2 Дег Дек cos а X * л Г vUO ОЬ Г Дег Sin (±«) \ 1 Aercosa + Дек ) J * Х81п[ф4-0о4-агс1§ (5-6)
При Даг = Дек = Де ' . Дфнй. п. л == 2 Де sin (а/2) cos (ф 4* 0е ± a/2)/(r cos а). (5.7) Заметим, что самый неблагоприятный случай наблюдается тогда, когда эксцентриситеты, направлены либо в одну сторону либо их направление отличается на ±а Дф"п. л = Дфд«г 4- Дфдек = 4- Дек + 2 Дег Дек cos а х xsln[<p + e. + arctg(7^<^-)]. (5.8) При Дег = Дек = Де Дф2Уп, л = 2 Де cos (а/2) sin (ф + 0о ± а/2)/(г cos а). (5.9) ’ В случае, когда 0ок == 0О? 4- а, имеем: - . z Дф! п = У Д4 + Д4 4- 2 Дег Дек sin (ф 4- 0ог + а)/(^ cos а); (5.10) Дфх л = ttJtz У+ Д4 4- 2 Дег Дек cos 2а х Г VVU VV г x'sln[T + 0or + arctg(^^) tgа]. (5.11) При Дег = Дек = Де Дф! п — 2 Де sin (ф + 0ог + а)/(г cos а); (5.12) ДфГ" = 2Де sin (ф 4- 0Ог)/г. (5.13) Сравнение выражений (б.6) и (5.7) с (5.8), (5.9), либо с (5.10)—(5.13) показывает, что в случае, когда возможно регулирование направле- ния, например, геометрического эксцентриситета, угловая погреш- ность колеса может быть существенно уменьшена. При Дег = Дек из выражений (5.7) и (5.12) получаем уменьшение погрешности в К. раз: /С = Дфх п/Дфнк. п. л == 1/sin (а/2) 5,5. Для зубчатых передач, работающих в отсчетном режиме при одно- стороннем движении, выгоднее направлять векторы геометрического и кинематического эксцентриситетов под углом 180 ± а друг к другу в зависимости от того, какой профиль колеса работает в отсчетном режиме (правый или левый). В этом случае для рабочего профиля при Дег — Дек будет полная взаимокомпенсация (Дфнк = 0). Практическая реализация взаимокомпенсации' может быть осу- ществлена путем регулирования положения заготовки колеса на столе станка перед нарезанием зубьев. Для этого заготовку нужно смещать за счет зазора в посадке или с помощью специального па- трона в сторону, противоположную кинематическому эксцентриси- тету [411 (направление которого для станка должно быте известным) на величину, которая определяется из выражения (5.3). Следует учесть, что при такой реализации способа компенсации желательно
отсутствие геометрического эксцентриситета, возникающего при монтаже колеса. Взаимокомпенсацию можно осуществить и при сборке колеса, на- правляя суммарный геометрический эксцентриситет (от эксцентри- ситетов колеса и монтажа) по отношению к направлению кинемати- ческого эксцентриситета в соответствии с вышеизложенными реко- мендациями. Для этого нужно знать направление и численные зна- А Вид А Рис. 5.3. Отсчетная система гониометрического' устройства • « чения Дек и Дег, которые можно получить при контроле погрешности обката (Fc) колеса и радиального биения зубчатого венца. Конструк- ция крепления зубчатого колеса на оси должна позволять изменять численное значение и направление Дег. Компенсация, центрированием и разворотом зубчатых колес. Если зубчатые колеса изготавливают на станке, имеющем высокую точность привода, главной причиной низкочастотной составляющей кинематической погрешности таких колес будет их геометрический 176
эксцентриситет. В этом случае повышение, точности зубчатой пере- дачи может быть достигнуто путем центрирования колес относи- тельно осей их вращения во время сборки. Так как на точность зуб- чатой передачи, работающей на замедление (типовой случай), основ- ное влияние оказывает погрешность последней пары, то обычно в передаче устраняют радиальное биение зубчатого венца только ведомого колеса. На рис. 5.3 изображен узел отсчетной системы гониометрического устройства, в котором лимб 1 поворачивается с помощью^червячного колеса 2 и червяка 4, являющихся последней парой зубчатой пере- дачи. Здесь для повышения точности и плавности движения винтами 3 при сборке производят центрирование червячного колеса относи- тельно оси вращения, замеряя биение его зубчатого венца с помощью микронного индикатора. В данной конструкции предусмотрена также возможность регулировки червяка по червячному колесу, выборка бокового и осевого зазоров червяка. Другой метод компенсации основан на том, что зубчатое колесо изготавливают из двух одинаковых частей (путем разрезания или нарезания зубьев одновременно на двух заготовках), которые разво- рачиваются относительно друг друга на 180°. Тогда суммарный экс- центриситет Де2 одной половины колеса, 'равный суммарному экс- центриситету второй половины (рис. 5.4, а), будет направлен про- тивоположно ему, что вызовет равные, но разные по знаку их раз- вороты: . Дфх bes == Д^ [sin (<р + е01 ± a)/(r cos а); Дф2 Aes = [sin (<р + 0ol + л ± а)]/(г cos а).
Выполнив соединение половин колеса с ведомым валом 3 через водило 4 (рис. 5.4, б) и средник 5, который соединен шарнирно с ко- лесами и может разворачиваться вокруг водила, получаем взаимо- компенсацию влияния разворотов половин колес из-за влияния их эксцентриситета (рис. 5.4, в). Это происходит потому, что средник поворачивается вокруг водила и не передает на него, угловых по- грешностей половин колес. Движение же колес 1 и 2 (имеющее оди- наковый знак) От ведущего колеса 6 передается через средник на водило и через него на ведомый вал. Конструктивно (рис. 5.5) данная схема может быть выполнена для^передач/ работающих с небольшими'моментами нагрузки, с во- дилом 1 в виде^упругойплоской дружины и жестко соединенным с ней Рис. 5.5. Зубчатое колесо с компенса- цией влияния эксцентриситета Рис. 5.6. Схема коррекционного уст- ройства червячной передачи средником 2 в виде цилиндрического штифта, опирающегося на но- жевидные упоры 3 колес. Коррекционные устройства. Одно из первых коррекционных устройств, применяемых в оптических приборах, было предложено С. Т. Цуккерманом [461 для компенсации влияния эксцентриситета червячного колеса стереотрубы (см. рис. 1.29). Коррекция проводится дополнительными поворотами червяка при синусоидальном попра- вочном покачивании индекса отсчетной шкалы с помощью наклонной шайбы (или эксцентрика)*, установленной на оси червячного колеса. Подобные устройства применяют также в некоторых моделях пово- ротных столов и делительных головках. В том случае, когда червяч- ная передача работает в автоматическом режиме, коррекционные устройства основаны обычно на осевом смещении червяка. Схема одного из таких устройств изображена на рис'. 5.6. Она содержит червяк 1, косозубое (червячное) колесо 2, двойной эксцентрик (ку- лачок 3) с регулируемым направлением (0н от 0 до 360°) и эксцен- триситетом (Дек), рычажную передачу 4, направляющую 5 для вра- щательного и поступательного движения червяка, пружину 6, пред- назначенную для силового замыкания червяка и рычажной передачи на эксцентрик.
При повороте червячного колеса поворачивается закрепленный на одной с ним оси эксцентрик, сообщающий через рычаг корректи- ровочное движение червяку. Корректировочное устройство работает по следующей зависимости: Дфк == (sin 0 — sin 0Н) keKbl(ar), (5.14) где <р — угол поворота червячного колеса; 0 = ф + 0Н — текущие направления эксцентриситета; 0Я — начальное (при ср' = 0) направ- ление эксцентриситета; а, b — плечи рычага; г — радиус делитель- ной окружности червячного колеса. Рис. 5.7. Графики кинематической погрешности червячной передачи: 1 — суммарная погрешность без коррекционного устройства; 2 — состав- ляющая погрешности, обусловленная эксцентриситетом колеса; 3 — сум- марная погрешность после коррекции При настройке коррекционного устройства добиваются, чтобы Дфк = —Дфде2, что обеспечивается регулировкой величин Дек и 0Н. Для этого, отключив коррекционное устройство, измеряют кине- матическую погрешность передачи и выявляют по ее графику (либо с помощью гармонического анализа) первую гармонику, обусловлен- ную суммарным эксцентриситетом червячного колеса.. Для выявле- ния этой составляющей не требуется большого количества точек контроля 'На оборот ведомого колеса (обычно 12—36), что позволяет применять для контроля простейшие кинематомеры или углоизме- рительные головки. На рис. 5.7 изображен график кинематической погрешности (/) подобной передачи с червяком, имеющим число за- ходов 1, модуль т — 1 и косозубым колесом с числом зубьев г = 150. Выявив по нему низкочастотную составляющую (2) и определив Дфде2, найдем из формулы (5.14) необходимое значение Дек (при Ь = — 10 мм, а = 65 мм, Де„ « 0,29 мм). Вычисленное значение Деи устанавливается на двойном эксцентрике разворотом с последующей фиксацией наружного эксцентрика относительно внутреннего. Зна- чения эксцентриситетов внутреннего и наружного эксцентриков (Де) равны, поэтому Дек может регулироваться от 0 до 2 Де. Кон-
Троль величины (и йаправления Аек) производится, йапример, с йб- мощью индикатора. Необходимое значение 0Н для создания Д<рк об- ратного знака к Д<рдв2 находится по формуле (5.14), либо по виду Д<Рк при задании некоторого 0Н (обычно задают 0Н = 0, 90, 180, 270° — в зависимости от того, какое Д<ри при этом будет ближе к тре- буемому, а затем окончательно корректируют 0Н). Установка 0Н производится разворотом всего эксцентрика относительно оси чер- вячного колеса. При правильном определении и установке Аек и 0Н коррекцион- ное устройство практически полностью компенсирует низкочастот- ную составляющую кинематической погрешности передачи (линия 3 Рис. 5.8. Схема коррекционного устройства зубофрезер- ного станка на рис. 5.7). Наличие коррекционного устройства позволяет умень- шать кинематическую погрешность передачи более, чем в два раза. Для компенсации и циклической составляющей, что характерно для передач прецизионных делительных машин и зубонарезных станков, кулачок профилируют в функции измеренной кинематиче- ской погрешности. Число точек контроля погрешности и профили- ровки. кулачка при этом достигает, как правило, нескольких сотен, что требует использования для этих целей автоматизированных ки- нематомеров и станков для автоматической обработки кулачков [20 J. На рис. 5.8 представлена схема коррекционного устройства зубо- фрезерного станка [20], содержащего профилированный кулачок /, предназначенный для компенсации низкочастотных погрешностей червячной передачи 2, 8 и профилированный кулачок 7, компенси- рующий циклические погрешности червяка. Коррекционное сме- щение червяка 8 в направляющих происходит здесь при повороте двуплечего рычага,3 вокруг шарнира 5 от кулачка 1 и при смещении шарнира при повороте рычага 6 вокруг оси 4 от кулачка 7. При ком- пенсации влияния только эксцентриситетов колеса и червяка кулач- ки 1 и 7 могут быть выполнены в виде эксцентриков.
В особо точных машинах и ставках применяют корректирующие устройства, учитывающие также эксплуатационные погрешности передачи. Они являются замкнутой следящей системой, встроенной в станок и содержащей устройство измерения кинематической по- грешности (кинеМатомер или эталонные элементы), устройство управления и исполнительный орган, компенсирующий выявленные погрешности [20, 44]. 5.2. КОМПЕНСАТОРЫ ПОГРЕШНОСТЕЙ ВИНТОВЫХ МЕХАНИЗМОВ Винтовые механизмы находят широкое применение в оптических приборах. Их используют как в отсчетных передачах (окулярных и оптических микрометрах, спектральных приборах, делительных машинах),-так и в устройствах управления (механизмах фокуси- ровки, наведения на объект) преимущественно для преобразования вращательного движения (винта) в поступательное у = прх/(2л), (5.15) где у — перемещение гайки или конца винта для винтового меха- низма I рода; п — число заходов; р — шаг резьбы; х — угол пово- рота винта. Погрешность функционирования винтового механизма обуслов- лена следующими причинами: ' погрешностью шага резьбы винта (Ар) — АуДр « Ар; осевым зазором (Ас0) в резьбовом соединении винта и гайки — Аг/дс0 « Ас0; осевым биением (Ар0) винта в опорах вращения (винтовой меха- низм II- рода) — А#дРо = Ар0. Погрешность шага гайки оказывает гораздо меньшее влияние на точность работы, к тому же гайка может быть выполнена откры- той, не охватывающей полностью винт по окружности (например, в виде сегмента), либо контактировать с профилем резьбы винта по точке. Одним из конструктивных решений является выполнение винтовой пары с винтом, имеющим трапецеидальный, а гайки — пря- моугольный профиль, и контактирующих друг с другом по среднему диаметру резьбы. Все эти погрешности приводят, кроме потерь точности, также к недостаточной чувствительности и трудностям при управлении устройствами, что требует их компенсации в прецизионных приборах и машинах. Компенсация осевого зазора осуществляется обычно с помощью силового замыкания гайки 'на левый или правый профиль резьбы винта; регулировкой зазора с помощью цанговой или разрезной гайки; притиркой или упругим обжатием резьбы винта гайкой, вы- полненной из полиэтилена или фторопласта, и другими известными методами [37, 48]. Необходимо иметь в виду, что зазоровыбирающие устройства увеличивают трение в резьбовом соединении и ускоряют его износ. Это требует периодического контроля и подрегулировки
компенсатора (иногда повторной притирки гайки к винту), исполь- , зования сочетаний материалов, обладающих низким коэффициентом трения и хорошей приработкой (сталь — оловянистая бронза, баб- бит, полиэтилен, фторопласт). Как показали исследования, наилуч- шие результаты достигаются при применении гаек открытого типа .с дальнейшей передачей движения перемещаемому звену (каретке) через пару высшего класса (шарик). Компенсация осевого биения ходового винта осуществляется обычно его силовым замыканием (с помощью пружин, грузами, либо регулировкой) на шаровую опору (см. рис. 5.9). При этом опорная площадка винта 1 не должна иметь торцевого биения отно- Рис. 5.9. Шаровая опора винта сительно оси вращения, что обеспечивается ее шлифовкой и полировкой совместно с цапфа- ми под подшипник, либо при вращении вокруг цапф. Пло- щадка выполняется из закален- ной стали, агата, корунда, ру- бина или сапфира. Полирован- ный шарик в регулируемой шаровой опоре 3 закреплен неподвижно, и его центр дол- жен находиться на оси враще- ния винта. Подшипникиz 2 (либо цапфы в случае опор скольжения) должны иметь ми- нимальной радиальное биение, иначе это приведет к перекосу опорной площадки и осевому смещению винта. Кроме этого, радиальное биение приводит к по- грешности перемещения гайки. Перекос опорной площадки (Ду) является взаимосвязанной погрешностью с несросностью (Де) ша- рика с осью вращения винта и вызывает осевое его смещение Д г/д v, де = (cos 0Т — cos 0Н) Де Ду, где 0Т, 0И — текущее и начальное значения угла, определяющего направление перекоса площадки соответственно. За один оборот винта эта периодическая погрешность изменяется от 0 до макси- мального значения, равного 2 Де Ду. , Радиальное биение (Др) цапф в подшипниках приводит к погреш- ности Д«/др « Др2/Д, где L — расстояние ют площадки до мгновен- ного центра поворота. Погрешность перемещения гайюПиз-за ра- диального биения винта Д«/Др — 2 Др tg (а/2). Компенсация погрешности шага винта является более сложной задачей, что обусловлено переменным нерегулярным характером погрешности, содержащей накопленную (/), периодическую (2) и циклическую (5) составляющие (рис. 5.10). Она осуществляется корректировочным поворотом гайки, винта или осевым перемеще- 182
Рис. 5.10. Графики погрешности шага винта нием винта. Корректировочное движение производится с помощью коррекционных линеек, кулачков или следящих устройств. Компенсация погрешностей с помощью коррекционных линеек и кулачков. На рис. 5.11 изображена схема винтового механизма с ‘компенсацией погрешности шага с помощью коррекционной .ли- нейки. Линейка 1 устанавливается в положения I или II. В положе- нии II по линейке скользит рычаг, соединенный с гайкой 2. Так как линейка повернута на кор- рекционный угол Дун, то гай- ка получает дополнительное перемещение (Д«/к) при пово- роте винта 3 на некоторый угол х (вводимый, например, по шкале 4 и неподвижному индексу 5): Д</к « (пр/2л)2 х X х Дук//?1. При этом ком- пенсируется накопленная со- ставляющая (линия 1 на рис. 5.10) погрешности винто- вой пары. Для компенсации периодической погрешности линейку профилируют. При установке коррек- ционной линейки на гайку (положение I) на нее Замыкают двуплечий рычаг 6, 'производящий коррекционный поворот индекса 5, который выполнен подвижным. В результате винт поворачивается на дополнительный угол Дхк, Рис. 5.11. Схема компенсации погрешности шага винта коррекционной линейкой что приводит к коррекционному перемещению гайки: Дук^ г (пр/2л)2 Дукх/(Т?2/?Ш). На рис. 5.12 представлена конструкция оптического отсчетного устройства координатно-расточного станка с коррекцией погрешности работы отсчетного винта 1 и гайки 2 с помощью коррекционной ли- нейки 3. Коррекционная' линейка выполнена в виде тонкой упругой пластины (ленты), которая деформируется при сборке подвижкой
Вид К (увеличено) Рис. 5.12. Отсчетное устройство
угольников в по койкретйым значения^ погрешности винтовой парь!, что дает возможность компенсировать не только ее накопленную, но и периодические составляющие. В результате при перемещении гайки с закрепленным на ней щупом 4 в виде двуплечего рычага последний передает корректировочное смещение индексу 5, уста- новленному на гайке в направляющих типа «ласточкин хвост». Работу коррекционного устройства на основе кулачка рассмо- трим на примере упрощенной кинематической схемы прибора ИГ-114 для определения оптически^ констант стекол (рис. 5.13). Здесь отсчетный поворот стола 9 осуществляется от двигателя 1 с помощью зубчатых передач 2, 4, винтового механизма 6, 7 и ленточной пере- дачи 8. Угол поворота стола определяется с помощью фотоэлектри- Рис. 5.13. Кинематическая схема прибора ИГ-114 ческих датчиков с дисками 3, 5. На точность работы этого привода основное влияние оказывает погрешность винтовой пары. Для ком- пенсации этой погрешности, а также погрешностей зубчатой пере- дачи 4, радиуса стола (рычага /?) и погрешности деления диска 5 предусмотрен коррекционный кулачок 11. Коррекционный кулачок, совершая вращательное и поступательное движения от зубчатой пары 13 и винтовой пары 12, качает опирающуюся на него линейку 10. В результате ходовая гайка 7, скользя по полированной линейке 10 (выполненной из стекла), поворачивается вокруг винта 6 и полу- чает дополнительное коррекционное перемещение. Профилировка кулачка осуществляется по суммарной кинематической погрешности привода прибора, измеренной для каждого деления диска 5. Компенсация с помощью следящих устройств. Механические коррекционные устройства обычно позволяют снизить погрешность винтовой пары до десятых доЛей микрона (в лучшем случае) и пред- назначены, как правило, для компенсации ее технологических по- грешностей. Когда требуется более высокая точность коррекции и компенсация эксплуатационных погрешностей, применяют коррек- ционные устройства, основанные на. использовании измерительных следящих систем. Они содержат измерительное устройство, устрой^ ство управления и исполнительный привод. Измерительное устройство предназначено для точного измерения перемещения каретки (гайки) винтового механизма с помощью дат*.
