Основы микроэлектроники
Микроэлектроника. Учебное пособие для вузов. Физические и технологические основы, надежность
Микроэлектроника
Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 3. Полупроводниковые приборы и интегральные микросхемы
Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 1. Общая технология
