Материаловедение
Сборка. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 09
Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства
Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 7. Элионная обработка