чиков линейного перемещения, основанных на дифракцйоииых решетках, интерферометре Майкельсона, индуктивных преобразо- вателях. Устройство управления вырабатывает сигнал рассогласо- вания либо командный сигнал с программного устройства, управля- ющий исполнительным приводом, в качестве которого обычно ис- Рис. 5.14. Схема коррекционного устройства винтовой передачи магнитострикционным приводом пользуют магнитострикционный, пьезокерамический приводы или приводы с шаговым и другими электродвигателями. На рис. 5.14 изображена схема винтовой передачи с коррекцией ее погрешности с помощью следящего устройства, содержащего маг- нитострикционный привод [44]. Отсчетный поворот винта 1 пере- Рис. 5.15. Схема управления приводом машины для наре- зания дифракционных решеток дается на смещение стола 4 через гайку 2 и сердечник 3 магнито- стрикционного привода. Сердечник выполнен из- ферромагнитного материала, размеры которого изменяются при колебании магнитного поля катушки. Катушка привода работает от измерительного и упра- вляющего устройств либо программного устройства, в которое зане- сены данные о технологических погрешностях и влияющих факторах. По такой .схеме может быть построено коррекционное устройство с пьезокерамическим приводом. Отличие его состоит в том, что пере- мещение гайки передается на стол через столбик из пьезокерамики, изменяющий свои размеры при подаче на него управляющего напря- жения.
Другим способом уменьшения влияния .погрешности винтовой пары на точность функционирования устройства является перевод пары из отсчетной в неотсчетную, т. е. использование ее только в ка- честве привода [36]. Такое решение применяется, например, в ма- шинах для нарезания дифракционных решеток (рис. 5.15). Отсчет- ное перемещение стола 8, несущего заготовку, измеряется с помощью интерференционного датчика линейных перемещений 1—7 [35], содержащего подвижную, установленную на столе, прозрачную ди- фракционную решетку 6 и неподвижную отражающую дифракцион- ную решетку 5. При смещении подвижной решетки относительно не- подвижной возникающие муаровые интерференционные полосы, имеющие определенную цену деления, подсчитываются счетчиком 13, который управляет тормозом и электромагнитной муфтой 11, разъ- единяющей двигатель 12 с зубчатым (червячным) 10 и винтовым 8, 9 приводами. Машины подобного типа, имеющие плавный привод, что обеспечивается рациональным конструированием их. привода, ис- пользованием таких материалов как стекло, фторопласт, бакаут, доводкой кинематических пар, и соответствующие условия эксплуа- тации, позволяют достигать точности до десятых долей микрона. 5.3. КОМПЕНСАЦИЯ ПОГРЕШНОСТЕЙ РЫЧАЖНЫХ МЕХАНИЗМОВ Рычажные механизмы благодаря своей конструктивной простоте, технологичности, надежности и компактности используются во мно- гих оптических приборах. С их помощью производится передача и преобразование угловых и линейных движений как в измерительных функциональных устройствах приборов (например, в оптиметрах, спектральных приборах, дальномерах), так и в устройствах управ- ления (фокусирующие устройства микроскопов, устройства наведе- ния теодолитов). В подавляющем большинстве это плоские однопле- чие, выполненные по синусной или тангенсной схеме, либо двупле- чие рычаги. Из многозвенников наибольшее применейие находит параллелограмм. Одним из достоинств рычажного механизма яв- ляется относительная простота компенсации его основных погреш- ностей: теоретической и погрешностей длин плеч рычагов. Компенсация теоретических погрешностей. Теоретические по- грешности возникают из-за допущений, принимаемых в законе функ- ционирования и в конструкции рычажного механизма. Допущения в закону функционирования возникают при замене точной функции преобразования приближенной. В одноплечих рычажных механиз- мах это происходит, например, при замене синусной уг или тангенс- ной у2 зависимости приближенной линейной функцией уп (рис. 5.16, а, б): у! — arcsin (x/R); у^ = arctg (х/7?); уп v x/R. Возникающие при этом теоретические погрешности равны: Аун = arcsin (x/R) - x/R « (x/R)3/6 = г/76; 1 . Ayar = arctg(x/R) -x/Rk- (x/R)*/3 = -^/3. J. ' (5, 6) Другой разновидностью теоретической погрешности одноплечего рычажцого механизма является конструктивное приближение реаль-
ной конструкции высшей кинематической пары (рис. 5.16, г) к ее идеализированному схемному .представлению (рис. 5.16, в): Аут = У — У»« arctg [(х + г/cos у — r)/Z?] — arctg (x/R)« w г [(1 — cos z/)/cos y\/R r«/2/(27?). В двуплечем рычажном механизме теоретические погрешности возникают, если одно из плеч выполнено по синусной, а другое — по тангенсной схемам (рис. 5.16, д), в то время, как принята линей- ная зависимость между х и у, либо углы между плечами рычага и направлениями поступательного движения не равны друг другу, 188
т. е. начальное положение одного из них не равно начальному поло- жению другого (рис. 5.16, е}. В первом случае (рис. 5.16, д) теоретическая погрешность равна А«/т = R2 sin arctg (x/R\) — R2xlRi « — R2x3/(2Ri) m —y3/(2R2)-, во втором случае (рис. 5.16, е) — Д«/т = R2 {sin {(arcsin (x/Rj) + + у] — sin у} — R2x/Rt « — (yy2/2 + /у/2/?г + y\2/12R2). Появление теоретических погрешностей обычно возникает не- преднамеренно, и их можно избежать при правильном конструиро- вании рычажных механизмов: тангенсного — по схеме рис. 5.16, б (а не 5.16, г); оба плеча рычагов (рис. 5.16, д) выполнять либр по синусной либо по тангенсной схемам; Рис. 5.17. Компенсация теоретической погрешности рычага наклоном площадки толкателя избегать возникновения неравенства начальных положений плеч рычагов (рис. 5.16, е). Компенсация теоретических погрешностей всех видов произво- дится обычно изменением длины плеча рычага (Д7?). Так как это изменение приводит к мультипликативному изменению погрешности положения ведомого звена (Дудд, а теоретические погрешности имеют степенной характер, то полная компенсация возможна только в одном из положений ведомого звена (см. рис. 3.5). Для других по- ложений рабочего диапазона недокомпенсация (Дупк) определяется разностью между теоретической погрешностью и погрешностью от' изменения длины плеча рычага: — byv — Ьу&я- Знак и чис- ленное значение Д7? зависят от знака теоретической погрешности и выбранного положения точки ее полной компенсации. iB связи с тем, что теоретическая погрешность является,неслучай- ной, коррекцию рычага можно было бы осуществлять изменением его размера на чертеже, однако на практике обычно применяют регули- ровку, что обусловлено необходимостью'компенсации технологиче- ских погрешностей изготовления рычажного механизма. Другой способ компенсации теоретической погрешности может быть основан на установке площадки толкателя (либо площадкй тан- генсного рычага) под углом Дук к начальному положению рычага (рис. 5Л7, а); В этом случае при смещении толкателя на величину я
рычаг повернется на угол, который будет отличаться от расчетного на величину Дг/д Vk « —tg Дук (/?—Я cos y)/R « — г/2 Д ук/2. (5.17) Подобрав соответствующее значение Дук, можно произвести более полную компенсацию теоретической погрешности по сравнению с компенсацией изменением длины рычага, так как Д«/д?к является степенной функцией (рис. 5.17, б). Значение Дук здесь также будет определяться в зависимости от выбранного положения точки полной компенсации. Значение недокомпенсации, исходя из выражений (5.16) ' и (5.17) будет иметь вид △«/нк « yW ~ У2 ДУк/2. Найдем, например, значение Дук1 и Дуикmav для случая, когда Аунк = 0 в точке «/шах: Д?К1 : (2^/тах/6)/Утах === Утах/3. Значение уъ соответствующее максимальной недокомпенсации, при этом найдем, приравняв нулю производную от разности функций, определяющих Д#нк: (Д«/нк)' — Зу1/6—2«/Дук/2 = О, отсюда yi = = 2 Дук1 = 2z/niax/3. Максимальное значение недокомпенсации (в точке yj составит ДУнк max = (2Утах/3)3/6 (2f/max/3)2 = 4z/max/(27 • 6) = At/r/6,75. Таким образ.ом, мы видим, что теоретическая погрешность умень- шилась в 6,75 раза, что в 2,5 раза лучше результата, полученного при компенсации изменением длины плеча рычага при тех же усло- виях компенсации. В случав; когда осуществляется такая коррекция, что &ут в не- которой точке (у2) начального диапазона движения равна по вели- чине, но обратна по знаку Дунк в конце диапазона движения (опти- мальная коррекция при одном допуске на весь диапазон движения), значение Дук2 найдем из следующего равенства: , i/3/б - f/| д?кз/2 = _ (^з ах/б - 02тах Дук2/2). Преобразовав выражение, получим Д?к2 + <ах) = + ^ах)/3- Учитывая, что г/2 = 2 Дук2, получаем Утах - 3Утах Д?к2 ~ 4 Д?к2 = °' Для нахождения корней этого кубического уравнения применим решение Кордано • [16]. Подставив г/шах = х + Дук2, получим . ^-ЗхД^2-6Ду32 = 0. Действительный корень этого уравнения: X — А + В, где А = = у/ЗД^2 + /8Дук?; В = р^ЗДу^ — у' 8Дук2. т. е- Л = Дук3 х 190
X 4~ 3 — т/в) «2,36Дук2. Следовательно, утах = = 3,36 Дук2; Д?к2 = Утах/3,36. Тогда у2 = 0,59ушах. Величина недо- компенсации в точках у2 и ушах: &Унк шах л? ± Дут/9,4. Таким образом, теоретическая погрешность уменьшилась почти в 10 раз. Если в конструкции толкателя заложить возможность регули- ровки Дук, то можно компенсировать также погрешность длины плеча рычага. При использовании данного метода компенсации следует иметь в виду, что данный метод можно применить для рычажных механиз- мов, работающих несимметрично относительно начального положе- ния рычага (так как при изменении знака у должен изменяться знак △Тк). - • • ' . Компенсация теоретической погрешности одноплечего рычаж- ного механизма возможна также разворотом толкателя (на угол Д<рк, см., рис. 5’. 17, а), причем площадка может быть как перпендикулярна к толкателю, так и развернута относительно направления движения. В том случае,, когда площадка параллельна рычагу в его началь- ном положении, значение недокомпенсации определяют из выраже- ния ДУнк = arcsin (x/R) — х (1 — cos Д <рк)/Я « у8/6 — у Д<р|/2. Полученный результат равнозначен коррекции изменением длины рычага. Для случая, когда площадка перпендикулярна толкателю, зна- чения недокомпенсации определим из выражения ' ДУнк = arcsin (x/R) — х (1 — cos Дфк)/7? — tg Д<рв (R — R cos y)/R = = У®/6 — у Дф1/2 — у2 Д<рк/2. Полученный результат равнозначен компенсации теоретической по- грешности двумя рассмотренными выше способами. В том случае, когда функциональное устройство прибора содер- жит более одного рычажного механизма, их теоретическая погреш- ность может быть минимизирована‘с помощью полиномов Чебышева. Методика точностного синтеза таких механизмов, нашедших широкое применение в рычажно-зубчатых индикаторах и измерительных го- ловках, изложена подробно в работах [15, 38]. Компенсация технологических погрешностей. Наибольшее влия- ние на точность работы рычажного механизма оказывает погрешность изготовления размеров плеч рычага. Значительные ошибки вносят также погрешности формы контактирующих поверхностей высших кинематических пар, а также зазоры в шарнирах. Рассмотрим влияние указанных погрешностей на работу некото- рых рычажных механизмов. В параллелограммном механизме ’ (рис. 5.18, а), используемом в некоторых оптических приборах, угол поворота кривошипа (х) должен быть передан на поворот (у) коро-
МЫсЛас передаточным,отношением, равным ёдйнйце: у — х. Так как размеры всех его звеньев: кривошипа (/J, коромысла (/3), шатуна (/2) и стойки (/4) имеют погрешности изготовления, то возникают по- грешности углового положения ведомого звена и передачи угла (по- грешность перемещения ведомого звена). Методом преобразования механизма или с помощью плана малых перемещений (см. прило- жение 1) найдем зависимости между указанными первичными по- грешностями и погрешностью углового положения ведомого звена: Дуд/, = tgy Mills, Дуд/2 = Д/2/(/3созу); куиц = —tg У М3/13, ' ку иц = — Д/4/(/3 cos у). Погрешности перемещения (Др), соответственно будут равны: Рис. 5.18. Влияние погрешностей звеньев параллелограммного механизма на точность передачи движения Дрд /, = (tg y-t — tg z/н) Д/1/4; Дрд/. = Д4/14 (cos ут — cos ун)]; Дрд/з = — (tg ут — tg ун) kl3/l3; криц — — klj{l3 (cos ут — cos i/„)], где ут, ун — текущее и начальное положения ведомого звена’ соот- ветственно. На рис. 5.18, б изображены'графики погрешностей перемещения шатуна из-за погрешностей коромысла и кривошипа при повороте последнего в обе стороны от нулевого начального положения (хи = — Уп = 0) на некоторый угол. Как видно из формул и графиков, погрешность передачи углового движения зависит от размера звена /3 и выбора начального положения параллелограммного механизма. Чем меньше параметр 13 и больше начальное значение ун (см. системы координат Др, у и Др', у'), тем сильнее сказывается влияние погреш- ностей изготовления звеньев механизма на точность его функциони- рования. Компенсацию погрешностей длин рычагов производят обычно ре- гулировкой размера одного из звеньев, параллелограмма. Однако такая регулировка не может обеспечить полной компенсации суммар- ной ошибки из-за различия функциональных зависимостей между не- линейной суммарной погрешностью, представляющей собой резуль- тат алгебраического суммирования частичных погрешностей, нося- щих тангенсный и косинусный характер, и коррекционным воздей- 192
Ствием (&рк), которое в зависимости от выбранного звена имеет ха- рактер лишь одной из этих функций. Фактически недокомпенсации определяется разностью упомянутых" функций (заштрихованный участок На рисунке). Следовательно, в том случае, когда требуется более точная ком- пенсация, необходим второй компенсатор, корректирующий размер другого звена. Практическая регулировка размера звена может быть осуществлена с помощью двойного эксцентрика в одном из шарниров (например, в шарнире кривошипа для регулировки размера /4 стойки) и разъемной конструкции, регулируемой с помощью резьбового со- единения, одного из соответствующих звеньев (например, криво- шипу). Корректировка погрешности изготовления длины плеча синус- ного рычага в одно- и двуплечем рычажных механизмах осущест- вляется обычно с помощью разъем- ной конструкции (например, рычага столика спектрального прибора, изо-' браженного на рис. 4.15) разворотом эксцентрической сферической опоры рычага, либо деформацией. Дефор- мация может быть необратимой (как, например, при подгибке рычага в фотодальномере «Блик» либо упругой (как при регулировке плеча рычага механизма тонкой фокусировки ми- кроскопа типа «Винкель»). На рис. 5.19 изображен двуплечий ры- чаг, в котором упругой деформацией части- конструкции регулируется одно из плеч (/?) и угол между рычагами. Корректировка плеча рычага тангенсного механизма обычно про- изводится изменением расстояния между шарниром и направляю- щими толкателя путем смешения шарнира в эксцентриковое оправе либо по направляющим. • Погрешности формы (A/i) опорных поверхностей высших кинема- тических пар (рычага и толкателя) вследствие пересопряжения точки пятна контакта в процессе работы рычажного механизма приводят к появлению частичной ошибки, равной для одноплечего механизма, выполненного по синусной или тангенсной схемам АуДЙ « АЛ/Д, а для двуплечего механизма (рис. 5.16, д, е) — А#ДЛ1 « ^y&.ht & &hz, где A/ii и АА2 — погрешности формы высших кинема- тических пар на входе -и выходе механизма соответственно. Зазор в шарнире рычага приводит к погрешности передачи угло- вого движения и эффекту мертвого хода, возникающему в момент реверсирования движения и приводящему, кроме погрешности функ- ционирования, к ограничению чувствительности и неудобствам упра- вления механизмом. ' ‘ Рассмотрим влияние зазора на погрешности рычажного меха- низма на примере механизма фокусировки, схема которого изобра- Рис. 5; 19. Регулируемый двуплечий рычаг
жена на рис. 5.20, а. Здесь поворот х винтового механизма передается через двуплечий рычаг на смещение у ползуна: у —nphxl^H), где п — число заходов'; р — шаг резьбы винтового механизма; h,. Н — малое и большое плечи рычажного механизма. Для определения смещения цапфы рычага в шарнире А следует найти направление суммарной силы Р2, приложенной к цапфе. Зная направление и численное значение силы, замыкающей ползун на рычаг (Р), определяем направление и численное значение (через отношение h/H) реакции R со стороны винта на рычаг. В результате находим направление и численное значение суммарной силы Р2, Рис. 5.20. Схема механизма фокусировки действующей на цапфу (массой рычага пренебрегаем). Под действием этой силы цапфа смещается лз центра подшипника (Оп') по направле- нию Р2 на величину ДЗдс — &С/2 (рис. 5.20, б). Реакция со стороны подшипника RA уравновешивает силу Р2. Смещение центра цапфы из расчетного положения (Оп) в (Оц) приводит к появлению погреш- ности'положения Дг/дС и изменении? длин плеч рычага b.HAC, ^hAC'- Дг/дс = созанДС/2; ДНдС = созанДС/2; Д/гдс = 81пан ДС/2. Само по себе это смещение неопасно, так как результат его дей- ствия устраняется в процессе согласования шкал при сборке (если такое согласование необходимо), а изменения длин плечхрычагов взаимно компенсируют свое влияние: Ay^h — &y^^ysinavAC/(2h) — х/созанДС/(2Д) = 0. Однако в процессе функционирования механизма при повороте ры- чага Изменяется начальное направление (ая) суммарной силы на не- которое текущее (ат), которое зависит от текущего угла, поворота ры- чага. Статическое равновесие установится в другом положении, точка контакта (и центр, цапфы) сместится в положенйе Ах (см. рис. 5.20, б)."
