Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 4 . Механическая и химическая обработка
Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 5
Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 5. Термические процессы