Возникает погрешность перемещения ползуна, равная разности оши- бок положения, егб в текущем и начальном положениях меха- низма - А/>дс= Аг/дСт —Az/4Cb = —(cosaT--cosaB)AC/2. Рассмотренный случай, не учитывает влияния сил трения в под- шипнике цапфы. На самом же деле при вращении цапфы на нее дей- ствует сила трения FTp, направление которой зависит от направле- ния вращения цапфы. Под действием этой силы цапфа смещается на- встречу движению до нового положения статического равновесия, определяемого углом трения р. Таким образом^ в реальных условиях функционирования точка контакта уже в начальном положении ры- чага находится либо в точке А', либо в Л" (в зависимости от того, по часовой или против часовой стрелки,вращалась цапфа при регули- ровке начального положения), а центр цапфы — в точке Од, либо — Од и наоборот. Смещение центра цапфы, найдем из выражения ОцОц а? р AC a f АС, где f — коэффициент трения скольжения пары цапфа — подпятник. По осям U и V центр.цапфы смещается на следующие величины: AU^C, f— [cos (a -f- р) — cos (а — р)] АС/2 aj sin р sin а AC a f sin а АС; АУдс. f f cos а АС. Из-за нестабильности сил трения, погрешностей форм подшипника и пяты при этом возникает эффект-мертвого хода несоответствие движений на входе и выходе рычажного механизма при реверсирова- нии движения. Особенно сильно заборы влияют на точность работы одноплечих рычажных механизмов, где смещения в шарнире приводят к некомпенсируемому изменению плеча рычага, сдвигу элементов (шкал, пластинок, зеркал), закрепленных на оси рычага и т. п. Для уменьшения влияния зазора в шарнире на -качество работы рычажного механизма применяют различные конструктивные реше- ния, либо компенсацию зазора.- Например, подвешивают рычаг на крестообразном пружинном шарйире [37], выполняют опоры на ре- гулируемый центрах или призмах либо шарикоподшипниках. При использовании шарикоподшипников следует учесть, что радиальное биение Ар колец подшипника прямо передается на смещение ползуна: Аг/др = ДР- В том случае, когда применяют цилиндрический подшип- ник скольжения, зазор компенсируют селекцией пар, обжатием (см. рис. 5.29, а) или их притиркой.. Другим способом уменьшения влия- ния зазора, практически устраняющим эффект мертвого хода при реверсе, является выполнение выборки на поверхности цапфы или подшипника в направлении действия реактивных сил (см. рис. 5.20,6), Таким образом, создается опора цапфы на две линии (площадки), разнесенные на угол, больший двойного угла трения, что создает условие устойчивого статического равновесия. Аналогичное решение применяется в рычажных механизмах наводящих устройств некото- рых геодезических приборов [11], ' */,7* 19$
5.4. КОМПЕНСАЦИЯ ПОГРЕШНОСТЕЙ НАПРАВЛЯЮЩИХ Направляющие поступательного и вращательного движения обес- печивают заданное движение, одних деталей (или сборочных единиц) относительно других. Как правило, направляющие обеспечивают одну (реже две) степень свободы подвижной детали относительно не- подвижной, остальные степени свободы в их соединении должны быть отняты. Качество отнятий лишних- степеней свободы, характеризуемое деформациями и смещениями подвижной детали по нефункциональ- ным направлениям, определяет такие показатели качества направ- ляющих, как их точность, плавность работы (характеризуемую ко- лебаниями сил и моментов при движении) и надежность. Рис. 5.21. Направляющие ползуна винтового окулярного микрометра Основными погрешностями направляющих, влияющими на их точность и другие характеристики, являются.погрешности формы и расположения поверхностей и зазоры в соединении с подвижной деталью. Из влияющих факторов — силы трения и колебания темпе- ратуры. ' X Рассмотрим действие этих погрешностей. На рис. 5.21 изобра- жена подвижная сетка (ползун)./ винтового окулярного микроме- тра, перемещаемая в направляющих типа «ласточкин хвост» винтом 2 и пружиной 3 вдоль оси Y до совмещения биштриха, либо центра перекрестия, с изображением, объекта. Под действием, равнодействующей .сил Р (силы, замыкающей пружины), R (реакции винта) и сил трения ползун, находящийся в состоянии неустойчивого статического равновесия, может сме- ститься вдоль осей X, Z или развернуться вокруг осей X, Y, Z в пре- делах зазора на следующие величины: ДХдс = ДС/sin а; ДХДЙ = Д/l/sin а; Д2дс — ДС/cos а; Д7д/г = Д/г/cos а; ' Дф2дс = AC/(sinaBz); Дфгдл== AA/(sinaBz); . . Дфхдс = AC/(cosaBx); Дфхдл = Aft/(cosaBx); Дф/ дс = ДС/(соз а By); Дфу д/, = Д/г/(соз # By),
где AC — зазор в соединении ползуна и направляющих; Ай — по- грешность формы соответствующих поверхностей направляющих; а — угол наклона поверхностей, ограничивающих соответствую- щие смещения и повороты; Bz, Вх, BY — базы между элементами поверхностей, ограничивающих повороты полэуна вокруг осей Z, X и Y соответственно. Не все смещения и повороты могут привести к смещению рабочего элемента сетки (биштриха или перекрестия) вдоль оси /либо его смещению относительно рабочего элемента изображения вдоль этой же оси. Некоторые смещения и повороты значительно влияют на погрешность функционирования, другие оказывают слабое влияние. Например, смещение сетки вдоль оси X не приводит к погрешности функционирования окулярного микрометра в случае, когда элемент изображения (например, штрих шкалы) параллелен этой оси: Аг/дхд.с>д/г = 0. В этом случае, когда элемент изображения имеет наклон (у) к оси X (например, изображение профиля резьбы), то возможна погрешность Ai/дх дс> дл = Ахдс, дл tg у. Смещение сетки вдоль оси Z не приводит прямо к погрешности Ai/дг, однако оно может быть опасным из-за возможной расфокусиров- ки марок сетки и возникшего параллакса Ар — : АрДг д;,,дс = = Г/ ДгДЛ) дс/250, где t — смещение глаза оператора. Поворот сеткй вокруг оси Z вызывает погрешность функциони- рования второго порядка малости при наводке по перекрестию и пер- вого порядка — при наводке по биштриху из-за нарушения, прин- ципа Аббе: Ард<рг дс„дл А А<р2 дс> ДЙ/2; Ауд<₽2 дс> дл ~ Нх А<рг дс, дл, где' L — расстояние от мгновенного центра поворота до центра пере- крестия сетки; Нх — поперечный вылет биштриха относительно мгновенного центра поворота сетки. Поворот сетки относительно оси X также приводит к погрешности первого порядка малости только при наличии вылета Hz: А#дфх дс, Дй Д<Рх дс. Разворот ползуна относительно оси Y, возникающей при его движении из-за наличия ДС и Ай под действием соответствующих сил и моментов может быть опасным вследствие возможной расфоку- сировки и параллакса марок сетки &Р = АгдФг дс_ дл ~ Lx^y &h’ где Lx — проекция на ось X расстояния от мгновенного центра по- ворота до соответствующей марки. В том случае, когда направляющие для прямолинейного движе- ния состоят из двух и более деталей или имеют две и более поверх- ности, обрабатываемые не с одной установки (как например, широко применяемые цилиндрические и призматические направляющие), кроме рассмотренных .выше погрешностей, влияние на точность функционирования оказывает также погрешность расподожения их поверхностей. 7 Латыев С. М. 197
Z На рис. 5.22 изображены Цилиндрические наиравлякЯЦие 1, 3 ползуна 2. Направляющая / образует в соединении с ползуном пару IV класса (две пары II класса), а направляющая 3 — пару I класса. Цилиндры 1 и 3 не могут быть выставлены относительно друг друга абсолютно 'Точно. В частности, непараллельность цилиндров друг другу в плоскости, параллельной плоскости YOZ,, приводит к раз- вороту сетки относительно оси Y и смещению ее рабочего элемента (точки О) вдоль осей X и Z. Предположим, что цилиндр 1 лежит в плоскости, параллельной плоскости YOX, а цилиндр 3 непаралле- лен ему на величину Ау. Тогда смещения точки О вдоль осей X и Z при перемещении ползуна на диа- пазон у будут равны: Ахд? = уН Ьу/Ву, Д?Дд = yL &y/BY. Если цилиндр 1 непараллелен плоскости YOX на величину Дфх (либо цилиндры 1 и 3 параллельны между собой, но не параллельны этой плоскости), то при переме- щении ползуна происходит допол- нительное смещение точки О от- носительно оси Z: \г^х=у\у х. Погрешность перемещения точ- ки О вдоль рабочего направления из-за этой погрешности (второго порядка малости) будет равна А«/Дч>х = у Дф5с/2. В направляющих поступатель- ного движения с трением качения подвижной деталью обычно устра- няется. В связи с этим основными погрешностями являются погреш- ности формы и расположения поверхностей направляющих, формы шаров, роликов, радиальное биение шарикоподшипников.’ На рис. 5.23 представлена схема направляющих поперечной каретки микроскопа УЙМ-23, в которую входят направляющие 1, 4, 9, ка- ретка 2, коренные шарикоподшипники 3, 5, 8, 10, 11, обеспечиваю,- щие перемещение каретки вдоль оси Y и отнимающие все остальные степени свободы, поджимные подшипники 6, 7, установленные на подпружиненных рычагах и служащие для замыкания подшипников 3,10 на направляющие 4, 9. Основными первичными погрешностями, приводящими к смещению рабочей точки О каретки, являются сле- дующие: погрешности формы верхних поверхностей (Л) направляющих 1, 4, 9 (&hA) и боковых поверхностей (Б) направляющих 4, 9 (Ah£); непараллельность поверхностей А друг другу (Дуох) и горизон- тальной плоскости XOY (Д?х); непараллельность поверхностей Б друг другу (Ayoz) и вертикаль- ной плоскости OYZ (Ayz); радиальное биение коренных шарикоподшипников (Др); к Рис. 5.22. Влияние погрешностей рас- положения цилиндрических направля- ющих на положение рабочей точки зазор между направляющими и
- йёпараллёльйость проекций осей вращения подшипников 5, 8, 11 на плоскость YOX (непараллельность плоскостей вращения под- шипников направлению движения каретки, т. е. плоскости YOZ)* Погрешности формы ДйА и Д/г5 направляющих приводят к раз- вороту каретки относительно соответствующих осей и смещению точки О. Например, погрешность формы поверхности А направляю- щей 1 вызывает смещение точки О вдоль осей X и Z: а = Н ^hA/BY-, Д^дл а = £i &кл1Ву • Погрешность формы поверхности Б направляю- щей 4 вызывает разворот каретки относительно оси Z и смещение точки вдоль оси Y и.Х: Д^длд =7 Ahs]Bz, &УЫгБ == £ БНБ/Ву О Непараллельность- по- верхностей А друг другу приводит к развороту пол- зуна относительно осей Y и X (см. пример с цйлинд- -рическими направляющи-! ми). Непараллельность. поверхностей А плоскос- ти XOY приводит к тому, что при перемещении пол- зуна вдоль рабочего на- правления на величину у точка О будет смещаться ' _ „ вдоль оси Z на величину ретки измерительного микроскопа УИМ-23 △гд?х = у Дух. Непараллельность поверхностей Б друг другу приводит к раз- вороту каретки относительно оси Z, а непараллельность поверхно- стей вертикальной плоскости на величину Дуг — к смещению рабо- чей точки вдоль оси X: = у Дух- Радиальное биение коренных подшипников действует аналогично погрешности формы направляющих, т. е. приводит к развороту ка- ретки при ее движении относительно осей X, Y и Z и соответствую- щему смещению рабочей точки вдоль этих осей. Например, ради- альное биение подшипника 11 вызывает смещение точки О вдоль осей X и Z: • - - — Н Др /В у; Д^др = Ь^&р/Ву.
Непараллельность плоскостей вращений пбдШипйиков 5, 8, 11 направлению движения каретки приводит к возникновению трения скольжения между наружными кольцами шарикоподшипников и на- правляющими., Сила трения скольжения имеет поперечную состав- ляющую, которая способствует отклонению каретки из плоскости YOZ. При изменении направления движения знак силы и направле- ние отклонения меняются. Смещение каретки вдоль оси X фактиче- ски равно изменению контактной деформации подшипников 3, 10 и поверхностей Б направляющих 4, 9 из-за действия поперечной силы и может» быть подсчитано по формулам Герца. Точность работы направляющих вращательного движения опре- деляют зазором в соединении подшипника и цапфы, погрешностью форм и расположения поверхностей, погрешностью формы шаров и убиения вращающихся колец шарикоподшипников. Для определения влияния зазора в направляющих вращательного движения вначале находят смещение цапфы в подшипнике под действием приложенных сил, а затем погрешности функционирования устройства от этих смещений. Рассмотрим в качестве примера зубчатую передачу с ве- дущим 1 и ведомым 2 колесами, смонтированными на цилиндриче- ских подшипниках скольжения (рис. 5.24, а, б). Построим силы реакций в подшипниках цолес при вращении ведущего колеса по часовой стрелке и определим соответствующие им смещения (рис. 5.24, а). Для упрощения задачи силы тяжести колес, силы трения в зубчатом зацеплении и инерционные силы не рассматриваем. Вращающий момент на ведущем колесе (Мвр) урав- новешивается реактивным моментом, образованным парой сил и T?i,2. Момент сопротивления движению на ведомом колесе (Мс) урав- новешивается реактивным моментом, образованным силами и Под действием реакций и /?2 В’подшипниках цапфы колес сме- стятся на величины: Д31 = OiO'i = ДС1/2; Д32 — О2О2 = где ДСХ, ДС2 — зазоры в опорах. При вращении колес в подшипниках возникают силы трения Бг, и F2, смещающие точки контакта на угол трения р. В результате, центры цапф смещаются в положения 01 и 02 для ведущего и ведомого колес соответственно. Погрешности положения, обусловленные сме- щениями в зазорах подшипников из-за внешних сил ц сил трения, для ведущего и ведомого колес будут равны: Д«/дсх = — ASI cos (а~+ P)/rz = — ДСХ cos (а + р)/(2г2); Дг/дс, = — Д32 cos (а — р)/г2 = — ДС2 cos (а — р)/(2г2). При одностороннем вращении ведущего колеса вследствие по- стоянства первичных погрешностей и угла зацепления погрешности функционирования передачи (кинематическая погрешность и погреш- 200
ность воспроизводимости) могут возникнуть только из-за измене- ния сил трения (изменения угла р1; 2): ‘ — ДСХ [cos (а + р1т) — cos (а + р1в)]/(2г2); ДрДр2 = ДС2 [cos (а — р2т)— cos(a — р2н)]/(2г2), где Р1,2т. Р1,2н — значения углов трения в текущем и начальном положениях ведущего и ведомого колес соответственно.
При реверсировании'движения ведущего колеса вращающий момент меняет знак’, зацепление происходит по другим профилям, вследствие чего меняется направление реакций в подшипниках (рис. 5.24, б). Цапфы колес займут положения Оз и О4. Погрешности положения колес будут равны: Дуде, = Л5з cos (а + р)/г2 = AC; cos (а + р)/(2г2); Ауде, = AS4 cos (а — р)/г2 = ДС2 cos (а — р)/(2г2). Рис. 5.25. Регулировка направляющих горизонтальной оси теодолита: а — призматических; б — цилиндриче- ских _ Следовательно, при реверсировании движения возникает мертвый. ход, приводящий к появлению погрешности воспроизводимости из* за зазоров в подшипниках ведущего и ведомого колес: Дуде, == Дуде, - Дуде, == — АС1 cos (а + р)/г2; Аудс, — Ауде, — Ауде, =» — АС2 cos (а — р)/г2. В тех случаях, когда момент сопротивления ведомого колеса не меняет знак при реверсировании движения (например, при сило- вом замыкании ведомого колеса на ведущее и однопрофильном зацеп- лении колес), действие зазоров на погрешность функционирования передачи будет несколько иным. Влияние погрешностей расположения и формы подшипников вра- щательного движения рассмотрим на. примере призматической на- правляющей (лагеры) горизонтальной оси вращения теодолита (рис. 5.25, а). Погрешность расположения вершины призмы по вы- соте (ДЯ), погрешность угла призмы (Да) и погрешность диаметра цаифы (Д4) приводят к наклону горизонтальной оси (Ду) и к.погреш* 202 .
ностям первого порядка малости при измерении горизонтальных углов (ф) и второго порядка — при измерении вертикальных углов теодолитом [32«]: Дфд7 « Ду tg i; Д{дт « Ду2 tg i, где i — угол места. Наклон горизонтальной оси равен'отношению превышения цен- тра одной из цапф над другой (находящейся на перпендикуляре к вертикальной оси теодолита) к расстоянию между лагерами (L): Ду == \U!L. Превышение Д U связано с перечисленными первичными погрешностями следующими зависимостями: Д^н = Д/7; kUba. = d cos (а/2)/(2 (1 — cos а)]; b.U^d = Дс//[2 sin (а/2)]. Все эти погрешности приводят к постоянному отклонению горизон- тальной оси. Местная погрешность (шероховатость) цапфы S/i и ее. овальность Д/i приводят к более опасным переменным отклонениям центра цапфы в вертикальной и горизонтальной плоскостях при ее повороте, мак- симальные значения которых можно оценить из следующих прибли- женных выражений [8]: Д^тахбл — cos (a/2)/sin а=6/г/[2 sin (a/2) ]; AV„T ль = б/i sin (a/2)/sin a = 6/1/[2 cos (a/2) ]; #Д£/шахДЙ = ДЛ cos (a/2)/sin a = Д/г/[2 sin (a/2) ]; ДУшлул^ = Д/г sin (a/2)/sin a = Д/г/[2 cos (a/2)]. Если вращательное движение осуществляется в шарикоподшип- никах, то основными первичными погрешностями являются осевое и радиальное биения его колец. Рассмотрим их влияние на точность работы углоизмерительной проекционной головки прибора для изме- рения мертвого хода редукторов (см. рис. 4.29). Принцип работы этого прибора основан на измерении угла поворота вала с помощью жестко соединенного с ним лимба, отсчеты с которого проектируются на матовый экран. Осевое биение (Др0) подвижных внутренних ко- лец шарикоподшипников, на которых смонтирован вал, может при- вести к расфокусировке изображения из-за перемещения рабочего участка лимба вдоль оси на Др0> а радиальное биение (Др) — к рас- фокусировке и погрешности измерения угла. Так как радиальное биение — переменная нерегулярная величина, направление которой изменяется в пределах от 0 до 360°, то осевое перемещение проек- тируемого участка лимба (Д/о) и погрешность отсчета (Дг/) определим из выражений: Д/одр = ± ЯлДр/В; Дг/др = ± Др//?л. где 7?л — радиус рабочего участка лимба; В — расстояние между подшипниками. • Осевое перемещение лимба должно быть меньше или равнЪ геометрической глубине резкости (в'нашем примере 2,-5 мкм), откуда допустимое значение Др при ~ 40 мм и В = 100 мм будет равно
Др = Д/о bfiBlRa = 2,5-100/40 = 6,25 мкм. С другой стороны, если допустимая погрешность измерения угла Ду = 20", то предель- ный Допуск (без учета других первичных погрешностей) на радиаль- ное биение будет равен Др = AyR„ = 20"-40-5- 10-в = 4 мкм. Очевидно, что если не будет производиться компенсация Дудр,. то именно эта величина, будет определять выбор класса подшип- ника. Технологические методы компенсации погрешностей направляю- щих основаны на дополнительной обработке направляющих. Это доводочные операции, выполняемые, как правило, на доводочных станках либо слесарной обработкой. Для направляющих поступа- тельного движения применяют шабрение поверхностей, притирку с помощью ручных или станочных притиров или сопрягаемых дета- лей. Направляющие вращательного движения доводят с помощью специальных притиров или сопрягаемой детали при вращении дово- димой детали в патроне токарного или притирочного станка, либо при ее ручном повороте в центрах. Основной целью доводки является уменьшение погрешности формы и расположения поверхностей на- правляющих, влияющих на точность, плавность и надежность их' работы. Следует заметить, что доводка является основным способом компенсации погрешностей,формы деталей. Рассмотрим некоторые примеры применения технологической компенсации погрешностей направляющих. На рис. 5.23 была приве- дена схема направляющих поперечной каретки микроскопа УИМ-23. Погрешность измерения на микроскопе в значительной степени определяется непрямолинейностью хода его кареток. По техническим требованиям отклонение от прямолинейности движения для каретки поперечного перемещения допускается на длине 100 мм не более 3 мкм в вертикальной и 1 мкм — в горизонтальной плоскостях. Эти требования накладывают жесткие допуски на первичные погрешно- сти направляющих. Так, допуски на погрешность форм поверхностей А и Б направляющйх составляют: на неплоскостность при параметре шероховатости Rz = 0,08 (контролируется пробным стеклом, N = = 1) — 0,25 мкм; на непараллельность поверхностей А друг другу и плоскости горизонта — не более 10*; на непараллельность поверх- ностей Б — 20"; на радиальное биение наружного (сферического) кольца подшипника — не более 1 мкм; на непараллельность осей вращения подшипников 5, 8, /7—80". Некоторые допуски выдерживаются только с помощью примене- ния доводок. Так, поверхность D (платики чугунного основания под направляющие) шабрят до четырех-пяти точек на 1 см2, контролируя плоскостность по краске с помощью контрольных плит или линеек и добиваясь параллельности платиков, а затем поверхностей направ- ляющих. Контроль осуществляют с помощью уровня. Плоскост- ность рабочих поверхностей направляющих (выполненных из стали ХВГ) доводят с использованием чугунных притиров и пасты ГОИ, осуществляя контроль с помощью, пробного стекла. Такой же кон- троль осуществляют при креплении направляющих к платикам для выявления недопустимых объемных деформаций, 204
Доводкой и селекцией обеспечивают допуск на радиальное бие- ние шарикоподшипников. Для этого доводят с. помощью грибковых притиров биение беговых дорожек наружного и внутреннего колец подшипников, вращающихся в специальном патроне, до десятых долей микрометра. Между двумя вращаемыми плоскими планшай- бами, одна из которых имеет торическую канавку, доводят до деся- тых долей микрометра погрешность форм шаров, которые затем ка- либруют через 0,1—0,2 мкм и комплектуют. Биение собранных шари- коподшипников подвергают контролю. С помощью шабрения (до четырех-пяти точек на 1 см2) доводят также направляющие типа «ласточкин хвост», колонки и кронштейна визирной системы, установленные на поперечной каретке. Контроль производят по плавности и прямолинейности пере- мещения кронштейна. Проверку прямолинейнос- ти производят в двух взаимно перпендикуляр- ных направлениях с по- мощью индикатора или измерительной головки с ценой деления 1 мкм и ре- гулируемых контрольных линеек длиной 200 мм и отклонением от плоскост- Рис. 5.26. Направляющие,для поступательного движения * . ности не более 0,25 мкм. . Перемещая кронштейн с индикатором по направляющим, регули- ровкой линейки добиваются одинаковых показаний индикатора в крайних положениях. Отклонение показаний индикатора в про- межуточных положениях характеризует непрямолинейность на- правляющих, которая устраняется их подшабровкой. Допустимое отклонение от прямолинейности на длине 120 мм в зависимости от величины перемещения составляет от 1,5 до 18 мкм. Другим примером применения доводочных операций является дополнительная притирка на планшайбе с наждаком поверхностей направляющих типа «ласточкин хвост», грубой и точной фокуси- ровки предметного стола (или тубуса) биологических микроскопов. При ее выполнении получают более плавный ход ползуна в направ- ляющих при минимальном зазоре. В случае применения цилиндрических направляющих для пря- молинейного движения (рис. 5.26, а) (например, как в компараторах ИЗА-2, ИЗА-7) весьма сложно добиться высокой прямолинейности образующих цилиндров для всех сечений. Лучшие результаты дости- гаются при использовании плоских прямоугольных направляющих (рис. 5.26, б), как, например, в горизонтальных и вертикальных дли- номерах ИЗВ-4 и ИЗГ-4. Направляющие мржно доверти притиркой до плоскостности в одно-два кольца под пробное стекло. Доводка направляющих вращательного движения с трейием скольжения заключается обычно в доводке шеек цапф с помощью ч Г 205 .'
притиров. Совместная плотная притирка цапфы и Цилиндрического подшипника хотя и применяется, но не является лучшим средством против влияния зазора, для уменьшения которого ее обычно исполь- зуют. Контроль погрешности формы цапфы при доводке производят на кругломерах или с помощью ультраоптиметров и интерфероме- тров. Наиболее удобно производить контроль с помощью кругломе- ров, позволяющих получить графическую картину погрешностей формы доводимой цапфы. Конструктивные методы компенсации погрешностей направляю- щих применяют в первую очередь для компенсации погрешностей расположения поверхностей направляющих и зазоров в соединениях. В некоторых случаях, когда компенсируется не сама первичная по- грешность, а ее влияние, удается компенсировать результат действия и погрешности формы направляющих.. Рис. 5.27. Призматические направляющие: а- — с трением сколь- жения; б — с трением качения Рассмотрим некоторые примеры конструктивных компенсаторов. В призматических направляющих (рис. 5.27, а, б), как с трением скольжения, так и с трением качения регулировка зазора между направляющими 1, 3 и ползуном 2 осуществляется обычно подвиж- кой одной из направляющих (3) в пределах зазоров под крепежные винты. При такой регулировке добиваются минимального зазора, обеспечивающего плавный ход на Всем_ диапазоне перемещения пол- зуна. Главным условием, обеспечивающим эффективность компенса- ции, является отсутствие пирамидальности боковых поверхностей ползуна в вертикальной и горизонтальной плоскостях и ‘Погрешно- стей форм рабочих поверхностей. Для устранения этих дефектов направляющие с трением скольжения перед регулировкой зазора притирают совместно с ползуном, а ползун и направляющие с тре- нием качения — с помощью притиров. Перечисленные способы регулировки могут быть жесткими (т. е. С окончательной фиксацией подвижной направляющей), регулируе- мыми с помощью винтов, клиньев, эксцентриков, и эластичными — с замыканием подвижного ползуна с помощью пружин. Конструктивную компенсацию погрешностей расположения ра- бочих поверхностей рассмотрим на примере направляющих попереч- ной каретки микроскопа УИМ-23 (см. рис. 5.23). Поверхности Б направляющих 4, 9 должны быть параллельны друг другу и плоско- сти YOZ (т. е. перпендикулярны к движению продольной каретки), параллельными должны быть и плоскости вращения шарикопод- шипников 5, 8, lh
На рис, 5.28 приведена часть конструкции этих направляющих каретки Микроскопа УИМ-23. Поверхность Б направляющей 3 уста- навливается параллельно требуемому, направлению путем разворота одного из. ее концов на платике (поверхность D) с помощью регули- ровочных винтов 4 (другой конец направляющей имеет шаровую опору 6, вокруг которой производится разворот). Контроль параллельности направляющих производится с по- мощью зрительной трубки и коллиматора, имеющих прямоугольный корпус, прижимаемых к контролируемым поверхностям. Для кон- троля параллельности поверх- йости Б плоскости YOZ (т. е. перпендикулярности к направ- лению движения продольной каретки) используют дополни- тельно точную пентапризму и цилиндр с полированной пло- щадкой, который вставляется в отверстие под подшипник на- правляющей продольной карет- ки. Зрительная трубка' прижи- мается при этом к поверхности Б, а коллиматор—к полиро- ванной площадке цилиндра. Для замыкания коренных 4 5 подшипников кареток на на- правляющие они посажены на эксцентрические валики. Отпус- кают стопор 12, и разворотом валика .8. добиваются нужного соединения подшипника с на- - правляющей. Такая регулиров- ка обычно производится в том случае, когда прямолинейность хода каретки в горизонтальной плоскости более 1 мкм (кон- Рис. 4 5.28. Конструкция направляющих поперечной каретки микроскопа УИМ-23: / — каретка; 2, 9 — коренные подшипники; 3 — направляющая; 4 — регулировочный винт; 3 —’ основание; 3 — шаровая опора;-7 — . гайка; 8 — эксцентриковая ось; 10 — клиновая шайба; // — гайка; 12 — стопор тролируется по лекальной ли- х нейкё, устанавливаемой на каретку, трубкой оптиметра, закреплен- ной в тубусе визирной системы). При этом разворачивают эксцентрики переднего и заднего подшипников 3 и 10 (см. рис. 5.23) в разные сто- роны, чем обеспечивают параллельность плоскостей вращения опор- ных подшипников 5, 8, 11 плоскостям Б (этим устраняется отклоне- ние каретки из плоскости YOZ). Плоскости опорных подшипников каретки предварительно вы- ставляют параллельно друг другу разворотом клиновидных шайб (подобных шайбе 10), помещенных между фланцем оси и торцом внутреннего кольца. Требуемый наклон происходит после затяги- вания гайки 7 вследствие небольшого зазора между осью и внутрен- ним кольцом подшипника. Контроль осуществляют с помощью уровня, устанавливаемого поочередно на торцы крдец подшипников.
В конструкциях подшипников вращательного движения, изоб- раженных на рис. 5.25, заложена возможность компенсации наклона оси цапф. Работая стяжным и упорным винтами призматической ла- геры (см. рис. 5.25, а), цапфу можно опускать или поднимать, уста- навливая горизонтальную ось вращения перпендикулярно к верти- кальной оси. Разворачивая цилиндрический подшипник вокруг цен- тра (Он) наружного пояска dn (см. рис. 5.25, б), смещают по верти- кали центр (Ов)-внутреннего отверстия dB, выполненного эксцентри- чески по отношению к наружному. Для устранения смещения цапфы при реверсе в подшипнике делают неглубокую выборку под углом а = 90°, разнося опору на две линии (площад- ки), касательные к ко- торым много • больше угла трения. На рис. 5.29, а, б Рис. 5.29. Регулировка зазора в подшипниках б) изображены подшипни- ки с регулировкой зазо- ров с помощью разрез- ной цанги (рис. 5.29, а) и регулируемой центро- вой опоры (рис. 5.29, б). В таких конструкциях для «эластичной» ком- пенсации зазоров цангу и центровую опору мож- но замкнуть пружи- нами. Компенсацию осевых зазоров направляющих вращательного движения осуществляют замыканием валов на шаро* вую опору (см. рис. 5.9). При регулировке зазоров в направляю- щих поступательного и вращательного движения с жестким замыка- нием следует обратить внимание на то, что оставшийся зазор должен быть достаточным для удержания смазки (не менее 1 мкм) и обес- печивать отсутствие температурного заклинивания. Температурное заклинивание опасно в том случае, когда направляющие и ползун (вал) изготовлены из разных материалов. Зазор (ДС) изменяется, как известно, при изменении температуры • (Д/) по следующему со- отношению: ДС « ДС0 + («1 — а2) L Д/, где ДС0 — зазор при t = 20° С; аь аа — коэффициенты линейного расширения сопрягаемых деталей; L — размер сопрягаемых деталей в посадке. Для уменьшения опасности температурного заклинивания при малых зазорах и больших перепадах температуры сопрягаемые де- тали изготавливают из одного материала, но одну из деталей (ползун, вал) подвергают закалке, „ • ’
. Рассмотрим компенсации не самих погрешностей направляющих, а их влияния на точность работы функционального устройства. Ком- пенсация подобного рода осуществляется применением систем, пере- мещаемых по направляющим и нечувствительных к их погрешностям, например, разработанные сотрудниками ЛОМО универсальная дли- ноизмерительная. машина с лазерным интерферометром, нечувстви- тельная к непрямолинейности перемещения измерительной каретки по направляющим станины, и серия датчиков линейных перемещений (на основе линейного датчика ГОИ {35]), которыми оснащен ряд серийных приборов. Рис. 5.30. Схема компенсации влияния погрешностей направляющих в фото- электрическом датчике линейных пере- мещений Рассмотрим работу одного из таких датчиков, схема которого была •приведена на рис. 1.13. Штрихи прозрачной дифракционной решетки имеют наклон по отношению к штрихам непрозрачной решетки (рис. 5.30, а), поэтому при смещении ее возникает смещение муаро- вой полосы дифрагированных лучей. В упрощенном виде можно представить период муаровой полосы как Т = d/q>, где d — постоян- ная решетки; ср — угол наклона штрихов. В результате с четырех фотоприемников (два из них нужны для определения направления движения, два других — для подавления постоянной составляющей сигнала), сдвинутых относительно друг друга на 1/4 периода, сни- маются электрические сигналы вида: /7фп1 == U с 4- t/y sin (2лс//7') = Uс 4~ Uv sin со/; UФП2 //с 4~ Uv sin (со/ — л/2); //фпз == //с 4- Uv sin (со/ — л); Uфп4 Uс 4- Uу sin (со/ — Зл/2),
где Uc, Uv — постойнйаЯ й переменная составляющие сигнала соответственно. Вычитая из первого сигнала третий, а из второго — четвертый, подавляют постоянную составляющую и удваивают по- лезную переменную: . (/Фп 1-з = 2(7^ sin ®/; иФп 2_4 = 2UV cos at. Сдвиг фаз этих сигналов относительно друг друга на л/2.позволяет выявить направление движения, а преобразование синусоидального сигнала в прямоугольный и подсчет прямоугольных импульсов с по- мощью реверсивного счетчика — определить величину перемещения. При перемещении подвижной решетки вдоль оси Y, из-за погреш- ностей направляющих возможны ее повороты относительно осей Y, Z, X. Повороты вокруг осей Y и Z для такого датчика неопасны [35]. Поворот относительно оси X (до 10" — для кареток продольного и поперечного перемещения микроскопа УЙМ-29) приводит к погреш- ности линейного датчика в связи с изменением угла ф, приводящего к изменению шага муаровой полбсы и сдвигу фазы (Ду) сигналов с приемников: - '. ' ДТдф = ТДфх/<р; Ду = /2лДфх/</, где' I расстояние между приемниками. Для компенсации этой погрешности было предложено наносить на прозрачную решетку два участка наклонных штрихов с равными, но противоположно направленными углами наклона (см. рис. 1.13 и 5.30, б). Теперь при перемещении подвижной решетки возникают две системы муаровых полос, движущиеся навстречу друг другу. Если происходит наклон решетки, то для одного участка ф увеличивается на Дфх, а для другого — уменьшается на Дфх (т. е. увеличиваются или уменьшаются периоды соответствующих муаровых полос). Рас- положив два фотоприёмника напротив одного, а два других — на- против второго участка прозрачной решетки (см. рис. 5.30, б), с уче- том сдвига фазы получим Uфп1 = Ус + Uy sin (®/ -|- ДудФх); //Фп2 = Uс + Uv sin (at — л/2 + ДуДфх); £/Фпз = а + Uy sin (га/ — л — ДуЛфх); ^фп< = ^с.+ Uv sin (®/ — Зл/2 — ДуДфх). Вычитая из первого сигнала третий, а из второго — четвертый, с учетом малости Ду, получаем //ФП1_3 = 2//у sin at cos Ду « 2U sin co/; иФп2-4 = 2UV cos.®/ cos Ду « 2U cos at. Схема подключения приемников представлена на рис. 5.30, в. Таким образом, мы видим, что отсчетная система малочувствительна к по- грешностям направляющих, которые приводят к наклону каретки. Полной компенсации здесь не происходит также из-за того, что при наклоне решетки несколько изменяется амплитуда сигнала.
Фотоэлектрический датчик линейных перемещений удобен также в юстировке. Расстояние между фотоприемниками (и центрами линз 4), равное Т/4, выдерживается технологически (см. рис. 1.13). Не требует строгой выдержки расстояние между дифракционными решетками (0,5—1 мм), работающими в параллельном ходе лучей. Параллельность дифракционных решеток выдерживается техноло- гически либо устанавливается с помощью автоколлиматора. Полу- чение необходимого сдвига фаз в л/2 между сигналами фотоприем- ников 1—2 и 3—4 осуществляется разворотом прозрачной дифрак- ционной решетки вокруг оси X, сдвиг фаз в л между фотоприемни- ками 1—3 и 2—4 — перемещением всего блока вдоль оси Z. В датчике предусмотрена также компенсация постоянной состав- ляющей ' погрешности шага дифракционной решетки.. Для этого отражающую дифракционную решетку изготавливают с шагом, несколько меньшим требуемого, а затем,' устанавливая ее под не- которым углом к направлению смещения и наклоняя вокруг оси X, добиваются вдоль осй Y шага, равного номинальному шагу. । . 5.5. УСТРОЙСТВА ЮСТИРОВКИ ИСТОЧНИКОВ И ПРИЕМНИКОВ ИЗЛУЧЕНИЯ Погрешности расположения источников и приемников оптиче- ского' излучения приводят к ухудшению показателей точности функционирования ОП, качества изображения, падению отношения сигнал/шум. При проектирований функциональных узлов с прием- никами и источниками излучения обычно предусматривают тот или иной метод компенсации погрешностей их расположения относи- тельно некоторых баз. ' • Наибольшее распространение получили конструктивные методы компенсации»*(применяют также селекцию щизредка — дополнитель- ную обработку корпусов), обеспечивающие центрировку и фоку- сировку рриемников и источников излучения. Рассмотрим некоторые конструкции креплений светодиодов, позволяющие производить юстировку индикатриссы их излучения, фотодиодов и матриц ПЗС с юстировкой положения их чувствительного слоя х. На рис. 5.31 изображено устройство для крепления светодиода 4, позволяющее производить юстировку направления индикатриссы излучения. Юстировка производится поворотами светодиода в двух взаимно перпендикулярных направлениях е помощью двухосного шарнира. Поворот вокруг оси X осуществляется' разворотом ци- линдро-конической оси 2 при ослабленной гайке 6 в цилиндрическом валике 1. Разворот вокруг оси Y осуществляется покачиванием цилиндрического валика / в корпусе 9 при ослаблении винтов 10. Светодиод крепится на оси 2 с помощью разрезной*втулки 3 и под- ключается через разъем 8. Детали 5—7, '11, 12 выполняют защитную и вспомогательные роли. Фокусировка светодиода производится небольшими осевыми .подвижками его относительно втулки 3. 1Рис. 5.31—5.34 предоставлены Г. В. Бреенковым.
На рис. 5.32 показало устройство для крепления сёетодиода 1 с обеспечением его фокусировки и регулировки направления инди- катриссы излучения. Фокусировка производится перемещением де- тали 4 по резьбе корпуса 5. Регулировка направления излучения осуществляется разворотами шаровой детали 3 при ослабленном резьбовом кольце 8. Для обеспечения возможности поворотов де- тали 3 в ней предусмотрено резьбовое отверстие, в которое при юсти- Л-А Рис. 5.31. Устройство для крепления светодиода с юстировкой направления излучения ровке завинчивают втулку (внутри втулки пропущены провода для питания светодиода), с помощью которой производят покачивание детали. Крепление светодиода здесь также осуществляется с помощью разрезного кольца 2 и винта 6 (в предыдущей конструкции винт не показан). Недостатком данной конструкции является то, что при осуществлении фокусировки из-за вращения детали 4 возможно появление децентрировки излучающей площадки светодиода. Устройство для крепления светодиода, изображенное на рис. 5.33, позволяет производить фокусировку сетки 1, освещаемой светодио- дом 12, плавными регулировками с помощью резьбовых колец 2 и 5. От проворота сетка удерживается винтом с цилиндрической го- 212
ломкой 4. Сферическая деталь 8 может покачиваться вокруг трех осей непосредственно от руки либо с помощью шпильки, вводимой в отверстие платы 9. На рис. 5.34 изображено устройство для крепления светодиода 1 с обеспечением его центрировки, фокусировки и регулировки на- правления излучения. Центрировка осуществляется с помощью эксцентрических кольца 10 и оправы 4. Фокусировка производится подрезкой прокладного кольца 6. Регулировка направления излуче- ния выполняется аналогично рассмотренной выше схеме. Питание на светодиод подается через разъем 13. Юстировка обычных фотодиодов заключается в их фокусировке и центрировке, что достигается, например, с помощью эксцентри- ческих (см. рис. 5.34) и резьбовых (см. рис. 5.33) колец. Узлы крепления позиционно- чувствительных фотодиодов и ма- триц ПЗС должны обеспечивать их центрировку, фокусировку, разво- рот вокруг оси и при необходи- мости установку чувствительной площадки перпендикулярно к па- - дающему осевому пучку лучей. В том случае, когда фокусировка и (или) центрировка изображения осуществляется оптическими пре- образователями сигнала (объекти- вами; зеркалами), в конструкции крепления фотодиодов и ПЗС следует предусмотреть ВОЗМОЖ- - рис> 5.32. Устройство для крепления ность их разворотов вокруг оси светодиода с фокусировкой и регули- падающего пучка. ровкой направления излучения На рис. 5.35, а изображено устройство для крепления фотоприемника 8 со следующими юсти- ровочными подвижками. Смещение вдоль ори Z и разворот прием- ника вокруг нее осуществляется от руки при ослаблений винта 7 хомутового зажима детали 6. Центрировка производится двумя па- рами винтов 5, расположенными под углом 90° друг к другу. -На- клоны , чувствительной площадки относительно осей X, Y выпол- няются - наклонами детали 9 с помощью коаксиальных сферических шайб 1, 2, 4, одна из которых (например, 4) в процессе юстировки подрезается. Для того чтобы производить независимые наклоны от- носительно осей X, Y, три винта 3 располагаются под- углом 9(£ друг к другу. В некоторых случаях для обеспечения осевых смещений при- 'емника -и возможности его наклонов замыкание детали 9 осуще- ствляется на три регулируемые резьбовые втулки 10 (рис. 5.35, б). Для повышения надежности юстировки винты 3 и 5 заливают лаком или клеем. В некоторых случаях клеем фиксируют положение всех подвижных- деталей. Йели требуется высокая чувствительность
Рис. 5.33. Устройство для крепления све- ' тодиода с плавной фокусировкой Рис. 5.34. Устройство для крепления -светодиода с его цетрировкой, фокуси- ровкой и регулировкой направления излучения Рис. 5.35. Устройство для юсти- руемого крепления фотоприем- ника
разворота приемника вокруг оси падающего пучка и его фокусировки, - то это можно сделать с помощью конструкции, изображенной на рис. 5.36. Зд^сь фокусировка приемника 3 осуществляется осевой подвижкой детали 5. резьбовыми кольцами 2, 4. Разворот при не- затянутых окончательно рингах 1 производится с помощью съемного эксцентрика 7.. Центрировка выполняется винтами 6. ' Рис. 5.36. Устройство для крепления фотоприемника с плавными. фоку- сировкой, центрировкой и разворотом чувствительной площадки Весьма часто- угловое положение фотоприемника юстируется с помощью упругой деформации частей корпусной детали, либо с помощью упругих шарниров. При таком способе регулировки иногда появляются отклонения, возникающие из-за гистерезисных яв- лений и упругого последействия в материалах деформируемых деталей 5.6. КОМПЕНСАЦИОННЫЕ МУФТЫ * Муфты предназначены для соединения-концов двух валов для передачи крутящих моментов и углового движения с одного вала на другой. С их помощью происходит подсоединение электродвигателей к приводам подвижных функциональных устройств прибора (скани- рующим системам, системам фокусировок, наведения), соединение угловых фотоэлектрических, индуктивных, потенциометрических и других датчиков перемещения с вращающимися элементами прибора и' т. д. Основным требованием, предъявляемым к муфтам, применя- ющимся в ОП, является точность передачи углового движения. . Различают три погрешности передачи углового движения: кине- матическую — разность между углами поворота ведомого и ведущего валов; мертвый ход (холостое) — не передаваемое на вал движение ведущего вала, возникающее в. момент реверсирования движения; неравномерность углового движения — колебание угловой скорости ведомого вала при постоянной угловой скорости ведущего вала. Все эти погрешности в существенной степени зависят от погрешно- стей расположения геометрических осей Соединяемых валов (их несоосноОги, перекосов и осевого смещения).
Для компенсаций влияния йоГрёШностей расположения соеди- няемых валов применяют так называемые компенсационные муфты. Наибольшее распространение из них получили поводковые муфты, муфта Ольдгема, карданная, мембранная и сильфонная муфты. Поводковые и карданная муфты не'позволяют получить высокой точности передачи углового движения из-за кинематической погреш- ности и неравномерности движения при несоосности соединяемых валов. Муфта Ольдгема свободна от этих погрешностей, но обладает большим мертвым ходом. Обычные мембранные муфты хорошо ком- Рис. 5.37. Упругая муфта пенсируют перекос валов и недостаточно их несоосность. Наиболее точными из перечисленных муфт при небольших перекосах и несоос- ностях валов являются сильфонные муфты. Однако для их изготов- ления требуется материал, обладающий высокими упругими свой- ствами с отсутствием гистерезиса и упругого последействия. Упругая муфта, разработанная под руководством В. В. Кула- гина, изображена на рис. 5.37. Она содержит две полумуфты 1, 2, крепящиеся накладками к концам соединяемых валов, два диска 7, между которыми закреплена крестообразная мембрана 6, четыре угольника 4 и накладки 5, 8, с помощью которых происходит соеди- нение мембраны и четырех плоских пружин 3 с полумуфтами. Такое решение позволило создать компактную муфту, компенсирующую смещение и перекосы соединяемых валов. Перекосы и осевые смеще- ния подумуфт компенсируются мембраной, а несоосность валов — плоскими пружинами. При небольших крутящих моментах (менее 1 Н-см), децентрировках соединяемых валбв не более 0,1 мм и пере-
косах в 10—15* кинёматйкескай погрешность муфты не превосходит нескольких угловых секунд. На рис. 5.38 приведена конструкция крестообразной муфты, разработанной в ЛИТМО. Ее достоинством является способность компенсации несоосности, перекосов и осевых смещений соединяемых валов, простота конструкции и достаточно высокая точность пере- дачи движения. Муфта содержит всего три относительно сложных детали: полумуфты 1, 3 и крестообразный вкладыш 2. На концах полумуфтй имеются призматические канавки, направленные пер- пендикулярно к оси. На концах вкладыша призматические канавки направлены параллельно оси. Соединение полумуфт с вкладышем осуществляется посредством четырех шариков 5, установленных Рис. 5.38. Крестообразная призматическая муфта в соответствующие призматические канавки, и силового замыкания с помощью пружин 4, что позволяет удерживать шарики в требуемом положении и осуществлять осевое'соединение полумуфт без допол- нительных деталей. • Точность передачи двйжения определяется в основном погреш- ностями формы шариков и поверхностей призматических канавок полумуфт и вкладыша. Погрешность угла поворота ведомой полу- муфты равна Д<р = ДА/ [2 sin (а/2) ], где а — угол призматической канавки; Д/г — погрешность формы. ' Как видно, из формулы, погрешность муфты будет уменьшаться с увеличением угла а. При плоских поверхностях полумуфт и вкла- дыша (а = 180°). погрешность будет минимальна, проще осуще- ствляется доводка сопрягаемых поверхностей (однако . увеличи- вается число вспомогательных деталей). Именно такое решение заложено в конструкции муфты, изображенной на рис. 5.39, точность работы4 которой примерно в 1,5 раза выше, чем у призматической крестовой муфты а = 90°. Для получения секундной точности передачи движения сопрягаемые поверхности и шарики таких муфт должны иметь погрешность не более долей микрометра. 8 Латыев С. М. 217
На рис. 5.39 представлено устройство крестообразной Шариковой муфты, разработанной под руководством Е. Р. Маломеда. Она состоит из двух Полумуфт 3, 6, рабЬчие поверхности которых дове- дены под пробное стекло, крестообразного вкладыша 7 с доведен- ными рабочими поверхностями также под пробное стекло, шаров 5 (с погрешностью формы не более 0,1—0,2 мкм), плоских пружин 2, 4, осуществляющих крепление шаров, пружин.в для силового за- мыкания полумуфт и свинчиваемых деталей 1, 9 для осевого соеди- нения полумуфт. Муфта позволяет компенсировать достаточно боль- шие перекосы и смещения соединяемых валов. Однако и здесь для достижения передачи углового движения с секундной точностью необходима предварительная регулировка соединяемых валов, обес- печивающая их несоосность не более 0,1 мм и перекосы не более 10—15'. • • Контроль погрешности расположения соединяемых валов' про- изводят обычно с помощью лекальных линеек, индикаторов, оптико- механических устройств. Лекальными линейками (либо плоско- параллельными пластинами^ контролируют несоосность валиков, имеющих одинаковый диаметр. Контроль производится на каче- ственном уровне (на просвет) путем приложения линейки к поверх- ности одного из валиков и наблюдением за погрешностью располо- жения другого валика относительно поверхности линейки. Индикатор позволяет производить измерение погрешностей рас- положения поверхностей валов, имеющих различный диаметр. Для этого на один из валов, принимаемый за базовый, устанавливают струбцину, несущую индикатор, измерительный стержень которого замыкается на поверхность другого валика. Если производить вра-
щение Струбцины вокруг базового валика (или вместе с вГаликом), то при Наличии несоосности соединяемых валов стрелка индикатора будет отклоняться на удвоенное значение эксцентриситета. При сме- щении струбцины вдоль базового валика (производится в двух взаимно перпендикулярных положениях струбцины) по изменению показателей индикатора судят о перекосе второго валика относи-- тельного базового. * - Оптико-механические устройства, как правило, основаны на автоколлимационном измерении погрешностей расположения пр- верхностей. Одним из возможных способов, обеспечивающих требуемую точ- ность выставки соединяемых валов, в случае ограниченного про- странства является использование приспособления, основанного на принципе емкостного датчика .(рис. 5.40). Особенность этого устрой- ства состоит в том, что контролируемая поверхность одного из вали- ков используется для создания емкости, а другая является базой для приспособления. Например, при контроле несоосности (см. рис. 5.40, а) на валик 4 устанавливают приспособление 3 с электро- дом 2. Электрод подключается к клемме измерителя емкости (напри- мер, типа Е8-3) с низким потенциалом НП, а валик 1 подключается к клемме с высоким потенциалом ВП. При вращении валика 4 изме- ряют изменение емкости ДС между электродом 2 й цилиндрической поверхностью валика 1. Изменение емкости происходит в связи с изменением воздушного зазора между ними, ч-to обусловлено не- соосностью ДЗ. Искомая несоосность валиков определяется по фор- муле: ДЗ == /</(2ДС), где К — постоянная, зависящая от геометри-
ческих размеров электрода и габаритных размеров контролируемой' поверхности. При контроле перекоса валиков (см. рис. 5.40, б) приспособление перемещают по поверхности одного из них и изме- ряют изменение емкости, обусловленное перекосом Ау. Искомый перекос определяется по формуле Ay = K/(L АС), где L — переме- щение приспособления. Эксплуатация этого приспособления показала, что им удобно пользоваться непосредственно' при сборке для выставки параллель- ности и соосности валиков,' используя его как индикатор погреш- ности. Устройство этого ’приспособления показано, на рис. 5.40, в. Оно состоит из регулируемого электрода 1, шкива для подсоедине- ния электрода к измерителю емкости 3 и призматической струб- цины 2. Такое устройство может найти применение также для кон- троля погрешностей размеров и расположения поверхностей изде- лий, на которые нежелательно воздействовать чувствительным эле- ментом. 5.7. ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ РЕГУЛИРОВОЧНЫХ УСТРОЙСТВ Чувствительность регулировочных устройств характеризуется минимальным перемещением его рабочего (исполнительного) эле- мента 6pmIn. = Л2РAzKmln, где AZftmin — минимальное перемеще- ние органа управления; Azp — передаточная функция (коэффи- циент), связывающая Az и 6р. Эта характеристика является одной из важнейших для регулировочно-юстировочных и настроечно- выверочных компенсаторов, заложенных в конструкцию прибора. От нее зависит степень возможности и трудоемкость выполнения коррекции. Так как регулировочные устройства воздействуют на конструк- тивные параметры прибора, то значение S/?mln рассчитывают исходя из требуемой точности компенсации (см. п. 2.2): бртШ = Д^/нк тахЛ4#> 8рmin — At/HK tnln/ где Aq — передаточная функция (коэффициент), связывающая регу- лируемый конструктивный параметр прибора и показатель качества; А^нктах, 'А^нктш — максимальное и минимальное значения не- докомпенсации влияния погрешностей соответственно. Минимальное перемещение органа управления зависит от спо- соба управления. При автоматизированном способе управления пере- мещение органа управления осуществляется с помощью электро- двигателей, пьезо- и магнитострикционных двигателей. Значение AzKmln в этом случае известно достаточно строго и определяется характеристиками двигателя (например, угловым шагом шагового двигателя, ’пороговым значением изменения размера пьезокерамики и т. д,). При ручном способе управления перемещения органа управ- ления рукоятками и маховиками либо с помощью отверток, шпилек, ключей осуществляется оператором. Здесь значение AzKmiI) зависит от большого количества факторов: вида контроля за совершаемым 220
движением, момента сил сопротивления движению, размера и форм органа управления, индивидуальных особенностей оператора. Так как управление осуществляется в режиме корректировки, т. е. последовательными приближениями рабочего элемента в тре- буемое положение при трогании органа управления с места (либо при его медленном движении) с последующей мгновенной остановкой, то значение AzK mln определяется главным образом запаздыванием реакции руки оператора на сигнал об остановке движения. Это запаздывание объясняется наличием латентного периода сенсомо- торной реакции оператора х, характеризующего его психофизиоло- гические возможности к осуществлению 'малых перемещений. При зрительном контроле за результатом движения латентный период меньше и чувствительность движения выше, чем при слуховом и тактильном контроле. Этим объясняется известный факт существен- ного ухудшения результатов корректировочного движения, выпол- няемого по команде другого оператора либо1 только по кинестати- ческим ощущениям руки (кинестатическая обратная связь дает лучшие результаты только у хорошо тренированных операторов). Роль- усилий, развиваемых рукой при выполнении корректировоч- ного движения, размеров и формы рукояток можно рассмотреть на основании зависимости пороговой чувствительности движения ру- коятки с накаткой в случае зрительного контроля за результатом движения (см. рис. 4.49). При больших моментах сопротивления движению латентный период реакции возрастает и чувствительность снижается. В то же время при одном и том же моменте сопротивле- ния усилия, развиваемые рукой, уменьшаются с увеличением диа- метра рукоятки, благодаря чему чувствительность повышается. • Однако при очень малых моментах сопротивления оператор не чувствует их и латентный период снова возрастает, процесс движе- ния становится менее «тонким» и устойчивым, что объясняется также треммороМ1 пальцев, под действием которого происходит самопро- извольное движение рукоятки. Оптимальный момент сопротивления движению составляет 1—2,5 Н-см, сила сопротивления 0,5—1 Н, диаметр рукоятки 40—60 mij. -Отрицательное влияние на значение ДгКт1п•.оказывает перепад моментов и усилий на органе управления, возникающий в момент трогания, из-за неравенства коэффициента трения покоя и трения движения в кинематических парах регулировочного устройства, а также из-за неплавности (колебания моментов и сил) его движения. Это приводит к инерционному движению системы рука—орган (ру- коятка) управления. Значение Дгк mln при одинаковых конструктивных характери- стиках регулировочного устройства и условий движения суще- ственно, колеблется у различных операторов (до 2—3 и более раз) 1 Простой сенсомоторной реакцией оператора является реакция, в которой опе- ратор выполняет то или иное движение’ (например, нажимает на кнопку, прекра- щает или начинает перемещение рукоятки) в ответ на заранее известный; но вне- запно появляющийся сигнал с возможно^ для него максимальной скоростью (см. Б. Ф. Ломов. Человек, и техника, М.: Сов. радио, 1966. 464 с).
и зависит от их тренированности. При возрастании тренированности чувствительность движения заметно повышается, а разность значе- ний AzK mln разных операторов уменьшается. Роль тренированности оператора объясняется появлением навыка в осуществлении «тон- ких». движений _и переключении регулятивных функций со зрения на кинестезию (латентный период реакции при зрительном контроле составляет 0,1—0,15 с, а при кинестатическом у тренированного оператора — около 0,05 с). Для расчета чувствительности регулировочных устройств с руч- ным управлением движения в табл. 5.1 приведены ориентировочные значения AzKmin для нетренированного оператора при зрительном контроле за совершаемым движением. В качестве передаточной функции Azp, связывающей Az и 6р, обычно принимают функцию преобразования движения, заложенную в основу регулировочного устройства [181, Аух = ду/дх либо Аху = = дх/ду’,- где х — координата ведущего звена (органа управления); у — координата ведомого звена (рабочего элемента). Данное решение является правильным только, в том случае, когда требуется получить ‘относительно грубое значение брт1п. При малых значениях 6рт1п (т. е. при высоких требованиях^ чувствительности регулировочного устройства) следует учитывать искажения реальной функции пре- образования устройства из-за погрешностей изготовления его де- талей, влияния сил трения, вибраций. В этом случае значение 6pmln определяют с учетом погрешности перемещения его. рабочего эле- мента (Ар): 5Pmln = Арх AzK min -|- Ар. (5.18) Так как значение AzKmin мало, то значение Ар будет определяться при небольшом диапазоне движения не ее мультипликативными, степенными и периодическими (с большим периодом) составля- ющими, а высокочастотными (нерегулярными) составляющими. Сле- довательно, чувствительность движения будет зависеть не от по- грешностей размеров и положения деталей, их эксцентриситетов, перекосов, теоретических погрешностей устройства, а в первую оче- редь от погрешностей формы деталей высших кинематических пар, нерегулярных биений шарикоподшипников, местных погрешностей шага винта в винтовых парах, циклической составляющей кинема- тической погрешностй зубчатых передач, смещениями в зазорах кине- матических пар из-за влияния сил трения и вибраций. . При ручном управлении движением из-за высокой Адаптивности оператора к условиям процесса его выполнения накопленные (регу- лярные) составляющие погрешности перемещения вообще можно не учитывать, принимая во внимание только местные (нерегулярные) погрешности, действие которых часто бывает ослаблено упомянутой адаптацией. В результате при ручном управлении движением фор- мула (5,18) преобразуется к виду 5Дтш — А ух mln "1“ К ^ух Агк mln 4" К △'7м< > (5.19)
Т а б л'и ц'а S. 1 Вид движения Тип органа управления, условия движения . min Зраща- тельное Рукоятка при оптимальном моменте сопротивле- ния (1 Н-см—2,5 Н*см) с опорой кисти руки 2—3' к Рукоятка при отличии момента сопротивления от оптимального с опорой кисти руки 10—15' Рукоятка при оптимальном моменте сопротив- ления без опоры кисти руки ' 20—30' Рукоятка при отличии момента сопротивления от оптимального без опоры кисти руки •30'—1° Отрертка при оптймальном-'йоменте сопротивле- ния с опорой кисти руки 30'—1° Отвертка при отличии момента сопротивления от оптимального без опоры кисти руки , 2-5° Шпилька, ключ при оптимальном моменте сопро- тивления с опорой кисти руки . 1—2° Шпилька, ключ при отличии момента сопротив- ления от оптимального без опоры кисти руки 3—5° Поступа- тельное Рукоятка при оптимальной силе сопротивления (0,5 Н—1,0 Н) с опорой кисти руки 0,02=—0,05 мм Рукоятка при отличии силы сопротивления от оптимальной без опоры кисти руки 0,1—0,2 мм где Дрм — местная (нерегулярная) составляющая погрешности пере- мещения регулировочного устройства; Д<?м — местная первичная погрешность; Aq — dy/dq — коэффициент влияния первичной по- грешности; К — коэффициент, учитывающий уменьшение влияния местных погрешностей регулировочного устройства из-за адаптации оператора к условиям наведения, а также того, что при малых значениях Дзк mln, может не произойти полного срабатывания мест- ной цервичной погрешности; • т — число местных первичных по- грешностей. . - , Значений" коэффициента К зависит главным образом от частоты местных первичных погрешностей, а также от- значений Aq (т. е. скорости измерения Дрм). В настоящее время нет достаточно надежных исследований зна- чений этого коэффициента в зависимости от характеристик местных первичных погрешностей и значений Aq (т. е._ типа и параметров регулировочного устройства и точности его изготовления). Ориен- тировочно можно принять К = 1 в случае, когда период изменения Дрм меньше или равен значению А ух Дгкт1п; К = 0,5 — когда этот
период в два раза больше этого значения; К = 0,3 — когда период больше в три раза и т. д. Рассчитаем чувствительность движения некоторых часто при- меняемых регулировочных устройств. Пример. Регулировочное устройство рсновано на винтовом механизме (пере- мещение объективов по резьбе, наклон зеркал с помощью винтов, сдвиг оправ линз винтами при их центрировке и т. п.). Чувствительность перемещения в этом слу- чае согласно выражению (5.19) будет равна ftp mln = (^ AzK т1п/2л) 4- К А/м, где и, t — число заходов и шаг резьбы соответственно; AzK тщ — минимальный угол поворота винта; А/м — местная погрешность шага винта. При п= 1, t == = 0,5 мм, AzK min = 1®, А/м = 5 мкм ^и К = 0,14-0,5 получаем ftp^mn ъ 2— 4 мкм. Из приведенного выражения и расчета следует, что при обеспечении доста- точно малых поворотов винта либо при малых значениях его рабочего шага (что обе- спечивается, например, с помощью дифференциальных винтов) чувствительность перемещения определяется главным образом местной погрешностью шага. Извест- но, что местная погрешность шага даже прецизионных винтов достигает значений 2-^-3 мкм, поэтому для повышения чувствительности регулировочного устройства с винтовой парой влияние этой погрешности уменьшают путем введения в него дополнительного масштабного преобразователя (например, рычажного). Пример. Рассмотрим еще один пример. Регулировочное устройство основано на винто-рыцажной передаче (см. рис. 1.5). Здесь чувствительность йеремещения рабочего элемента устройства (без учета влияния зазора и погрешности формы в опоре рычага) будет равна ________________________' 5Pmin = nt Дгк пипМ'ЧЗл) + К. Г(г2 Д/МЛ1)2 + (A/h^/ri)2 + ДМ> где rjri — соотношение длин плеч рычага; A/ib A/i2 — погрешности формы (ше- роховатость)' опорных поверхностей рычагов. Так как погрешности A/ii'n АЛ2 довольно легко могут быть доведены (шлифовкой, полировкой и т. п.) до долей мик- рометра, то чувствительность винто-рычажного устройства примерно в rjr2 раз выше винтового. Например, при тех же параметрах винтового механизма, значе- ниях AzK mln и r2/ri = 1/5 6pmin « (0,5 — 1) мкм. Пример. Регулировочное устройство основано на червячной передаче. В этом случае чувствительность поворота червячного колеса 5pmln = (п AzK min/Z) + KfiQ.lr, Где и — число заходов червяка, Z -7- число зубьев червячного колеса, f'iQ — до- пуск на местную кинематическую (циклическую) погрешность червячной передачи, г — радиус делительной'окружности червячного колеса. Указать значение коэффи- циента /С в приведенной формуле весьма затруднительно вследствие того, что /'-0 является комплексной величиной, содержащей гармонические составляющие раз- личных частот. В связи с этим оценка чувствительности движения червячной (и других зубчатых передач) оценивается по составляющим местной кинематической погрешности передачи, обусловленным погрешностью профиля зубьев, приняв значение /С = 0,14-0,3 (зависит от шага местных выступов профиля) 6pmin = = (и Дхк min/Z) + К У(ffz/ry + (frt/r)2, где ffi — допуски на погрешности профилей зуба колеса и витка червяка по нормам плавности соответственно. Для червячной передачи, выполненной по 7-й степени точности и имеющей мо- дуль 0,5; n = U 2=60, при Az^ min = 10z получаем 5pmin = 10/60 + +0,1 - 1O3.K(9/15)2 4-(12/15)2«30". " ' • Щ>и проектировании регулировочных устройств наряду с обес- печением необходимого масштаба преобразования движения от органа управления до рабочего элемента (Аух) требуется сниже- ние местных первичных погрешностей (или их влияния), оказы- вающих доминирующее воздействие на плавность и равномерность . движения. Для регулировочных устройств многократного исполь- зования целесообразно предусматривать регулировку момента со- противления движению для создания \его оптимального значения.
ПРИЛОЖЕНИЕ 1. МЕТОДЫ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПЕРЕДАТОЧНЫХ ФУНКЦИЙ ПЕРВИЧНЫХ ПОГРЕШНОСТЕЙ ч. Для учета влияния первичных погрешностей на те или иные по- казатели качества ОП и расчета компенсаторов необходимо найти передаточные функции, связывающие первичную погрешность с вы- зываемым частичным влиянием. Вывод соответствующих расчетных формул обычно производят аналитическим и графо-аналитическим методами: дифференцированием функции преобразования сигнала (функции, связывающей информативный параметр х входного сигнала или объекта с информативным параметром у выходного сигнала), разложением функции преобразования в ряд; геометрическим мето- дом, преобразованием исходной схемы; построением плана малых перемещений; векторно-матричным методом и,т. д. . Рассмотрим основные методы на примерах нахождения переда- точных функций некоторых первичных погрешностей в устройствах, рассмотренных выше. Метод дифференцирования функции преобразования сигнала основан на том, что функция преобразования поочередно дифферен- цируется по входящим в нее конструктивным параметрам, имеющим первичные погрешности. В устройстве дальномера для измерения параллактического угла х (см. рис. 1.5) угол у связан с углом пово- рота винта и .конструктивными параметрами следующей зависи- мостью: - - У=Т^Х’ (п1> где гх, г2 — длины плеч рычага; к, р — число заходов и шаг резьбы винта соответственно; f — фокусное расстояние сдвигаемой линзы. Дифференцируя это выражение по соответствующим параметрам, имеющим первичные погрешности, получим: Д^ = -^Д/ = -4-Д/; Д^ = -^Дг2 = -^Дг2; f /12л / / *2 д^1 = _2&дГ1 = _^-дГ1. f rf2n ri Метод дифференцирования функции преобразования является наи- более простым, однако его невозможно применять для нахождения передаточных функций погрешностей нулевых параметров (переко- сов, зазоров, погрешностей форм, деформаций, биений), например, для определения влияния зазора в шарнире рычага, погрешностей формы поверхностей и перекоса опорных площадок рычага (см. рис. 1.5). С известным ограничением этот метод применяют и в случае нахождения передаточных функций первичных погрешностей, зна- чения которых носят переменный нерегулярный и смешанный харак- тер. Так, например, передаточная функция погрешности шага винта рассматриваемого устройства ДуДр = Др == -2- най-
денная дифференцированием выражения (П1), правильна только для накопленной погрешности шага винта (обусловленной постоян- ным отклонением шага- резьбы от номинала), а для местной (нере- гулярной) погрешности шага это выражение практически не может быть использовано. Так как погрешность шага винта приводит к погрешности перемещения конца винта Д/Др а; Др, то пере- даточная функция этой погрешности имеет вид . Л«/др = IV(f>i)4-Ap- ’ . Метод дифференцирования нельзя применить в том случае, когда в функции преобразования сигнала отсутствуют конструктив- ные параметры, от погрешностей которых определяются переда- точные функции (например, для параллелограмма механизма, изо- браженного на рис. 5.18, и муфт на рис: 5.37—5.38). Метод разложения функции преобразования в ряд наиболее часто применяют для нахождения теоретических погрешностей устройств, обусловленных заменой точных нелинейных функций преобразования сигнала их приближенным линейным выражением. В схеме автоколлиматора (см. рис. 2.1) точная и приближенная функции преобразования, связывающие угол у поворота зеркала с углом х поворота шкалы, соответственно равны.” - Ут = ~2-arctg х; (П2) . (ПЗ) где к, р — число заходов и шаг резьбы винтового механизма соот- ветственно; f —- фокусное расстояние объектива. Разность между точной функцией и приближенной функцией, положенной в основу работы автоколлиматора, представляет собой теоретическую погрешность и определяется разложением функции в степенной ряд (ограничиваются первыми двумя членами разло- жения): А» — 1 Г КрХ 1 I КРХ \3J_ 1 КрХ — 1 f КРХ \3— -1пЗ а»т ~ 2 L /'2л 3 \f'2n / "Г-' ’ J 4/'л ~ 6 \ f'2n / ~ 3»’ Аналогично были найдены, например, теоретические погрешности механизма тонкой наводки типа Мейера’ (см. п. 3.2), рычажных ме- ханизмов (см. п. 5/3), а также значения недокомпенсации этихчю- грешностей. Геометрический метод основан на геометрическом сопоставлении реального и номинального элементов прибора, отличающихся.друг от друга рассматриваемой первичной погрешностью. Процесс нахо- ждения передаточной функции в этом случае включает в себя гра- фическое построение, выявляющее первичную погрешность, и ана- литическое решение полученной геометрической фигуры. Геометри- ческим методом обычно находят передаточные функции погрешностей нулевых параметров.
На рис. 4.37 изображено двй положения центра деления штридон лимба: номинальное О1г совпадающее с осью вращения, и реаль- ное О2, смещенное на величину эксцентриситета Де шкалы. Разло- жение этого вектора на скалярные составляющие по осям V и U позволяют получить выражение для погрешности отсчета .по лимбу ' А- ' —sin 0 Л ДфДе — Де, где R — рабочий радиус лимба; 0 — направление эксцентриситета. Исходя из геометрического построения реального и номинального положений поверхности пленки кадра диапроектора (см. рис. 4.30), , выводится выражение (4.17), по- ’ ” ложенное в основу устройства подфокусировки кадра. Геометри- ческие построения реальных по- ложений подвижных деталей в кинематических парах вращатель- ного и поступательного движений позволяют определить степень влияния зазоров на точность их работы (см. рис. 5.20, б и 5.24). - Метод преобразования исход- ной схемы устройства применяют в тех случаях, когда невозможно использовать ни метод дифферен- цирования функции преобразования из-за отсутствия в ней констру- ктивных параметров, ни геометрический метод. Суть этого метода заключается в,таком преобразований исходной схемы устройства, которое позволяв! ввести конструктивные параметры в функцию, преобразования. Для преобразованного устройства передаточные функции погрешностей определяют методом дифференцирования, а затем осуществляют переход к исходной схеме. Найдем передаточные функции погрешностей размеров кривошипа (Д/л), шатуна (Д/2), коромысла (Д/3) и стойки (Д/4) параллелограмм- ного механизма (см. рис. 5.18, а). Функция передачи угла поворота (х) кривошипа на поворот (у) коромысла равна единице: у = х; h — 1з> 4 = li- Преобразуем параллелограмм в шарнирный четы- рехзвенник (рис. П1) с конструктивными параметрами /ь /2, 1'з, 1Л, р. Спроектировав замкнутый контур четырехзвенника на ось V, получим выражение sin у' = 1//з (li sin х 4- /2 COS Р — /4)- (П4) Выразив выражение (П4) относительно у' (либо прямо дифферен- цируя его), находим методом дифференцирования функции передачи движения по конструктивным параметрам h, I2, 1'з и h соответству-
ющие формулы для погрешностей углового положения ведомого звена: . • Дг/дг3 = — (-jr -^г) Д/3; Д(/д/4 = ~ ( /зсоз ) Д/4 • Осуществляя обратный переход от четырехзвенника к паралле- ’ лограмму, для которого х = у = у'-, 0 = 0; 12 = 1'2 = Ц и 1\ — Гз = = /3, получим: Д^д^ = -ц tg у ДА; Д^д/з = i3 cos у Д^; х Д#д/3 = j^tg«/A/3; Д//д/;= i3COsy ' Метод плана малых перемещений основан на построении планов скоростей и малых перемещений элементрв анализируемого устрой- ства вследствие тех или иных первичных погрешностей. Рассмотрим порядок на- хождения передаточных функций по- грешностей кривошипа и шатуна рас- смотренного выше параллелограмма (см. рис. П1). Погрешность длины кривошипа (Д/х) приводит к тому, что шарнир В парал- лелограмма переместится в направлении АВ, а шарнир С — по дуге окружности РиС. П2. Планы скоростей и пе- радиуса /3. Построим план скоростей, ремещений позволяющий найти связь между пере- мещениями шарниров В и С параллелограмма (рис. П2, а). Из по- люса Р откладываем вектор скорости VB шарнира В (параллельный направлению АВ) и вектор скорости Vc шарнира С (перпендику- лярный к CD). Концы векторов замыкает вектор относительной скорости VCB (перпендикулярный к ВС). Из треугольника скоростей находим, что Vc = Кв tg у. Далее от плана скоростей переходим к плану малых перемещений. Для этого выбираем такой отрезок времени t, в течение которого шарнир В, двигаясь со скоростью VB, переместится на величину Д/х. Тогда шарнир С за тот же отрезок времени переместится на величину ДЗС = Vct = VB tg yt = tg у Alx. Погрешность углового положения ведомого звена (коромысла) будет: A^/.=-^£- = 7-tgMA. ' - *3 ‘3 Из плана скоростей (рис. ,П2, б) после перехода к плану малых перемещений аналогично находим угловую погрешность положения коромысла из-за погрешности длины шатуна (Д/2): Дг/д/, = ДЗС//3 = 1/(/3 cos у) Векторно-матричный метод получил широкое распространение при решении задач юстировки зеркально-призменных систем и на- хождении передаточных функций погрешностей угломерных прибо-
ров (32}, йапрймер, передаточные фуйкцйй погрешностей пбДВйЖ* ного зеркала (см. п. 4.5) и погрешностей юстировки зеркально- призменных компенсаторов нивелиров с самоустанавливающейся линией визирования (см. п. 4.8). Рассмотрим’ порядок нахождения векторно-матричным методом влияния коллимационной погрешности теодолита — отклонения от перпендикулярности на угол Дк визирной трубы к горизонтальной оси качания на погрешность изме- рения горизонтальных Дф и вер- тикальных >Дг углов. На рис. ПЗ изображена схема теодолита, верти- кальная ось вращения которого со- впадает с о'сью z прямоугольной си- стемы координат х, у, г, горизонталь- ная ось вращения совпадает с осью х, а визирная ось зрительной трубы, которая должна быть перпендикуляр- на к горизонтальной оси качания (совпадать с осью у) и направлена по орту Ло, повернута вокруг оси z на угол Дк й направлена по ор- ту А. Для орта А' можно записать следующее матричное выражение: (cos Дк sin Дк 0\ /0\ / sin Дк\ — sinAk соэДк 0] I 1 | = |cosAkl, (П5) о о 1/ \о/ ' vo / Где SZi — транспонированная матрица поворота орта Ло на угол Дк вокруг оси z; Ао — матрица, соответствующая орту номинального направления визирной оси, совпадающей с осью у. Для орта Лл направления визирной оси зрительной трубы теодолита на точку визирования 7\ справедливо следующее матричное выражение: /0\ Лл = 5,5Дф5?,Л= 1], (П6) \0/ 0 cost —sin i (cos Д<р —sin Дф O' sin Дф __ соэДф 0 0 ’ 0 1. /1 о о \ Sp1 = I 0 cos i' —sin i' J \0 slnt' cosi' J
Ёде — матрица перехода от системы осей месгйостй х, у, г к луЧё- вой системе хл, ул, 2Л, направление оси ул которой совпадает с на- правлением орта ' Лл; Здф — матрица поворота визирной трубы вокруг вертикальной оси теодолита для перевода визирной линии в плоскость начального меридиана; Si- — транспонированная ма- трица поворота визирной трубы вокруг горизонтальной оси качания на. угол I' для визирования на точку ч Последовательным перемножением матриц получаем: (sin Дк cos Дер — sin Аф cos i' cos Д/с - \ cos i (sin Дф sin A/c -J- cos Аф cos i' cos A/c) + sin i sin i' cos A/c j« —sin i (sin Дф sin A/c + cos Дф cos i' cos A/c) + cos i sin i' cos A/c/ (A/c cos Аф — sin Аф cos i' \ Z0\ ~ cost (Д/csin Аф 4-соаДф cos i') -f- sin isini' 1 = 1 11. (П7) —sin i (A/c sin Дф + cos Дф cos Г) -|- cos i sill Г/ - \0/ /Так как значение вертикального угла I', отсчитанного по лимбу горизонтальной оси качания трубы теодолита отличается от истинного значения вертикального угла i на А/ (/' — i + Ai), то, исходя из выражения (П7), с учетом малости угла Дф можно записать Д/с — Дф (cos i cos Ai — sin i sin Ai) « A/c — Дф cos i + - + sin i Дф Ai « A/c — Дф cos i = 0, откуда Дф = Д/c/cos i = A/c sec l. (П8) Для определения погрешности вертикального угла из выражения (П7) запишем —sin i Дф Д/с — sin i (cos i cos Ai — sin t sin Ai) + + cos t (sin i cos Ai + cos i sin Ai) Af " « —sin i Дф A/c+ Ai (sin i2 + cos i2) = 0. Отсюда о учетом формулы (П8) будем иметь .Ai = sin i Дф A/c = tg i Д/с2. (П9) Из выражений (П8) и (П9) следует, что.коллимационная погрешность теодолита вызывает погрешности первого порядка малости при изме- рении горизонтальных углов й второго порядка при изменении вер- тикальных углов, не превосходящих 85°. . < При измерении углор между двумя произвольными точками Л(Ф1, ii) и Т2 (ф2, i2) погрешности измерения горизонтальных и верти- кальных углов из-за Д/с будут составлять: - - Аф1,2 = (sec фх - sec ф2) Д/с; i Q Ah,2 = (tgii-tg-i2)AK2. / • ( '
ПРИЛОЖЕНИЕ 2. КОЭФФИЦИЕНТЫ ОТНОСИТЕЛЬНОЙ АСИММЕТРИИ (ад) И ОТНОСИТЕЛЬНОГО РАССЕЯНИЯ (кд) ПЕРВИЧНЫХ ПОГРЕШНОСТЕЙ ' Коэффициенты ад и кч используются как при расчете компен- саторов, так и допустимых значений первичных погрешностей. Коэффициент aq входит в выражение для определения коэффици- ента Ср, учитывающего систематическую составляющую частичного влияния первичной погрешности. Коэффициент Kq, учитывающий вид закона рассеяния .первичной погрешности и соотношение поля рассеяния с полем допуска, используется при расчете вероятных полей рассеяния частичных влияний с'помощью коэффициента кр. В табл. ГП представлены значения коэффициентов и Kq для типо- вых законов распределения случайных первичных погрешностей. Таблица ГП Тип распределения У Кривая распределения “<7 K<1 Примечание •Закон Гаусса с полем рассеяния ±3о, совпа- дающим с полем допу- ска • 'А W) 0 1 or — среднее квадратическое отклонение; 8q — полови- на поля до- пуска Ji, Ji „ * Закон Гаусса с полем рассеяния, симметрич- но выходящим за поле допуска _ М) 0 0 . 0 ' 0 1,21 1,26 1,44 1,55 При h-jjhb* 0,07 0,17 0,26 0,44 Л31 Ji L T * Закон Гаусса с полем рассеяния, располо- женным симметрично внутри поля допуска * \j<5 0 0 - 0 0 0,6 0,7 0,8 0,9 При За/67: 0,6 0,7 0,8 0,9 Ji' . S1, X Закон Гаусса с полем рассеяния, односторон- не выходящим за поле допуска 1 Jo 0,25 0,31 0,40 0,47 1,17 1,18 1,20 1,21 При 0,26 0,44 0,80 1 j{ I ** ' Закон равной вероят- ности *1 0 ** 1,73 — о? 9. Ji, Ji, X
Продолжение табл. П1 Тип распределения Кривая распределения “<7 Ka Примечание Композиция закона Гаусса и равной вероят- ности * ^(х) 0 0 0 0 1,10 1,19 1,38 1,49 Z/3o 0,667 1,0 2,0 3,0 А. Закон Релея 1Ф) —0,28 1,14 — ' /у/ Jq* * Закон Симпсона । f(x) 0 1,22 — * у/ dq л Закон модуля нор- мального рассеяния —*0,38 —0,46 —0,50 1,27 1,22 1,20 a— смещение от нуля моды исходного рассеяния 1 - > 1 l\^\ Та ПРИЛОЖЕНИЕ 3. ПРИНЦИПЫ КОНСТРУИРОВАНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ И ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ УСТРОЙСТВ ОП Одним из эффективных приемов, используемых для повышения качества ОП, является изменение конструкции и схемы проектируе- мого прибора по сравнению с прототипом или первоначальным реше- нием. Критический анализ аналога следует начинать с проверки его соответствия с общим принципом конструирования, несоблюдение которых, как правило, ухудшает те или иные показатели качества изделий. ‘ Рассмотрим кратко принципы конструирования элементов и функциональных устройств ОП, часть из которых более подробно изложена в работах [18,54]. Совместная обработка рабочих и базовых элементов деталей. С точки зрения точности расположения рабочих элементов (РЭ) относительно базовых (БЭ) предпочтительной является такая кон- струкция детали, которая позволяет обеспечить их совместную
технологическую обработку (за одну установку). Например, кон- струкция оправы линз фотообъектива, изображенная на рис. П4, б, предпочтительней конструкции оправы прототипа (рис. П4, а), так как оба рабочих элемента под линзы и базовые поверхности здесь могут быть обработаны за одну установку. Совмещение. рабочих элементов деталей в соединениях. При конструировании соединений предпочтительной является конструк- ция, позволяющая осуществлять контакт сопрягаемых деталей по их рабочим элементам. В этом случае происходит объединение рабочего и ба- зового элементов присое- диняемой детали, умень- шается разме_рная цепь и •повышается точность рас- положения рабочего эле- Рис. П4. Конструкции оправ линз фотообъектива мента соединения относи- тельно базового элемента. Конструкция соединения зеркала 1 с кронштейном 2, изображенная на рис. П5, б, позволяет более точно ориентировать отражающую по- верхность зеркала относительно ба; ная на рис. П5, а. Статическая ' определенность соединений (отсутствие избыточ- ного базирования в соединении деталей). Придание материальным телам определенного и стррго фик- сированного положения в про- странстве называют базированием. При базировании происходит от- нятие лишних степеней свободы присоединяемой детали относи- тельно базовой в их соединении. , чем конструкция, изображен- Базирование называют избыточ- Рис. П5. Конструкция крепления зер- ным, когда лишние степени свобо- кала- ды присоединяемой детали отняты" более одного раза, т. е. когда для отнятия лишней степени свободы наложена более чем одна связь. Соотношение между оставшимися ’сте- пенями свободы (п) и числом наложенных связей (/п) должно быть: п + т — 6. Для выявления избыточных (или недостаточных) связей (q) в соединении используют следующую формулу [18]: <7 = п+£Ркк-6, (ПН) к=1 где Рк — класс- элементарной пары контакта, определяющий число степеней свободы, отнимаемых парой (например, при контакте по точке Р± — 1, при контакте по линии Р2 = 2, при контакте по пло- скости Р3 = 3, при контакте цилиндрической поверхности валика
с цилиндрическим или призматическим подшипником Р4 — 4, для / контакта конус—конус, винт—гайка' Р5 = 5); к — число пар дан- ного класса. Например, для соединения ползуна /, перемещаемого вдоль оси у, с направляющими цилиндрическими стержнями 2'. и 3 (рис. П6, а) получаем: <7=14-4-2 — 6 = 3. Эта конструкция имеет избыточное базирование (три избыточных связи), в результате чего может произойти заклинивание ползуна, его деформация, а также будет затруднена сборка пары. Конструкция ползуна, изображенная на рис. П6, б, свободна от этих недостатков: <7=1+ 4‘ 1 + !• 1 — 6 = 0. Соединение кор- пуса микрообъектива'’2 'с тубусом 1 по резьбовой и цилиндрическим поверх- ностям может привести к избыточности базирования по осям х и у. Чтобы этого не произошло, следует бе- лее точную посадку по- ставить на центрирующие цилиндрические поверх- ности, а резьбовое соеди- нение выполнить с. боль- шим гарантированным за- зором. Геометрическая опре- деленность контакта пар в соединении. Этот прин- Рис. П6. Базировайие деталей в соединениях . цип заключается в опре- деленности формы и положения контакта сопрягаемых поверх- ностей. Реальные поверхности деталей имеют макро- и микропо- грешности формы. В результате детали контактируют друг с-другом не по линиям и поверхностям, а по пятнам (площадкам) неопреде- ленной формы, размеры и положения которых в сопряжении также неопределенны. Эта неопределенность снижает точность расположе- ния присоединяемой детали и несущую способность базовой детали. Наибольшее влияние на точность оказывает неопределенность рас- положения пятен контакта. * ' "' На рис. П7,' а изображено соединение зеркала 1 с оправой 2 с помощью трёх угольников. Из-за погрешностей формы сопрягае- мых поверхностей зеркала и оправы их контакт будет происходить не по плоскости, а по. трем площадкам 3, расположение которых может быть произвольным в пределах 'сопрягаемых поверхностей.- В результате возникает объемная деформация зеркала под действием с»л со стороны угольников и реакций со сторбны оправы, приводящая к ухудшению качества изображения. /Соединение, изображенное на рис. П7, б, обладает определенностью расположения площадок контакта благодаря специальным выборкам (либо прокладкам) на оправе. Здесь возникает только контактная деформация зеркала
6 пределах контактирующих Зой, йе приводящая к ухудшению' качества йзображения^ На рис. П8^а, б изображены различные варианты соединения оси с подшипником с отсутствием (рис. П8, а) и наличием (рис. П8, б) определенности положения контактирующих поверхностей. Ограничение смещений в соединении деталей. Согласно этому •принципу поверхности, ограничивающие смещение присоединяемой детали относительно базовой, следует располагать перпендикулярно а) 1 2 ® Рис. П7. Конструкции крепления sepKsmaj к направлению ограничиваемого смещения. Погрешность располо- жения ползуна вдоль оси х из-за погрешности Д<? (погрешности соответствующего размера или форйы поверхности) и реакция со стороны опоры в случае соблюдения принципа (рис. П9, а) будут равны: Дхд? = Д<?; R = Q, где Q — замыкающая сила. В случае несоблюдения принципа (рис. П9, б) Дхдд = = (1/cos а) Д7; R — (1/cos а) Q. Таким образом, можно заключить, что несоблюдение принципа ограничения смещения приводит к потере точности й ухудшению силовогб режима соединения (увеличению реакции и появлению Вредной составляющей Т). Ухудшается также и технологичность изготовления деталей,- имеющих дополнительный конструктивный параметр (угол наклона). Отсюда можно сделать, вывод, что, напри- мер, цилиндрические направляющие вращательного движения (оси)
лучЮе конических; направляющие поступательного движения Т- образного типа лучше направляющих типа «ласточкин хвост»; точность кулачкового механизма тем выше, чем меньше у него угол давления; точность передачи движения винтового механизма с тра- пецеидальной резьбой винта и прямоугольной резьбовой гайки должны быть выше, чем у винтового механизма с остроугольной резьбой. Нарушение этого принципа приводит, например, к тому, что при фиксации положения подвижной каретки 1, несущей проекци- онную систему универсального измерительного-микроскопа УИМ-23, винтом 2 происходит значительное ее сме- щение вдоль оси х (рис. ПЮ). Более пра- вильно для направляющих типа «ласточ- кин хвост» осуществлять фиксацию в направлении оси у, для которого принцип ограничения смещений выполняется. Рис. ПЮ. Фиксация ползуна Рис. П.11. Крепление плоско-выпуклой линзы Ограничение поворотов в соединениях. Согласно этому принципу связи, накладываемые базовой деталью на присоединяемую, должны располагаться на возможно большем базисе. В этом случае погреш- ность углового положения присоединяемой детали при прочих рав- ных условиях будет наименьшей. Например, для пол’зуна (см. рис. 5.22) ограничение поворота относительно оси у является пред- почтительным по сравнению с ограничением поворота относительно осей х и г, так как-S^ > Bxz. По этой же причине угловое положение плоско-выпуклой линзы относительно осей х, у будет определяться контактом по поверхности В, а не D (рис. ПП). Положительными с точки зрения соблюдения этого принципа являются также выборки сопрягаемых деталей, осуществляемые для обеспечения принципа геометрической определенности соединений (см. рис. П8, б). Силовое замыкание соединений. Силовое замыкание следует осуществлять так, чтобы линия действия замыкающей силы прохо- дила через зону (площадку) контакта. В этом случае возникающая реакция и сила не образуют изгибающего момента, действующего на присоединяемую и базовые детали. Примерами выполнения этого принципа могут.служить крепление зеркала (см. рис. П7, б), а также известный способ крепления тонкой линзы, опирающейся на три выступа оправы с помощью резьбового и упругого колец, имеющих три выступа, которые расположены против выстуйов оправы.
Принцип Аббе. Этот принцип характеризуется отсутствием компараторной погрешности и заключается в ограничении продоль- ного или поперечного (иногда и того и другого) вылетов'(расстояний) рабочего элемента — соединения, конструктивной цепи, узла от- носительно базового элемента. Это позволяет уменьшить опасное смещение рабочего элемента при возникновении поворотов деталей, обусловленных действием погрешностей,' благодаря уменьшению соответствующего расстояния до • мгновенного центра поворота. Примерами нарушения и соблюдения данного принципа могут слу- жить конструкции поперечного и продольного компараторов (см. рис. 1.6), расположения марок подвижной сетки окулярного микро- метра (см. рцр/ 5.21). Кратчайшая цепь преобразования. Так же как и кратчайшая размерная цепь позволяет получить более высокую точность раз- мера замыкающего звена, кратчайшая цепь преобразования, содер- жащая минимальное число преобразователей, позволяет получить более высокую точность функционирования устройства. Теодолит, содержащий всего одну кинематическую (осевую) пару, существенно превосходит по точности стереотрубу, кинематическая цепь которой содержит кроме осевой пары отсчетную червячную передачу.' Спи- ральный окулярный микрометр позволяет получить более высокую точность, чем винтовой окулярный микрометр, цепь преобразования которого включает большее число элементарных преобразователей. Отсутствие избыточных связей и местных подвижностей меха- низмов приборов^ Избыточные связи в механизмах приборов приво- дят к объемным деформациям звеньев, увеличению трения в кине- матических парах, затрудняют сборку и регулировку механизмов. Местные подвижности менее опасны, они обусловлены дополнитель- ной к рабочей подвижностью некоторых звеньев. Наличие избыточ- ных связей и местных подвижностей в механизмах можно определить на основании анализа их структуры х, используя выражение, ана- логичное (П11): п + Ркк — 6а) — q, (П12) К=1 где и — число ведущих звеньев механизма; Рк — класс кинемати- ческой пары; к — число пар данного класса; w — число подвижных звеньев. Проанализируем выполнение принципа для винтового механизма, изображенного на рис. П12. Соединение винта с подшипником пред- ставляет собой пару 5-го класса, соединения винта с гайкой и гайки с направляющими типа «ласточкин хвост» являются также парами 5-го класса. В результате из выражения (П12) получим:, q = 1 + + 5 • 3 — 6* 2 = + 4. Следовательно, механизм имеет четыре избы- точные связи. Для соблюдения принципа следует изменить, напри- мер, конструкцию направляющих гайки, превратив ее в пару 1-го х Подробно методика структурного анализа механизмов изложена И. М. До- линским в работе [37]. ,
КЛйсСа (отнять только разворот вокруг оси х), тогда q— 1 Ц-5-2 + + 1-1 — 6-2 = 0. ‘ .На рис. П13 изображена схема параллелограммного механизма. Если все его шарниры выполнить в виде пар 5-го класса,, то q = = 1 + 5-4 — 6-3 = +3. Если же соединение шатуна с кривошипом выполнить в виде пары 3-го, а с коромыслом — 4-го классов, полу- чим q = 1 + 5-2+ 4-1 + 3* 1 — 6-3,= 0, т. е. в результате этих действий мы получим конструкцию без избыточных связей и местных Рис. П12. Конструкция винтового ме- Рис, П13; Схема параллелограмма , ханизма Наибольшие масштабы преобразования. Согласно этому прин- ципу функциональные элементы, осуществляющие наибольший мас- штаб преобразования, следует ставить в конце (для устройств, работающих на редукцию) либо в начале (для устройств, работающих на мультипликацию) цепи элементарных преобразователей. В этом случае суммарная погрешность' устройства будет меньше (см. рис. 1.10).
ПРИЛОЖЕНИЕ 4. СХЕМЫ АЛГОРИТМОВ РАСЧЕТА компенсаторов Алгоритм расчета погрешностей, требующих компенсации


Ayfyri “ ^ci ’ Ai ~ДУул/Ду$Ы *Дум/Ьуцт1 242
Алгоритм расчета числа компенсаторов и требований к ним

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ Ч. Адаптивная оптика/Пер. с англ; Под ред. Э. А. Витриченко. М.: Мир, 1980. 456 с. 2. Алиев Т. М., Сейдель А. Р. Автоматическая коррекция погрешностей циф- ровых измерительных устройств. М.: Энергия, 1975. 216 с. 3. Анализ влияния погрешностей широкодиапазонного нивелира на точность стабилизации линии визирования/Н. И. Кручинина. — ОМП, № 4, 1984, с. 41—44. 4. Бардин А. Н. Сборка и юстировка «оптических приборов. М.: Высшая школа, 1968. 325 с. 5. Браславский Д. А., Петров В. В. Точность измерительных устройств. М.: Машиностроение, 1976. 312 с. 6. Влияние эксцентриситета лимбов на точность фотоэлектрических масштаб- ных преобразователей угла типа «Оптосин»/Б. Я. Карасик, М. В. Кормер, Л. Н. Пивоваров — ОМП, 1965, № 5, с. 6—9. 7. Децентрировка. Определение и методы измерения/Ю.• А. Степин,' Е. А. Васильев. — ОМП, 1974, № 9, с. 46—50. 8. Елисеев С. В. Геодезические инструменты и приборы. М.: Недра, 1973. 302 с. 9. Ельников Н. Т., Дитев А. Ф., Юргусов И. К. Сборка и юстировка оптико- механических приборов. М.: Машиностроение, 1974. 345 с. 10. Зайдель А. Н. Элементарные оценки ошибок измерений. Л.: Наука, 1968. 97 с. 11. Захаров А. И. Новые теодолиты и оптические дальномеры. М.: Недра, 1978. 261 с. 12. Земельман М. А. Автоматическая коррекция погрешностей измеритель- ных устройств. М.: Изд-во Стандартов, 1972. 199 с. 13. Иванцов Ад И. Основы теории точности измерительных устройств. М.: Изд-во Стандартов, 1972. 212 с. 14. Использование норакрила-65 при эластичном креплении линзы в оправе/ Н. К. Б а л а ц е н к о, А. С. Г а л у т в а, Ю. МгЛ и б и к. — ОМП, 1982, № 10, с. 59. _ 15. Кемпинский М. М. Точность и надежность измерительных приборов. Л.: Машиностроение, 1972. 264 с. 16. Корн Г., Корн Т. Справочник по математике для научных работников и инженрров/Пер. с англ;* Под ред. И’ Г. Арамановича. М.;. Наука, 1976. 831 с. 17. Кочетов Ф. Г* Нивелиры с самоустанавливающейся линией визирования. М.: Недра, 1969. 128 с. 18. Кулагин В. В. Основы конструирования оптических приборов...Л.: Машино- строение, 1982. 312 с. 19. Кулагин С. В. Проектирование фото- и киноприборов. М.: Машинострое- ние, 1976: 304 с. - 20. Леёицкий М. Я. Корректирующие устройства. Киев: Техника, 1969л 190 с. 21. Мальцев М. Д. Расчет допусков на оптичёские детали. М.: Машиностроение, 1974. 168 с: 22. Малогабаритный оптический поворотный стол повышенной точности/Б. М. Левин, В. И. Федосов, В. Н. Л я п к о в. —‘ОМП, 1978, № 7, с. 28—31. 23. Методика расчета допусков на юстировку оптических систем с помощью передаточных коэффициентов/С. А. Сухопарое, И. М. Долинский. — ОМП, 1967, № 3, с. 1—5. 24. Многоэлементный большой оптический телескоп с управляемой фигурой зеркала/М. И. Гвоздев, Н. А. Димов, Н. Я. Жерноклеев и др. — УФН, т. III, вып. 3, 1973, с. 558—560. 25. Мореходные инструменты/В. В. Григорьев, Д. А. Самохвалов, А. Цур бан и др. М.: Морской транспорт, 1955. 382 с. 26. Нивелир с широкодиапазонной стабилизацией линии визирования без ус- тановочного уровня/Г. К. Б е с я а с т н ы й, М. В. Р а и к, В'. М. Соловьев. В кн.: Инженерная геодезия (Тр. ВАГО). Л.: 1976, с. 3—11. 27. Ортоскопия фотограмметрических объективов/М. М. Ру с и н о в, В. Г. Аф- ре м о в, А. Ш. Ш а х в е р д о в и др. М.: Недра, 1976. 176 с.
28. Основы методики расчета числа компенсаторов погрешностей в приборе/ С. М. Латыев. — ОМП, 1979, № 3, с. 11—15. 29. Пейсахсон И.,В. Оптика спектральных приборов. Л.: Машиностроение, 1975. 312 с. f 30. Подшипниковые подвески чувствительных элементов' в маркшейдерско- геодезических приборах/Г. К. Бесчастны й,-М. В. Раи к, Э. Г. Р е й ш е р. В кн.: Инженерно-геодезическая практика в строительстве (Тр. ВАГО). Л.: 1974, с. 4—16. 31. Повышение качества оптических приборов компенсацией погрешностей/ С. М. Латыев- ОМП, 1981, № 3, с: 3—7. 32. Погарев Г. В. Юстировка оптических приборов. Л.: Машиностроение, 1982. 238 с. 33. Погарев Г. В. Оптические юстировочные задачи. Л.: Машиностроение, 1974. 223 с. 34. Пороговая чувствительность движения точных механизмов с ручным уп- равлением/В. В. К*У л а г и н, С. М. Латыев. — ОМП, 1973, № 5, с. 16—20. 35. Применение отражательных дифракционных решеток в интерференционных схемах для измерения линейных перемещений/Г. Н. Рассудова, Ф. М. Г е - расимов — Оптика и спектроскопия, 1963, т. 14, вып. 3, 4, с. 406—413. 36. Современные дифракционные решетки/Ф. Г. Герасимов — ОМП, 1965, № 10, с. 33—49. 37. Справочник конструктора оптико-механических приборов/Под. ред. В. А. Панова. Л.: Машиностроение, 1980. 614* с. 38. Средства для линейных измерений/Б. М. Сорочки н, Ю. 3. Тенен- б а у м, А. П. К у р о ч к и н и др. Л.: Машиностроение, 1978. 263 с. 39. Стандартизация и качество машин/Ф. X. Бурумкулов, А. И. Ку- барев, Б. М. Морозов и др. М.: Изд-во Стандартов, 1975. 223 с. 40. Сухопарое С. А. Сборка и юстировка морских оптических дальномеров. М.: Оборонгиз, 1961. 180 с. 41. Тайц Б. А. Точность и контроль зубчатых колес. М.: Машиностроение,- 1972. 368 с. 42. Тимошенко С. П. Сопротивление материалов. Ч. I. М.: Физматгиз, 1960. 379 с. 43. Устройства для автоматической фокусировки фото- и киносъемочных аппа- ратов/М. Я. Шульман — ОМП, 1978, №3, с. 64—68. 44. Федотов к. И. Автоматизация'делительных работ. Л.:’Машиностроение, 1969. 319 с. 45. Хилл П. Наука я искусство проектирования/Пер. с англ. М.: Мир, 1973. 263 с. 46. Цуккерман С. Т. Точные механизмы. М.: Оборонгиз, 1941’. 304 с. 47. Черемисин М. С., Ардасенов В. Д., Кольцов В. П. Нивелиры с компенсато- рами. М.: Недра, 1978. 142 с. »* 48. Шарловский Ю. В. Регулировочные устройства приборов и их элементы. М.: Машиностроение, 1976. 311 с. 49. A. Buffington aftd oth. J. Opt. Soc. Am. 67, 298—303 (1977). 50. A. Buffington and oth. J. Opt. Soc. Am. 67, 304—305 (1977). 51. Goldberg N. Popul. Photogr. vol. 79, N 7, 1976. 52. R. P. Grosso, M. Yellin. J. Opt. Soc. Am. 67, 399—406 (1977). 53. J. W. Hardy, J. E. Lefebvre, C. L. Koliopoulos. J. Opt. Soc. Am. 67, 360—369 (1977). 54. Krause W. Geratekonstruktion. VEB Verlag Technik, Berlin, 1982. 55. Latyew S. Feingeratetechnik. 24. Jg. Heft 5/1975. 56. Latyew S. Feingeratetechnik. 31. Jg. Heft 4/1982. 57. Lotmar W. Microtechnik, N 1, 1962. 58. J< E. JR earson, S. Hansen. J. Opt. Soc. Am., 67, 325—333 (1977). 59. Takuso Sato and oth. ‘Appl. Opt, 21, N 10, 1778—1784 (1982), OQ, К V^ino and oth. Appl. Opt., 20, N 17, 3077 (1981),
ОГЛАВЛЕНИЕ Предисловие ............................... * « < - < . , *.............3 Глава 1. Методы " повышения качества оптических приборов. 5 1.1. Характеристики качества оптических приборов .... — 1.2. Погрешности и факторы, влияющие на качество прибора 7 1.3. Повышение качества оптических приборов при проекти- • ровании ................................................. 15 1.4. Методы компенсации погрешностей в оптических прибо- рах ...................................................... 23 1.5. Технико-экономические обоснования выбора метода ком- пенсации ................................................. 35 Глава 2. Теоретические основы расчета компенсаторов погрешностей в оптических приборах ................................................ 42 . 2.1. Концептуальная и математическая модели компенсации погрешностей ......................'......................., 43 2.2. Методика расчета компенсаторов....................... 47 2.3. Примеры расчетов компенсаторов w при проектировании 'оптических приборов ................................... 58 2.4. Уточнение допустимых значений первичных погрешностей 68 2.5. Распределение допуска на показатель качества оптиче- ского прибора между его функциональными устрой- ствами ...................................... ............. 71 Глава 3. Основы компенсации погрешностей оптических приборов ... 73 3.1. Структурные схемы компенсации погрешностей . . . . / 74 3.2. Компенсация систематических погрешностей .............. 78 3.3. Компенсация влияния случайных погрешностей и фак- торов .................................................. 84 Глава 4. Типовые компенсаторы погрешностей оптических функциональ- ных устройств ..................................... 88' 4.1. Термокомпенсаторы................... . ............... 89 4.2. Компенсация децентрировок линз оптических систем . . 101 4.3. Компенсация погрешностей фокусных расстояний объек- тивов, фокусировка изображения ...................... : . 113 4.4. Пересчет оптических систем на плавки стекол и комплек- тация линз ............................................... 120 4.5. Компенсация погрешностей расположения зеркально- призменных систем . *.................................... 122 ' 4.6. Компенсация погрешностей лимбов . . . .........* 130 4.7. Компенсация погрешностей наведения и считывания ... 143 4.8. Компенсаторы нивелиров с самоустанавливающейся ли- нией визирования.................- . . .................. 152 4.9. Адаптивные компенсаторы.............................. 161 4.10. Компенсаторы гнутий телескопов...................... Мэб Глава 5. Типовые компенсаторы погрешностей механических функцио- ч нальных устройств ................................................. 171 5.1. Компенсаторы погрешностей зубчатых передач .... — 5.2. Компенсаторы погрешностей винтовых механизмов .... 181 5.3. Компенсация погрешностей рычажных механизмов .... 187 , 5.4. Компенсация погрешностей направляющих z...... . 196 5.5. Устройства юстировки источников и приемников излу- чения .................................................... 214 5.6. Компенсационные муфты ............................... 215 5.7. Чувствительность .регулировочных устройств .......... 220
Приложение 1. Методы определения передаточных функций первичных погрешностей .......................................................... 225 Приложение 2. Коэффициенты относительной асимметрии (а^) и относи- тельного рассеяния‘(к?) первичных погрешностей .... 231 Приложение 3. Принципы конструирования элементов и функциональных устройств ОП .......................................................... 232 Приложение 4. Схемы алгоритмов4 расчета компенсаторов ............... 239 Список литературы..................................................... 245